JPH0574825A - ダイボンデイング装置 - Google Patents
ダイボンデイング装置Info
- Publication number
- JPH0574825A JPH0574825A JP3234576A JP23457691A JPH0574825A JP H0574825 A JPH0574825 A JP H0574825A JP 3234576 A JP3234576 A JP 3234576A JP 23457691 A JP23457691 A JP 23457691A JP H0574825 A JPH0574825 A JP H0574825A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- motor
- direct motor
- nozzle shaft
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高速動作が可能で、しかも発塵のないダイボ
ンディング装置を提供する。 【構成】 ヘッド部１と、このヘッド部１を横方向に往
復移動させる第１のダイレクトモータ１１とを設け、ま
た上記ヘッド部１を、ノズル２を有するノズルシャフト
３と、このノズルシャフト３を上下動させる第２のダイ
レクトモータ２１と、このノズルシャフト３をその軸心
を中心にθ回転させる第３のダイレクトモータ３１とか
ら構成した。
ンディング装置を提供する。 【構成】 ヘッド部１と、このヘッド部１を横方向に往
復移動させる第１のダイレクトモータ１１とを設け、ま
た上記ヘッド部１を、ノズル２を有するノズルシャフト
３と、このノズルシャフト３を上下動させる第２のダイ
レクトモータ２１と、このノズルシャフト３をその軸心
を中心にθ回転させる第３のダイレクトモータ３１とか
ら構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はダイボンディング装置に
係り、ノズルシャフトの昇降動作、θ回転動作、及びヘ
ッド部の横方向移動動作を、ダイレクトモータにより行
なうようにしたものである。
係り、ノズルシャフトの昇降動作、θ回転動作、及びヘ
ッド部の横方向移動動作を、ダイレクトモータにより行
なうようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、チップを基板に搭載する従来の
ダイボンディング装置の斜視図である。図中、１００は
ヘッド部であり、ノズルシャフト１０１を有している。
このノズルシャフト１０１の下端部にはノズル１０２が
装着されており、このノズル１０２にウェハー１０３の
チップＰを吸着し、リードフレームなどの基板１０４に
移送搭載する。
ダイボンディング装置の斜視図である。図中、１００は
ヘッド部であり、ノズルシャフト１０１を有している。
このノズルシャフト１０１の下端部にはノズル１０２が
装着されており、このノズル１０２にウェハー１０３の
チップＰを吸着し、リードフレームなどの基板１０４に
移送搭載する。
【０００３】１０５はモータであり、タイミングベルト
１０６を介してノズルシャフト１０１をその軸心を中心
にθ回転させて、回転角度を設定する。ノズルシャフト
１０１やモータ１０５等は、ブラケット１０７を介して
昇降板１０８に保持されている。この昇降板１０８の背
面にはナット１０９が装着されており、このナット１０
９に螺合するボールねじ１１０を、モータ１１１により
回転させると、昇降板１０８は昇降し、ウェハー１０３
上のチップＰのピックアップ動作や、基板１０４への搭
載動作を行なう。１１２は垂直なリニアガイドである。
１０６を介してノズルシャフト１０１をその軸心を中心
にθ回転させて、回転角度を設定する。ノズルシャフト
１０１やモータ１０５等は、ブラケット１０７を介して
昇降板１０８に保持されている。この昇降板１０８の背
面にはナット１０９が装着されており、このナット１０
９に螺合するボールねじ１１０を、モータ１１１により
回転させると、昇降板１０８は昇降し、ウェハー１０３
上のチップＰのピックアップ動作や、基板１０４への搭
載動作を行なう。１１２は垂直なリニアガイドである。
【０００４】１１３は摺動板であり、上記リニアガイド
１１２はこの摺動板１１３の前面に装着されている。こ
の摺動板１１３の背面にはナット１１４が装着されてお
り、このナット１１４に螺合するボールねじ１１５をモ
ータ１１６により回転させると、摺動板１１３は横方向
に往復移動する。１１７は水平なリニアガイドである。
１１２はこの摺動板１１３の前面に装着されている。こ
の摺動板１１３の背面にはナット１１４が装着されてお
り、このナット１１４に螺合するボールねじ１１５をモ
ータ１１６により回転させると、摺動板１１３は横方向
に往復移動する。１１７は水平なリニアガイドである。
【０００５】次に動作を説明する。モータ１１６を駆動
して、摺動板１１３を横方向に移動させ、ノズル１０２
をウェハー１０３のチップＰの直上に位置させる。次い
でモータ１１１を駆動してノズル１０２を昇降させるこ
とにより、チップＰを吸着してピックアップする。次に
モータ１１６を駆動して摺動板１１３を横方向Ｙに移動
させ、ノズル１０２を基板１０４の直上に位置させる。
次いでモータ１１１を駆動することによりノズル１０２
を昇降させ、チップＰを基板１０４に搭載する。上記動
作中、モータ１０５を駆動することにより、ノズル１０
２の回転角度の設定を行なう。
して、摺動板１１３を横方向に移動させ、ノズル１０２
をウェハー１０３のチップＰの直上に位置させる。次い
でモータ１１１を駆動してノズル１０２を昇降させるこ
とにより、チップＰを吸着してピックアップする。次に
モータ１１６を駆動して摺動板１１３を横方向Ｙに移動
させ、ノズル１０２を基板１０４の直上に位置させる。
次いでモータ１１１を駆動することによりノズル１０２
を昇降させ、チップＰを基板１０４に搭載する。上記動
作中、モータ１０５を駆動することにより、ノズル１０
２の回転角度の設定を行なう。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来手段は、タイ
ミングベルト１０６、ナット１０９，１１４、ボールね
じ１１０，１１５、リニアガイド１１２，１１７によ
り、ノズル１０２の回転動作、昇降動作、ヘッド部１０
０の横方向移動動作を行なうようになっている。ところ
がこのような機械的手段では、モータ１０５，１１１，
１１６の負荷がきわめて大きく、動作の高速化が困難な
問題点があった。
ミングベルト１０６、ナット１０９，１１４、ボールね
じ１１０，１１５、リニアガイド１１２，１１７によ
り、ノズル１０２の回転動作、昇降動作、ヘッド部１０
０の横方向移動動作を行なうようになっている。ところ
がこのような機械的手段では、モータ１０５，１１１，
１１６の負荷がきわめて大きく、動作の高速化が困難な
問題点があった。
【０００７】またチップＰに塵埃が付着するのを避ける
ために、ダイボンディングはクリーンルームにおいて行
なわれるが、上記従来手段においては、タイミングベル
ト１０６やボールねじ１１０，１１５が駆動にともなう
機械的摩擦により発塵し、金属粉、ベルト粉、グリース
粉が飛散してクリーンルームのクリーン度が低下しやす
いものであった。
ために、ダイボンディングはクリーンルームにおいて行
なわれるが、上記従来手段においては、タイミングベル
ト１０６やボールねじ１１０，１１５が駆動にともなう
機械的摩擦により発塵し、金属粉、ベルト粉、グリース
粉が飛散してクリーンルームのクリーン度が低下しやす
いものであった。
【０００８】そこで本発明は、上記従来手段の問題点を
解消できるダイボンディング装置を提供することを目的
とする。
解消できるダイボンディング装置を提供することを目的
とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、ヘ
ッド部と、このヘッド部を横方向に往復移動させる第１
のダイレクトモータとを設け、また上記ヘッド部を、ノ
ズルを有するノズルシャフトと、このノズルシャフトを
上下動させる第２のダイレクトモータと、このノズルシ
ャフトをその軸心を中心にθ回転させる第３のダイレク
トモータとから構成したものである。
ッド部と、このヘッド部を横方向に往復移動させる第１
のダイレクトモータとを設け、また上記ヘッド部を、ノ
ズルを有するノズルシャフトと、このノズルシャフトを
上下動させる第２のダイレクトモータと、このノズルシ
ャフトをその軸心を中心にθ回転させる第３のダイレク
トモータとから構成したものである。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、ノズルの回転動作、昇降動
作及びヘッド部の横方向への移動動作は、すべてダイレ
クトモータにより行なわれることとなり、高速動作が可
能になるとともに、部品からの発塵を解消できる。
作及びヘッド部の横方向への移動動作は、すべてダイレ
クトモータにより行なわれることとなり、高速動作が可
能になるとともに、部品からの発塵を解消できる。
【００１１】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【００１２】図１はダイボンディング装置の斜視図、図
２は要部分解図である。１はヘッド部であり、チップ供
給部としてのウェハー５１上のチップＰを吸着するコレ
ット型のノズル２を有している。５２はこのチップＰが
搭載される基板である。１１はリニアモータから成る第
１のダイレクトモータであって、水平なガイド１２と、
このガイド１２上をスライドするスライダ１３を有して
おり、上記ヘッド部１はこのスライダ１３に装着され
て、横方向Ｙに移動する。１４はガイド１２に設けられ
たコイル、１５，１６はスライダ１３の下面に設けられ
たヨークとマグネットである。スライダ１３には空気受
を構成するエア孔１７が穿孔されており、ガイド１２上
をわずかに浮上して、横方向Ｙに移動する。
２は要部分解図である。１はヘッド部であり、チップ供
給部としてのウェハー５１上のチップＰを吸着するコレ
ット型のノズル２を有している。５２はこのチップＰが
搭載される基板である。１１はリニアモータから成る第
１のダイレクトモータであって、水平なガイド１２と、
このガイド１２上をスライドするスライダ１３を有して
おり、上記ヘッド部１はこのスライダ１３に装着され
て、横方向Ｙに移動する。１４はガイド１２に設けられ
たコイル、１５，１６はスライダ１３の下面に設けられ
たヨークとマグネットである。スライダ１３には空気受
を構成するエア孔１７が穿孔されており、ガイド１２上
をわずかに浮上して、横方向Ｙに移動する。
【００１３】図２において、２１はヘッド部１に設けら
れたリニアモータから成る第２のダイレクトモータであ
る。２２はヨークであり、ノズルシャフト３が挿着され
ており、このノズルシャフト３の下部に、上記ノズル２
が装着されている。ヨーク２２は円板形であって、その
周面にマグネット２３が装着されており、更にその外側
にコイル２４が設けられている。したがってコイル２４
に通電すると、ノズルシャフト３は上下方向Ｚに上下動
し、ノズル２はウェハー５１上のチップＰのピックアッ
プ動作や、基板５２へのチップの搭載動作を行なう。
れたリニアモータから成る第２のダイレクトモータであ
る。２２はヨークであり、ノズルシャフト３が挿着され
ており、このノズルシャフト３の下部に、上記ノズル２
が装着されている。ヨーク２２は円板形であって、その
周面にマグネット２３が装着されており、更にその外側
にコイル２４が設けられている。したがってコイル２４
に通電すると、ノズルシャフト３は上下方向Ｚに上下動
し、ノズル２はウェハー５１上のチップＰのピックアッ
プ動作や、基板５２へのチップの搭載動作を行なう。
【００１４】３１はリニアモータから成る第３のダイレ
クトモータであって、マグネット３２，コア３３，コイ
ル３４を備えている。上記ノズルシャフト３にはスプラ
イン４が装着されており、このスプライン４は、マグネ
ット３２の中心部を昇降自在に貫通している。コイル３
４に通電すると、ノズルシャフト３はその軸心を中心に
θ方向に回転する。
クトモータであって、マグネット３２，コア３３，コイ
ル３４を備えている。上記ノズルシャフト３にはスプラ
イン４が装着されており、このスプライン４は、マグネ
ット３２の中心部を昇降自在に貫通している。コイル３
４に通電すると、ノズルシャフト３はその軸心を中心に
θ方向に回転する。
【００１５】このダイボンディング装置は上記のような
構成より成り、次に動作の説明を行なう。
構成より成り、次に動作の説明を行なう。
【００１６】第１のダイレクトモータ１１を駆動して、
ヘッド部１をウェハー５１の直上に移動させる。次いで
第２のダイレクトモータ２１を駆動してノズル２を昇降
させ、ウェハー５１上のチップＰを吸着してピックアッ
プする。次いで第１のダイレクトモータ１１を駆動し
て、ヘッド部１を基板５２の直上へ移動させ、第２のダ
イレクトモータ２１を駆動して、このチップＰを基板５
２に搭載する。上記動作中に、第３のダイレクトモータ
３１を駆動することにより、ノズルシャフト３をθ回転
させ、ノズル２やチップＰの回転角度を設定する。
ヘッド部１をウェハー５１の直上に移動させる。次いで
第２のダイレクトモータ２１を駆動してノズル２を昇降
させ、ウェハー５１上のチップＰを吸着してピックアッ
プする。次いで第１のダイレクトモータ１１を駆動し
て、ヘッド部１を基板５２の直上へ移動させ、第２のダ
イレクトモータ２１を駆動して、このチップＰを基板５
２に搭載する。上記動作中に、第３のダイレクトモータ
３１を駆動することにより、ノズルシャフト３をθ回転
させ、ノズル２やチップＰの回転角度を設定する。
【００１７】本装置は、図３に示す従来手段のように、
タイミングベルト、ナット、ボールねじはまったく使用
しないので、ダイレクトモータ１１，２１，３１の負荷
はきわめて小さく、動作の高速化が可能となり、また機
械的摩擦による発塵を生じることもなく、クリーンルー
ムのクリーン度が低下することもない。
タイミングベルト、ナット、ボールねじはまったく使用
しないので、ダイレクトモータ１１，２１，３１の負荷
はきわめて小さく、動作の高速化が可能となり、また機
械的摩擦による発塵を生じることもなく、クリーンルー
ムのクリーン度が低下することもない。
【００１８】なお本発明は、ウェハー５１上のチップＰ
を位置ずれ補正ステージに移載し、ここでチップＰのＸ
Ｙθ方向の位置ずれを補正した後、ヘッド部１でこのチ
ップＰをピックアップし、基板５２に搭載する方式のダ
イボンディング装置にも適用できる。
を位置ずれ補正ステージに移載し、ここでチップＰのＸ
Ｙθ方向の位置ずれを補正した後、ヘッド部１でこのチ
ップＰをピックアップし、基板５２に搭載する方式のダ
イボンディング装置にも適用できる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ヘッド部
と、このヘッド部を横方向に往復移動させる第１のダイ
レクトモータとを備え、また上記ヘッド部が、ノズルを
有するノズルシャフトと、このノズルシャフトを上下動
させる第２のダイレクトモータと、このノズルシャフト
をその軸心を中心にθ回転させる第３のダイレクトモー
タを備えているので、ダイレクトモータの負荷はきわめ
て小さく、動作を高速化でき、また発塵もないので、ク
リーンルームのクリーン度の低下を解消できる。
と、このヘッド部を横方向に往復移動させる第１のダイ
レクトモータとを備え、また上記ヘッド部が、ノズルを
有するノズルシャフトと、このノズルシャフトを上下動
させる第２のダイレクトモータと、このノズルシャフト
をその軸心を中心にθ回転させる第３のダイレクトモー
タを備えているので、ダイレクトモータの負荷はきわめ
て小さく、動作を高速化でき、また発塵もないので、ク
リーンルームのクリーン度の低下を解消できる。
【図１】本発明に係るダイボンディング装置の斜視図
【図２】本発明に係るダイボンディング装置の要部分解
図
図
【図３】従来のダイボンディング装置の斜視図
１ ヘッド部 ２ ノズル ３ ノズルシャフト １１ 第１のダイレクトモータ ２１ 第２のダイレクトモータ ３１ 第３のダイレクトモータ ５１ チップ供給部 ５２ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】ヘッド部と、このヘッド部を横方向に往復
移動させる第１のダイレクトモータとを備え、また上記
ヘッド部が、ノズルを有するノズルシャフトと、このノ
ズルシャフトを上下動させる第２のダイレクトモータ
と、このノズルシャフトをその軸心を中心にθ回転させ
る第３のダイレクトモータを備えていることを特徴とす
るダイボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3234576A JP2979772B2 (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | ダイボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3234576A JP2979772B2 (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | ダイボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0574825A true JPH0574825A (ja) | 1993-03-26 |
| JP2979772B2 JP2979772B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=16973182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3234576A Expired - Fee Related JP2979772B2 (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | ダイボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2979772B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6256399B1 (en) | 1992-07-08 | 2001-07-03 | Ncs Pearson, Inc. | Method of distribution of digitized materials and control of scoring for open-ended assessments |
| US6558166B1 (en) | 1993-02-05 | 2003-05-06 | Ncs Pearson, Inc. | Multiple data item scoring system and method |
| JP2009147132A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | チップ部品装着装置 |
| CN110011439A (zh) * | 2017-11-17 | 2019-07-12 | 贝思瑞士股份公司 | 用于安装组件的结合头和具有这种结合头的贴片机 |
-
1991
- 1991-09-13 JP JP3234576A patent/JP2979772B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6256399B1 (en) | 1992-07-08 | 2001-07-03 | Ncs Pearson, Inc. | Method of distribution of digitized materials and control of scoring for open-ended assessments |
| US6558166B1 (en) | 1993-02-05 | 2003-05-06 | Ncs Pearson, Inc. | Multiple data item scoring system and method |
| JP2009147132A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | チップ部品装着装置 |
| CN110011439A (zh) * | 2017-11-17 | 2019-07-12 | 贝思瑞士股份公司 | 用于安装组件的结合头和具有这种结合头的贴片机 |
| CN110011439B (zh) * | 2017-11-17 | 2023-10-17 | 贝思瑞士股份公司 | 用于安装组件的结合头和具有这种结合头的贴片机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2979772B2 (ja) | 1999-11-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |