JPH057239Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 （産業上の利用分野） この考案は、半導体製造に用いるCVDやエピ
タキシヤル成長装置などの石英管に関するもの
で、更に述べると、鍔付石英管のシール装置に関
するものである。

（従来の技術） 近年、石英管の軸方向をマニホルドにより縦長
に配設する縦型炉が使用されているが、この炉に
は、石英管内の反応ガスが外部に漏れないように
シール装置が設けられている。

従来のシール装置は、第４図に示すように、石
英管１のリング状鍔２を、上マニホルド３と下マ
ニホルド４で挟持し、該下マニホルド４のリング
溝５に嵌着したＯリング６で、該下マニホルド４
のリング溝５と該石英管１の鍔の下面を押圧シー
ルするものである。

なお、７は、石英管１の開口部を開閉するキヤ
ツプ、８は、下マニホルド４とキヤツプ７との間
をシールするシールリングである。

（考案が解決しようとする課題） 従来例の石英管のシール装置は、鍔２を設けて
いるので、シールし易いが、その反面、鍔２が石
英製なので、張力に対して極めて弱い。

そのため、下マニホルド４の上面に突出するＯ
リング６を鍔２で押しつぶす際、鍔２が傾いたり
して、鍔２に大きな曲モーメントが加わると破損
する恐れがある。

また、石英管は手作業で製造されるので、鍔２
の下面は、機械加工のように平坦となりにくい。

そのため、Ｏリングを押しつぶす際、石英管１
の鍔２は局部的に張力が加わるので、鍔２は益々
壊れやすくなる。また、Ｏリング６の押圧力は石
英管の圧力を増減しながら、ウエハ処理を行う場
合には、石英管内の圧力に応じて大気圧によりシ
ール部が押され、シール部材であるＯリング６の
押圧力が変化してしまう。

従つて、シール力が強すぎたり、又は、弱すぎ
たりすることがあるので、シール力を加減して適
切なシール力を常に維持することができない。

この考案は、上記事情に鑑み、壊れやすい石英
管の鍔の破壊事故を防止すると共にシール力の調
整を図ることを目的とする。

〔考案の構成〕

（課題を解決するための手段） この考案は、容器が所定の圧力に排気される容
器のシール装置において、上記容器のシール対向
部の少なくとも一方の面に設けられた環状溝部
と、この溝部に挿入され流体給排気口を備えた管
状の弾性体からなる環状シール部材と、前記流体
給排気口と接続された流体給排気管と、この流体
給排気管を介して上記環状シール部材に流体を導
入する流体給排気装置と、を設けたことを特徴と
するシール装置である。

（作用） 下マニホルドのリング構内に管状の弾性リング
を嵌着し、該リングが下マニホルドの上面に突出
いないように管状弾性リング内の空気を抜いた
後、石英管の鍔を、上マニホルドと下マニホルド
で挟持し固定する。

次に、流体給排口から空気を管状弾性リング内
に供給して弾性リングを膨らませ、鍔の下面に圧
接させてシールする。

（実施例） この考案の一実施例を添付図面により説明する
が、同一図面符号は、その名称も機能も同一であ
る。

CVDの石英管１０は、開口部１１を下方にし
て縦長に設置され、この開口部１１の外周縁に
は、リング状の鍔１２が形成されている。

この鍔１２は、上マニホルド１３と下マニホル
ド１４により挟持されているが、このマニホルド
１３，１４は、図示しない組立ボルトにより固定
されている。

下マニホルド１４の鍔１２の下面１２ａに対向
部にリング溝１６が形成され、また、このリング
溝１６は切欠部１５と連通している。

この溝１６には、流体室１７ａを備えた管状の
弾性リング１７が嵌着されているが、このリング
１７の流体室１７ａには、流体給排口１８が設け
られ、この給排口１８は、切欠部１５に嵌着した
パイプ１９に接続されている。

リング溝１６は、弾性リング１７の自然状態に
おける厚さｄ以上の深さＤに形成されている。２
０は、キヤツプ、２１は、下マニホルド１４とキ
ヤツプ２０との間をシールするためのシールリン
グである。

次に、この実施例の作動につき説明すると、図
示しない給排装置を駆動し、パイプ１９を介して
流体室１７ａ内の流体、例えば、空気を抜き弾性
リングを萎ませた後リング溝１６に該リング１７
を嵌着する。

この下マニホルド１４の上面に石英管１０の鍔
１２を乗せ、その上を上マニホルド１３で押さえ
付けると共にマニホルド１３，１４を図示しない
組立ボルトで螺着し、第２図の状態にする。

この時、リング１７は、鍔の下面１２ａから完
全に離れているので、鍔１２に大きな曲げモーメ
ントがかかることはない。

次に、開口部１１にキヤツプ２０をかぶせると
共に給排装置により流体室に空気を供給して弾性
リングを膨らませながら鍔１２の下面１２ａにリ
ング１７を押圧し第１図の状態にしてシールす
る。この時、鍔１２は、マニホルド１３，１４に
より固定されているので、弾性リング１７の押圧
力を受けても、破損することが無い。

この押圧力の強さ、即ち、シール力の強さは流
体室１７ａに供給する空気量により調整するが、
シールに必要な強さであれば足りるので、石英管
内の圧力に対応させながらその強さを調整する。

この考案は、上記実施例に限定されるものでは
なく、例えば、縦型炉の代わりに、石英管を横長
に配設した横型炉に用いても良いことは勿論であ
る。

〔考案の効果〕

この考案は以上の様に構成したので次の如き顕
著な効果を奏する。

(1) もろく破損しやすい容器、例えば石英管の鍔
部をシールする場合には、流体給排気装置を用
いて環状シール部材の流体を抜き出して集めた
状態で該部材を環状溝部に挿入した後、石英管
の鍔を上下マニボルトで挟持するとともに前記
流体給排気装置を用いて環状シール部材に流体
を供給して膨らませて鍔の下面に押圧してシー
ルすることができる。

従つて、従来例と異なり、鍔に過大な曲げモ
ーメント等が加わらないので、シール部がもろ
く破損しやすい部材で形成されていても、破損
事故の発生を防止することができる。

(2) 流体給排気装置を用いて環状シール部材の膨
らませ具合を調整しシール圧力を調整できるの
で、容器内の圧力に見合つた最適なシール力を
維持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す縦断面図の要
部を示す図、第２図は第１図の他の状態を示す
図、第３図は弾性リングの斜視図、第４図は従来
例を示す平面図の一部断面図である。 １０……石英管、１２……鍔、１３……上マニ
ホルド、１４……下マニホルド、１６……リング
溝、１７……弾性リング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 容器が所定の圧力に排気される容器のシール装
   置において、上記容器のシール対向部の少なくと
   も一方の面に設けられた環状溝部と、この溝部に
   挿入され流体給排気口を備えた管状の弾性体から
   なる環状シール部材と、前記流体給排気口と接続
   された流体給排気管と、この流体給排気管を介し
   て上記環状シール部材に流体を導入する流体給排
   気装置と、を設けたことを特徴とするシール装
   置。