JPH0574931A - 集積回路用配線基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】分割前に前記配線基板の他方の面にも可撓性粘
着シートを貼着して前記配線基板を挾持し、分割後に前
記配線基板のどちらかの面の前記粘着シートを剥がすこ
とによって、小基板が粘着シートから剥がれるのを防止
することを目的とする。 【構成】この発明は、分割用の溝を持つ集積回路用配線
基板に対して、一方の面に第１の可撓性粘着シートを貼
着する工程と、前記粘着シートを貼着した状態で前記配
線基板を押圧して小基板に分割し前記粘着シートに小基
板を整列状態にする工程とを有する集積回路用配線基板
の製造方法において、分割前に前記配線基板の他方の面
にも第２の可撓性粘着シートを貼着して前記配線基板を
挾持する工程と、分割後に前記配線基板のどちらかの面
の前記粘着シートを剥がす工程とを有する事を特徴とす
る集積回路用配線基板の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は集積回路用配線基板の
製造方法に関し、さらに詳しくは小基板の集合体である
板状の集積回路用配線基板を小基板一個一個に分離する
工程を有する集積回路用配線基板の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路の製造工程において、小基板の
集合体である板状の集積回路用配線基板を小基板を一個
一個に分離する工程と、分離させた小基板を使用して行
うダイボンディング工程がある。このようなダイボンデ
ィング工程では分離された小基板をダイボンダーの吸着
コレットで保持する際に、分離された小基板をシートに
整列した状態で貼着しておく必要がある。例えば特開昭
６０−２５７５４７号公報には、分割用の溝を付けた配
線基板を、粘着性シートを基板に付着せしめた状態で分
割溝に沿って小基板に分割することにより、分割後の基
板の取り扱いを容易にすることが開示されている。図７
から図１３に基づいて以下に説明する。図７に示すよう
なセラミック等で形成された矩形状の基板１は、配線パ
ターンが形成されている表面１ａと、小基板の区切りに
形成された分割溝３ａ、３ｂとを有している裏面１ｂと
で構成されている。図８に示すように、基板１は粘着面
４ａを有する粘着シート４を表面１ａに貼着しておく。
この粘着シート４は適度の柔軟性と引っ張り強度を有す
るものとする。次に基板に可撓性粘着シートを貼着した
状態で、基板を押圧し基板の分割を行う。

【０００３】例えば図９に示すように、受け台５の上面
に搭載された弾性体６に、基板１を裏面１ｂを当接させ
て設置し、この状態でカッタ７がＡ方向に分割溝３ａに
沿って押圧することで、３ａの分割溝の縦方向の分割が
行われる。次に、カッタ７をＢ方向にスライドさせ３
ｂ、３ｃ、３ｄそれぞれの縦方向の分割を行う。そして
縦方向の基板の分割が終了すると基板１を９０°回転さ
せ横方向のに対しても分割を行い、分割操作を完了す
る。また図１０に示すように基板の貼着工程及び基板の
分割工程とその後の小基板付粘着シートの取り扱いの例
を示している。図１１は、図１０における分割後の小基
板付粘着シートを拡大したものである。分割が行われた
小基板付粘着シートは、図１０に示すように交互に重ね
てシートを折りたたみ、ケースに収納する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のよ
うに一面にのみ粘着シートを貼着する技術を使用して、
基板の分割を行うと、カッタ７が粘着シート押すことに
よってシート面方向沿いに引っ張り力が生じて、分割溝
付近の粘着シートは小基板から剥がれてしまう。このた
め粘着シートが小基板を保持する力が不足し、小基板が
粘着シートから外れやすくなるという不具合が生ずる。
特に一辺が１０ｍｍ程度の小基板に分割する際には、粘
着シートの剥がれた面積に対する貼着面積の割合が小さ
くなるため、小基板を保持する力の不足が顕著となり、
より不具合が生じやすくなる。この発明は、分割前に前
記配線基板の他方の面にも可撓性粘着シートを貼着して
前記配線基板を挾持し、分割後に前記配線基板のどちら
かの面の前記粘着シートを剥がすことによって、小基板
が粘着シートから外れるのを防止することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】分割用の溝を持つ集積回
路用配線基板に対して、一方の面に第１の可撓性粘着シ
ートを貼着する工程と、前記粘着シートを貼着した状態
で前記配線基板を押圧して小基板に分割し前記粘着シー
トに小基板を整列状態にする工程とを有する集積回路用
配線基板の製造方法において、分割前に前記配線基板の
他方の面にも第２の可撓性粘着シートを貼着して前記配
線基板を挾持する工程と、分割後に前記配線基板のどち
らかの面の前記粘着シートを剥がす工程とを有すること
を特徴とする。

【０００６】

【作用】上記手段により、分割を行うことによって粘着
シートの貼着力が不足しても、小基板の両面を粘着シー
トで挾持しているために小基板は粘着シートから外れな
い。

【０００７】

【実施例】続いて、この発明の一実施例について図１か
ら図６に基づいて以下に説明する。図４のようにセラミ
ック等の絶縁材料で形成された集積回路用配線基板８
は、基板の成型時にあらかじめ分割するための溝９を形
成しておいたり、あるいはダイシングブレードやレーザ
ー等で溝９を掘った状態で搬入されてくる。次に配線基
板の分割工程で、図３に示すようにを配線基板８の一方
の面に紫外線照射で粘着力が低下するシート１１（可撓
性粘着シートであって、紫外線照射前は８６０ｇ／２５
ｍｍ程度の粘着力を有していて、照射後１０ｇ／２５ｍ
ｍ程度の粘着力となる）貼着させ、他方の面に可撓性粘
着シート１０を貼着させて配線基板８を挾持する。この
際に粘着シート１０はリング１２に対しても貼着されて
いる。

【０００８】そして図３のように粘着シートで挾持され
た配線基板８を、図１のように配線基板８を治具１３に
押し当てた状態で、押圧棒１４を配線基板８の溝９を押
圧しつつ基板面に対してスライドさせて小基板１５は一
個一個に分割される。また小基板１５は、分割後もリン
グ１２の内側に貼られた粘着シート１０上に整列されて
いる。配線基板８の分割が終了したら、小基板１５を可
撓性粘着シート１０とシート１１で挾持したまま、リン
グ１２ごとダイボンディング工程に搬出する。また搬出
の移動状態においても小基板１５は可撓性粘着シート１
０とシート１１で挾持されたままにしておき、そしてダ
イボンダーに小基板付粘着シートを挿入する前に、図５
のようにシート１１に紫外線ランプ１６によって紫外線
を照射してシート１１の粘着力を弱め、次に図６のよう
にシート１１のみを小基板１５から剥がして小基板１５
に可撓性粘着シート１０のみ貼着した状態にする。そし
て小基板１５付可撓性粘着シート１０はダイボンダーで
ダイボンディングされる。

【０００９】以下に本実施例の効果について説明する。
粘着シートはリング１２の内側に貼られて固定されてい
るので、分割時に粘着シートが押圧棒１４で押されると
粘着シートはシート面方向沿いの引っ張り力が大きく、
小基板１５は粘着シートから剥がれやすくなるが、小基
板１５は可撓性粘着シート１０とシート１１で挾持され
ているので、粘着シートの剥がれによる貼着力の低下が
起きても小基板１５が外れるのを防止でき、後工程の生
産性が向上する。小基板のダイボンディングを行う際に
は、シート１１は紫外線により粘着力を十分低下させる
ことができるので、シート１０に小基板を貼着させたま
まシート１１を剥がす。

【００１０】また粘着シートを使用した他の実施例とし
て、シート１１と可撓性粘着シート１０のかわりに、一
方の粘着シートをあらかじめ他方の粘着シートに比べて
粘着力を落としてある粘着シートの組み合わせを使用し
たり、また一方の粘着シートを時間が経過すると他方の
粘着シートに比べて粘着力が落ちる粘着シートの組み合
わせを使用する事などができる。つまり一方の粘着シー
トの粘着力が他方の粘着シートの粘着力よりも小さけれ
ば、他方の粘着シートに小基板が貼着された状態で、一
方の粘着シートのみを剥がすことができる。そして、基
板の両面に粘着シートを貼着し挾持してあるために、両
手で基板を圧して割ることも出来る。

【００１１】

【発明の効果】本発明は、基板の分割を行うことによっ
てシートの剥がれによって粘着シートの貼着力が不足し
ても、小基板の両面を粘着シートで挾持しているため
に、小基板が外れるのを防止して後工程の生産性を向上
する事ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる配線基板分割の及び治具の平面
図。

【図２】本発明に係わる治具１３の平面図。

【図３】本発明の実施例における配線基板と粘着シート
との、貼着状態を示す側面図。

【図４】本発明の実施例に使われる分割するための溝が
ある集積回路用配線基板の平面図。

【図５】本発明に係わる小基板挾持状態での紫外線照射
を示す側面図。

【図６】本発明に係わり紫外線を小基板付粘着シート
（シート１１含む）に照射した後に、シート１１を剥が
す様子を表す側面図。

【図７】従来技術に係わる分割溝を形成した配線基板の
斜視図。

【図８】従来技術に係わる配線基板の粘着シート貼着状
態を示す斜視図。

【図９】従来技術に係わる配線基板の分割の実施例１の
説明図。

【図１０】従来技術に係わる配線基板の分割とその後の
小基板付粘着シートの取り扱いを示している側面図。

【図１１】従来技術に係わる小基板付粘着シートを表す
斜視図。

【符号の説明】

１ ・・・ 基板 １ａ ・・・ 基板表面 １ｂ ・・・ 基板裏面 １ｃ ・・・ 小基板 ２ ・・・ 小基板の仮想区切り線 ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ ・・・ 分割溝 ４ ・・・ 粘着シート ４ａ ・・・ 粘着面 ５ ・・・ 受け台 ６ ・・・ 弾性体 ７ ・・・ カッタ ８ ・・・ 集積回路用配線基板 ９ ・・・ 分割するための溝 １０ ・・・ 可撓性粘着シート １１ ・・・ 紫外線照射で粘着力が低下するシート １２ ・・・ リング １３ ・・・ 治具 １４ ・・・ 押圧棒 １５ ・・・ 小基板 １６ ・・・ 紫外線ランプ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】分割用の溝を持つ集積回路用配線基板に対
   して、一方の面に第１の可撓性粘着シートを貼着する工
   程と、前記粘着シートを貼着した状態で前記配線基板を
   押圧して小基板に分割し前記粘着シートに小基板を整列
   状態にする工程とを有する集積回路用配線基板の製造方
   法において、分割前に前記配線基板の他方の面にも第２
   の可撓性粘着シートを貼着して前記配線基板を挾持する
   工程と、分割後に前記配線基板のどちらかの面の前記粘
   着シートを剥がす工程とを有することを特徴とする集積
   回路用配線基板の製造方法。