JPH0572426A - レーザプローブ - Google Patents
レーザプローブInfo
- Publication number
- JPH0572426A JPH0572426A JP3234501A JP23450191A JPH0572426A JP H0572426 A JPH0572426 A JP H0572426A JP 3234501 A JP3234501 A JP 3234501A JP 23450191 A JP23450191 A JP 23450191A JP H0572426 A JPH0572426 A JP H0572426A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window
- optical fiber
- laser
- heat
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 炭酸ガスレーザ用のレーザプローブにおい
て、実照射時のウインドへの飛散物による発熱の影響を
緩和して、光ファイバーの劣化を防止し、また汚れたウ
インドを容易に交換できることを目的とする。 【構成】 塩化銀・臭化銀製の光ファイバー１を金属チ
ップ２のかしめ部８で固定し、光ファイバー１の出射端
を保護するダイヤモンド製のウインド３を保持し、かつ
金属チップ２に圧入固定したウインドホルダー４と、外
側に配置したダイヤモンド製のウインド９を、熱絶縁材
のアルミナ製のウインドホルダー１０とをねじ固定した
構成により、実照射時に付着した外側のウインド９の飛
散物が、レーザ光で加熱され発熱しても、熱絶縁材料の
ウインドホルダー１０で断熱され、先端金属部７の全体
に熱が伝わらず、かつ容易に交換できる。
て、実照射時のウインドへの飛散物による発熱の影響を
緩和して、光ファイバーの劣化を防止し、また汚れたウ
インドを容易に交換できることを目的とする。 【構成】 塩化銀・臭化銀製の光ファイバー１を金属チ
ップ２のかしめ部８で固定し、光ファイバー１の出射端
を保護するダイヤモンド製のウインド３を保持し、かつ
金属チップ２に圧入固定したウインドホルダー４と、外
側に配置したダイヤモンド製のウインド９を、熱絶縁材
のアルミナ製のウインドホルダー１０とをねじ固定した
構成により、実照射時に付着した外側のウインド９の飛
散物が、レーザ光で加熱され発熱しても、熱絶縁材料の
ウインドホルダー１０で断熱され、先端金属部７の全体
に熱が伝わらず、かつ容易に交換できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、炭酸ガスレーザ用光フ
ァイバを組み込んだ光ファイバーに熱的損傷を与えない
レーザプローブに関する。
ァイバを組み込んだ光ファイバーに熱的損傷を与えない
レーザプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】以下に従来の炭酸ガスレーザ用のレーザ
プローブについて説明する。
プローブについて説明する。
【０００３】図２に示すように、塩化銀・臭化銀製の銀
ハライド系の光ファイバー１をりん青銅に金めっきを施
した金属チップ２のかしめ部８で固定している。光ファ
イバー１の出射端を保護するダイヤモンド製のウインド
３は、ウインドホルダー４で保持され、金属チップ２に
圧入固定されている。図中の５は金属チップ２を圧入し
て固定し、外管チューブ６とも固定して、光ファイバー
１と外管チューブ６との位置関係を決めるジョイントで
ある。７はジョイント５と圧入固定し、レーザプローブ
の先端となる先端金属部である。
ハライド系の光ファイバー１をりん青銅に金めっきを施
した金属チップ２のかしめ部８で固定している。光ファ
イバー１の出射端を保護するダイヤモンド製のウインド
３は、ウインドホルダー４で保持され、金属チップ２に
圧入固定されている。図中の５は金属チップ２を圧入し
て固定し、外管チューブ６とも固定して、光ファイバー
１と外管チューブ６との位置関係を決めるジョイントで
ある。７はジョイント５と圧入固定し、レーザプローブ
の先端となる先端金属部である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、実照射時にウインド３の表面に飛散物が
付着し、レーザ光で発熱し、先端金属部７の全体の温度
が上昇し、光ファイバー１に熱的損傷を与えるという問
題点を有していた。
来の構成では、実照射時にウインド３の表面に飛散物が
付着し、レーザ光で発熱し、先端金属部７の全体の温度
が上昇し、光ファイバー１に熱的損傷を与えるという問
題点を有していた。
【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、光ファイバーに熱的損傷を与えず、かつ外側のウイ
ンドの交換が容易なレーザプローブを提供することを目
的とする。
で、光ファイバーに熱的損傷を与えず、かつ外側のウイ
ンドの交換が容易なレーザプローブを提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のレーザプローブは、レーザプローブの先端に
ウインドを２枚配設し、外側に配設したウインドを熱絶
縁材料で保持し、取り外し可能な構成としたものであ
る。
に本発明のレーザプローブは、レーザプローブの先端に
ウインドを２枚配設し、外側に配設したウインドを熱絶
縁材料で保持し、取り外し可能な構成としたものであ
る。
【０００７】
【作用】この構成により、実照射時に付着した外側のウ
インドの飛散物がレーザ光で加熱され発熱しても熱絶縁
材料で断熱されて、先端金属部の全体に熱が伝わらない
こととなり、かつ汚れたウインドの交換を容易とするこ
ととなる。
インドの飛散物がレーザ光で加熱され発熱しても熱絶縁
材料で断熱されて、先端金属部の全体に熱が伝わらない
こととなり、かつ汚れたウインドの交換を容易とするこ
ととなる。
【０００８】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【０００９】本発明の一実施例を示す図１では、従来例
と同一部品に同一番号を付して説明は省略する。
と同一部品に同一番号を付して説明は省略する。
【００１０】図において９は外側に配設されたダイヤモ
ンド製のウインドで、熱絶縁材であるアルミナ製のウイ
ンドホルダー１０に取り付けられ、ウインドホルダー４
とねじ１１で固定される。また、先端金属部７はジョイ
ント５とねじ１２で固定される。
ンド製のウインドで、熱絶縁材であるアルミナ製のウイ
ンドホルダー１０に取り付けられ、ウインドホルダー４
とねじ１１で固定される。また、先端金属部７はジョイ
ント５とねじ１２で固定される。
【００１１】以上の構成により、実照射時に外側のウイ
ンド９に飛散物が付着し、ウインド９がレーザ光で加熱
され発熱しても、それを保持するウインドホルダー１０
が熱絶縁材料のため、先端金属部７の全体には熱が伝わ
らず、光ファイバー１に熱的損傷を与えない。また、外
側のウインド９が飛散物で汚れた場合、取り外して新し
いものと交換することも容易にできる。
ンド９に飛散物が付着し、ウインド９がレーザ光で加熱
され発熱しても、それを保持するウインドホルダー１０
が熱絶縁材料のため、先端金属部７の全体には熱が伝わ
らず、光ファイバー１に熱的損傷を与えない。また、外
側のウインド９が飛散物で汚れた場合、取り外して新し
いものと交換することも容易にできる。
【００１２】なお、本実施例では、光ファイバー１を保
護するウインド３，９として、ダイヤモンド製のウイン
ドを例にあげて説明したが、ＳｒＦ2，ＢａＦ2，ＮａＣ
ｌまたはＫＢｒなどの無毒の赤外ウインドを用いてもよ
い。また、内側のウインド３は、外部に接しないので、
毒性を有するＺｎＳｅ製の反射防止膜付きのダイヤモン
ド製のウインドとしてもよい。
護するウインド３，９として、ダイヤモンド製のウイン
ドを例にあげて説明したが、ＳｒＦ2，ＢａＦ2，ＮａＣ
ｌまたはＫＢｒなどの無毒の赤外ウインドを用いてもよ
い。また、内側のウインド３は、外部に接しないので、
毒性を有するＺｎＳｅ製の反射防止膜付きのダイヤモン
ド製のウインドとしてもよい。
【００１３】さらに、本実施例では光ファイバー１とし
て炭酸ガスレーザ用の塩化銀・臭化銀の銀ハライド系の
光ファイバー用いて説明したが、ヨウ化タリウム・臭化
タリウムのタリウムハライド系の光ファイバー１でもよ
い。
て炭酸ガスレーザ用の塩化銀・臭化銀の銀ハライド系の
光ファイバー用いて説明したが、ヨウ化タリウム・臭化
タリウムのタリウムハライド系の光ファイバー１でもよ
い。
【００１４】また、金属チップ２は金めっきを施したり
ん青銅製として説明したが、金製やチタン合金製の金属
チップ２でもよい。
ん青銅製として説明したが、金製やチタン合金製の金属
チップ２でもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上の実施例の説明からも明らかなよう
に本発明は、レーザプローブの先端にウインドを２枚配
設し、外側に配設したウインドを熱絶縁材料で保持し、
取り外し可能とした構成により、光ファイバーに熱的損
傷を与えず、かつ外側のウインドの交換が容易にできる
優れたレーザプローブを実現できるものである。
に本発明は、レーザプローブの先端にウインドを２枚配
設し、外側に配設したウインドを熱絶縁材料で保持し、
取り外し可能とした構成により、光ファイバーに熱的損
傷を与えず、かつ外側のウインドの交換が容易にできる
優れたレーザプローブを実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例のレーザプローブの出射端部
の断面略図
の断面略図
【図２】従来のレーザプローブの出射端部の断面略図
１ 光ファイバー ３，９ ウインド ４，１０ ウインドホルダー ７ 先端金属部
Claims (3)
- 【請求項１】炭酸ガスレーザを通す光ファイバーを組み
込んだレーザプローブであって、レーザ出射部に２枚の
ウインドを備え、外側に配設したウインドを取り外し可
能としたレーザプローブ。 - 【請求項２】外側に配設したウインドは、熱絶縁材料で
保持されてなる請求項１記載のレーザプローブ。 - 【請求項３】外側に配設したウインドは、熱絶縁材料で
保持され、かつ取り外し可能としたレーザプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3234501A JPH0572426A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | レーザプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3234501A JPH0572426A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | レーザプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572426A true JPH0572426A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=16972019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3234501A Pending JPH0572426A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | レーザプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0572426A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN121522218A (zh) * | 2026-01-15 | 2026-02-13 | 上海集迦电子科技有限公司 | 一种半导体芯片晶圆检测用辅助设备 |
-
1991
- 1991-09-13 JP JP3234501A patent/JPH0572426A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN121522218A (zh) * | 2026-01-15 | 2026-02-13 | 上海集迦电子科技有限公司 | 一种半导体芯片晶圆检测用辅助设备 |
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