JPH0572568A - Production of liquid crystal display device - Google Patents

Production of liquid crystal display device

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JPH0572568A
JPH0572568A JP23479291A JP23479291A JPH0572568A JP H0572568 A JPH0572568 A JP H0572568A JP 23479291 A JP23479291 A JP 23479291A JP 23479291 A JP23479291 A JP 23479291A JP H0572568 A JPH0572568 A JP H0572568A
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JP
Japan
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varistor
liquid crystal
display device
substrate
crystal display
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Application number
JP23479291A
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Japanese (ja)
Inventor
Ryuichi Nakamura
隆一 中村
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】むらのない鮮明な画像表示を達成する大画面の
液晶表示装置を容易に製造する方法を提供する。 【構成】アクティブマトリクス素子として用いるバリス
タ素子において、素子を形成するバリスタ粒子を熱分解
性ないし燃焼性を有する有機バインダーと混合し、これ
をスクリーン印刷等により基板上に転移させ、しかるの
ち加熱して有機バインダーを除去し、基板上にバリスタ
粒子のみ存在するようにする。これを機械的に外力を加
えプレスし、その上にガラスフリットと熱分解性ないし
燃焼性を有する有機バインダーと混合したものをスクリ
ーン印刷等により基板上のバリスタ粒子上に転移させ、
しかるのち加熱によりガラスフリットを融解させ、かつ
有機バインダーを除去することにより基板上にバリスタ
粒子を固着させ、アクティブマトリクス素子としてのバ
リスタ素子を形成し液晶表示装置を製造する。
(57) [Abstract] [Purpose] To provide a method for easily manufacturing a large-screen liquid crystal display device that achieves even and clear image display. [Composition] In a varistor element used as an active matrix element, varistor particles forming the element are mixed with a thermally decomposable or combustible organic binder, and this is transferred onto a substrate by screen printing or the like, and then heated. The organic binder is removed so that only the varistor particles are present on the substrate. This is pressed by mechanically applying an external force, and a mixture of glass frit and an organic binder having thermal decomposability or combustibility is transferred onto the varistor particles on the substrate by screen printing,
Then, the glass frit is melted by heating, and the organic binder is removed to fix the varistor particles on the substrate to form a varistor element as an active matrix element to manufacture a liquid crystal display device.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、非線形素子としてバリ
スタ素子を用いた2端子素子型の液晶表示装置の製造方
法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a two-terminal element type liquid crystal display device using a varistor element as a non-linear element.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、例えば液晶テレビの画像表示装置
には大別して単純マトリクス方式とアクティブマトリク
ス方式とがある。単純マトリクス方式は、直角をなして
設けられた一対の帯状電極群(信号電極群と走査電極
群)の間に複数の液晶画素を行列状に配して接続したも
のであり、これら帯状電極間に駆動回路によって所定の
電圧を印加して液晶画素を作動させる。この方式は、構
造が簡単なため低価格でシステムを実現できるという利
点があるが、各液晶画素でのクロストークが生じるた
め、画素のコントラストが低く、液晶テレビの画像表示
を行う際、画質の低下は避けられないものであった。
2. Description of the Related Art At present, image display devices such as liquid crystal televisions are roughly classified into a simple matrix system and an active matrix system. In the simple matrix system, a plurality of liquid crystal pixels are arranged in a matrix between a pair of strip-shaped electrode groups (a signal electrode group and a scanning electrode group) that are provided at a right angle, and the liquid crystal pixels are connected between these strip-shaped electrodes. A predetermined voltage is applied by a driving circuit to operate the liquid crystal pixels. This method has an advantage that the system can be realized at a low cost due to its simple structure, but since crosstalk occurs in each liquid crystal pixel, the pixel contrast is low, and the image quality is improved when displaying an image on a liquid crystal television. The decline was inevitable.

【0003】これに対し、アクティブマトリクス方式
は、各液晶画素毎にスイッチング素子を設けて電圧を保
持するものであり、液晶表示装置を時分割駆動しても液
晶画素が選択時の電圧を保持する事ができるため、表示
容量の増大が可能で、コントラスト等の画質に関する特
性がよく、液晶テレビの高画質表示を実現できるもので
ある。しかしながら、アクティブマトリクス方式にあっ
ては構造が複雑になって製造コストが高くなってしまう
という欠点があった。例えば、スイッチング素子として
薄膜トランジスタを用いるTFT型では、その製造工程
において5層以上の薄膜を重ねるため、製品歩留まりを
上げる事が困難である。
On the other hand, in the active matrix system, a switching element is provided for each liquid crystal pixel to hold the voltage, and the liquid crystal pixel holds the voltage at the time of selection even when the liquid crystal display device is time-division driven. Therefore, the display capacity can be increased, the characteristics relating to the image quality such as the contrast are good, and the high image quality display of the liquid crystal television can be realized. However, the active matrix method has a drawback that the structure is complicated and the manufacturing cost is increased. For example, in a TFT type using a thin film transistor as a switching element, it is difficult to increase the product yield because five or more thin films are stacked in the manufacturing process.

【0004】上記のような事から、コントラスト等の画
質に関する特性が良く、かつ構造簡単にして低コストな
方式の液晶表示装置の実現が望まれており、この様な要
求を実現する方式として、バリスタ素子を用いた二端子
素子型液晶表示装置が注目されている。
In view of the above, it is desired to realize a liquid crystal display device having good characteristics relating to image quality such as contrast and having a simple structure and low cost. As a method for realizing such a demand, A two-terminal element type liquid crystal display device using a varistor element is drawing attention.

【0005】二端子素子型の液晶表示装置は、単純マト
リクス方式に改良を加えて、図8に示すように、走査電
極11と信号電極16との間に液晶14と所定のしきい
値電圧で導通するバリスタ素子13とを電気的に直列に
配して接続したものであり、図12に示すようなバリス
タ素子13の非線形な電流−電圧特性を利用したもので
ある。
The two-terminal element type liquid crystal display device is an improvement of the simple matrix system, and as shown in FIG. 8, a liquid crystal 14 and a predetermined threshold voltage are applied between the scanning electrode 11 and the signal electrode 16. A varistor element 13 that conducts is electrically arranged in series and connected, and utilizes the non-linear current-voltage characteristics of the varistor element 13 as shown in FIG.

【0006】一般的な二端子素子型の液晶表示装置とし
て、バリスタ素子をアクティブマトリクス素子として用
いたものを図9に示す。ここに示すように、下側ガラス
基板上に走査電極11と画素電極12が一定の間隔dを
もって設けられ、走査電極11と画素電極12とは各バ
リスタ素子13で一定のしきい値電圧VV をもって接続
されている。そして、これらの上部に所定の間隔を隔て
て信号電極及びカラーフィルタが設けられた上部ガラス
基板との間に液晶が注入充填されている。ここで用いら
れる液晶は、通常TN(ツイストネマチック)型の液晶
が一般的である。
FIG. 9 shows a general two-terminal element type liquid crystal display device using a varistor element as an active matrix element. As shown here, the scanning electrodes 11 and the pixel electrodes 12 are provided on the lower glass substrate at a constant distance d, and the scanning electrodes 11 and the pixel electrodes 12 are fixed in threshold voltage V V in each varistor element 13. Connected with. Then, liquid crystal is injected and filled between the upper glass substrate on which the signal electrodes and the color filters are provided at a predetermined distance above them. The liquid crystal used here is generally a TN (twisted nematic) type liquid crystal.

【0007】バリスタ素子13は、図10に詳示するよ
うに、ZnO単結晶粒子131の表面をMn,Co酸化
物等の無機質絶縁膜132で被覆したバリスタ粒子13
aからなり、図11に詳示するように、これらバリスタ
粒子13aを基板上にガラスフリット13bで固着させ
たものである。このため、通常、焼結体バリスタ素子は
バリスタ粒子にガラスフリット、有機バインダー、およ
び有機溶剤を加えてペースト化し、バリスタインキと
し、これを電極を付けたガラス基板上にスクリーン印刷
などの印刷法にて印刷し、しかるのち加熱する事により
ガラスフリットを融解させ、基板上にバリスタ粒子を固
着させる事により形成されている。
As shown in detail in FIG. 10, the varistor element 13 has a varistor particle 13 in which the surface of a ZnO single crystal particle 131 is covered with an inorganic insulating film 132 such as Mn or Co oxide.
As shown in detail in FIG. 11, these varistor particles 13a are fixed on a substrate with a glass frit 13b. For this reason, usually, a sintered varistor element is made into a paste by adding glass frit, an organic binder, and an organic solvent to varistor particles to form a varistor ink, which is applied to a printing method such as screen printing on a glass substrate having an electrode. It is formed by printing and then heating to melt the glass frit and fix the varistor particles on the substrate.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】特に、画質の良好な2
端子素子型液晶表示装置を実現するためにはバリスタ素
子が高性能を有し安定性が高く、かつその性能が素子間
で一定している必要がある。しかし、バリスタ素子を形
成する際、印刷適性を与えるためにバリスタ粒子に有機
バインダーを、また加熱後バリスタ粒子を基板上に固着
させるためにガラスフリットを加えている。有機バイン
ダーは印刷後、加熱する事により除去される成分であ
り、またガラスフリット粒子はバリスタ粒子と並んで基
板上に転移され、その後融解する。このため完成された
素子にはバリスタ粒子の存在しない部分が必然的にでき
ることとなる。このためバリスタ素子におけるバリスタ
粒子の充填密度が小さくなる。
In particular, the image quality of 2 is excellent.
In order to realize the terminal element type liquid crystal display device, it is necessary that the varistor element has high performance and high stability, and the performance is constant between the elements. However, when forming a varistor element, an organic binder is added to the varistor particles to give printability, and a glass frit is added to fix the varistor particles on the substrate after heating. The organic binder is a component that is removed by heating after printing, and the glass frit particles are transferred along with the varistor particles onto the substrate and then melted. For this reason, the completed element inevitably has a portion where no varistor particles are present. Therefore, the packing density of the varistor particles in the varistor element becomes small.

【0009】バリスタ素子において電流は個々のバリス
タ粒子を伝って流れる。このため、バリスタ粒子の充填
密度が小さくなることはバリスタ素子内部における導通
経路が長くなる事になる。これがバリスタ素子間の電気
的特性のばらつきの原因となっている。また、この充填
密度の小ささは素子の厚み方向にも影響を与える。これ
は素子の厚みのばらつきに関係し、液晶パネルのセルギ
ャップのむらの原因となる。このためコントラスト等の
画質に関する特性のよい液晶表示装置を製作することが
困難である。
In the varistor element, current flows through individual varistor particles. Therefore, the smaller packing density of the varistor particles means that the conduction path inside the varistor element becomes longer. This causes variations in the electrical characteristics among the varistor elements. The small packing density also affects the thickness direction of the device. This is related to the variation in the thickness of the element and causes unevenness of the cell gap of the liquid crystal panel. For this reason, it is difficult to manufacture a liquid crystal display device having good characteristics relating to image quality such as contrast.

【0010】本発明は、上記従来の事情に鑑みなされた
もので、個々のバリスタ素子においてバリスタ粒子の充
填密度が高く、素子の電気的特性、および厚みのばらつ
きに関して高性能かつその性能が素子間で一定した液晶
表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional circumstances, and in each varistor element, the packing density of varistor particles is high, the electric characteristics of the element are high, and the variation in thickness is high. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a liquid crystal display device which has a constant value.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】液晶表示装置の製造方法
において、アクティブマトリクス素子として用いるバリ
スタ素子を形成する際、バリスタ粒子と有機バインダー
と混合したものを主成分とするバリスタペーストをスク
リーン印刷等の印刷法により基板に転移し、それを加熱
する事により有機バインダー成分を除去し、バリスタ粒
子のみ基板上に存在するようにする。これをロールプレ
ス等の手段により素子をプレスすることにより水平方向
並びに厚み方向の充填密度を向上させる。しかるのちガ
ラスフリットを主成分とするペーストをスクリーン印刷
等の印刷法により、バリスタ粒子を被覆するように転移
させ、加熱によりガラスフリットを融解させることによ
り基板上にバリスタ粒子を固着させ、バリスタ素子を形
成する。しかるのちこれらの上部に所定の間隔を隔てて
信号電極及びカラーフィルタが設けられた上部ガラス基
板を貼り合わせ、その間に液晶を注入充填することによ
り液晶表示装置を作製することにより解決した。
In forming a varistor element used as an active matrix element in a method of manufacturing a liquid crystal display device, a varistor paste containing a mixture of varistor particles and an organic binder as a main component is used for screen printing or the like. The organic binder component is removed by transferring to a substrate by a printing method and heating it so that only the varistor particles are present on the substrate. By pressing the element with a means such as a roll press, the packing density in the horizontal direction and the thickness direction is improved. After that, a paste containing glass frit as a main component is transferred by a printing method such as screen printing so as to cover the varistor particles, and the glass frit is melted by heating to fix the varistor particles on the substrate to form a varistor element. Form. After that, an upper glass substrate provided with a signal electrode and a color filter was bonded to the upper part of them at a predetermined interval, and liquid crystal was injected and filled between them to manufacture a liquid crystal display device.

【0012】[0012]

【作用】本発明では、バリスタ素子を形成する際、バリ
スタ粒子と有機バインダーのみ含まれ、バリスタ粒子を
固着させるために用いられているガラスフリットを全く
含まないペーストを用い、基板にそれを転移させ、加熱
により有機バインダーを除去する。しかるのちこれにプ
レス処理を施す事によりあらかじめ基板上のバリスタ素
子の並びを整え、素子内のバリスタ粒子の充填密度を向
上させる。さらにその上にガラスフリットを主成分とす
るペーストをその上に転移させ、これを加熱することに
よりガラスフリットを融解させ、ガラスフリットがバリ
スタ粒子を基板に固着させる事によりバリスタ素子を形
成する。しかるのち上部ガラス基板を貼り合わせ、その
間に液晶を注入充填することにより液晶表示装置を作製
する。このため、個々のバリスタ素子においてバリスタ
粒子の充填密度が高く、素子の電気的特性、および厚み
のばらつきに関して高性能かつその性能が素子間で一定
した液晶表示装置の製造方法を提供することを容易にす
る。
In the present invention, when a varistor element is formed, a paste containing only varistor particles and an organic binder and containing no glass frit used for fixing varistor particles is used and transferred to a substrate. The organic binder is removed by heating. After that, by pressing this, the arrangement of the varistor elements on the substrate is adjusted in advance, and the packing density of varistor particles in the element is improved. Further, a paste containing glass frit as a main component is transferred onto it, and the glass frit is melted by heating the paste, and the glass frit fixes the varistor particles to the substrate to form a varistor element. After that, the upper glass substrate is bonded, and liquid crystal is injected and filled between them to manufacture a liquid crystal display device. Therefore, it is easy to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device in which the packing density of varistor particles in each varistor element is high, the electrical characteristics of the element are high, and the variation in thickness is high and the performance is constant between elements. To

【0013】[0013]

【実施例】本発明の実施例に基づいて具体的に説明す
る。
Embodiments will be specifically described based on embodiments of the present invention.

【0014】(実施例1)図1〜図5は本発明による液
晶表示装置におけるバリスタ素子形成の断面図であり、
図6は本発明による液晶表示装置の平面図、図7は、図
6のA−A’による断面図である。
(Embodiment 1) FIGS. 1 to 5 are cross-sectional views of forming a varistor element in a liquid crystal display device according to the present invention.
FIG. 6 is a plan view of a liquid crystal display device according to the present invention, and FIG. 7 is a sectional view taken along the line AA ′ of FIG.

【0015】図6に示すように、本実施例の液晶表示装
置は、下側ガラス基板10に走査電極11、画素電極1
2、二端子素子としてバリスタ素子13が設けられてい
る。そして信号電極16およびカラーフィルタ18が設
けられた上側ガラス基板17と下側ガラス基板10の間
に液晶14としてTN型液晶が注入充填してある。
As shown in FIG. 6, in the liquid crystal display device of this embodiment, the scanning electrode 11 and the pixel electrode 1 are provided on the lower glass substrate 10.
2. A varistor element 13 is provided as a two-terminal element. A TN type liquid crystal is injected and filled as the liquid crystal 14 between the upper glass substrate 17 provided with the signal electrode 16 and the color filter 18 and the lower glass substrate 10.

【0016】ここでTN型液晶14を用いているため、
下側ガラス基板10、液晶14の層、および上側ガラス
基板17との間に液晶14を配向させるための配向膜1
5が設置され、下側ガラス基板10と上側ガラス基板1
7の外側に偏光板19が設置されている構成である。
Since the TN type liquid crystal 14 is used here,
Alignment film 1 for aligning liquid crystal 14 between lower glass substrate 10, layer of liquid crystal 14, and upper glass substrate 17.
5 is installed, the lower glass substrate 10 and the upper glass substrate 1
In this configuration, the polarizing plate 19 is installed on the outside of 7.

【0017】上記構成の液晶表示装置は次のような工程
で製造される。
The liquid crystal display device having the above structure is manufactured by the following steps.

【0018】まず、下側ガラス基板10上にマグネトロ
ンスパッタ装置を用いてITO膜(酸化インジウム/酸
化スズ膜)を厚さ1100Åに成膜し、これにフォトリ
ソグラフィープロセスによりレジストパターンを形成し
て酸化第二鉄:塩酸=1:3のエッチング液にて走査電
極11および画素電極12を形成する。
First, an ITO film (indium oxide / tin oxide film) having a thickness of 1100 Å is formed on the lower glass substrate 10 by using a magnetron sputtering device, and a resist pattern is formed on the ITO film (photolithography process) to oxidize the film. The scan electrode 11 and the pixel electrode 12 are formed with an etching solution of ferric: hydrochloric acid = 1: 3.

【0019】バリスタ粒子を主成分とするペーストを図
1に示すようにこの下側ガラス基板10上に325メッ
シュのスクリーン版を用い転移した。
A paste containing varistor particles as a main component was transferred onto the lower glass substrate 10 using a 325 mesh screen plate as shown in FIG.

【0020】ここで用いたペーストはバリスタ粒子とポ
リメチルメタクリレートを主成分とするものであり、バ
リスタ粒子20部に対しポリメチルメタクリレート15
部、および溶剤としてエチルカルビトール5部を混合し
たものを用いた。バリスタ粒子は、図10に詳示するよ
うに、ZnO単結晶粒子131の表面をMn,Co酸化
物等の無機質絶縁膜132で被覆したものである。
The paste used here is mainly composed of varistor particles and polymethylmethacrylate, and 20 parts of varistor particles are mixed with 15 parts of polymethylmethacrylate.
Parts, and a mixture of 5 parts of ethyl carbitol as a solvent was used. As shown in detail in FIG. 10, the varistor particles are obtained by coating the surface of ZnO single crystal particles 131 with an inorganic insulating film 132 such as Mn or Co oxide.

【0021】このペーストが転移された基板を空気中、
420℃で1時間加熱しポリメチルメタクリレートおよ
びエチルカルビトールを除去し図2に示すように基板上
にバリスタ粒子のみ残るようにした。
The substrate to which this paste was transferred was placed in air,
It was heated at 420 ° C. for 1 hour to remove polymethyl methacrylate and ethyl carbitol so that only the varistor particles remained on the substrate as shown in FIG.

【0022】これをロールプレス機に通し、プレスする
ことにより図3に示すように除去された成分が占めてい
た空間をなくしバリスタ粒子が密に配列するようにし
た。
By passing this through a roll press and pressing it, the space occupied by the removed components was eliminated as shown in FIG. 3 so that the varistor particles were densely arranged.

【0023】さらにガラスフリット5部、ポリメチルメ
タクリレート15部およびエチルカルビトール5部から
なるペーストを325メッシュのスクリーン版を用い、
図4に示すようにこのバリスタ粒子の上に転移した。
Further, a paste consisting of 5 parts of glass frit, 15 parts of polymethylmethacrylate and 5 parts of ethylcarbitol was used with a 325 mesh screen plate.
As shown in FIG. 4, it was transferred onto the varistor particles.

【0024】これを空気中、420℃で1時間加熱しガ
ラスフリットを融解しバリスタ粒子を基板に固着させる
事により図5に示すようなバリスタ素子を有する下側ガ
ラス基板10を形成した。
This was heated in air at 420 ° C. for 1 hour to melt the glass frit and fix the varistor particles to the substrate to form the lower glass substrate 10 having varistor elements as shown in FIG.

【0025】次にカラーフィルタ18、配向膜15、お
よびITO膜による信号電極16からなる上側ガラス基
板17にガラスビーズを2.5重量%混合した接着用エ
ポキシ樹脂をスクリーン印刷により印刷し、下側ガラス
基板10と位置合わせした後はりあわせ、加圧接着す
る。
Next, an epoxy resin for adhesion containing 2.5% by weight of glass beads is printed by screen printing on the upper glass substrate 17 composed of the color filter 18, the alignment film 15, and the signal electrode 16 formed of the ITO film, and the lower side is printed. After being aligned with the glass substrate 10, they are bonded together and pressure-bonded.

【0026】ついでこのパネルに液晶14としてTN型
液晶を接着部の一部に設けた注入口より充填し、充填後
注入口を封止する。
Then, a TN type liquid crystal as the liquid crystal 14 is filled into this panel through an injection port provided in a part of the adhesive portion, and after the filling, the injection port is sealed.

【0027】そして下側ガラス基板10および上側ガラ
ス基板17の外側に偏光板19を設置する。この結果、
個々のバリスタ素子においてバリスタ粒子の充填密度が
高く、素子の電気的特性、および厚みに関して高性能か
つその性能が素子間で一定した液晶表示装置を得た。
Then, a polarizing plate 19 is set outside the lower glass substrate 10 and the upper glass substrate 17. As a result,
A liquid crystal display device having a high packing density of varistor particles in each varistor element, high performance with respect to the electrical characteristics and thickness of the element, and constant performance among the elements was obtained.

【0028】(実施例2)図1〜図5は本発明による液
晶表示装置におけるバリスタ素子形成の断面図であり、
図6は本発明による液晶表示装置の平面図、図7は、図
6のA−A’による断面図である。
(Embodiment 2) FIGS. 1 to 5 are sectional views showing formation of varistor elements in a liquid crystal display device according to the present invention.
FIG. 6 is a plan view of a liquid crystal display device according to the present invention, and FIG. 7 is a sectional view taken along the line AA ′ of FIG.

【0029】図6に示すように、本実施例の液晶表示装
置は、下側ガラス基板10に走査電極11、画素電極1
2、二端子素子としてバリスタ素子13が設けられてい
る。そして信号電極16およびカラーフィルタ18が設
けられた上側ガラス基板17と下側ガラス基板10の間
に液晶14としてTN型液晶が注入充填してある。
As shown in FIG. 6, in the liquid crystal display device of this embodiment, the scanning electrode 11 and the pixel electrode 1 are provided on the lower glass substrate 10.
2. A varistor element 13 is provided as a two-terminal element. A TN type liquid crystal is injected and filled as the liquid crystal 14 between the upper glass substrate 17 provided with the signal electrode 16 and the color filter 18 and the lower glass substrate 10.

【0030】ここでTN型液晶14を用いているため、
下側ガラス基板10、液晶14の層、および上側ガラス
基板17との間に液晶14を配向させるための配向膜1
5が設置され、下側ガラス基板10と上側ガラス基板1
7の外側に偏光板19が設置されている構成である。
Since the TN type liquid crystal 14 is used here,
Alignment film 1 for aligning liquid crystal 14 between lower glass substrate 10, layer of liquid crystal 14, and upper glass substrate 17.
5 is installed, the lower glass substrate 10 and the upper glass substrate 1
In this configuration, the polarizing plate 19 is installed on the outside of 7.

【0031】上記構成の液晶表示装置は次のような工程
で製造される。
The liquid crystal display device having the above structure is manufactured by the following steps.

【0032】まず、下側ガラス基板10上にマグネトロ
ンスパッタ装置を用いてITO膜(酸化インジウム/酸
化スズ膜)を厚さ1100Åに成膜し、これにフォトリ
ソグラフィープロセスによりレジストパターンを形成し
て酸化第二鉄:塩酸=1:3のエッチング液にて走査電
極11および画素電極12を形成する。
First, an ITO film (indium oxide / tin oxide film) having a thickness of 1100 Å is formed on the lower glass substrate 10 by using a magnetron sputtering device, and a resist pattern is formed on the ITO film by a photolithography process to oxidize the film. The scan electrode 11 and the pixel electrode 12 are formed with an etching solution of ferric: hydrochloric acid = 1: 3.

【0033】バリスタ粒子を主成分とするペーストを図
1に示すようにこの下側ガラス基板10上に325メッ
シュのスクリーン版を用い転移した。
The paste containing varistor particles as a main component was transferred onto this lower glass substrate 10 using a 325 mesh screen plate as shown in FIG.

【0034】ここで用いたペーストはバリスタ粒子とエ
チルセルロースを主成分とするものであり、バリスタ粒
子20部に対しエチルセルロース5部、および溶剤とし
てエチルカルビトール10部を混合したものを用いた。
バリスタ粒子は、図10に詳示するように、ZnO単結
晶粒子131の表面をMn,Co酸化物等の無機質絶縁
膜132で被覆したものである。
The paste used here was mainly composed of varistor particles and ethyl cellulose, and used was a mixture of 20 parts of varistor particles with 5 parts of ethyl cellulose and 10 parts of ethyl carbitol as a solvent.
As shown in detail in FIG. 10, the varistor particles are obtained by coating the surface of ZnO single crystal particles 131 with an inorganic insulating film 132 such as Mn or Co oxide.

【0035】このペーストが転移された基板を空気中、
420℃で1時間加熱しエチルセルロースおよびエチル
カルビトールを除去し、図2に示すように基板上にバリ
スタ粒子のみ残るようにした。
The substrate to which this paste was transferred was placed in air,
It was heated at 420 ° C. for 1 hour to remove ethyl cellulose and ethyl carbitol so that only the varistor particles remained on the substrate as shown in FIG.

【0036】これをロールプレス機に通し、プレスする
ことにより図3に示すようにバインダーが除去された部
分の空間をなくしバリスタ粒子が密に配列するようにし
た。
This was passed through a roll pressing machine and pressed to eliminate the space where the binder was removed as shown in FIG. 3 so that the varistor particles were densely arranged.

【0037】さらにガラスフリット5部、エチルセルロ
ース5部およびエチルカルビトール15部からなるペー
ストを325メッシュのスクリーン版を用い、図4に示
すようにこのバリスタ粒子の上に転移した。
Further, a paste consisting of 5 parts of glass frit, 5 parts of ethyl cellulose and 15 parts of ethyl carbitol was transferred onto the varistor particles as shown in FIG. 4 using a 325 mesh screen plate.

【0038】これを空気中、420℃で1時間加熱しガ
ラスフリットを融解させることによりガラスフリットが
バリスタ粒子同士を結合させ、かつ基板と結合させる事
により図5に示すようなバリスタ素子を有する下側ガラ
ス基板10を形成した。
This is heated in air at 420 ° C. for 1 hour to melt the glass frit so that the glass frit binds the varistor particles to each other and also binds to the substrate to form a varistor element as shown in FIG. The side glass substrate 10 was formed.

【0039】次にカラーフィルタ18、配向膜15、お
よびITO膜による信号電極16からなる上側ガラス基
板17にガラスビーズを2.5重量%混合した接着用エ
ポキシ樹脂をスクリーン印刷により印刷し、下側ガラス
基板10と位置合わせした後はりあわせ、加圧接着す
る。
Next, an epoxy resin for adhesion containing 2.5% by weight of glass beads is printed by screen printing on the upper glass substrate 17 composed of the color filter 18, the alignment film 15, and the signal electrode 16 formed of the ITO film, and the lower side is printed. After being aligned with the glass substrate 10, they are bonded together and pressure-bonded.

【0040】ついでこのパネルに液晶14としてTN型
液晶を接着部の一部に設けた注入口より充填し、充填後
注入口を封止する。
Then, a TN type liquid crystal as the liquid crystal 14 is filled into this panel through an injection port provided in a part of the adhesive portion, and after the filling, the injection port is sealed.

【0041】そして下側ガラス基板10および上側ガラ
ス基板17の外側に偏光板19を設置する。この結果、
個々のバリスタ素子においてバリスタ粒子の充填密度が
高く、素子の電気的特性、および厚みに関して高性能か
つその性能が素子間で一定した液晶表示装置を得た。
Then, the polarizing plate 19 is placed outside the lower glass substrate 10 and the upper glass substrate 17. As a result,
A liquid crystal display device having a high packing density of varistor particles in each varistor element, high performance with respect to the electrical characteristics and thickness of the element, and constant performance among the elements was obtained.

【0042】なお、本発明は配線抵抗低減のための行電
極材料として、Cr等の金属薄膜を用いる事が可能であ
る。また、液晶についてもTN型だけでなく、ゲストホ
スト型、高分子分散型等を用いた液晶表示装置にも適用
する事ができる。
In the present invention, it is possible to use a metal thin film such as Cr as a row electrode material for reducing the wiring resistance. Further, the liquid crystal can be applied not only to the TN type, but also to a liquid crystal display device using a guest host type, a polymer dispersed type, or the like.

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明の液晶表示装置の製造方法によれ
ば、アクティブマトリクス素子として用いる個々のバリ
スタ素子においてバリスタ粒子の充填密度が高く、電気
的特性、および厚みに関して高性能かつその性能が素子
間で一定した素子を得ることができる。このことによ
り、むらのない鮮明な画像表示を達成する大画面の液晶
表示装置を得る事が可能となる。
According to the method of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, in each varistor element used as an active matrix element, the packing density of varistor particles is high, the electrical characteristics and the thickness are high, and the element has high performance. It is possible to obtain a constant element between them. As a result, it is possible to obtain a large-screen liquid crystal display device that achieves even and clear image display.

【0044】[0044]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の液晶表示装置の製造方法における素子
形成の一実施例を工程順に示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an element formation in a manufacturing method of a liquid crystal display device of the present invention in the order of steps.

【図2】本発明の液晶表示装置の製造方法における素子
形成の一実施例を工程順に示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of an element formation in the method of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention in the order of steps.

【図3】本発明の液晶表示装置の製造方法における素子
形成の一実施例を工程順に示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of an element formation in the method of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention in the order of steps.

【図4】本発明の液晶表示装置の製造方法における素子
形成の一実施例を工程順に示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of an element formation in the method of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention in the order of steps.

【図5】本発明の液晶表示装置の製造方法における素子
形成の一実施例を工程順に示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing, in the order of steps, an embodiment of forming an element in the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention.

【図6】本発明の一実施例に係る液晶表示装置の平面図
である。
FIG. 6 is a plan view of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.

【図7】図1のA−A’に沿って切断したところを示す
断面図である。
7 is a cross-sectional view showing a section taken along line AA ′ in FIG.

【図8】二端子素子型液晶表示装置の等価回路図であ
る。
FIG. 8 is an equivalent circuit diagram of a two-terminal element type liquid crystal display device.

【図9】一般的な二端子素子型液晶表示装置の一例を示
す平面図である。
FIG. 9 is a plan view showing an example of a general two-terminal element type liquid crystal display device.

【図10】バリスタ粒子の断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of varistor particles.

【図11】バリスタ素子要部の拡大図である。FIG. 11 is an enlarged view of a main part of a varistor element.

【図12】バリスタ素子の電圧−電流特性を示すグラフ
図である。
FIG. 12 is a graph showing voltage-current characteristics of a varistor element.

【符号の説明】 10 下側ガラス基板 11 走査電極 12 画素電極 13 バリスタ素子 13a バリスタ粒子 13b ガラスフリット 131 ZnO単結晶粒子 132 無機質絶縁膜 14 液晶 15 配向膜 16 信号電極 17 上側ガラス基板 18 カラーフィルタ 19 偏光板[Explanation of Codes] 10 Lower Glass Substrate 11 Scanning Electrode 12 Pixel Electrode 13 Varistor Element 13a Varistor Particle 13b Glass Frit 131 ZnO Single Crystal Particle 132 Inorganic Insulating Film 14 Liquid Crystal 15 Alignment Film 16 Signal Electrode 17 Upper Glass Substrate 18 Color Filter 19 Polarizer

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】信号電極と走査電極との間に、アクティブ
マトリクス素子として用いるバリスタ素子と液晶画素と
を電気的に直列に配して接続した液晶表示装置の製造方
法において、バリスタ素子を形成するバリスタ粒子を熱
分解性ないし燃焼性を有する有機バインダーと混合し、
これを印刷法により基板上に転移させ、しかるのち加熱
して有機バインダーを除去し、基板上にバリスタ粒子の
み存在させ、これを機械的に外力を加えプレスし、その
上にガラスフリットと熱分解性ないし燃焼性を有する有
機バインダーと混合したものを印刷法により基板上のバ
リスタ粒子上に転移させ、しかるのち加熱によりガラス
フリットを融解させ、かつ有機バインダーを除去するこ
とにより基板上にバリスタ粒子を固着させ、アクティブ
マトリクス素子としてのバリスタ素子を形成する事を特
徴とする液晶表示装置の製造方法。
1. A varistor element is formed in a method of manufacturing a liquid crystal display device in which a varistor element used as an active matrix element and a liquid crystal pixel are electrically connected in series between a signal electrode and a scanning electrode. Mixing varistor particles with an organic binder having thermal decomposability or flammability,
This is transferred to the substrate by the printing method and then heated to remove the organic binder, leaving only the varistor particles on the substrate, mechanically applying external force and pressing, and then glass frit and thermal decomposition on it. A mixture of organic and flammable organic binders is transferred onto the varistor particles on the substrate by the printing method, and then the glass frit is melted by heating, and the organic binder is removed to form the varistor particles on the substrate. A method for manufacturing a liquid crystal display device, which comprises fixing and forming a varistor element as an active matrix element.
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