JPH0572276A - Lsi試験装置およびlsi試験プログラム自動作成装置 - Google Patents

Lsi試験装置およびlsi試験プログラム自動作成装置

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JPH0572276A
JPH0572276A JP3230123A JP23012391A JPH0572276A JP H0572276 A JPH0572276 A JP H0572276A JP 3230123 A JP3230123 A JP 3230123A JP 23012391 A JP23012391 A JP 23012391A JP H0572276 A JPH0572276 A JP H0572276A
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JP
Japan
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test
common
lsi
test procedure
individual
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JP3230123A
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English (en)
Inventor
Kuniyuki Hirasa
邦行 平佐
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数品種のLSIの共通仕様部分の試験内容
の変更、追加を容易かつ迅速に行うLSI試験装置及び
LSI試験用プログラム自動作成装置を提供する。 【構成】 第1の発明は、前記共通仕様部分についての
共通試験手順を記憶する共通試験手順記憶手段4と、前
記LSIの各品種に対応する個別仕様部分についての個
別試験手順を記憶する個別試験手順記憶手段4と、前記
共通試験手順を変更、追加する共通試験手順変更追加手
段2、3と、前記変更、追加された共通試験手順並びに
被試験LSI15に対応する個別試験手順を読出し、被
試験LSI15の試験の制御を行う試験制御手段3と、
を備える。また、第2の発明は、試験制御手段3に代
え、前記変更、追加された共通試験手順並びに被試験L
SI15に対応する個別試験手順を読出し、結合して試
験プログラムを自動作成するプログラム作成制御手段を
備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、LSI試験装置および
LSI試験プログラム自動作成装置に係り、特に共通仕
様部分を有する同一系列の複数品種のLSIを品種ごと
に異なる試験条件で試験するLSI試験装置およびLS
I試験のための試験プログラムを自動作成するLSI試
験プログラム自動作成装置に関する。
【0002】近年のLSIの高集積化、多品種化に対応
してLSI試験の容易化並びに試験用プログラム作成の
迅速化が望まれている。
【0003】
【従来の技術】LSIの良品、不良品を餞別するための
試験は、CADで発生された試験パターンを入力し、ま
たは試験プログラムを動作させることにより行ってお
り、正常動作が確認できたLSIを良品としている。
【0004】ところで、従来のLSIにおいては、共通
仕様部分を有する同一系列の複数品種のLSIからなる
シリーズLSIがある。このシリーズLSIを構成する
各LSIの試験を行う場合の試験プログラムは、一品種
に一試験プログラムが割り当てられていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】したがって、上述のシ
リーズLSIを構成する各LSI品種のすべてについ
て、共通仕様部分の試験内容の変更、追加を行う場合で
あっても、個々の試験プログラムのそれぞれについて変
更する必要があり、同一シリーズ内の複数のLSIの品
種すべてに対して試験プログラムの変更を行うことは、
膨大な時間と労力がかかってしまうという問題点があっ
た。
【0006】そこで、本発明の目的は、同一系列に属す
る複数品種のLSIの共通仕様部分の試験内容の変更、
追加を行う場合に、容易かつ迅速に行うことができるL
SI試験装置および試験のためのプログラムを自動作成
するLSI試験用プログラム自動作成装置を提供するこ
とにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、第1の発明は、各品種ごとに異なる試験条件でLS
Iの試験を行うLSI試験装置において、同一系列に属
する複数品種のLSIの共通仕様部分についての共通試
験手順を記憶する共通試験手順記憶手段(4)と、前記
複数品種のLSIの個別仕様部分についての各品種に対
応する個別試験手順を記憶する個別試験手順記憶手段
(4)と、前記共通試験手順記憶手段(4)に記憶され
ている共通試験手順を変更しまたは追加する共通試験手
順変更追加手段(2、3)と、前記変更されたまたは追
加された共通試験手順並びに被試験LSI(15)に対
応する個別試験手順を読出し、前記被試験LSI(1
5)の試験の制御を行う試験制御手段(3)と、を備え
て構成する。
【0008】また、第2の発明は、各品種ごとに異なる
試験条件でLSIの試験を行うための試験プログラムを
自動作成するLSI試験プログラム自動作成装置におい
て、同一系列に属する複数品種のLSIの共通仕様部分
についての共通試験手順を記憶する共通試験手順記憶手
段(19)と、前記複数品種のLSIの個別仕様部分に
ついての各品種に対応する個別試験手順を記憶する個別
試験手順記憶手段(19)と、前記共通試験手順記憶手
段(19)に記憶されている共通試験手順を変更しまた
は追加する共通試験手順変更追加手段(17、18)
と、前記変更されたまたは追加された共通試験手順並び
に被試験LSIに対応する個別試験手順を読出し、結合
することにより前記被試験LSIの試験プログラムを自
動作成するプログラム作成制御手段(17)と、を備え
て構成する。
【0009】
【作用】第1の発明によれば、共通試験手順記憶手段
(4)は、同一系列に属する複数品種のLSIの共通仕
様部分についての共通試験手順を記憶する。個別試験手
順記憶手段(4)は、前記複数品種のLSIの個別仕様
部分についての各品種に対応する個別試験手順を記憶す
る。共通試験手順変更追加手段(2、3)は、前記共通
試験手順記憶手段(4)に記憶されている共通試験手順
を変更しまたは追加する。これにより試験制御手段
(3)は、前記変更されたまたは追加された共通試験手
順並びに被試験LSI(15)に対応する個別試験手順
を読出し、前記被試験LSI(15)の試験の制御を行
う。
【0010】したがって、試験制御手段(3)は、LS
Iの品種ごとに異なる試験をする場合であっても、同一
系列に属する複数品種のLSIの共通仕様部分について
の試験項目、試験規格などについては、常に共通試験手
順を読み出して行うので、LSI試験装置(1)は、共
通仕様部分についての試験項目、試験規格の変更、追加
に容易に対応することができる。
【0011】第2の発明によれば、共通試験手順記憶手
段(19)は、同一系列に属する複数品種のLSIの共
通仕様部分についての共通試験手順を記憶する。個別試
験手順記憶手段(19)は、前記複数品種のLSIの個
別仕様部分についての各品種に対応する個別試験手順を
記憶する。共通試験手順変更追加手段(17、18)
は、前記共通試験手順記憶手段(19)に記憶されてい
る共通試験手順を変更しまたは追加する。これにより、
プログラム作成制御手段(17)は、前記変更されたま
たは追加された共通試験手順並びに被試験LSIに対応
する個別試験手順を読出し、結合することにより前記被
試験LSIの試験プログラムを自動作成する。
【0012】したがって、プログラム作成制御手段(1
7)は、LSIの品種ごとに異なる試験プログラムを作
成する場合であっても、同一系列に属する複数品種のL
SIの共通仕様部分についての試験項目、試験規格など
については、常に共通試験手順を読み出して、プログラ
ムを自動作成するので、LSI試験プログラム自動作成
装置(16)は、共通仕様部分についての試験項目、試
験規格の変更、追加に容易に対応することができる。
【0013】
【実施例】次に、図1乃至図2を参照して本発明の実施
例を説明する。第1の発明の実施例 LSI試験装置1は、試験プログラムのチェック、試験
の実行制御、入出力装置2の制御、試験結果の解析など
を行うミニコンピュータ3を備えている。このミニコン
ピュータ3の制御下でユーザは、入出力装置2から試験
用のデータを入力し、試験結果のデータを出力する。デ
ータ入力装置としては、キーボード、カードリーダ等が
挙げられ、データ出力装置としてはラインプリンタ、C
RT(Cathode-Ray-Tube)等が挙げられる。また、磁気
ディスク、磁気テープ等の大容量記憶装置4にはLSI
試験装置1のシステムプログラム、試験プログラム、試
験パターン、測定データ等が記憶される。また、インタ
ーフェースコントローラ5は、試験プログラムに基づく
制御データや、測定データの受け渡しのインターフェー
ス動作を行う。
【0014】ミニコンピュータ3からの制御データに基
づいて、パターン発生器6は、マイクロプログラム制御
方式等によるハードウェアで機能試験に用いる入力パタ
ーンデータを発生し、波形整形器8に出力するととも
に、被測定(DUT:Device UnderTest )LSI15から
出力されることが期待されるデータパターンを期待値パ
ターンデータとして論理比較制御器9に出力する。ま
た、タイミング信号発生器7は、ミニコンピュータ3の
制御データに基づいて被測定LSI15に印加する入力
パターンデータの立ち上がり、立ち下がりを決定するド
ライバタイミング信号を波形整形器8に出力するととも
に、被測定LSIの出力パターンデータと期待値パター
ンデータの比較タイミングに相当する比較タイミング信
号を論理比較制御器9に出力する。
【0015】波形整形器8は、入力された入力パターン
データおよびドライバタイミング信号に基づいて、被測
定LSI15に実際に印加する信号波形を生成し、ピン
エレクトロニクス14に出力する。論理比較制御器9
は、入力された期待値パターンデータとピンエレクトロ
ニクス14を介して入力された被測定LSI15の出力
パターンデータとを比較し、被測定LSI15の良否判
定を行い、その結果を不良解析メモリ10に出力する。
不良解析メモリ10は、不良発生状況を記憶するメモリ
であり、試験実行時に不良の発生した試験パターンと被
測定LSIの出力ピンの位置を記憶させたり、不良ビッ
ト救済を行うための不良セル位置を記憶させたりする。
【0016】AC測定ユニット11は、交流特性試験に
用いられ、被測定LSI15の入出力タイミングを精密
に測定する。DC測定ユニット12は、直流特性試験に
用いられ、被測定LSI15に所定の電圧、電流を印加
しながら、指定された出力ピンの電圧、電流等を精密に
測定する。被測定LSI電源用定電圧発生器13は、被
測定LSI15に指定された電圧、電流を印加するプロ
グラマブルな電源である。
【0017】ピンエレクトロニクス14は、波形整形器
8から出力された信号波形に試験を行うために必要な電
圧を与えて出力し、被測定LSI15の出力パターンデ
ータをデジタルデータに変換して論理比較制御器9に出
力する。
【0018】この場合において、大容量記憶装置4は、
共通試験手順記憶手段および個別試験手順記憶手段とし
て機能し、ミニコンピュータ3および入出力装置2は、
共通試験手順変更追加手段として機能し、ミニコンピュ
ータ3は制御手段として機能する。
【0019】ここで大容量記憶装置4に記憶されている
試験プログラムの格納状況を図2を参照して説明する。
試験プログラム20は、シリーズLSIの共通試験プロ
グラム21と、シリーズLSIの個々の品種固有の個別
試験プログラム22A、22B、22Cと、を備えて構
成されている。
【0020】共通試験プログラム21は、交流特性測
定、機能測定などの試験項目や試験内容並びに、電源電
圧、設定値、規格値などの試験規格が記述されている。
個別試験プログラムは、直流特性試験を行う場合の測定
箇所や、ピンの配置、機能等のピンの属性等が記述され
ている。この共通試験プログラム21の変更または追加
を行う場合には、ユーザは入出力装置2、ミニコンピュ
ータ3を介して共通試験プログラム21のみの変更また
は追加を行うので、個別試験プログラム22A、22
B、22Cに影響を及ぼすことはない。
【0021】実際に試験プログラム20を用いてある特
定のLSIの試験を行う場合には、ミニコンピュータ3
は、まず、共通試験プログラム21を参照して共通仕様
にかかる試験を行い、さらにこの共通試験プログラム2
1中で個別試験プログラム22A、22B、22Cのい
ずれかを参照して個別仕様にかかる試験を行う。もしく
は、共通試験プログラム21と必要な個別試験プログラ
ム、例えば個別試験プログラム22Bを同時に読出して
試験を行う。
【0022】このようにシリーズLSIの全品種に反映
可能な試験項目、試験規格などは共通試験プログラムに
記載されているので、シリーズLSIの全品種に反映可
能な試験項目、試験規格を変更し、または追加する場合
には共通試験プログラムを変更し、または、追加すれば
よい。したがって、個別試験プログラムを変更する必要
はないので、シリーズLSIの試験項目、試験規格等の
変更、追加を容易に行えるとともに、これらの変更、追
加に容易に対処することができる。
【0023】第2の発明の実施例 次に、図3および図2を参照して第2の発明の実施例を
説明する。LSI試験プログラム自動作成装置16は、
図3に示すように、試験プログラムのチェック、試験の
実行制御、入出力装置の制御、試験結果の解析などを行
うミニコンピュータ17を備えている。このミニコンピ
ュータ17の制御下でユーザは、入出力装置18から試
験プログラム用のデータを入力し、試験プログラムリス
ト等を出力する。データ入力装置としては、キーボー
ド、カードリーダ等が挙げられ、データ出力装置として
はラインプリンタ、CRT等が挙げられる。また、磁気
ディスク、磁気テープ等の大容量記憶装置19には、L
SI試験プログラム自動作成装置17のシステムプログ
ラム、試験プログラム、試験パターン、等が記憶され
る。この場合において、大容量記憶装置19は、共通試
験手順記憶手段および個別試験手順記憶手段として機能
し、ミニコンピュータ17および入出力装置18は、共
通試験手順変更追加手段として機能し、ミニコンピュー
タ17はプログラム作成制御手段として機能する。
【0024】実際に試験プログラム20を用いてある特
定のLSIの試験プログラムを自動作成する場合には、
ミニコンピュータ17は、まず、共通試験プログラム2
1を読出し、さらにこの共通試験プログラム21に個別
試験プログラム22A、22B、22Cのいずれかを読
出して結合することにより個別仕様にかかる試験プログ
ラムの自動作成を行う。もしくは、共通試験プログラム
21と必要な個別試験プログラム、例えば個別試験プロ
グラム22Bを同時に読出して両者を結合し、LSI試
験プログラムの自動作成を行う。
【0025】上述のようにシリーズLSIの全品種に反
映可能な試験項目、試験規格などは共通試験プログラム
に記載されているので、シリーズLSIの全品種に反映
可能な試験項目、試験規格を変更し、または追加する場
合には入出力装置18を介してミニコンピュータ17を
制御することにより、共通試験プログラムを変更し、ま
たは、追加すればよい。したがって、各品種ごとに異な
る個別試験プログラムを変更する必要はないので、シリ
ーズLSIの試験項目、試験規格等の変更、追加を容易
に行って試験プログラムを作成するとともに、これらの
変更、追加に容易に対処することができる。
【0026】以上の各実施例においては、共通試験プロ
グラムおよび個別試験プログラムは、同一の大容量記憶
装置に記憶されていたが、複数の大容量記憶装置に分割
して記憶させることも可能である。
【0027】また、共通試験プログラムおよび個別試験
プログラムは、さらに複数のサブルーチンで構成されて
いても良い。この場合において、共通試験プログラムを
機能毎にサブルーチンに分割しておけば、シリーズLS
Iの試験項目、試験規格等の変更、追加をさらに容易に
行えることとなる。
【0028】
【発明の効果】第1の発明によれば、共通試験手順変更
追加手段は、前記共通試験手順記憶手段に記憶されてい
る共通試験手順を変更しまたは追加し、試験制御手段
は、前記変更されたまたは追加された共通試験手順並び
に被試験LSIに対応する個別試験手順を読出し、前記
被試験LSIの試験の制御を行う。
【0029】したがって、LSI試験装置は、LSIの
品種ごとに異なる試験をする場合であっても、同一系列
に属する複数のLSIの共通仕様部分についての試験項
目、試験規格などについては、常に共通試験手順を読み
出して行うため、共通仕様部分についての試験項目、試
験規格の変更、追加に容易に対応することができる。
【0030】第2の発明によれば、共通試験手順変更追
加手段は、前記共通試験手順記憶手段に記憶されている
共通試験手順を変更しまたは追加し、プログラム作成制
御手段は、前記変更されたまたは追加された共通試験手
順並びに被試験LSIに対応する個別試験手順を読出
し、結合することにより前記被試験LSIの試験プログ
ラムを自動作成する。
【0031】したがって、LSI試験プログラム自動作
成装置は、LSIの品種ごとに異なる試験プログラムを
作成する場合であっても、同一系列に属する複数のLS
Iの共通仕様部分についての試験項目、試験規格などに
ついては、常に共通試験手順を読み出して行うため、共
通仕様部分についての試験項目、試験規格の変更、追加
に容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】LSI試験装置の基本構成を示すブロック図で
ある。
【図2】大容量記憶装置の記憶状態の説明図である。
【図3】LSI試験プログラム自動作成装置の基本構成
を示すブロック図である。
【符号の説明】
1…LSI試験装置 2…入出力装置 3…ミニコンピュータ 4…大容量記憶装置 5…インターフェースコントローラ 6…パターン発生器 7…タイミング信号発生器 8…波形整形器 9…論理比較制御器 10…不良解析メモリ 11…AC測定ユニット 12…DC測定ユニット 13…被試験LSI電源用低電圧発生器 14…ピンエレクトロニクス 15…被測定LSI 16…LSI試験プログラム自動作成装置 17…ミニコンピュータ 18…入出力装置 19…大容量記憶装置 20…試験プログラム 21…共通試験プログラム 22A、22B、22C…個別試験プログラム

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 各品種ごとに異なる試験条件でLSIの
    試験を行うLSI試験装置において、 同一系列に属する複数品種のLSIの共通仕様部分につ
    いての共通試験手順を記憶する共通試験手順記憶手段
    (4)と、 前記複数品種のLSIの個別仕様部分についての各品種
    に対応する個別試験手順を記憶する個別試験手順記憶手
    段(4)と、 前記共通試験手順記憶手段に記憶されている共通試験手
    順を変更しまたは追加する共通試験手順変更追加手段
    (2、3)と、 前記変更されたまたは追加された共通試験手順並びに被
    試験LSI(15)に対応する個別試験手順を読出し、
    前記被試験LSIの試験の制御を行う試験制御手段
    (3)と、を備えたことを特徴とするLSI試験装置。
  2. 【請求項2】 各品種ごとに異なる試験条件でLSIの
    試験を行うための試験プログラムを自動作成するLSI
    試験プログラム自動作成装置において、 同一系列に属する複数品種のLSIの共通仕様部分につ
    いての共通試験手順を記憶する共通試験手順記憶手段
    (19)と、 前記複数品種のLSIの個別仕様部分についての各品種
    に対応する個別試験手順を記憶する個別試験手順記憶手
    段(19)と、 前記共通試験手順記憶手段に記憶されている共通試験手
    順を変更しまたは追加する共通試験手順変更追加手段
    (17、18)と、 前記変更されたまたは追加された共通試験手順並びに被
    試験LSIに対応する個別試験手順を読出し、結合する
    ことにより前記被試験LSIの試験プログラムを自動作
    成するプログラム作成制御手段(17)と、を備えたこ
    とを特徴とするLSI試験プログラム自動作成装置。
JP3230123A 1991-09-10 1991-09-10 Lsi試験装置およびlsi試験プログラム自動作成装置 Withdrawn JPH0572276A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008268213A (ja) * 2007-04-23 2008-11-06 Advantest Corp プログラムおよび試験装置
JPWO2021149175A1 (ja) * 2020-01-22 2021-07-29

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008268213A (ja) * 2007-04-23 2008-11-06 Advantest Corp プログラムおよび試験装置
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