JPH0572400A - Ｘ線顕微鏡 - Google Patents
Ｘ線顕微鏡Info
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- JPH0572400A JPH0572400A JP23628891A JP23628891A JPH0572400A JP H0572400 A JPH0572400 A JP H0572400A JP 23628891 A JP23628891 A JP 23628891A JP 23628891 A JP23628891 A JP 23628891A JP H0572400 A JPH0572400 A JP H0572400A
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高品質の顕微像で生体観察ができ得、而も
作製する際の設計や材料の選択に有利なＸ線顕微鏡シス
テムを提供する。 【構成】 Ｘ線光路中に、４３．７Åから６５Åの波
長に対し透過性のあるＸ線フィルター９と、１００ｎｍ
より長い波長の紫外光を該Ｘ線フィルター９に反射させ
てサンプル３に照射するための紫外光源７を設ける。
作製する際の設計や材料の選択に有利なＸ線顕微鏡シス
テムを提供する。 【構成】 Ｘ線光路中に、４３．７Åから６５Åの波
長に対し透過性のあるＸ線フィルター９と、１００ｎｍ
より長い波長の紫外光を該Ｘ線フィルター９に反射させ
てサンプル３に照射するための紫外光源７を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、Ｘ線光源やＸ線光学素子の研究開
発が進み、その応用システムの一つとして、Ｘ線顕微鏡
が提案されている。図８乃至図１０に示すように、Ｘ線
顕微鏡に用いられる光学素子には様々のタイプがある。
図８は、ウォルター型の反射光学系を示している（図
中、反射面は実線部分のみである）。これは、反射面に
Ｘ線を大きな入射角で入射し、この面での全反射を利用
してＸ線を反射させるもので、斜入射光学系と呼ばれる
ものの一種である。図９は、回折を利用したフレネルゾ
ーンプレートである。図１０は、２枚の球面鏡に多層膜
をコートした直入射型のシュワルツシルド光学系であ
る。この光学系では、多層膜が人工格子を形成しこの格
子による回折を利用してＸ線を反射させている。
発が進み、その応用システムの一つとして、Ｘ線顕微鏡
が提案されている。図８乃至図１０に示すように、Ｘ線
顕微鏡に用いられる光学素子には様々のタイプがある。
図８は、ウォルター型の反射光学系を示している（図
中、反射面は実線部分のみである）。これは、反射面に
Ｘ線を大きな入射角で入射し、この面での全反射を利用
してＸ線を反射させるもので、斜入射光学系と呼ばれる
ものの一種である。図９は、回折を利用したフレネルゾ
ーンプレートである。図１０は、２枚の球面鏡に多層膜
をコートした直入射型のシュワルツシルド光学系であ
る。この光学系では、多層膜が人工格子を形成しこの格
子による回折を利用してＸ線を反射させている。
【０００３】又、最近では、軟Ｘ線は生体試料に与える
ダメージが少ないという特性を利用して、生体を高解像
度且つ無染色で観察でき得る生物顕微鏡への応用も注目
されている。とりわけ、Ｘ線の波長λがλ＝４３．７Å
〜２３．６Åの波長帯域においては、炭素のＸ線吸収率
が高く而も、水分子に対するＸ線の透過率も高いので、
これを生物顕微鏡に応用すれば、水中でも主な構成原子
が炭素であるタンパク質の透過顕微像が良好なコントラ
ストで観察可能となる。従って、各研究機関では、この
波長帯域において高精度で利用され得るＸ線多層膜鏡や
フィルター等の光学素子，光源，検出器等の研究開発が
行われている。
ダメージが少ないという特性を利用して、生体を高解像
度且つ無染色で観察でき得る生物顕微鏡への応用も注目
されている。とりわけ、Ｘ線の波長λがλ＝４３．７Å
〜２３．６Åの波長帯域においては、炭素のＸ線吸収率
が高く而も、水分子に対するＸ線の透過率も高いので、
これを生物顕微鏡に応用すれば、水中でも主な構成原子
が炭素であるタンパク質の透過顕微像が良好なコントラ
ストで観察可能となる。従って、各研究機関では、この
波長帯域において高精度で利用され得るＸ線多層膜鏡や
フィルター等の光学素子，光源，検出器等の研究開発が
行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、前記したλ
＝４３．７Å〜２３．６Åの波長帯域においては、Ｘ線
顕微鏡として利用し得る十分な精度を実現・保証した光
学素子の作製が困難であるといった問題がある。一般
に、高い反射率を有する多層膜反射鏡を設計する場合、
できる限り屈折率の差の大きい２種類の物質を交互に堆
積して多層膜を形成する必要がある。しかし、この波長
帯域では、殆どの物質の屈折率が１に近く、屈折率差の
大きい２種類の物質を選択することは困難である。又、
Ｎｉ（ニッケル）とＳｃ（スカンジウム）を交互に積層
するタイプ（Ｎｉ／Ｓｃ）、ＮｉとＴｉ（チタン）を交
互に積層するタイプ（Ｎｉ／Ｔｉ）等反射率が多少大き
く見込める材料も提案されているが、これらは蒸着する
際に結晶化し易いため均一な製膜が難しく、更に、現在
の製膜技術において、λ＝４４Å〜２０Åの波長帯域の
直入射鏡は、多層膜の１周期（積層する２つの物質の組
の厚さ）が２０Å以下とならざるを得ず、多層膜自体の
作製が困難である。又更に、このλ＝４３．７Å〜２
３．６Åの波長帯域は、炭素のＸ線に対する吸収率が高
いので、有機材料をフィルターとして用いることが出来
ず、フィルター材料の選択の幅が狭いという問題もあ
る。従って、実用上の精度が保証されたＸ線顕微鏡の設
計は難しく、材料の選択においても充分な検討が必要で
ある。
＝４３．７Å〜２３．６Åの波長帯域においては、Ｘ線
顕微鏡として利用し得る十分な精度を実現・保証した光
学素子の作製が困難であるといった問題がある。一般
に、高い反射率を有する多層膜反射鏡を設計する場合、
できる限り屈折率の差の大きい２種類の物質を交互に堆
積して多層膜を形成する必要がある。しかし、この波長
帯域では、殆どの物質の屈折率が１に近く、屈折率差の
大きい２種類の物質を選択することは困難である。又、
Ｎｉ（ニッケル）とＳｃ（スカンジウム）を交互に積層
するタイプ（Ｎｉ／Ｓｃ）、ＮｉとＴｉ（チタン）を交
互に積層するタイプ（Ｎｉ／Ｔｉ）等反射率が多少大き
く見込める材料も提案されているが、これらは蒸着する
際に結晶化し易いため均一な製膜が難しく、更に、現在
の製膜技術において、λ＝４４Å〜２０Åの波長帯域の
直入射鏡は、多層膜の１周期（積層する２つの物質の組
の厚さ）が２０Å以下とならざるを得ず、多層膜自体の
作製が困難である。又更に、このλ＝４３．７Å〜２
３．６Åの波長帯域は、炭素のＸ線に対する吸収率が高
いので、有機材料をフィルターとして用いることが出来
ず、フィルター材料の選択の幅が狭いという問題もあ
る。従って、実用上の精度が保証されたＸ線顕微鏡の設
計は難しく、材料の選択においても充分な検討が必要で
ある。
【０００５】本発明は、従来の技術の有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、高品質の顕微像で生体観察ができ得、而も作製
する際の設計や材料の選択に有利なＸ線顕微鏡システム
を提供しようとするものである。
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、高品質の顕微像で生体観察ができ得、而も作製
する際の設計や材料の選択に有利なＸ線顕微鏡システム
を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】現在、λ＝４
３．７Å〜２３．６Å以外の波長帯域で、コントラスト
が高く且つ選択的に特定のタンパク質分子の顕微像が得
られる方法が提案されている。この方法の原理及び本発
明のＸ線顕微鏡の手段と作用を、図１乃至図５を用いて
説明する。
３．７Å〜２３．６Å以外の波長帯域で、コントラスト
が高く且つ選択的に特定のタンパク質分子の顕微像が得
られる方法が提案されている。この方法の原理及び本発
明のＸ線顕微鏡の手段と作用を、図１乃至図５を用いて
説明する。
【０００７】図１及び図２は、炭素原子がＸ線を吸収し
たときの、電子の状態及び遷移の様子を示している。図
１（ａ）は、基底状態の炭素原子の電子配置を示すもの
で、１Ｓ軌道，２Ｓ軌道，２Ｐ軌道に夫々２個ずつ電子
（図中、符号Ｅで示す）が存在している様子を表してい
る。今、ここにＸ線を照射したとすると、該Ｘ線により
１Ｓ軌道の電子が励起されて電離し、炭素原子は１Ｓ軌
道に空孔を残す（図１（ｂ）参照。以下、これを第１遷
移という）。しかし、この状態はエネルギー的に非常に
不安定なため（図１（ｃ）参照）、２Ｐ軌道の電子が１
Ｓ軌道に遷移し、安定状態となる（図１（ｄ）参照。以
下、これを第２遷移という）。更に、この炭素がタンパ
ク質等の分子の構成要素であれば、２Ｐ軌道に空孔が生
じているので（図１（ｅ）参照）、炭素原子は周囲の構
成元素等から電子を捕獲し、初期の基底状態に復元する
（図１（ｆ）参照。これを第３遷移という）。通常、Ｘ
線顕微鏡を利用したタンパク質の透過顕微像の観察は、
Ｘ線を照射した際の第１遷移によるエネルギー吸収を利
用して行われる。この場合、Ｘ線の波長が炭素の吸収端
より短い波長でなければ、Ｘ線はタンパク質に吸収され
ず透過像のコントラストは悪くなる。
たときの、電子の状態及び遷移の様子を示している。図
１（ａ）は、基底状態の炭素原子の電子配置を示すもの
で、１Ｓ軌道，２Ｓ軌道，２Ｐ軌道に夫々２個ずつ電子
（図中、符号Ｅで示す）が存在している様子を表してい
る。今、ここにＸ線を照射したとすると、該Ｘ線により
１Ｓ軌道の電子が励起されて電離し、炭素原子は１Ｓ軌
道に空孔を残す（図１（ｂ）参照。以下、これを第１遷
移という）。しかし、この状態はエネルギー的に非常に
不安定なため（図１（ｃ）参照）、２Ｐ軌道の電子が１
Ｓ軌道に遷移し、安定状態となる（図１（ｄ）参照。以
下、これを第２遷移という）。更に、この炭素がタンパ
ク質等の分子の構成要素であれば、２Ｐ軌道に空孔が生
じているので（図１（ｅ）参照）、炭素原子は周囲の構
成元素等から電子を捕獲し、初期の基底状態に復元する
（図１（ｆ）参照。これを第３遷移という）。通常、Ｘ
線顕微鏡を利用したタンパク質の透過顕微像の観察は、
Ｘ線を照射した際の第１遷移によるエネルギー吸収を利
用して行われる。この場合、Ｘ線の波長が炭素の吸収端
より短い波長でなければ、Ｘ線はタンパク質に吸収され
ず透過像のコントラストは悪くなる。
【０００８】しかし、上述した電子の遷移を過程を逆に
して考察すると、入射すべきＸ線の波長が炭素の吸収端
より長い波長であっても、コントラストに優れた顕微像
を観察することが可能である。即ち、図２（ａ）に示し
た基底状態の炭素原子の電子配置において、先ず、基底
状態の２Ｐ軌道の電子を電離させ、２Ｐ軌道に空孔をつ
くる（図２（ｂ）参照。これは、第３遷移の逆過程であ
る）。更に、この状態で（図２（ｃ）参照）、Ｘ線によ
り１Ｓ軌道の電子を２Ｐ軌道の空孔に励起する（図２
（ｄ）参照。これは、第２遷移の逆過程である）。この
遷移は、炭素の吸収端よりも低い光子エネルギー，換言
すれば炭素の吸収端よりも長い波長のＸ線により実現で
きる。この状態は（図２（ｄ）参照）、前述した第１遷
移により基底状態より直接１Ｓ軌道の電子を電離した状
態と全く同じである。
して考察すると、入射すべきＸ線の波長が炭素の吸収端
より長い波長であっても、コントラストに優れた顕微像
を観察することが可能である。即ち、図２（ａ）に示し
た基底状態の炭素原子の電子配置において、先ず、基底
状態の２Ｐ軌道の電子を電離させ、２Ｐ軌道に空孔をつ
くる（図２（ｂ）参照。これは、第３遷移の逆過程であ
る）。更に、この状態で（図２（ｃ）参照）、Ｘ線によ
り１Ｓ軌道の電子を２Ｐ軌道の空孔に励起する（図２
（ｄ）参照。これは、第２遷移の逆過程である）。この
遷移は、炭素の吸収端よりも低い光子エネルギー，換言
すれば炭素の吸収端よりも長い波長のＸ線により実現で
きる。この状態は（図２（ｄ）参照）、前述した第１遷
移により基底状態より直接１Ｓ軌道の電子を電離した状
態と全く同じである。
【０００９】この方法において、２Ｐ軌道の電子を電離
させるために必要なエネルギーは、約５ｅＶ（２００ｎ
ｍ）程度であり、電離させる手段として紫外レーザー光
等が利用できる。又、１Ｓ軌道の電子を２Ｐ軌道に励起
するために必要なエネルギーは、第１遷移によって励起
させるときよりも約１０〜２０ｅＶ程度低くなる。図３
は、この様子を示しており、通常の吸収による電子の電
離，即ち第１遷移に対し、第２遷移の逆過程の方が若干
低いエネルギーで生ずることがわかる。タンパク質の炭
素原子の場合、第２遷移の逆過程による吸収波長は、ほ
ぼ４３〜６５Åの範囲になる。
させるために必要なエネルギーは、約５ｅＶ（２００ｎ
ｍ）程度であり、電離させる手段として紫外レーザー光
等が利用できる。又、１Ｓ軌道の電子を２Ｐ軌道に励起
するために必要なエネルギーは、第１遷移によって励起
させるときよりも約１０〜２０ｅＶ程度低くなる。図３
は、この様子を示しており、通常の吸収による電子の電
離，即ち第１遷移に対し、第２遷移の逆過程の方が若干
低いエネルギーで生ずることがわかる。タンパク質の炭
素原子の場合、第２遷移の逆過程による吸収波長は、ほ
ぼ４３〜６５Åの範囲になる。
【００１０】この方法については、Ｊ．Ｈ．Ｋｌｅｍｓ
により、以下に示す定量的な優位性が理論的に確認され
ている(J.K.Klems Phys.Rew Vol.43 (1991) 2041〜204
5) 。 (1) 炭素吸収端よりも長い波長のＸ線を利用できるの
で、光学定数に優れた多層膜鏡を作製出来、且つＷ（タ
ングステン）／Ｃ（炭素）等の製膜が容易な材料を選択
できる。 (2) タンパク質の種類により、２Ｐ軌道の電子が電離す
るのに必要なエネルギーが異なるため、紫外レーザー光
等の入射波長を調整することにより、特定のタンパク質
の炭素原子を選択的に電離できる。又、続いて起こる１
Ｓ軌道から２Ｐ軌道への電子遷移に要するエネルギーも
一義的に決まる。従って、これと同等の光子エネルギー
を持ったＸ線をプローブとすれば、特定のタンパク質の
透過顕微像が観察できる。又、透過顕微像のコントラス
トも、λ＝４３．７Å〜２３．６Åの波長帯域を利用し
た従来の方法と比較すると１桁以上高くなる。
により、以下に示す定量的な優位性が理論的に確認され
ている(J.K.Klems Phys.Rew Vol.43 (1991) 2041〜204
5) 。 (1) 炭素吸収端よりも長い波長のＸ線を利用できるの
で、光学定数に優れた多層膜鏡を作製出来、且つＷ（タ
ングステン）／Ｃ（炭素）等の製膜が容易な材料を選択
できる。 (2) タンパク質の種類により、２Ｐ軌道の電子が電離す
るのに必要なエネルギーが異なるため、紫外レーザー光
等の入射波長を調整することにより、特定のタンパク質
の炭素原子を選択的に電離できる。又、続いて起こる１
Ｓ軌道から２Ｐ軌道への電子遷移に要するエネルギーも
一義的に決まる。従って、これと同等の光子エネルギー
を持ったＸ線をプローブとすれば、特定のタンパク質の
透過顕微像が観察できる。又、透過顕微像のコントラス
トも、λ＝４３．７Å〜２３．６Åの波長帯域を利用し
た従来の方法と比較すると１桁以上高くなる。
【００１１】上述した原理をＸ線顕微鏡に応用すると、
高性能のＸ線顕微鏡システムを実現することができる。
一般的なＸ線顕微鏡システムは、図４に示すように、Ｘ
線光源より成る光学系１、集光のためのＸ線コンデンサ
レンズ２、観察すべきサンプル３、Ｘ線対物レンズ４、
フィルター５、検出器６より構成されている。対物レン
ズ４は、ゾーンプレートやシュワルツシルド光学系等の
波長分散型タイプとウォルター型のように白色光を集光
する斜入射鏡のタイプの２種類のタイプに分けられる
が、光学系１に白色光源を用いてウォルター型の対物レ
ンズを使用する場合は検出器６に入射する手前の光路上
に分光器を配置する必要がある。又、検出器６は、ＭＣ
Ｐ（マイクロチャネルプレート），ＣＣＤ等の撮像素子
が利用されるが、光学系１に白色光源を利用するときは
フィルタ５に、紫外光領域から長い波長の迷光をカット
するためＢｅ（ベリリウム）等の薄膜フィルターを設け
ている。
高性能のＸ線顕微鏡システムを実現することができる。
一般的なＸ線顕微鏡システムは、図４に示すように、Ｘ
線光源より成る光学系１、集光のためのＸ線コンデンサ
レンズ２、観察すべきサンプル３、Ｘ線対物レンズ４、
フィルター５、検出器６より構成されている。対物レン
ズ４は、ゾーンプレートやシュワルツシルド光学系等の
波長分散型タイプとウォルター型のように白色光を集光
する斜入射鏡のタイプの２種類のタイプに分けられる
が、光学系１に白色光源を用いてウォルター型の対物レ
ンズを使用する場合は検出器６に入射する手前の光路上
に分光器を配置する必要がある。又、検出器６は、ＭＣ
Ｐ（マイクロチャネルプレート），ＣＣＤ等の撮像素子
が利用されるが、光学系１に白色光源を利用するときは
フィルタ５に、紫外光領域から長い波長の迷光をカット
するためＢｅ（ベリリウム）等の薄膜フィルターを設け
ている。
【００１２】図５は、かかる構成に、前述したＪ．Ｈ．
Ｋｌｅｍｓの提案している方法を応用して成る本発明の
Ｘ線顕微鏡システムの基本概念図を示している。図５に
おいて、１は光学系、２はＸ線コンデンサレンズ、３は
タンパク質等より構成されている観察すべきサンプル、
４はＸ線対物レンズ、６は検出器、７は紫外レーザー光
を出力する紫外光源、８は集光レンズ、９はＸ線フィル
ターである。基本的な構成は、図４に示したシステムと
同じであるが、本発明のシステムはサンプル３とＸ線対
物レンズ４の間にＸ線フィルター９を設けている。この
Ｘ線フィルター９は、Ｂｅ等の薄膜できており、６５Å
〜４３Åの波長帯域の入射光に対しては高い透過率を有
すると共に、紫外光領域の入射光に対しては高い反射率
を有する特性のものを選択する。従って、サンプル３を
撮像する際に、第２遷移の逆過程に対応する光子エネル
ギーのＸ線を光学系１より又、第３遷移の逆過程に対応
する光子エネルギーに調整された紫外レーザー光を紫外
光源７よりサンプル３に同時に照射すれば、特定のタン
パク質の炭素原子のみを電離することが可能となり、検
出器６を介してサンプル３の透過顕微像を得ることがで
きる。而も、Ｘ線フィルター９は検出器６において画像
ノイズとなる紫外光領域より長い波長の迷光を反射する
ので、ノイズ成分がカットされた高品質の画像で透過顕
微像を観察することができる。
Ｋｌｅｍｓの提案している方法を応用して成る本発明の
Ｘ線顕微鏡システムの基本概念図を示している。図５に
おいて、１は光学系、２はＸ線コンデンサレンズ、３は
タンパク質等より構成されている観察すべきサンプル、
４はＸ線対物レンズ、６は検出器、７は紫外レーザー光
を出力する紫外光源、８は集光レンズ、９はＸ線フィル
ターである。基本的な構成は、図４に示したシステムと
同じであるが、本発明のシステムはサンプル３とＸ線対
物レンズ４の間にＸ線フィルター９を設けている。この
Ｘ線フィルター９は、Ｂｅ等の薄膜できており、６５Å
〜４３Åの波長帯域の入射光に対しては高い透過率を有
すると共に、紫外光領域の入射光に対しては高い反射率
を有する特性のものを選択する。従って、サンプル３を
撮像する際に、第２遷移の逆過程に対応する光子エネル
ギーのＸ線を光学系１より又、第３遷移の逆過程に対応
する光子エネルギーに調整された紫外レーザー光を紫外
光源７よりサンプル３に同時に照射すれば、特定のタン
パク質の炭素原子のみを電離することが可能となり、検
出器６を介してサンプル３の透過顕微像を得ることがで
きる。而も、Ｘ線フィルター９は検出器６において画像
ノイズとなる紫外光領域より長い波長の迷光を反射する
ので、ノイズ成分がカットされた高品質の画像で透過顕
微像を観察することができる。
【００１３】
【実施例】以下、実施例を図面を参照して説明する。実施例１ 図６は、光学系にＸ線光源の代わりにＳＯＲ（放射光）
光源を用いると共に、Ｘ線光学素子としてフレネルゾー
ンプレートを利用した場合の実施例を示している。図６
において、１１はＳＯＲ光源の光学系、１２は結晶分光
器、１３はタンパク質等より構成されているサンプル、
１４はコンデンサーゾーンプレート、１５は対物ゾーン
プレート、１６はＭＣＰより成る検出器、１７は紫外光
源、１８は集光レンズ、１９はＸ線フィルターである。
Ｘ線フィルター１９は、厚さ３０００Å程度のＢｅ薄膜
より成りサンプル１３と対物ゾーンプレート１５の間に
Ｘ線顕微鏡の光軸に対して４５°の傾きを持って配置さ
れていて、紫外光源１７より照射される紫外レーザー光
を該Ｂｅ薄膜により反射してサンプル１３の背面へ照射
するようになっている。又、該Ｂｅ薄膜は、紫外光領域
から長い波長の入射光に対しては透過率が低いため、画
像ノイズとなる迷光が検出器１６に入らないようにする
ための遮蔽作用も成している。
光源を用いると共に、Ｘ線光学素子としてフレネルゾー
ンプレートを利用した場合の実施例を示している。図６
において、１１はＳＯＲ光源の光学系、１２は結晶分光
器、１３はタンパク質等より構成されているサンプル、
１４はコンデンサーゾーンプレート、１５は対物ゾーン
プレート、１６はＭＣＰより成る検出器、１７は紫外光
源、１８は集光レンズ、１９はＸ線フィルターである。
Ｘ線フィルター１９は、厚さ３０００Å程度のＢｅ薄膜
より成りサンプル１３と対物ゾーンプレート１５の間に
Ｘ線顕微鏡の光軸に対して４５°の傾きを持って配置さ
れていて、紫外光源１７より照射される紫外レーザー光
を該Ｂｅ薄膜により反射してサンプル１３の背面へ照射
するようになっている。又、該Ｂｅ薄膜は、紫外光領域
から長い波長の入射光に対しては透過率が低いため、画
像ノイズとなる迷光が検出器１６に入らないようにする
ための遮蔽作用も成している。
【００１４】本実施例は、上記の如く構成されているの
で、サンプル１３を撮像する際に、第２遷移の逆過程に
対応する光子エネルギーの放射光を光学系１１より又、
第３遷移の逆過程に対応する光子エネルギーに調整され
た紫外レーザー光を紫外光源１７よりサンプル１３に同
時に照射すれば、特定のタンパク質の炭素原子のみを電
離することが出来又、Ｘ線フィルター９によりノイズ成
分である迷光はカットされるので、検出器１６を介して
サンプル１３の透過顕微像を高品質の画像で観察するこ
とができる。
で、サンプル１３を撮像する際に、第２遷移の逆過程に
対応する光子エネルギーの放射光を光学系１１より又、
第３遷移の逆過程に対応する光子エネルギーに調整され
た紫外レーザー光を紫外光源１７よりサンプル１３に同
時に照射すれば、特定のタンパク質の炭素原子のみを電
離することが出来又、Ｘ線フィルター９によりノイズ成
分である迷光はカットされるので、検出器１６を介して
サンプル１３の透過顕微像を高品質の画像で観察するこ
とができる。
【００１５】実施例２ 図７は、光学系としてターゲットにＹＡＧレーザー光を
収束してターゲットの被照射部をプラズマ化し、そこか
らＸ線を出力するレーザープラズマ光源を用いると共
に、Ｘ線コンデンサーレンズにウォルター型ミラー、Ｘ
線対物レンズにシュワルツシルド光学系を利用した場合
の実施例を示している。図７において、２０はレーザー
プラズマ光源、２１はレーザープラズマ光源２１よりＹ
ＡＧレーザー光が入射されてＸ線を出力するレーザープ
ラズマターゲット、２２はウォルター型ミラーのＸ線コ
ンデンサーレンズ、２３はサンプル、２４はシュワツシ
ルド光学系のＸ線対物レンズ、２５はＫＤＰ結晶、２６
はＭＣＰより成る検出器、２７はレーザープラズマ光源
２１より出力されたＹＡＧレーザー光を分岐するための
ハーフミラー、２８はミラー、２９はＸ線フィルター、
３０，３１は集光レンズである。
収束してターゲットの被照射部をプラズマ化し、そこか
らＸ線を出力するレーザープラズマ光源を用いると共
に、Ｘ線コンデンサーレンズにウォルター型ミラー、Ｘ
線対物レンズにシュワルツシルド光学系を利用した場合
の実施例を示している。図７において、２０はレーザー
プラズマ光源、２１はレーザープラズマ光源２１よりＹ
ＡＧレーザー光が入射されてＸ線を出力するレーザープ
ラズマターゲット、２２はウォルター型ミラーのＸ線コ
ンデンサーレンズ、２３はサンプル、２４はシュワツシ
ルド光学系のＸ線対物レンズ、２５はＫＤＰ結晶、２６
はＭＣＰより成る検出器、２７はレーザープラズマ光源
２１より出力されたＹＡＧレーザー光を分岐するための
ハーフミラー、２８はミラー、２９はＸ線フィルター、
３０，３１は集光レンズである。
【００１６】本実施例の作用は、基本的には前記実施例
１と同様であるが、ターゲット２１でＸ線を発生させる
ためにレーザープラズマ光源２０より出力されるＹＡＧ
レーザー光の一部を、ハーフミラー２７で分岐し、分岐
したレーザー光からＫＤＰ結晶２５により紫外光波長領
域の２倍の高調波を作り、該高調波をＸ線フィルター２
９を介して第３遷移の逆過程に対応する光子エネルギー
をサンプル２３に射出するようになっているので、紫外
レーザー光を出力するための紫外光源は不要となる。
尚、Ｘ線対物レンズ２４のシュワツシルド光学系に用い
られる多層膜鏡は、Ｗ／Ｃによるものが優れており、波
長４５Åの光学系を直入射で入射する場合、積層数が２
００層のものであれば、約３０％の反射率を得ることが
できる。
１と同様であるが、ターゲット２１でＸ線を発生させる
ためにレーザープラズマ光源２０より出力されるＹＡＧ
レーザー光の一部を、ハーフミラー２７で分岐し、分岐
したレーザー光からＫＤＰ結晶２５により紫外光波長領
域の２倍の高調波を作り、該高調波をＸ線フィルター２
９を介して第３遷移の逆過程に対応する光子エネルギー
をサンプル２３に射出するようになっているので、紫外
レーザー光を出力するための紫外光源は不要となる。
尚、Ｘ線対物レンズ２４のシュワツシルド光学系に用い
られる多層膜鏡は、Ｗ／Ｃによるものが優れており、波
長４５Åの光学系を直入射で入射する場合、積層数が２
００層のものであれば、約３０％の反射率を得ることが
できる。
【００１７】上述した実施例において、Ｘ線フィルター
はサンプルとＸ線対物レンズの間に配置するよう構成し
たが、勿論この位置に限定されるものではなく、使用さ
れるべき光学素子等の材料により、システムの設計時に
適宜最良の位置に配置すればよい。
はサンプルとＸ線対物レンズの間に配置するよう構成し
たが、勿論この位置に限定されるものではなく、使用さ
れるべき光学素子等の材料により、システムの設計時に
適宜最良の位置に配置すればよい。
【００１８】
【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、λ＝４
３．７Å〜２３．６Åより長い波長をＸ線顕微鏡のプロ
ーブとすることにより、コントラストの高い高品質の透
過顕微像で生体観察ができ得、而もＸ線顕微鏡システム
を作製する際の設計や材料の選択においても有利であ
る。更に、サンプルを照射するＸ線と紫外光の波長を選
択することにより、特定のタンパク質の観察・分析がで
きるので、観察時の情報量の多さという点でも優れてい
る。
３．７Å〜２３．６Åより長い波長をＸ線顕微鏡のプロ
ーブとすることにより、コントラストの高い高品質の透
過顕微像で生体観察ができ得、而もＸ線顕微鏡システム
を作製する際の設計や材料の選択においても有利であ
る。更に、サンプルを照射するＸ線と紫外光の波長を選
択することにより、特定のタンパク質の観察・分析がで
きるので、観察時の情報量の多さという点でも優れてい
る。
【図１】炭素原子がＸ線を吸収したときの電子の遷移状
態を示した図である。
態を示した図である。
【図２】本発明に示した原理により、炭素原子の電子が
遷移する状態を示した図である。
遷移する状態を示した図である。
【図３】炭素原子の２Ｐ軌道の電子が遷移するのに要す
るエネルギーを本発明の方法による場合と従来の方法に
よる場合との比較を示すグラフである。
るエネルギーを本発明の方法による場合と従来の方法に
よる場合との比較を示すグラフである。
【図４】一般的なＸ線顕微鏡システムの構成を示す図で
ある。
ある。
【図５】本発明によるＸ線顕微鏡システムの基本構成を
示す図である。
示す図である。
【図６】本発明によるＸ線顕微鏡システムの一実施例の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図７】本発明によるＸ線顕微鏡システムの他の実施例
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図８】ウォルター型の反射光学系の基本構成を示す図
である。
である。
【図９】フレネルゾーンプレートの基本構成を示す図で
ある。
ある。
【図１０】直入射型のシュワルツシルド光学系の基本構
成を示す図である。
成を示す図である。
１、１１ 光学系 ２、２２ Ｘ線コンデンサーレンズ ３、１３、２３ サンプル ４、２４ Ｘ線対物レンズ ５ フィルター ６、１６、２６ 検出器 ７、１７ 紫外光源 ８、１８、３０、３１ 集光レンズ ９、１９、２９ Ｘ線フィルター １２ 結晶分光器 １４ コンデンサーゾーンプレート １５ 対物ゾーンプレート ２０ レーザープラズマ光源 ２１ レーザープラズマターゲット ２５ ＫＤＰ結晶 ２７ ハーフミラー ２８ ミラー
【手続補正書】
【提出日】平成４年２月３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】この方法については、Ｊ．Ｈ．Ｋｌｅｍｓ
により、以下に示す定量的な優位性が理論的に確認され
ている(J.K.Klems Phys.Rew Vol.43 (1991) 2041〜204
5) 。 (1) 炭素吸収端よりも長い波長のＸ線を利用できるの
で、多層膜鏡を作製する際、光学定数に優れ且つ製膜が
容易なＷ（タングステン）／Ｃ（炭素）等の実績のある
材料を選択できる。 (2) タンパク質の種類により、２Ｐ軌道の電子が電離す
るのに必要なエネルギーが異なるため、紫外レーザー光
等の入射波長を調整することにより、特定のタンパク質
の炭素原子を選択的に電離できる。又、続いて起こる１
Ｓ軌道から２Ｐ軌道への電子遷移に要するエネルギーも
一義的に決まる。従って、これと同等の光子エネルギー
を持ったＸ線をプローブとすれば、特定のタンパク質の
透過顕微像が観察できる。又、透過顕微像のコントラス
トも、λ＝４３．７Å〜２３．６Åの波長帯域を利用し
た従来の方法と比較すると１桁以上高くなる。
により、以下に示す定量的な優位性が理論的に確認され
ている(J.K.Klems Phys.Rew Vol.43 (1991) 2041〜204
5) 。 (1) 炭素吸収端よりも長い波長のＸ線を利用できるの
で、多層膜鏡を作製する際、光学定数に優れ且つ製膜が
容易なＷ（タングステン）／Ｃ（炭素）等の実績のある
材料を選択できる。 (2) タンパク質の種類により、２Ｐ軌道の電子が電離す
るのに必要なエネルギーが異なるため、紫外レーザー光
等の入射波長を調整することにより、特定のタンパク質
の炭素原子を選択的に電離できる。又、続いて起こる１
Ｓ軌道から２Ｐ軌道への電子遷移に要するエネルギーも
一義的に決まる。従って、これと同等の光子エネルギー
を持ったＸ線をプローブとすれば、特定のタンパク質の
透過顕微像が観察できる。又、透過顕微像のコントラス
トも、λ＝４３．７Å〜２３．６Åの波長帯域を利用し
た従来の方法と比較すると１桁以上高くなる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】上述した原理をＸ線顕微鏡に応用すると、
高性能のＸ線顕微鏡システムを実現することができる。
一般的なＸ線顕微鏡システムは、図４に示すように、Ｘ
線光源１、集光のためのＸ線コンデンサレンズ２、観察
すべきサンプル３、Ｘ線対物レンズ４、フィルター５、
検出器６より構成されている。対物レンズ４は、ゾーン
プレートやシュワルツシルド光学系等の波長分散型タイ
プとウォルター型のように白色光を集光する斜入射鏡の
タイプの２種類のタイプに分けられるが、光源１に白色
光源を用いてウォルター型の対物レンズを使用する場合
は検出器６に入射する手前の光路上に分光器を配置する
必要がある。又、検出器６は、ＭＣＰ（マイクロチャネ
ルプレート），ＣＣＤ等の撮像素子が利用されるが、光
源１に白色光源を利用するときはフィルタ５に、紫外光
領域から長い波長の迷光をカットするためＢｅ（ベリリ
ウム）等の薄膜フィルターを設けている。
高性能のＸ線顕微鏡システムを実現することができる。
一般的なＸ線顕微鏡システムは、図４に示すように、Ｘ
線光源１、集光のためのＸ線コンデンサレンズ２、観察
すべきサンプル３、Ｘ線対物レンズ４、フィルター５、
検出器６より構成されている。対物レンズ４は、ゾーン
プレートやシュワルツシルド光学系等の波長分散型タイ
プとウォルター型のように白色光を集光する斜入射鏡の
タイプの２種類のタイプに分けられるが、光源１に白色
光源を用いてウォルター型の対物レンズを使用する場合
は検出器６に入射する手前の光路上に分光器を配置する
必要がある。又、検出器６は、ＭＣＰ（マイクロチャネ
ルプレート），ＣＣＤ等の撮像素子が利用されるが、光
源１に白色光源を利用するときはフィルタ５に、紫外光
領域から長い波長の迷光をカットするためＢｅ（ベリリ
ウム）等の薄膜フィルターを設けている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】図５は、かかる構成に、前述したＪ．Ｈ．
Ｋｌｅｍｓの提案している方法を応用して成る本発明の
Ｘ線顕微鏡システムの基本概念図を示している。図５に
おいて、１は光源、２はＸ線コンデンサレンズ、３はタ
ンパク質等より構成されている観察すべきサンプル、４
はＸ線対物レンズ、６は検出器、７は紫外レーザー光を
出力する紫外光源、８は集光レンズ、９はＸ線フィルタ
ーである。基本的な構成は、図４に示したシステムと同
じであるが、本発明のシステムはサンプル３とＸ線対物
レンズ４の間にＸ線フィルター９を設けている。このＸ
線フィルター９は、Ｂｅ等の薄膜できており、６５Å〜
４３Åの波長帯域の入射光に対しては高い透過率を有す
ると共に、紫外光領域の入射光に対しては高い反射率を
有する特性のものを選択する。従って、サンプル３を撮
像する際に、第２遷移の逆過程に対応する光子エネルギ
ーのＸ線を光源１より又、第３遷移の逆過程に対応する
光子エネルギーに調整された紫外レーザー光を紫外光源
７よりサンプル３に同時に照射すれば、特定のタンパク
質の炭素原子のみを電離することが可能となり、検出器
６を介してサンプル３の透過顕微像を得ることができ
る。而も、Ｘ線フィルター９は検出器６において画像ノ
イズとなる紫外光領域より長い波長の迷光を反射するの
で、ノイズ成分がカットされた高品質の画像で透過顕微
像を観察することができる。
Ｋｌｅｍｓの提案している方法を応用して成る本発明の
Ｘ線顕微鏡システムの基本概念図を示している。図５に
おいて、１は光源、２はＸ線コンデンサレンズ、３はタ
ンパク質等より構成されている観察すべきサンプル、４
はＸ線対物レンズ、６は検出器、７は紫外レーザー光を
出力する紫外光源、８は集光レンズ、９はＸ線フィルタ
ーである。基本的な構成は、図４に示したシステムと同
じであるが、本発明のシステムはサンプル３とＸ線対物
レンズ４の間にＸ線フィルター９を設けている。このＸ
線フィルター９は、Ｂｅ等の薄膜できており、６５Å〜
４３Åの波長帯域の入射光に対しては高い透過率を有す
ると共に、紫外光領域の入射光に対しては高い反射率を
有する特性のものを選択する。従って、サンプル３を撮
像する際に、第２遷移の逆過程に対応する光子エネルギ
ーのＸ線を光源１より又、第３遷移の逆過程に対応する
光子エネルギーに調整された紫外レーザー光を紫外光源
７よりサンプル３に同時に照射すれば、特定のタンパク
質の炭素原子のみを電離することが可能となり、検出器
６を介してサンプル３の透過顕微像を得ることができ
る。而も、Ｘ線フィルター９は検出器６において画像ノ
イズとなる紫外光領域より長い波長の迷光を反射するの
で、ノイズ成分がカットされた高品質の画像で透過顕微
像を観察することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】
【実施例】以下、実施例を図面を参照して説明する。実施例１ 図６は、光源としてＳＯＲ（放射光）光源を用いると共
に、Ｘ線光学素子としてフレネルゾーンプレートを利用
した場合の実施例を示している。図６において、１１は
ＳＯＲ光源、１２は結晶分光器、１３はタンパク質等よ
り構成されているサンプル、１４はコンデンサーゾーン
プレート、１５は対物ゾーンプレート、１６はＭＣＰよ
り成る検出器、１７は紫外光源、１８は集光レンズ、１
９はＸ線フィルターである。Ｘ線フィルター１９は、厚
さ３０００Å程度のＢｅ薄膜より成りサンプル１３と対
物ゾーンプレート１５の間にＸ線顕微鏡の光軸に対して
４５°の傾きを持って配置されていて、紫外光源１７よ
り照射される紫外レーザー光を該Ｂｅ薄膜により反射し
てサンプル１３の背面へ照射するようになっている。
又、該Ｂｅ薄膜は、紫外光領域から長い波長の入射光に
対しては透過率が低いため、画像ノイズとなる迷光が検
出器１６に入らないようにするための遮蔽作用も成して
いる。
に、Ｘ線光学素子としてフレネルゾーンプレートを利用
した場合の実施例を示している。図６において、１１は
ＳＯＲ光源、１２は結晶分光器、１３はタンパク質等よ
り構成されているサンプル、１４はコンデンサーゾーン
プレート、１５は対物ゾーンプレート、１６はＭＣＰよ
り成る検出器、１７は紫外光源、１８は集光レンズ、１
９はＸ線フィルターである。Ｘ線フィルター１９は、厚
さ３０００Å程度のＢｅ薄膜より成りサンプル１３と対
物ゾーンプレート１５の間にＸ線顕微鏡の光軸に対して
４５°の傾きを持って配置されていて、紫外光源１７よ
り照射される紫外レーザー光を該Ｂｅ薄膜により反射し
てサンプル１３の背面へ照射するようになっている。
又、該Ｂｅ薄膜は、紫外光領域から長い波長の入射光に
対しては透過率が低いため、画像ノイズとなる迷光が検
出器１６に入らないようにするための遮蔽作用も成して
いる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】本実施例は、上記の如く構成されているの
で、サンプル１３を撮像する際に、第２遷移の逆過程に
対応する光子エネルギーの放射光を光源１１より又、第
３遷移の逆過程に対応する光子エネルギーに調整された
紫外レーザー光を紫外光源１７よりサンプル１３に同時
に照射すれば、特定のタンパク質の炭素原子のみを電離
することが出来又、Ｘ線フィルター９によりノイズ成分
である迷光はカットされるので、検出器１６を介してサ
ンプル１３の透過顕微像を高品質の画像で観察すること
ができる。
で、サンプル１３を撮像する際に、第２遷移の逆過程に
対応する光子エネルギーの放射光を光源１１より又、第
３遷移の逆過程に対応する光子エネルギーに調整された
紫外レーザー光を紫外光源１７よりサンプル１３に同時
に照射すれば、特定のタンパク質の炭素原子のみを電離
することが出来又、Ｘ線フィルター９によりノイズ成分
である迷光はカットされるので、検出器１６を介してサ
ンプル１３の透過顕微像を高品質の画像で観察すること
ができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】実施例２ 図７は、光源としてターゲットにＹＡＧレーザー光を収
束してターゲットの被照射部をプラズマ化し、そこから
Ｘ線を出力するレーザープラズマ光源を用いると共に、
Ｘ線コンデンサーレンズにウォルター型ミラー、Ｘ線対
物レンズにシュワルツシルド光学系を利用した場合の実
施例を示している。図７において、２０はレーザー光
源、２１はレーザー光源２０からのＹＡＧレーザー光で
照射されてＸ線を出力するレーザープラズマターゲッ
ト、２２はウォルター型ミラーのＸ線コンデンサーレン
ズ、２３はサンプル、２４はシュワツシルド光学系のＸ
線対物レンズ、２５はＫＤＰ結晶、２６はＭＣＰより成
る検出器、２７はレーザー光源２０より出力されたＹＡ
Ｇレーザー光を分岐するためのハーフミラー、２８はミ
ラー、２９はＸ線フィルター、３０，３１は集光レンズ
である。
束してターゲットの被照射部をプラズマ化し、そこから
Ｘ線を出力するレーザープラズマ光源を用いると共に、
Ｘ線コンデンサーレンズにウォルター型ミラー、Ｘ線対
物レンズにシュワルツシルド光学系を利用した場合の実
施例を示している。図７において、２０はレーザー光
源、２１はレーザー光源２０からのＹＡＧレーザー光で
照射されてＸ線を出力するレーザープラズマターゲッ
ト、２２はウォルター型ミラーのＸ線コンデンサーレン
ズ、２３はサンプル、２４はシュワツシルド光学系のＸ
線対物レンズ、２５はＫＤＰ結晶、２６はＭＣＰより成
る検出器、２７はレーザー光源２０より出力されたＹＡ
Ｇレーザー光を分岐するためのハーフミラー、２８はミ
ラー、２９はＸ線フィルター、３０，３１は集光レンズ
である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】本実施例の作用は、基本的には前記実施例
１と同様であるが、ターゲット２１でＸ線を発生させる
ためにレーザー光源２０より出力されるＹＡＧレーザー
光の一部を、ハーフミラー２７で分岐し、分岐したレー
ザー光からＫＤＰ結晶２５により紫外光波長領域の２倍
の高調波を作り、該高調波をＸ線フィルター２９を介し
て第３遷移の逆過程に対応する光子エネルギーをサンプ
ル２３に射出するようになっているので、紫外レーザー
光を出力するための紫外光源は不要となる。尚、Ｘ線対
物レンズ２４のシュワツシルド光学系に用いられる多層
膜鏡は、Ｗ／Ｃによるものが優れており、波長４５Åの
光学系を直入射で入射する場合、積層数が２００層のも
のであれば、約３０％の反射率を得ることができる。
１と同様であるが、ターゲット２１でＸ線を発生させる
ためにレーザー光源２０より出力されるＹＡＧレーザー
光の一部を、ハーフミラー２７で分岐し、分岐したレー
ザー光からＫＤＰ結晶２５により紫外光波長領域の２倍
の高調波を作り、該高調波をＸ線フィルター２９を介し
て第３遷移の逆過程に対応する光子エネルギーをサンプ
ル２３に射出するようになっているので、紫外レーザー
光を出力するための紫外光源は不要となる。尚、Ｘ線対
物レンズ２４のシュワツシルド光学系に用いられる多層
膜鏡は、Ｗ／Ｃによるものが優れており、波長４５Åの
光学系を直入射で入射する場合、積層数が２００層のも
のであれば、約３０％の反射率を得ることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【符号の説明】 １、１１ 光源 ２、２２ Ｘ線コンデンサーレンズ ３、１３、２３ サンプル ４、２４ Ｘ線対物レンズ ５ フィルター ６、１６、２６ 検出器 ７、１７ 紫外光源 ８、１８、３０、３１ 集光レンズ ９、１９、２９ Ｘ線フィルター １２ 結晶分光器 １４ コンデンサーゾーンプレート １５ 対物ゾーンプレート ２０ レーザー光源 ２１ レーザープラズマターゲット ２５ ＫＤＰ結晶 ２７ ハーフミラー ２８ ミラー ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年２月３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図８】
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線光源より発するＸ線をサンプルに照
射し、該サンプルを透過したＸ線から物体像を得るよう
にしたＸ線顕微鏡において、Ｘ線光路中に４３．７Åか
ら６５Åの波長に対し透過性のあるＸ線フィルターを設
けると共に、１００ｎｍより長い波長の紫外光を上記Ｘ
線フィルターにより反射させて上記サンプルに照射する
ための紫外光源を具備したことを特徴とするＸ線顕微
鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23628891A JPH0572400A (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | Ｘ線顕微鏡 |
| US07/945,700 US5216699A (en) | 1991-09-17 | 1992-09-16 | X-ray microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23628891A JPH0572400A (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | Ｘ線顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572400A true JPH0572400A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=16998572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23628891A Withdrawn JPH0572400A (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | Ｘ線顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0572400A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11160500A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Japan Science & Technology Corp | Ｘ線顕微鏡 |
-
1991
- 1991-09-17 JP JP23628891A patent/JPH0572400A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11160500A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Japan Science & Technology Corp | Ｘ線顕微鏡 |
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|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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