JPH0572493A - 偏向装置およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、偏向装置およびその製造方法に関
し、シャフトと偏向用ミラーを別部材にすることによ
り、回転軸としての機能および偏向用ミラーとしての機
能を充分に発揮しつつ小型、高剛性で、かつ低コストな
偏向装置およびその製造方法を提供することを目的とし
ている。 【構成】金属製のシャフト11にプラスチック部材14を固
定した後、金型20に形成された平面部20ａ〜20ｃをプラ
スチック部材14に転写することにより、金属製のシャフ
ト11と平面形状のミラー面を有するプラスチック製の偏
向用ミラー12を一体的に製造している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、偏向装置およびその製
造方法に関し、詳しくは、レーザビームや複写機等にお
いて光偏向装置に用いられる偏向装置およびその製造方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の偏向装置としては、例え
ば図14に記載されたポリゴンミラーががある（機械技
術、1987年、vol 35、no9参照）。図14において、１は
ポリゴンミラーであり、このポリゴンミラー１はアルミ
ニウム材料を加工ブランクとしてダイヤモンド工具を備
えた図示しない超精密切削加工機によって外周部に複数
の平面部１ａを高精度に形成することにより、該平面部
１ａに必要な反射率を付与している。そして、このポリ
ゴンミラー１は加工方法によって５、６、８、10……32
角形に成形される。

【０００３】また、その他の偏向装置として特開昭６３
−２６６４１９号公報に記載された柄型ミラーがあり、
このものは、図15に示すように図示しない気体軸受に支
持可能なアルミニウム等から成る金属製のシャフト２
に、該シャフト２の回転中心軸に対して対称に配設され
るようシャフトと一体的に所定の反射率を有するミラー
面２ａ、２ｂを加工している。また、その他の偏向装置
としては、金属製の回転軸の一端部にポンチ等で所定の
反射率を有するＶ字型のミラー面を形成するＶ型ミラー
や金型により一端部に一体的にＶ字型のミラー面が成形
された樹脂製のＶ型ミラー等がある。この樹脂製のＶ型
ミラーはミラー面にアルミニウムや銅を蒸着して反射率
を得るとともに、このアルミニウム膜等の表面にＳｉＯ
を蒸着して表面を保護するようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の偏向装置にあっては、それぞれに以下に述べ
るような問題があった。 (１)図14に示すようなポリゴンミラー１にあっては、該
ミラー１の外周部に平面部１ａを形成していたため、同
図にＡで示すようにポリゴンミラー１の中心軸から外周
端部までの寸法が約７〜40mmと幅広い範囲で製造される
ため、偏向装置自体が大型化してしまうという問題があ
った。このため、偏向装置をレーザプリンタや複写機に
装着したときに多大な取付けスペースが必要になってし
まい、レーザプリンタ等の小型化を図ることができない
という不具合が発生してしまった。 (２)図14に示すものに加えて、図15に示すものおよび金
属製のＶ字型ミラーは全て金属製であり、超精密切削加
工機によって製造されているため、加工時に切り屑（切
り粉）が発生してしまい、ミラー面にスクラッチ等が発
生して歩留りが悪化してしまうという問題があった。ま
た、高精度な反射率を有するミラー面を形成するのに高
精度な精密切削加工機やダイヤモンド工具あるいは結晶
粒度の均一なアルミニウム材料等が母材として必要にな
るため、偏向装置を製造するための装置、材料が全て高
価なものになってしまい、偏向装置の製造コストが増大
してしまった。 (３)図15に示すものにあっては回転軸およびミラー面を
金属製部材によって製造し、ミラー面を超精密切削加工
する必要があることからアルミニウムや銅あるいは黄銅
等の回転軸を使用しなければならず、回転軸の小型化を
図るために細径、高剛性軸として使用することができな
かった。これに加えて、金型により一端部に一体的にＶ
字型のミラー面が成形された樹脂製のＶ型ミラーにあっ
ても、樹脂製であるため、回転軸の小型化を図るために
細径、高剛性軸として使用することができなかった。 (４)樹脂製のＶ型ミラーはミラー面にアルミニウムや銅
に加えてＳｉＯを蒸着して所定の反射率を得ているた
め、ミラー面を成形するための製造工程が増大してしま
い、製造作業の作業性が悪化するのに伴い製造コストが
さらに悪化してしまうという問題があった。

【０００５】そこで本発明は、シャフトと偏向用ミラー
を別部材にすることにより、回転軸としての機能および
偏向用ミラーとしての機能を充分に発揮しつつ小型、高
剛性で、かつ低コストな偏向装置およびその製造方法を
提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
上記課題を達成するために、レーザ光を感光体上に走査
する偏向用ミラーを有する偏光装置において、回転可能
な金属製のシャフトと、該シャフトの軸線方向端部に取
付けられ、平面形状のミラー面を有するプラスチック製
の偏向用ミラーと、から構成されたことを特徴としてい
る。

【０００７】請求項２記載の発明は、上記課題を達成す
るために、前記ミラー面がシャフトの軸線に対して対称
に形成された平面状の２面であることを特徴としてい
る。請求項３記載の発明は、上記課題を達成するため
に、レーザ光を感光体上に走査する偏向用ミラーを有す
る偏光装置の製造方法において、金属製のシャフトにプ
ラスチック部材を固定し、次いで、該シャフトおよびプ
ラスチック部材を高精度な少なくとも１面以上の平面部
が形成された金型を有するプレス装置に取付けた後、プ
レス装置を作動してプラスチックのガラス転移温度まで
加熱するとともに、金型に形成された平面部をプラスチ
ック部材に転写することにより、偏向用ミラーを成形す
ることを特徴としている。

【０００８】請求項４記載の発明は、上記課題を達成す
るために、レーザ光を感光体上に走査する偏向用ミラー
を有する偏光装置の製造方法において、金属製のシャフ
トの端面に熱可塑性高分子材料からなるプラスチック製
のねじを締結、固定し、次いで、プラスチック製のねじ
の端部に少なくとも１面以上の平面部を有する楔状の加
熱された金型を押込んで平面部を転写することにより、
偏向用ミラーを成形することを特徴としている。

【０００９】請求項５記載の発明は、上記課題を達成す
るために、前記金型の平面部に予め保護膜が付着したア
ルミニウム箔あるいは銅箔を取付け、プラスチック部材
あるいはプラスチック製のねじに平面部を転写するとき
に保護膜とともにアルミニウム箔あるいは銅箔を同時に
転写することにより、プラスチック部材の平面部にミラ
ー面を形成することを特徴としている。

【００１０】

【作用】請求項１記載の発明では、偏向装置が金属製の
シャフトおよび該シャフトの軸線方向端部に取付けられ
たプラスチック製の偏向用ミラーから構成されるので、
金属製部材がセンターレス研磨等されることにより細径
で、かつ高剛性なシャフトが製造されるとともに高精度
な寸法形状のシャフトが容易に得られる。これに加え
て、熱プレス等によって高精度な平面部を有する偏向用
ミラーが低温、低圧で製造される。したがって、小型
で、かつ低コストな偏向装置が得られる。

【００１１】請求項３記載の発明では、金属製のシャフ
トにプラスチック部材が固定された後、金型に形成され
た平面部がプラスチック部材に転写されるので、ダイヤ
モンド工具や超精密切削加工機等の高価な装置を用いず
に、偏向用ミラーがプレス装置によって低温、低圧で製
造され、切削等によって発生する切り屑により平面部に
スクラッチが発生せずに歩留りが向上され、超精密な平
面部を有する偏向用ミラーを備えた小型な偏向装置が低
コストで製造される。また、シャフトが金属製であるの
で、樹脂性のシャフトから成るものに比べて小型、高剛
性に製造されるとともに、シャフトの真空度あるいは寸
法が安定する。

【００１２】請求項４記載の発明では、金属製のシャフ
トの端面に熱可塑性高分子材料から成るプラスチック製
のねじが締結、固定された後、プラスチック製のねじの
端部に少なくとも１面以上の平面部を有する楔状の加熱
された金型が押込まれて平面部が転写されるので、金属
製のシャフトとプラスチック製のねじが確実に結合され
るとともに、ダイヤモンド工具や超精密切削加工機等の
高価な装置を用いずに、偏向用ミラーがプレス装置によ
って低温、低圧で製造され、切削等によって発生する切
り屑により平面部にスクラッチが発生せずに歩留りが向
上され、超精密な平面部を有する偏向用ミラーを備えた
小型な偏向装置が低コストで製造される。

【００１３】請求項５記載の発明では、金型の平面部に
予め取付けられたアルミニウム箔あるいは銅箔が、プラ
スチック部材に平面部が転写されるときに同時に転写さ
れるので、平面部およびミラー面がプレス装置によって
同時に成形されて偏向用ミラーの製造工数が低減され、
偏向用ミラーの製造作業の作業性が向上するとともに、
偏向装置の製造コストがさらに低減する。

【００１４】

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
図１〜５は本発明に係る偏向装置およびその製造方法の
第１実施例を示す図であり、本実施例は柄型ミラーに適
用した例を示している。まず、構成を説明する。図１に
おいて、11は金属製のシャフトであり、該シャフトは図
示しない気体軸受等に回転自在に支持され、走査用のモ
ータ軸を構成している。このシャフト11の上部にはプラ
スチック製の偏向用ミラー12が接着等によって取付けら
れており、この偏向用ミラー12はシャフト11の軸線に対
して対称に形成された平面部12ａ、12ｂを有し、この平
面部12ａ、12ｂにはアルミニウムあるいは銅膜上にＳｉ
Ｏが保護膜として成膜されたミラー面が形成され、この
ミラー面によってレーザ光Ｒが図示しない感光体上に走
査される。そして、上述したシャフト11および偏向用ミ
ラー12は偏向装置13を構成している。

【００１５】次に、このような偏向装置13の製造方法に
ついて説明する。まず、図２に示すように金属製のシャ
フト11を準備する。この金属製のシャフト11は加工性、
非磁性、寸法安定性がよいステンレススティールを研削
してφ１mm以下の細径に高精度を仕上げたものである。
次いで、シャフト11の軸線方向上端部に円筒状のポリカ
ーボネートから成る熱可塑性プラスチック部材14を接
着、結合する。次いで、このシャフト11およびプラスチ
ック部材14を図３に示すプレス装置15に取付ける。

【００１６】図３に示すようにプレス装置15は上加熱加
圧板16、該加圧板16に対向配置され図示しない加圧機構
に接続された下加熱加圧板17、これら上、下加熱加圧板
16、17の間に配設された枠板18、19および偏向用ミラー
12の平面部12ａ、12ｂに対応した平面部20ａ〜20ｃが形
成された成形面を有する金型20と、から構成されてい
る。そして、このプレス装置15にシャフト11およびプラ
スチック部材14を取付け、上、下加熱加圧板16、17によ
りプラスチック部材14のガラス転移温度以上（約160〜2
00℃）まで加熱するとともに、約10〜100kgf/cm²の範囲
で加圧して一定時間保持する。

【００１７】次いで、プラスチック部材14を熱変形温度
以下まで冷却して成形面が変化しないように固化したら
プレス装置15から取り出す。このため、金型20の平面部
20ａ〜20ｃに対応した平面部12ａ、12ｂが形成された偏
向用ミラー12が成形される。次いで、真空蒸着法によっ
て平面部12ａ、12ｂにアルミニウムあるいは銅とともＳ
ｉＯを成膜してミラー面を形成する。

【００１８】このように本実施例では、金属製のシャフ
ト11にプラスチック部材14を固定した後、金型20に形成
された平面部20ａ〜20ｃをプラスチック部材14に転写す
ることにより、金属製のシャフト11と平面形状のミラー
面を有するプラスチック製の偏向用ミラー12を一体的に
製造しているため、金属製部材をセンターレス研磨等す
ることにより細径で、かつ高剛性なシャフト11を製造す
ることができるとともに高精度な寸法形状のシャフト11
を容易に得ることができる。これに加えて、ダイヤモン
ド工具や超精密切削加工機等の高価な装置を用いずに、
偏向用ミラー12をプレス装置15によって低温、低圧で製
造することができ、切削等によって発生する切り屑によ
り平面部にスクラッチが発生するのを防止して歩留りを
向上することができる。この結果、超精密な平面部12
ａ、12ｂを有する小型な偏向用ミラー13を低コストで製
造することができ、偏向装置13の製造コストを低減する
ことができる。なお、本実施例で、真空蒸着によりアル
ミニウム膜等を平面部12ａ、12ｂに形成しているが、こ
れに限らず、平面部12ａ、12ｂを形成する際にホットス
タンピングしてアルミニウム膜を平面部12ａ、12ｂを転
写してミラー面を同時に形成しても良い。さらに、シャ
フト11が金属製であるので、樹脂性のシャフトから成る
ものに比べて小型、高剛性に製造することができるとと
もに、シャフト11の真空度あるいは寸法を安定させるこ
とができるという効果もある。

【００１９】なお、本実施例では、平面部12ａ、12ｂが
シャフト11の軸線に対して対称に形成されているが、こ
れに限らず、図４に示すようにシャフト11の軸線に対し
て平面部21ａ、21ｂをθだけ傾けてテーパ状に形成して
も良い。このようにすれば、偏向用ミラー21を金型20か
ら容易に分離することができる。また、図５に示すよう
に平面部22ａをシャフト11の軸線を含む１面の平面形状
にしても良い。

【００２０】図６〜９は本発明に係る偏向装置およびそ
の製造方法の第２実施例を示す図である。本実施例で
は、平面部を形成する際にアルミニウムあるいは銅とと
もに、ＳｉＯを同時に形成した例を示しており、成形前
の偏向装置の構成は上記実施例と同様であるため説明を
省略する。図６において、31は熱プレス装置であり、こ
の熱プレス装置31は、加熱機構32と、加圧機構33と、上
加熱加圧板34と、下加熱加圧板35と、それぞれ上、下加
熱加圧板34、35の間に取付けられ、偏向用ミラー12の平
面部12ａ、12ｂに対応した平面部が形成された成形面を
有する一対の金型36、37と、から構成されている。ま
た、金型36、37の成形面上には図７に示すようにプラス
チックフィルム38、保護膜としてのＳｉＯ膜39、アルミ
ニウムあるいは銅から成る反射膜41が積層された積層膜
40がそれぞれ反射膜40が向い合うようにして取付けられ
ている。

【００２１】このような構成を有するプレス装置31によ
って偏向装置13を製造するには、図２に示すようなシャ
フト11およびプラスチック部材14をプレス装置31に取付
ける。なお、このときシャフト11は図示しない支持手段
に支持されている。次いで、加熱機構32を作動して上、
下加熱加圧板34、35によりプラスチック部材14のガラス
転移温度以上（約160〜200℃）まで加熱するとともに、
約10〜100kgf/cm²の範囲で加圧して一定時間保持する。
このとき、図８に示すように金型36、37の成形面上に積
層膜41が取付けられているため、平面部12ａ、12ｂの形
成時の加熱、加圧力によって平面部12ａ、12ｂに積層膜
41が固着される。

【００２２】次いで、プラスチック部材14を熱変形温度
以下まで冷却して成形面が変化しないように固化したら
プレス装置31から取り出す。次いで、プラスチックフィ
ルム38をＳｉＯ膜上から取り外す。このため、図９に示
すように金型36、37の平面部に対応した平面部12ａ、12
ｂを有するとともに、反射膜41が形成された偏向用ミラ
ー13を有する偏向装置12が成形される。

【００２３】このように本実施例では、金型36、37の平
面部に予め取付けられたアルミニウム箔あるいは銅箔
を、プラスチック部材14に平面部12ａ、12ｂを転写する
のと同時に転写しているため、平面部12ａ、12ｂおよび
反射面（ミラー面）をプレス装置31によって同時に成形
することができる。このため、偏向用ミラー12の製造工
数を低減することができ、偏向用ミラー12の製造作業の
作業性を向上することができるとともに、偏向装置13の
製造コストをさらに低減することができる。

【００２４】図10〜図13は本発明に係る偏向装置および
その製造方法の第３実施例を示す図であり、本実施例
は、Ｖ字型ミラーに適用した例を示している。まず、構
成を説明する。図10において、51は金属製のシャフトで
あり、該シャフトは図示しない気体軸受等に回転自在に
支持され、走査用のモータ軸を構成している。このシャ
フト51の上部にはプラスチック製の偏向用ミラー52がネ
ジロック等の接着等によって締結固定されており、この
偏向用ミラー52にはシャフト51の軸線に対して対称に形
成された平面部52ａ、52ｂが形成されており、この平面
部52ａ、52ｂにはアルミニウムあるいは銅膜上にＳｉＯ
が保護膜として成膜されたミラー面が形成され、このミ
ラー面によってレーザ光が図示しない感光体上に走査さ
れる。そして、上述したシャフト51および偏向用ミラー
52は偏向装置53を構成している。

【００２５】次に、このような偏向装置53の製造方法に
ついて説明する。まず、図11に示すように金属製のシャ
フト51を準備する。この金属製のシャフト51は加工性、
非磁性、寸法安定性がよいＳＵＳを研削してφ１mm以下
の細径に高精度を仕上げたものであり、軸線方向上端部
にねじ穴51ａが形成されている。次いで、図12に示すよ
うにシャフト51の軸線方向上端部に熱可塑性高分子材料
としてのポリカーボネートから成るねじ55を公知のネジ
ロック等の接着剤により締結、固定する。次いで、この
シャフト51およびねじ55を図13に示すプレス装置の枠体
56に取付ける。

【００２６】具体的には、図13に示すようにプレス装置
の枠体56内にはシャフト51およびねじ55を挿入し、枠体
56内にねじ55の上部側から高精度な３面の平面部57ａ〜
57ｃから成る成形面を有する楔状の加熱金型57を差込
む。次いで、この金型57によってねじ55を160℃〜180℃
まで加熱するとともに、シャフト51および金型57を矢印
Ｆ方向に押圧して約10〜50kgf/cm²の範囲で加圧して一
定時間保持する。

【００２７】次いで、ねじ55を熱転変形温度以下まで冷
却して成形面が変化しないように固化したら枠体56から
取り出す。このため、金型57の平面部57ａ〜57ｃに対応
した平面部52ａ、52ｂが形成されたＶ字型の偏向用ミラ
ー52が成形される。なお、次いで、第２実施例と同様に
平面部52ａ、52ｂを形成する際に、ＳｉＯの保護膜とと
もにアルミニウム膜等をホットスタンピングして平面部
52ａ、52ｂに転写してミラー面を同時に形成しても良
い。

【００２８】このように本実施例では、金属製のシャフ
ト51の端面に熱可塑性高分子材料からなるプラスチック
製のねじ55を締結、固定した後、プラスチック製のねじ
55の端部に少なくとも１面以上の平面部を有する楔状の
加熱された金型57を押込んで平面部52ａ、52ｂを転写し
ているので、金属製のシャフト51とプラスチック製のね
じ55を確実に結合することができるとともに、ダイヤモ
ンド工具や超精密切削加工機等の高価な装置を用いず
に、偏向用ミラー52をプレス装置によって低温、低圧で
製造することができる。このため、切削等によって発生
する切り屑により平面部にスクラッチが発生せずに歩留
りを向上させることができ、超精密な平面部を有する偏
向用ミラー52を備えた小型な偏向装置53を低コストで製
造することができる。

【００２９】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、偏向装置
を金属製のシャフトおよび該シャフトに軸線方向端部に
取付けられたプラスチック製の偏向用ミラーから構成し
ているので、金属性部材をセンターレス研磨等すること
によって細径で、かつ高剛性なシャフトを製造すること
ができ、高精度な寸法形状のシャフトを容易に得ること
ができる。これに加えて、熱プレス等によって高精度な
平面部を有する偏向用ミラーを低温、低圧で製造するこ
とができるので、小型で、かつ低コストな偏向装置を得
ることができる。

【００３０】請求項３記載の発明によれば、金属製のシ
ャフトにプラスチック部材を固定した後、金型に形成さ
れた平面部をプラスチック部材に転写しているので、ダ
イヤモンド工具や超精密切削加工機等の高価な装置を用
いずに、偏向用ミラーをプレス装置によって低温、低圧
で製造することができ、切削等によって発生する切り屑
により平面部にスクラッチを発生させずに歩留りを向上
させることができる。この結果、超精密な平面部を有す
る偏向用ミラーを備えた小型な偏向装置を低コストで製
造することができる。また、シャフトが金属製であるの
で、樹脂性のシャフトから成るものに比べて小型、高剛
性に製造することができるとともに、シャフトの真空度
あるいは寸法を安定させることができる。

【００３１】請求項４記載の発明では、金属製のシャフ
トの端面に熱可塑性高分子材料からなるプラスチック製
のねじを締結、固定した後、プラスチック製のねじの端
部に少なくとも１面以上の平面部を有する楔状の加熱さ
れた金型を押込んで平面部を転写しているので、金属製
のシャフトとプラスチック製のねじを確実に結合させる
ことができるとともに、ダイヤモンド工具や超精密切削
加工機等の高価な装置を用いずに、偏向用ミラーをプレ
ス装置によって低温、低圧で製造することができ、切削
等によって発生する切り屑により平面部にスクラッチを
発生させずに歩留りを向上させることができる。この結
果、超精密な平面部を有する偏向用ミラーを備えた小型
な偏向装置を低コストで製造することができる。

【００３２】請求項５記載の発明では、金型の平面部に
予め取付けられたアルミニウム箔あるいは銅箔を、プラ
スチック部材に平面部を転写するときに同時に転写して
いるので、平面部およびミラー面をプレス装置によって
同時に成形して偏向用ミラーの製造工数を低減すること
ができ、偏向用ミラーの製造作業の作業性を向上させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る偏向装置の第１実施例を示すその
構成図である。

【図２】第１実施例のシャフトおよびプラスチック部材
の構成図である。

【図３】第１実施例の偏向装置を製造するためのプレス
装置の要部構成図である。

【図４】第１実施例の偏向装置の他の態様を示す図であ
る。

【図５】第１実施例の偏向装置の他の態様を示す図であ
る。

【図６】本発明に係る偏向装置の第２実施例を示すその
偏向装置を製造するためのプレス装置の構成図である。

【図７】第２実施例の積層膜の構成図である。

【図８】第２実施例の偏向用ミラーの平面部を成形する
ときの状態を示す図である。

【図９】第２実施例の偏向用ミラーの平面部にミラー面
を形成したときの図である。

【図10】本発明に係る偏向装置の第３実施例を示すその
構成図である。

【図11】第３実施例のシャフトの構成図である。

【図12】第３実施例のシャフトおよびねじの構成図であ
る。

【図13】第３実施例の偏向装置を製造するためのプレス
装置の要部構成図である。

【図14】従来の偏向装置を示す図であり、(ａ)はその正
面図、(ｂ)はその側面図である。

【図15】従来の偏向装置の構成図である。

【符号の説明】

11、51 シャフト 12、52 偏向用ミラー 12ａ、12ｂ、52ａ、52ｂ 平面部 15、31 プレス装置 20、36、37、57 金型 40 反射膜（アルミニウム膜あるいは銅膜）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レーザ光を感光体上に走査する偏向用ミラ
   ーを有する偏光装置において、回転可能な金属製のシャ
   フトと、該シャフトの軸線方向端部に取付けられ、平面
   形状のミラー面を有するプラスチック製の偏向用ミラー
   と、から構成されたことを特徴とする偏向装置。
2. 【請求項２】前記ミラー面がシャフトの軸線に対して対
   称に形成された平面状の２面であることを特徴とする請
   求項１記載の偏向装置。
3. 【請求項３】レーザ光を感光体上に走査する偏向用ミラ
   ーを有する偏光装置の製造方法において、金属製のシャ
   フトにプラスチック部材を固定し、次いで、該シャフト
   およびプラスチック部材を高精度な少なくとも１面以上
   の平面部が形成された金型を有するプレス装置に取付け
   た後、プレス装置を作動してプラスチックのガラス転移
   温度まで加熱するとともに、金型に形成された平面部を
   プラスチック部材に転写することにより、偏向用ミラー
   を成形することを特徴とする偏向装置の製造方法。
4. 【請求項４】レーザ光を感光体上に走査する偏向用ミラ
   ーを有する偏光装置の製造方法において、金属製のシャ
   フトの端面に熱可塑性高分子材料からなるプラスチック
   製のねじを締結、固定し、次いで、プラスチック製のね
   じの端部に少なくとも１面以上の平面部を有する楔状の
   加熱された金型を押込んで平面部を転写することによ
   り、偏向用ミラーを成形することを特徴とする偏向装置
   の製造方法。
5. 【請求項５】前記金型の平面部に予め保護膜が付着した
   アルミニウム箔あるいは銅箔を取付け、プラスチック部
   材あるいはプラスチック製のねじに平面部を転写すると
   きに保護膜とともにアルミニウム箔あるいは銅箔を同時
   に転写することにより、プラスチック部材の平面部にミ
   ラー面を形成することを特徴とする請求項３または４記
   載の偏向装置の製造方法。