JPH0572971U - 石英るつぼ組み込み装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 黒鉛るつぼに対する石英るつぼの組み込みを
安全かつ容易に行い、作業者を苦渋作業から開放するこ
とができるような石英るつぼ組み込み装置を提供する。 【構成】 押し上げ装置たとえばスクリュジャッキ２を
固着した架台１の上面に、るつぼ受け５と黒鉛るつぼ６
とを載置し、前記るつぼ受け５および黒鉛るつぼ６の底
部に設けられた穴を通してスクリュジャッキ２のスクリ
ュシャフト２ａを伸ばす。スクリュシャフト２ａ上端に
装着した黒鉛ボス７上に、クレーン等を用いて石英るつ
ぼ８を吊り下ろし、前記スクリュシャフト２ａを下降さ
せて石英るつぼ８を黒鉛るつぼ６内に嵌着させる。同時
に、前記黒鉛ボス７は黒鉛るつぼ６底部の穴に挿嵌され
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、単結晶製造装置に用いるるつぼに係るもので、特に、黒鉛るつぼに 石英るつぼを嵌着する場合の石英るつぼ組み込み装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ＣＺ法によるシリコン単結晶製造装置においては、シリコン多結晶原料を溶融 するるつぼとして、耐熱性にすぐれた黒鉛るつぼの中に石英るつぼを嵌着したも のを使用している。従来から石英るつぼは人力によるハンドリングが可能である ため、石英るつぼの黒鉛るつぼへの嵌着は一般に人力によって実施している。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、近年単結晶の大径化に伴って石英るつぼの容量が大型化する傾向にあ り、これまでのような人力によるハンドリングは、無理な姿勢での重量物取扱い という苦渋作業を強いることになるので、労働安全上から実施不可能となりつつ ある。ところで、石英るつぼの上部外側を掴持して黒鉛るつぼへの着脱を行うハ ンドリング装置を考える場合、黒鉛るつぼの上端面に対する石英るつぼ上端の突 出部分が短く、つかみ代が少ないため、石英るつぼの突出部分を掴持することは 極めて困難である。また仮につかみ代が多くても、石英るつぼが落下しない程度 の掴持力が必要で、かつその掴持力によって石英るつぼが変形、損傷しないよう な工夫が要求される。そのため、前記ハンドリング装置はかなり大がかりなもの となる。そこで本考案は、上記従来の問題点に着目し、石英るつぼの黒鉛るつぼ に対する着脱を単結晶製造装置外で安全かつ容易に行い、作業者を苦渋作業から 開放することができるような石英るつぼ組み込み装置を提供することを目的とす る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために本考案に係る石英るつぼ組み込み装置は、黒鉛るつ ぼ内に石英るつぼを嵌着し、前記黒鉛るつぼをるつぼ受けに載置する単結晶製造 装置のるつぼにおいて、押し上げ機構を装着した架台と、前記押し上げ機構の押 し上げ軸上端に着脱自在に装着され、黒鉛るつぼの底部に設けた穴に挿嵌可能な 黒鉛ボスとによって構成され、押し上げ機構の押し上げ軸をるつぼ受けの底部お よび黒鉛るつぼの底部にそれぞれ設けた穴を通して上方に伸ばし、前記押し上げ 軸の上端に装着した黒鉛ボスに石英るつぼを載置した後、押し上げ軸を下げるこ とによって、前記石英るつぼを黒鉛るつぼ内に嵌着し、これと同時に、黒鉛ボス を黒鉛るつぼ底部の穴に挿嵌させることとした。

【０００５】

【作用】

上記構成によれば、押し上げ機構を装着した架台と、前記押し上げ機構の押し 上げ軸上端に着脱自在に装着され、黒鉛るつぼの底部に設けた穴に挿嵌可能な黒 鉛ボスとによって石英るつぼ組み込み装置を構成したので、前記架台にるつぼ受 けと黒鉛るつぼとを載置した上、押し上げ機構の押し上げ軸をるつぼ受けの底ぶ および黒鉛るつぼの底部にそれぞれ設けた穴を通して上方に伸ばし、前記押し上 げ軸の上端に装着した黒鉛ボスに石英るつぼを載置した後、押し上げ軸を下げる と、石英るつぼを黒鉛るつぼ内に容易に嵌着させることができる。これと同時に 、黒鉛ボスは黒鉛るつぼ底部の穴に挿嵌される。

【０００６】

【実施例】

以下に、本考案に係る石英るつぼ組み込み装置の実施例について、図面を参照 して説明する。 図１は黒鉛るつぼに石英るつぼを嵌着する直前の状態を示す断面説明図、図２ は黒鉛るつぼに石英るつぼを嵌着した状態を示す断面説明図である。図１におい て、架台１の内部には押し上げ装置たとえばスクリュジャッキ２が設けられ、こ のスクリュジャッキ２は前記架台１の上部側面に固着されたモータ３により、軸 継手４を介して駆動される。架台１の上面にはるつぼ受け５を載置するくぼみが 設けられ、このくぼみの中心およびるつぼ受け５の底面中心に、前記スクリュジ ャッキ２のスクリュシャフト２ａが上下動する穴が設けられている。

【０００７】 黒鉛るつぼ６の底面中心には、前記るつぼ受け５の底面中心に設けられた穴よ り大径の穴６ａが設けられ、るつぼ受け５の上面外周に設けられた突起は、黒鉛 るつぼ６の下面に設けられた環状の溝に嵌合する。また、前記黒鉛るつぼ６の底 面中心に設けられた穴６ａに挿嵌可能な黒鉛ボス７は、前記スクリュジャッキ２ の上端に取着することができるようになっている。

【０００８】 上記の石英るつぼ組み込み装置を用いて行う石英るつぼの黒鉛るつぼへの嵌着 方法は、次の通りである。図１に示すように、まず、架台１にるつぼ受け５を載 置し、るつぼ受け５に黒鉛るつぼ６を載置する。このとき、架台１のくぼみに前 記るつぼ受け５の底部を挿嵌することにより、架台１の中心とるつぼ受け５の中 心とが一致し、るつぼ受け５の上面外周の突起を黒鉛るつぼ６下面の環状の溝に 嵌合させることにより、るつぼ受け５の中心と黒鉛るつぼ６の中心とが一致する 。次に、モータ３によりスクリュジャッキ２を駆動し、スクリュシャフト２ａの 上端を黒鉛るつぼ６の上端付近まで伸ばした上、スクリュシャフト２ａの上端に 黒鉛ボス７を取着する。この状態で、クレーン等と吊り具を用いて吊り上げた石 英るつぼ８を前記黒鉛ボス７の上に吊り下ろす。

【０００９】 その後、図２に示すように、モータ３によりスクリュジャッキ２を下げ方向に 駆動し、石英るつぼ８を黒鉛るつぼ６内に嵌着させる。このとき黒鉛ボス７は黒 鉛るつぼ６の底部に挿嵌される。このようにして石英るつぼ組み込みが完了した ら、石英るつぼ８を嵌着した黒鉛るつぼ６をるつぼ受け５とともにクレーン等で 吊り上げ、単結晶製造装置内に設置する。

【００１０】 本実施例ではスクリュジャッキの動力源としてモータを使用したが、これに限 るものではなく、スクリュシャフトを人力で回転してもよい。また、スクリュジ ャッキに代えて油圧シリンダによる押し上げ機構としてもよく、この場合、油圧 源を架台以外の場所に設置し、油圧源と油圧シリンダとを配管で接続することに してもよい。なお、黒鉛るつぼから石英るつぼを取り外す場合は、上記と逆の手 順を用いればよい。

【００１１】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、押し上げ機構を装着した架台と、前記押 し上げ機構の押し上げ軸上端に着脱自在に装着され、黒鉛るつぼの底部に設けた 穴に挿嵌可能な黒鉛ボスとによって石英るつぼ組み込み装置を構成したので、組 み込み装置の構造が極めて簡単で、容易に調達することができる。そして、前記 架台にるつぼ受けと黒鉛るつぼとを載置した上、押し上げ機構の押し上げ軸をる つぼ受けの底部および黒鉛るつぼの底部にそれぞれ設けた穴内を通して上方に伸 ばし、前記押し上げ軸の上端に装着した黒鉛ボスに石英るつぼを載置した後、押 し上げ軸を下げると、石英るつぼを黒鉛るつぼ内に容易に嵌着させることができ るため、組み込み操作は極めて簡単かつ容易である。従って本考案の適用により 、黒鉛るつぼに対する石英るつぼの組み込みを単結晶製造装置外で安全、迅速に 行うことができ、作業者を苦渋作業から開放するとともに、準備作業の能率を向 上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】黒鉛るつぼに石英るつぼを嵌着する直前の状態
を示す断面説明図である。

【図２】黒鉛るつぼに石英るつぼを嵌着した状態を示す
断面説明図である。

【符号の説明】

１ 架台 ２ スクリュジャッキ ２ａ スクリュシャフト ５ るつぼ受け ６ 黒鉛るつぼ ６ａ 穴 ７ 黒鉛ボス ８ 石英るつぼ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 黒鉛るつぼ内に石英るつぼを嵌着し、前
   記黒鉛るつぼをるつぼ受けに載置する単結晶製造装置の
   るつぼにおいて、押し上げ機構を装着した架台と、前記
   押し上げ機構の押し上げ軸上端に着脱自在に装着され、
   黒鉛るつぼの底部に設けた穴に挿嵌可能な黒鉛ボスとに
   よって構成され、押し上げ機構の押し上げ軸をるつぼ受
   けの底部および黒鉛るつぼの底部にそれぞれ設けた穴を
   通して上方に伸ばし、前記押し上げ軸の上端に装着した
   黒鉛ボスに石英るつぼを載置した後、押し上げ軸を下げ
   ることによって、前記石英るつぼを黒鉛るつぼ内に嵌着
   し、これと同時に、黒鉛ボスを黒鉛るつぼ底部の穴に挿
   嵌させることを特徴とする石英るつぼ組み込み装置。