JPH0577186A - 電子部品保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 保持すべき部分に吸着ノズルを閉塞するに適
した面のない電子部品をバキュームにより吸着すること
ができる電子部品保持装置を提供する。 【構成】 吸着管１０２の発光板１２０から突出した下
端部には、透明な合成樹脂製のカバー１４０が取り付け
られている。コネクタ１０の保持時には、吸着管１０２
の下降によりカバー１４０が本体１８の開口周辺に当接
して開口を塞ぎ、吸着管１０２に連通する真空圧室１５
０が形成され、バキュームの供給によりコネクタ１０が
吸着される。発光板１２０が放射する光はカバー１４０
を透過してコネクタ１０に照射され、投影像の撮像によ
り保持位置が検出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子部品保持装置に関す
るものであり、特に、バキュームにより電子部品を保持
する装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電子部品保持装置には、吸着ノズルを有
し、電子部品をバキュームにより吸着する装置がある。
吸着ノズルを電子部品の端面に密着させ、電子部品によ
り閉塞された吸着ノズル内の空間にバキュームが供給さ
れ、電子部品を吸着するのである。このように吸着ノズ
ルによって電子部品を保持する場合、電子部品の軸線が
上下方向に位置するとともに、その軸線上において保持
されることが望ましい。そのように保持すれば、電子部
品の装着対象部材への装着を容易に行うことができると
ともに、安定に保持することができるからであるが、そ
れが困難な電子部品がある。例えば、吸着ノズルより大
きく開口する容器状を成し、その内部にピンが立設され
るとともに、その開口を上向きにして装着されるコネク
タの場合、その上側となる部分を保持しようとしても、
開口があるため吸着ノズルを閉塞することができず、バ
キュームによって吸着することができないのである。そ
のため、従来、このような場合には、４本の爪によって
電子部品を保持したり、電子部品の開口がない平らな側
面を吸着することが行われている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、４本の
爪を用いる場合には、爪を開閉可能に設けるとともに、
爪を開閉させる装置が必要であり、装置の構成が複雑と
なり、コストが高くなる。また、電子部品の側面を吸着
する場合には、電子部品を片持ち状に保持することとな
り、保持力が弱く、不安定で実用には向かない。請求項
１の発明は、吸着ノズルにより吸着されるべき部分に吸
着ノズルを閉塞するに適した面のない電子部品をバキュ
ームにより安定に吸着することができる電子部品保持装
置を提供することを課題として為されたものである。請
求項２の発明は、電子部品の像の撮像により保持位置を
検出する機能を備えた電子部品保持装置であって、吸着
ノズルにより吸着されるべき部分に吸着ノズルを閉塞す
るに適した面のない電子部品をバキュームにより安定に
吸着することができる電子部品保持装置を提供すること
を課題として為されたものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
の課題を解決するために、吸着ノズルに、電子部品の吸
着ノズルに対向する部分より外周側の部分に密着するこ
とにより、その電子部品と共同して吸着ノズルに連通す
る真空圧室を形成するカバーを設けたことを要旨とする
ものである。請求項２の発明は、上記の課題を解決する
ために、（ａ）電子部品をバキュームにより吸着する吸
着ノズルと、（ｂ）電子部品に向かって光を放射する光
放射部材と、（ｃ）その光放射部材が放射する光によっ
て形成された電子部品の像を撮像する撮像装置とを含む
電子部品保持装置において、吸着ノズルに、光透過性を
有し、かつ、電子部品の吸着ノズルに対向する部分より
外周側の部分に密着することにより、その電子部品と共
同して吸着ノズルに連通する真空圧室を形成するカバー
を設けたことを要旨とするものである。

【０００５】

【作用】請求項１の発明に係る電子部品保持装置におい
ては、電子部品の吸着ノズルにより吸着されるべき部分
に吸着ノズルを閉塞するに適した面がなくても、その部
分より外周側の面にカバーが密着することによって真空
圧室を形成し、その真空圧室に供給されるバキュームに
よって電子部品が吸着される。請求項２の発明に係る電
子部品保持装置においても、電子部品は同様にして吸着
されるのであるが、カバーが光透過性を有するため、電
子部品への光の照射を妨げることがなく、撮像装置によ
る電子部品の撮像が可能である。

【０００６】

【発明の効果】このように請求項１の発明によれば、電
子部品の吸着ノズルにより吸着されるべき部分に吸着ノ
ズルを閉塞するに適した面がなくても、その面がある場
合と同様に電子部品をバキュームにより吸着することが
でき、保持力が不足することがなく、電子部品を安定に
保持することができるとともに、装置を簡単にかつ安価
に構成することができる。請求項２の発明によれば、請
求項１の発明の効果に加えて、電子部品の像の撮像によ
りその保持位置を検出し、装着位置の修正等を行うこと
ができる。

【０００７】

【実施例】以下、請求項１および２の発明に共通の実施
例を図面に基づいて詳細に説明する。

【０００８】図８，図９および図１０にそれぞれ、本実
施例の電子部品保持装置によって保持される電子部品と
してのコネクタ１０，１２およびボリーム１４を示す。
図８に示すコネクタ１０の本体１８は四角な容器状を成
し、開口２０を上に向けてプリント基板に装着される。
本体１８内には複数本のピン２２が立設されている。こ
れらピン２２は、開口２０から本体１８外へ突出しない
長さとされている。また、本体１８の底部の長手方向と
平行な２辺にはそれぞれ、複数本ずつのリード線２４が
取り付けられている。図９に示すコネクタ１２の本体２
６は中空の直方体であり、一面に内部に連通する複数の
貫通穴２８が形成されており、貫通穴２８を上にして装
着される。また、本体２６の底部の長手方向と平行な２
辺にはそれぞれ、複数本ずつのリード線３０が取り付け
られている。図１０に示すボリューム１４は、台板３２
に円筒状のつまみ３４が回転可能に取り付けられてい
る。つまみ３４の上面には凹球面３６が形成されてい
る。

【０００９】次に、電子部品保持装置について説明す
る。図２において４０は、電子部品保持装置を有する電
子部品装着装置の装置本体である。この装置本体４０
は、図示しない移動装置により、紙面に直角なＸ軸方向
に移動させられる。装置本体４０には上下方向に貫通す
る貫通孔４２が形成され、ナット４４およびスプライン
部材４６がそれぞれ同心にかつ上下方向に距離を隔てた
状態で回転可能に支持されている。ナット４４には中空
ロッド４８の雄ねじ部５０が螺合され、スプライン部材
４６には中空ロッド４８の雄ねじ部５０の下方に形成さ
れたスプライン部５２が嵌合されている。これらナット
４４およびスプライン部材４６は、バックラッシ除去お
よび摩擦軽減のために多数のボールを保持したボールナ
ットおよびボールスプライン部材である。ナット４４の
装置本体４０から突出した上端部には歯車５４が固定さ
れるとともに、ノズル昇降用サーボモータ５６の出力軸
に固定の歯車５８に噛み合わされており、ナット４４が
ノズル昇降用サーボモータ５６によって回転させられる
ことにより中空ロッド４８が昇降させられる。６０は、
ノズル昇降用サーボモータ５６の回転角度を検出するエ
ンコーダである。また、スプライン部材４６の装置本体
４０から突出した下端部には歯車６２が固定され、図示
しないノズル回転用サーボモータの出力軸に固定の歯車
に噛み合わされており、ノズル回転用サーボモータによ
ってスプライン部材４６が回転させられることにより、
中空ロッド４８がその軸線まわりに回転させられる。

【００１０】上記中空ロッド４８の下端部には、チャッ
クアダプタ６６およびチャック６８が取り付けられ、こ
れら３部分が吸着ノズル７０の保持部７１を構成してい
る。チャックアダプタ６６は、図１および図３に示すよ
うに、円筒部７２の一端の直径方向に隔たった２個所に
おいてそれぞれ耳片７４，７６が半径方向外向きに延び
出させられて成り、一方の耳片７６には円筒部７２の軸
線方向に延びるとともに円筒部７２の内周面に開口する
スリット７８が形成されている。円筒部７２の内周面は
段付状を成し、耳片７４，７６が設けられた側の大径孔
部８０において中空ロッド４８の下端部に嵌合され、耳
片７６に図示しないねじが螺合されることによりスリッ
ト７８が縮められ、大径孔部８０が縮径させられて中空
ロッド４８に抜け出し不能に取り付けられている。

【００１１】また、チャック６８は、図１および図４に
示すようにチャックアダプタ６６と同様に、円筒部８２
とその一端に設けられた一対の耳片８４，８６とを有す
るとともに、一方の耳片８６にはスリット８８が形成さ
れている。チャック６８は、円筒部８２の耳片８４，８
６が設けられた側に形成された小径孔部９０においてチ
ャックアダプタ６６の円筒部７２に嵌合され、耳片８６
に図示しないねじが螺合されることによりチャックアダ
プタ６６に取り付けられている。円筒部８２の内周面の
下端部は大径孔部９２とされ、大径孔部９２の周壁の直
径方向に隔たった２箇所にはそれぞれ、ピン９４が大径
孔部９２内に突出する向きに嵌合されている。

【００１２】吸着ノズル７０は、図１に示すように、ス
リーブ１００と、スリーブ１００に嵌合された吸着管１
０２とを有している。スリーブ１００は段付状を成し、
その小径部１０４には圧縮コイルスプリング１０６（以
下、スプリング１０６と略称する）が嵌合され、小径部
１０４と大径部１０８との間の肩面１１０により一端を
支持されている。また、スリーブ１００の大径部１０８
の小径部１０４とは反対側の端部には、図１および図６
に示すように、ほぼ矩形を成す係合部１１２が形成され
ており、係合部１１２の長手方向の両端部にはそれぞれ
耳部１１４が形成されるとともに、各耳部１１４にはそ
れぞれ、図５に示すように、傾斜面１１６が形成されて
いる。これら傾斜面１１６はスリーブ１００の軸線に平
行な平面に対して傾斜しており、かつ、同一平面上に位
置している。さらに、係合部１１２の下面には円形断面
の嵌合部１１８が設けられ、その外周面に光放射部材と
しての発光板１２０が嵌合固定される一方、内周面に吸
着管１０２が嵌合されるとともに発光板１２０を貫通し
て下方へ突出させられている。発光板１２０は、吸着ノ
ズル７０による電子部品の保持姿勢の検出時に紫外線を
受けて可視光線を放射するものである。

【００１３】電子部品保持装置の移動経路の途中には、
図７に示すように撮像装置１２２が設けられている。撮
像装置１２２はレンズ１２４およびカメラ１２６を備え
ており、吸着管１０２が撮像装置１２２の真上に位置決
めされた状態において、吸着管１０２に保持された電子
部品を間に挟んで発光板１２０と対向するように設けら
れている。撮像装置１２２のレンズ１２４の周囲には、
リングランプ１２８が設けられ、図示しないフレームに
取り付けられている。リングランプ１２８は紫外線を放
射するものであり、その発光板１２０に対向する側には
紫外線の透過のみを許容する環状の第一フィルタ１３０
が設けられ、上記フレームに支持されている。したがっ
て、発光板１２０には紫外線のみが照射され、その紫外
線を吸収するとともに可視光線を放射する。発光板１２
０に放射される光の波長と、発光板１２０が放射する光
の波長とが互に異なる波長となるようにされているので
ある。

【００１４】さらに、撮像装置１２２には、レンズ１２
４に近接し、電子部品と対向する位置に第二フィルタ１
３２が第一フィルタ１３０を支持するフレームに支持さ
れて設けられている。この第二フィルタ１３２は、紫外
線を吸収する一方、可視光線の透過を許容するものであ
り、撮像装置１２２には発光板１２０が放射する可視光
線のみが入光することとなる。

【００１５】前記吸着管１０２の発光板１２０から突出
した下端部には、図１に示すようにカバー１４０が取り
付けられている。カバー１４０は、コネクタ１０，１２
およびボリューム１４より大きい正方形状を成し、透明
で硬い合成樹脂によって作られている。

【００１６】吸着ノズル７０を保持部７１に取り付ける
際には、係合部１１２の一対の耳部１１４とチャック６
８のピン９４との位相がずれた状態でスリーブ１００の
小径部１０４をチャックアダプタ６６の円筒部７２の下
端部に設けられた小径孔部１４２に嵌合する。スリーブ
１００は、スプリング１０６の他端がチャックアダプタ
６６の円筒部７２に当接した状態から更にスプリング１
０６を圧縮しつつ嵌合され、係合部１１２がピン９４を
越える位置に至った後、耳部１１４とピン９４との位相
が合致する位置へ回転させられる。

【００１７】その状態でスリーブ１００に加えられてい
た力が解除されれば、スリーブ１００はスプリング１０
６により付勢されてチャック６８から抜け出す向きに移
動させられるとともに傾斜面１１６がピン９４に係合
し、チャック６８に軸方向に相対移動可能であるが抜け
出し不能に、かつ、傾斜面１１６とピン９４との係合に
より相対回転不能に取り付けられることとなる。傾斜面
１１６は同じ方向に傾斜させられているため、斜面の効
果に基づいてスリーブ１００に加えられるトルクが釣り
合い、スリーブ１００が回転することはない。このよう
にチャック６８に取り付けられた吸着ノズル７０は電子
部品をバキュームにより吸着し、装着対象部材としての
プリント基板１４４に装着する。なお、吸着ノズル７０
を保持部７１から取り外す場合には、スプリング１０６
を圧縮しつつスリーブ１００を中空ロッド４８側に移動
させ、傾斜面１１６とピン９４との係合を解いた後、回
転させ、それらの位相をずらした状態でチャックアダプ
タ６６から抜けばよい。

【００１８】中空ロッド４８には、図２に示すように、
その内周面にパイプ１４６が軸方向に相対移動可能に嵌
合されている。パイプ１４６はその自重により、図１に
示すように、保持部７１により保持された吸着ノズル７
０のスリーブ１００の上面に当接している。このパイプ
１４６は、本出願人に係る特願平３−１７６０３８号の
明細書に記載されているように、吸着ノズル７０と中空
ロッド４８との相対移動の開始を検出し、電子部品をプ
リント基板１４４に装着する際の押付け力を最適な大き
さに制御するためのものであるが、本発明とは直接関係
がないため、説明を省略する。

【００１９】以上のように構成された電子部品装着装置
によってコネクタ１０をプリント基板１４４に装着する
場合には、電子部品保持装置が電子部品供給位置に移動
させられ、吸着管１０２が部品供給装置中の受け取るべ
きコネクタ１０上に位置決めされた状態において吸着ノ
ズル７０が下降させられる。コネクタ１０は、部品供給
装置に、装着時に上側となる開口２０を上向きにして収
容されており、吸着ノズル７０が下降させられれば、吸
着管１０２は開口２０に対向し、図１１に示すように、
カバー１４０が本体１８の上面に当接させられる。この
際、吸着ノズル７０はカバー１４０が当接した後も僅か
に下降させられるのであるが、スリーブ１００が圧縮コ
イルスプリング１０６を圧縮して中空ロッド４８に対し
て移動することにより、コネクタ１０，カバー１４０の
破損が回避されるとともに、カバー１４０が開口２０の
周辺に密着させられる。

【００２０】開口２０は吸着ノズル７０の端面より大き
く、吸着ノズルの外周面の投影図形である円を完全に内
包する四角形を成しており、開口２０の周辺はその四角
形を切れ目なく囲む帯状の面となっている。したがっ
て、カバー１４０が開口２０の周辺に密着すれば開口２
０が実質的に気密に塞がれ、本体１８およびカバー１４
０によって、吸着管１０２に連通する真空圧室１５０が
形成され、真空圧室１５０にバキュームが供給されてコ
ネクタ１０が吸着される。カバー１４０は硬い合成樹脂
によって作られているため、コネクタ１０に密着させら
れ、コネクタ１０が吸着されるとき、ゆがんだり、変形
したりすることがなく、コネクタ１０の保持姿勢に誤差
が生ずることがない。

【００２１】吸着後、吸着ノズル７０が上昇させられ、
装置本体４０が移動させられて吸着管１０２が撮像装置
１２２の真上に位置決めされる。そして、リングランプ
１２８から放射される光のうち紫外線のみが第一フィル
タ１３０を通り、発光板１２０に向かって放射される。
第一フィルタ１３０と発光板１２０との間にはカバー１
４０が存在するが、カバー１４０は透明であるため、紫
外線の発光板１２０への到達を妨げず、発光板１２０は
紫外線を吸収するとともに可視光線をコネクタ１０に向
かって放射する。この可視光線はカバー１４０を透過し
てコネクタ１０を照射し、さらに、レンズ１２４に入っ
て撮像装置１２２の固体撮像素子面にコネクタ１０の投
影像が結ばれる。

【００２２】この際、リングランプ１２８が放射する紫
外線はコネクタ１０や周辺機器に当たり、その反射光が
撮像装置１２２に向かうが、第二フィルタ１３２は紫外
線を吸収するため、発光板１２０が放射する光はコネク
タ１０等からの反射光の影響を受けることがなく、鮮明
な投影像を形成する。撮像装置１２２はこの投影像を二
値化信号に変換し、図示しない制御装置に出力する。制
御装置はその二値化信号と制御装置自身のメモリに予め
記憶させられている正規のコネクタ１０の位置を示す二
値化信号と比較し、コネクタ１０の中心線まわりの角度
誤差Δθと中心位置誤差ΔＸおよびΔＹとを演算する。

【００２３】このように部品位置検出が行われた後、コ
ネクタ１０は装着位置に移動させられるのであるが、こ
の際、上記中心位置誤差ΔＸが解消されるように移動さ
せられ、また、その移動の間にノズル回転用サーボモー
タが駆動され、吸着管１０２が回転させられて上記角度
誤差Δθを解消するのに必要な角度だけ回転させられる
とともに、プリント基板１４４が上記中心位置誤差ΔＹ
を解消するのに必要な距離移動させられる。したがっ
て、吸着管１０２が電子部品装着位置に位置決めされた
状態では、プリント基板１４４とコネクタ１０とは装着
に適した相対位置となっているのであり、吸着ノズル７
０が下降させられ、吸着管１０２に保持されたコネクタ
１０がプリント基板１４４の所定の位置に押し付けら
れ、接着等によって固定される。その状態で電磁方向切
換弁の切換えにより真空圧室１５０が大気に連通させら
れることによってコネクタ１０が解放され、その後、吸
着管１０２が上昇すればコネクタ１０のプリント基板１
４４に対する装着が完了する。

【００２４】本実施例の電子部品保持装置によって、前
記コネクタ１２を保持する場合には、カバー１４０がコ
ネクタ１２の貫通穴２８が形成されて装着時に上側とな
る端面に密着する。それにより全部の貫通穴２８が塞が
れ、本体２６の貫通穴２８がない部分およびカバー１４
０によって真空圧室が形成され、あるいは一部の貫通穴
２８が吸着管１０２と対向する位置にあってカバー１４
０により覆われず、本体２６内の空間，貫通穴２８およ
びカバー１４０によって真空圧室が形成される。そし
て、吸着管１０２から真空圧室に供給されるバキューム
によってコネクタ１２が吸着される。

【００２５】また、前記ボリューム１４を保持する場合
には、カバー１４０はつまみ３４の先端面に当接し、凹
球面３６との間に真空圧室が形成されてボリューム１４
が吸着される。つまみ３４の先端面は平面であるため、
カバー１４０がつまみ３４に当接したとき、つまみ３４
の軸線と吸着管１０２の軸線とがほぼ同心となり、ボリ
ューム１４を傾くことなく保持することができる。

【００２６】本発明の別の実施例を図１２に示す。本実
施例の電子部品保持装置は、図１３に示すコネクタ１６
０を保持するものである。コネクタ１６０の本体１６２
はコの字形断面の容器状を成し、本体１６２内には、開
口１６４から突出する長さの複数のピン１６６が立設さ
れている。１６８はリード線である。

【００２７】本電子部品保持装置のカバー１７０は浅い
容器状を成し、ちょうどコネクタ１６０の本体１６２に
被せられて開口１６４の周辺に密着し、開口１６４を塞
ぐ形状，寸法を有するものとされている。

【００２８】コネクタ１６０を保持する場合には、吸着
ノズル７０の下降によりカバー１７０が図１４に示すよ
うに本体１６２に被せられ、開口１６４の周縁に密着し
て真空圧室１７２を形成し、この真空圧室１７２に供給
されるバキュームによってコネクタ１６０が吸着され
る。

【００２９】なお、上記各実施例において、カバー１４
０，１７０は透明なものとされていたが、発光板１２０
が発する光の透過を許容すればよく、半透明のものでも
よい。また、カバーを硬い材料で製作する代わりに、や
や柔軟性を有する材料で製作し、あるいは硬い材料の表
面に柔軟な材料の薄い層を形成することが可能であり、
カバーと電子部品との密着面の気密性を向上させること
ができる。

【００３０】また、上記各実施例においては、カバー１
４０，１７０と、電子部品に光を放射する光放射部材と
は別のものとされていたが、光放射部材がカバーを兼ね
るようにしてもよい。

【００３１】さらに、上記各実施例において、光放射部
材は紫外線を吸収して可視光線を放射するものとされて
いたが、光源から照射される光を拡散する拡散板，光を
反射する反射板や発光ダイオードにより構成される発光
器でもよい。また、撮像装置と光放射部材とをいずれ
も、電子部品に対して吸着ノズルとは反対側に設け、電
子部品の像を反射光により形成し、撮像するものとして
もよい。

【００３２】また、電子部品の像を撮像しない場合には
発光板１２０および撮像装置１２２が不要であり、これ
らがない態様は請求項２の発明には包含されないが、請
求項１の発明には包含される。

【００３３】さらに、電子部品の像を撮像しない場合
や、撮像する場合でも電子部品の反射光により形成され
る像を撮像する場合には、カバーを光透過性を有するも
のとする必要がなく、不透明な材料を用いることが可能
である。

【００３４】その他、特許請求の範囲を逸脱することな
く、当業者の知識に基づいて種々の変形，改良を施した
態様で本発明を実施することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１および２の発明に共通の一実施例であ
る電子部品保持装置を示す正面断面図である。

【図２】上記電子部品保持装置を備えた電子部品装着装
置を示す正面断面図である。

【図３】上記電子部品保持装置において吸着ノズルを保
持する保持部のチャックアダプタを示す平面図である。

【図４】上記チャックアダプタに取り付けられたチャッ
クの平面図である。

【図５】上記吸着ノズルを構成するスリーブを示す正面
図である。

【図６】上記スリーブの底面図である。

【図７】上記吸着ノズルを撮像装置と共に示す正面図
（一部断面）である。

【図８】上記電子部品保持装置により保持されるコネク
タを示す斜視図である。

【図９】上記電子部品保持装置により保持される別のコ
ネクタを示す斜視図である。

【図１０】上記電子部品保持装置により保持されるボリ
ュームを示す斜視図である。

【図１１】上記電子部品保持装置によって図８に示すコ
ネクタを保持した状態を示す正面図（一部断面）であ
る。

【図１２】本発明の別の実施例である電子部品保持装置
の吸着ノズルを示す正面図（一部断面）である。

【図１３】図１２に示す電子部品保持装置によって保持
されるコネクタを示す斜視図である。

【図１４】図１２に示す吸着ノズルによって図１３に示
すコネクタを吸着した状態を示す正面図（一部断面）で
ある。

【符号の説明】

１０ コネクタ １２ コネクタ １４ ボリューム ７０ 吸着ノズル １２０ 発光板 １２２ 撮像装置 １４０ カバー １５０ 真空圧室 １６０ コネクタ １７０ カバー １７２ 真空圧室

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 照井 清一 愛知県知立市山町茶碓山19番地 富士機械 製造株式会社内 (72)発明者 勝見 裕司 愛知県知立市山町茶碓山19番地 富士機械 製造株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品をバキュームにより吸着する吸
   着ノズルを有する電子部品保持装置において、 前記吸着ノズルに、前記電子部品の吸着ノズルに対向す
   る部分より外周側の部分に密着することにより、その電
   子部品と共同して吸着ノズルに連通する真空圧室を形成
   するカバーを設けたことを特徴とする電子部品保持装
   置。
2. 【請求項２】 電子部品をバキュームにより吸着する吸
   着ノズルと、 前記電子部品に向かって光を放射する光放射部材と、 その光放射部材が放射する光によって形成された前記電
   子部品の像を撮像する撮像装置とを含む電子部品保持装
   置において、 前記吸着ノズルに、光透過性を有し、かつ、前記電子部
   品の吸着ノズルに対向する部分より外周側の部分に密着
   することにより、その電子部品と共同して吸着ノズルに
   連通する真空圧室を形成するカバーを設けたことを特徴
   とする電子部品保持装置。