JPH057817B2 - - Google Patents
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- JPH057817B2 JPH057817B2 JP58129041A JP12904183A JPH057817B2 JP H057817 B2 JPH057817 B2 JP H057817B2 JP 58129041 A JP58129041 A JP 58129041A JP 12904183 A JP12904183 A JP 12904183A JP H057817 B2 JPH057817 B2 JP H057817B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation
- sample
- signal
- electron beam
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子顕微鏡等の荷電粒子線装置にお
ける試料回転装置に関する。
ける試料回転装置に関する。
電子顕微鏡等に組込まれる機械的な試料回転移
動機構の多くは、電子線による試料照射位置と試
料回転させた時の回転中心とが一致していないた
めに種々の不都合が生じる。例えば、走査電子顕
微鏡は観察試料の表面における凹凸が激しくても
鮮明な像が得られるという利点があるが、この利
点を充分に活かすためには照射電子線に対して試
料表面を任意の方向を軸として傾斜できるように
して凹凸の影に相当する部分を観察可能にする必
要がある。所が試料位置を変化させる試料装置は
多くの場合、試料傾斜の方向が一方向に固定され
ているので、そのままでは所望の試料傾斜を行な
うことができない。第１図はこのような従来の試
料装置の構成を示すもので、試料室の側壁１に傾
斜機構２が取付けられており、その傾斜軸はＸ方
向に固定されている。該傾斜機構２の上部には
XY移動機構３が、更にその上部には回転機構４
が載置されており、観察試料５は回転機構４にホ
ルダーを介して取付けられる。このような試料載
置を用いて試料照射電子線６に対する試料表面を
任意方向へ傾けるためには回転機構４と傾斜機構
２を組合せて操作すればよいが、XY移動機構３
の操作によつて回転機構における回転中心が光軸
Ｚからずれている場合には、回転機構４の操作に
よつて観察中の走査像の視野が逃げてしまう欠点
があつた。
動機構の多くは、電子線による試料照射位置と試
料回転させた時の回転中心とが一致していないた
めに種々の不都合が生じる。例えば、走査電子顕
微鏡は観察試料の表面における凹凸が激しくても
鮮明な像が得られるという利点があるが、この利
点を充分に活かすためには照射電子線に対して試
料表面を任意の方向を軸として傾斜できるように
して凹凸の影に相当する部分を観察可能にする必
要がある。所が試料位置を変化させる試料装置は
多くの場合、試料傾斜の方向が一方向に固定され
ているので、そのままでは所望の試料傾斜を行な
うことができない。第１図はこのような従来の試
料装置の構成を示すもので、試料室の側壁１に傾
斜機構２が取付けられており、その傾斜軸はＸ方
向に固定されている。該傾斜機構２の上部には
XY移動機構３が、更にその上部には回転機構４
が載置されており、観察試料５は回転機構４にホ
ルダーを介して取付けられる。このような試料載
置を用いて試料照射電子線６に対する試料表面を
任意方向へ傾けるためには回転機構４と傾斜機構
２を組合せて操作すればよいが、XY移動機構３
の操作によつて回転機構における回転中心が光軸
Ｚからずれている場合には、回転機構４の操作に
よつて観察中の走査像の視野が逃げてしまう欠点
があつた。
ところで、像観察者による試料回転操作は、操
作パネルに取り付けられた回転つまみを左右に回
す事により行われる。この際、熟練者においては
然程問題ないが、初心者にとつては、回転つまみ
をどちらの方向に回せば視野が所望の方向に回転
するか、また、回転つまみをどの程度回せば視野
が所望の量だけ回転するか分からない。
作パネルに取り付けられた回転つまみを左右に回
す事により行われる。この際、熟練者においては
然程問題ないが、初心者にとつては、回転つまみ
をどちらの方向に回せば視野が所望の方向に回転
するか、また、回転つまみをどの程度回せば視野
が所望の量だけ回転するか分からない。
本発明はこのような点に鑑みて成されたもの
で、その目的は、視野ずれなく確実に所望の方向
に所望の量だけ視野を回転させることができる荷
電粒子線装置における試料回転装置を提供する事
にある。
で、その目的は、視野ずれなく確実に所望の方向
に所望の量だけ視野を回転させることができる荷
電粒子線装置における試料回転装置を提供する事
にある。
この目的を達成する本発明の荷電粒子線装置に
おける試料回転装置は、互いに直交するXY2方
向へ試料を移動させるXY移動機構と、該XY移
動機構に載置される回転機構と、試料を照射する
電子線又は試料を透過する電子線を偏向すること
によつて電子顕微鏡像の視野を電気的に移動させ
る電気的XY移動手段を備えた荷電粒子線装置に
おける試料回転装置において、試料回転操作の直
前における前記XY移動機構と回転機構の状態を
初期信号として記憶しておき前記回転機構の初期
状態からの変化を示す変化信号と前記初期信号と
に基づいて、回転前の試料上での電子線の照射中
心が試料回転に基づいて移動する量だけ該移動の
方向へ電子線の照射中心を移動させるための制御
信号を作成して前記電気的XY移動手段へ供給す
る視野補正手段と、前記回転機構に回転信号を供
給する回転操作手段からの出力によつて陰極線画
面内に回転操作による視野の回転方向と回転量を
表わすマークを表示する手段とを備えたことを特
徴とするものである。
おける試料回転装置は、互いに直交するXY2方
向へ試料を移動させるXY移動機構と、該XY移
動機構に載置される回転機構と、試料を照射する
電子線又は試料を透過する電子線を偏向すること
によつて電子顕微鏡像の視野を電気的に移動させ
る電気的XY移動手段を備えた荷電粒子線装置に
おける試料回転装置において、試料回転操作の直
前における前記XY移動機構と回転機構の状態を
初期信号として記憶しておき前記回転機構の初期
状態からの変化を示す変化信号と前記初期信号と
に基づいて、回転前の試料上での電子線の照射中
心が試料回転に基づいて移動する量だけ該移動の
方向へ電子線の照射中心を移動させるための制御
信号を作成して前記電気的XY移動手段へ供給す
る視野補正手段と、前記回転機構に回転信号を供
給する回転操作手段からの出力によつて陰極線画
面内に回転操作による視野の回転方向と回転量を
表わすマークを表示する手段とを備えたことを特
徴とするものである。
第２図は本発明の一実施例装置を示す略図であ
り、図中第１図と同一符号を付したものは同一構
成要素を表わしている。第２図において、試料５
は細く集束された電子線６によつて照射され、そ
の照射位置は偏向コイル７Ｘ，７Ｙに供給される
偏向信号によつて変化する。偏向コイル７Ｘ，７
Ｙへは走査回路８からの走査信号が倍率回路９及
び加算回路１０を介して供給されるため、試料５
の一定領域が電子線によつて二次元的に走査さ
れ、その広さは可変増幅器からなる倍率回路９の
操作によつて変えられる。走査回路８の出力は陰
極線管１１の偏向コイル１２Ｘ，１２Ｙにも供給
されており、陰極線管１１の輝度変調信号として
試料５から放射される二次電子の信号を検出する
検出器１３の出力が増幅器１４を介して供給され
るため陰極線管１１の画面には輝度変調走査像が
表示される。又、図中１５，１６は夫々Ｘ方向移
動用とＹ方向移動用の（パルス）モータを示し、
１７，１８は夫々回転機構４と傾斜機構２を駆動
するための（パルス）モータを示している。これ
らのモータは中央制御回路１９からの制御信号に
基づいて制御されるが、各モータに対する駆動制
御は、中央制御回路１９に接続されたＸ移動つま
み２０、Ｙ移動つまみ２１、傾斜つまみ２２及び
回転つまみ２３の操作によつて行われる。回転つ
まみ２３に関しては中央制御回路１９との間に切
換回路２４が設けられており、該切換回路２４は
回転つまみ２３から与えられた視野回転制御に関
する回転信号をセツト回路２６からの入力信号に
応じて輝線表示回路２５又は中央制御回路１９へ
印加するように構成されている。前記輝線表示回
路２５は、走査回路８と回転つまみ２３からの信
号に基づいて第３図に示すように、陰極線管１１
の画面に回転つまみ２３による視野回転量と回転
方向を表わす輝線２７を表示させる信号を発生す
るためのものである。このような構成において、
回転機構４によつて試料５を回転させると陰極線
管画面に表示される視野が回転するが、その回転
中心はXY移動機構３を操作することによつて移
動する。そこで、この視野回転の中心が陰極線管
画面の中心と一致する状態においてXY試料移動
機構３が示すXY座標を座標原点（０，０）と定
義する。
り、図中第１図と同一符号を付したものは同一構
成要素を表わしている。第２図において、試料５
は細く集束された電子線６によつて照射され、そ
の照射位置は偏向コイル７Ｘ，７Ｙに供給される
偏向信号によつて変化する。偏向コイル７Ｘ，７
Ｙへは走査回路８からの走査信号が倍率回路９及
び加算回路１０を介して供給されるため、試料５
の一定領域が電子線によつて二次元的に走査さ
れ、その広さは可変増幅器からなる倍率回路９の
操作によつて変えられる。走査回路８の出力は陰
極線管１１の偏向コイル１２Ｘ，１２Ｙにも供給
されており、陰極線管１１の輝度変調信号として
試料５から放射される二次電子の信号を検出する
検出器１３の出力が増幅器１４を介して供給され
るため陰極線管１１の画面には輝度変調走査像が
表示される。又、図中１５，１６は夫々Ｘ方向移
動用とＹ方向移動用の（パルス）モータを示し、
１７，１８は夫々回転機構４と傾斜機構２を駆動
するための（パルス）モータを示している。これ
らのモータは中央制御回路１９からの制御信号に
基づいて制御されるが、各モータに対する駆動制
御は、中央制御回路１９に接続されたＸ移動つま
み２０、Ｙ移動つまみ２１、傾斜つまみ２２及び
回転つまみ２３の操作によつて行われる。回転つ
まみ２３に関しては中央制御回路１９との間に切
換回路２４が設けられており、該切換回路２４は
回転つまみ２３から与えられた視野回転制御に関
する回転信号をセツト回路２６からの入力信号に
応じて輝線表示回路２５又は中央制御回路１９へ
印加するように構成されている。前記輝線表示回
路２５は、走査回路８と回転つまみ２３からの信
号に基づいて第３図に示すように、陰極線管１１
の画面に回転つまみ２３による視野回転量と回転
方向を表わす輝線２７を表示させる信号を発生す
るためのものである。このような構成において、
回転機構４によつて試料５を回転させると陰極線
管画面に表示される視野が回転するが、その回転
中心はXY移動機構３を操作することによつて移
動する。そこで、この視野回転の中心が陰極線管
画面の中心と一致する状態においてXY試料移動
機構３が示すXY座標を座標原点（０，０）と定
義する。
第２図の装置を用いた視野回転操作は以下のよ
うな手順で行われる。
うな手順で行われる。
(a) 先ず始めに、回転機構４と傾斜機構２を基準
の状態、即ち回転角φ＝０，傾斜角θ＝０に保
ち、この初期状態から陰極線管画面に所望の視
野が得られるようにXY移動機構３を操作す
る。このときの座標を（X1，Y1）とすると原
点からの距離ｒは、ｒ＝√21＋21となる。
の状態、即ち回転角φ＝０，傾斜角θ＝０に保
ち、この初期状態から陰極線管画面に所望の視
野が得られるようにXY移動機構３を操作す
る。このときの座標を（X1，Y1）とすると原
点からの距離ｒは、ｒ＝√21＋21となる。
(b) 次に、回転つまみ２３を操作して所望の視野
回転方向と回転量φ0を決める。このときセツ
ト回路２６は未だ操作されていないため、回転
つまみ２６からの回転信号は輝線表示回路２５
にのみ印加され、実際の試料回転は行われな
い。輝線表示回路２５により陰極線管画面内に
は、第３図に示す如く通常の試料像に重畳して
視野回転の量と方向を示す輝線２７が画面の水
平方向を基準として表示され、この輝線２７を
回転つまみ２３の操作の目安として利用するこ
とができる。
回転方向と回転量φ0を決める。このときセツ
ト回路２６は未だ操作されていないため、回転
つまみ２６からの回転信号は輝線表示回路２５
にのみ印加され、実際の試料回転は行われな
い。輝線表示回路２５により陰極線管画面内に
は、第３図に示す如く通常の試料像に重畳して
視野回転の量と方向を示す輝線２７が画面の水
平方向を基準として表示され、この輝線２７を
回転つまみ２３の操作の目安として利用するこ
とができる。
(c) 次に、セツト回路２６を操作して保持回路２
４における信号出力を切換えて、回転つまみ２
３からの回転信号が輝度表示回路２５でなく中
央制御回路１９に入力されるようにする。その
結果、陰極線管１１の画面から輝線２７が消
え、それと同時に中央制御回路１９に入力され
た回転信号に基づく制御信号がモータ１７に与
えられ、回転機構４によつて試料５がXY座標
の原点を中心に角度φ0回転する。この回転に
より、試料５はその座標位置も変化してしまう
が、その状態を示したものが第４図である。第
４図において、試料回転前の座標位置をS0
（X1，Y1）とし、微小角度φ0回転させたときの
座標位置をS1（X1＋ΔX，Y1＋ΔY）とすると、
S0からS1へ移動する際のＸ方向変化分ΔXとＹ
方向変化分ΔYは次のように表わされる。
４における信号出力を切換えて、回転つまみ２
３からの回転信号が輝度表示回路２５でなく中
央制御回路１９に入力されるようにする。その
結果、陰極線管１１の画面から輝線２７が消
え、それと同時に中央制御回路１９に入力され
た回転信号に基づく制御信号がモータ１７に与
えられ、回転機構４によつて試料５がXY座標
の原点を中心に角度φ0回転する。この回転に
より、試料５はその座標位置も変化してしまう
が、その状態を示したものが第４図である。第
４図において、試料回転前の座標位置をS0
（X1，Y1）とし、微小角度φ0回転させたときの
座標位置をS1（X1＋ΔX，Y1＋ΔY）とすると、
S0からS1へ移動する際のＸ方向変化分ΔXとＹ
方向変化分ΔYは次のように表わされる。
ΔX＝−ｒ・φ0・sinφ0
ΔY＝ｒ・φ0・conφ0
このような試料回転に基づく試料移動を補正す
るため、中央制御回路１９は上式の移動成分を演
算して、その逆方向の視野移動が行われるような
補正偏向信号を加算回路１０に印加する。加算回
路１０はＸ，Ｙ走査信号にこれらの補正偏向信号
を加算して試料５を走査する電子線の走査中心を
Ｘ方向へΔX，Ｙ方向へΔY移動させるその結果、
陰極線管画面における視野ずれは防止される。
るため、中央制御回路１９は上式の移動成分を演
算して、その逆方向の視野移動が行われるような
補正偏向信号を加算回路１０に印加する。加算回
路１０はＸ，Ｙ走査信号にこれらの補正偏向信号
を加算して試料５を走査する電子線の走査中心を
Ｘ方向へΔX，Ｙ方向へΔY移動させるその結果、
陰極線管画面における視野ずれは防止される。
所で、角度φ0が微小でない場合や試料５が傾
斜機構２によつて傾いていて初期状態が上記動作
例と異なる場合には、第４図に代わる幾何学的な
考察から視野ずれを防止するための偏向成分を演
算するためのプログラムを予め中央制御回路１９
に記憶させておけばよい。
斜機構２によつて傾いていて初期状態が上記動作
例と異なる場合には、第４図に代わる幾何学的な
考察から視野ずれを防止するための偏向成分を演
算するためのプログラムを予め中央制御回路１９
に記憶させておけばよい。
第５図は透過電子顕微鏡に本発明を適用した場
合の実施例を示すもので、第２図に用いた記号と
同一記号を付したものは同一構成要素を表わして
いる。第５図において、２８は薄膜状試料５の下
方に配置される結像レンズ系（図示せず）の更に
下方に配置された蛍光板を示し、２９，３０は試
料５の上下に配置された偏向コイルを示す。コイ
ル２９，３０へは偏向電源３１から互いに一定比
率の強度を有する偏向電流が供給されており、偏
向電源３１の出力を調整して試料照射電子線の経
路を例えば図中破線で示すように変化させて蛍光
板上に結像する電子顕微鏡像の視野を移動させる
ことが可能である。又、１１の陰極線管は回転つ
まみ２３からの回転信号を輝線表示回路３２に受
けて蛍光板上に結像する透過電子顕微鏡像の視野
回転の方向と量を表わす輝線を表示するためのも
のである。第５図の装置の動作は電気的視野移動
の方式が多少異なる点を除けば、第２図の装置の
動作と略同じである。
合の実施例を示すもので、第２図に用いた記号と
同一記号を付したものは同一構成要素を表わして
いる。第５図において、２８は薄膜状試料５の下
方に配置される結像レンズ系（図示せず）の更に
下方に配置された蛍光板を示し、２９，３０は試
料５の上下に配置された偏向コイルを示す。コイ
ル２９，３０へは偏向電源３１から互いに一定比
率の強度を有する偏向電流が供給されており、偏
向電源３１の出力を調整して試料照射電子線の経
路を例えば図中破線で示すように変化させて蛍光
板上に結像する電子顕微鏡像の視野を移動させる
ことが可能である。又、１１の陰極線管は回転つ
まみ２３からの回転信号を輝線表示回路３２に受
けて蛍光板上に結像する透過電子顕微鏡像の視野
回転の方向と量を表わす輝線を表示するためのも
のである。第５図の装置の動作は電気的視野移動
の方式が多少異なる点を除けば、第２図の装置の
動作と略同じである。
以上本発明の実施例を説明したが、本発明は第
２図や第５図の実施例装置に限定されるものでは
ない。例えば、視野ずれ防止のための制御を偏向
装置をのみによつて行なうと次第に偏向歪の影響
が大きくなるので、適当な時に偏向装置による補
正をXY移動機構３による補正に置換えるように
構成してもよい。又、本発明は電子顕微鏡以外で
もＸ線マイクロアナライザーやイオンマイクロア
ナライザ等のように荷電粒子線によつて試料に関
する像情報を表示する機能を有する装置であれば
容易に適用することが可能である。
２図や第５図の実施例装置に限定されるものでは
ない。例えば、視野ずれ防止のための制御を偏向
装置をのみによつて行なうと次第に偏向歪の影響
が大きくなるので、適当な時に偏向装置による補
正をXY移動機構３による補正に置換えるように
構成してもよい。又、本発明は電子顕微鏡以外で
もＸ線マイクロアナライザーやイオンマイクロア
ナライザ等のように荷電粒子線によつて試料に関
する像情報を表示する機能を有する装置であれば
容易に適用することが可能である。
以上説明したように、本発明においては、回転
機構の初期状態からの変化を示す変化信号と前記
初期信号とに基づいて、回転前の試料上での電子
線の照射中心が試料回転に基づいて移動する量だ
け該移動の方向へ電子線の照射中心を移動させる
ための制御信号を作成して前記電気的XY移動手
段へ供給する視野補正手段と、陰極線管に回転操
作手段の回転操作による視野の回転方向と回転量
を表わすマークを表示する手段を設けるようにし
たので、観察者は所望の回転方向と回転量をマー
クで指示するだけで、試料が回転したことによる
視野ずれを生ずる事なく、確実に所望の回転状態
での像観察が可能となるので、観察者による試料
の回転操作を著しく向上させることができる。
機構の初期状態からの変化を示す変化信号と前記
初期信号とに基づいて、回転前の試料上での電子
線の照射中心が試料回転に基づいて移動する量だ
け該移動の方向へ電子線の照射中心を移動させる
ための制御信号を作成して前記電気的XY移動手
段へ供給する視野補正手段と、陰極線管に回転操
作手段の回転操作による視野の回転方向と回転量
を表わすマークを表示する手段を設けるようにし
たので、観察者は所望の回転方向と回転量をマー
クで指示するだけで、試料が回転したことによる
視野ずれを生ずる事なく、確実に所望の回転状態
での像観察が可能となるので、観察者による試料
の回転操作を著しく向上させることができる。
第１図は従来の試料装置の構造を示す略図、第
２図は本発明の一実施例装置を示す略図、第３図
及び第４図は第２図の装置の動作を説明するため
の略図、第５図は本発明の他の実施例装置を示す
略図である。 １……試料室側壁、２……傾斜機構、３……
XY移動機構、４……回転機構、５……試料、６
……電子線、７Ｘ，７Ｙ……偏向コイル、８……
走査回路、９……倍率回路、１０……加算回路、
１１……陰極線管、１２Ｘ，１２Ｙ……偏向コイ
ル、１３……検出器、１４……増幅器、１５，１
６，１７，１８……モータ、１９……中央制御回
路、２０……Ｘ移動つまみ、２１……Ｙ移動つま
み、２２……傾斜つまみ、２３……回転つまみ、
２４……切換回路、２５……輝線表示回路、２６
……セツト回路、２７……輝線、２８……蛍光
板、２９，３０……偏向コイル、３１……偏向電
源、３２……輝線表示回路。
２図は本発明の一実施例装置を示す略図、第３図
及び第４図は第２図の装置の動作を説明するため
の略図、第５図は本発明の他の実施例装置を示す
略図である。 １……試料室側壁、２……傾斜機構、３……
XY移動機構、４……回転機構、５……試料、６
……電子線、７Ｘ，７Ｙ……偏向コイル、８……
走査回路、９……倍率回路、１０……加算回路、
１１……陰極線管、１２Ｘ，１２Ｙ……偏向コイ
ル、１３……検出器、１４……増幅器、１５，１
６，１７，１８……モータ、１９……中央制御回
路、２０……Ｘ移動つまみ、２１……Ｙ移動つま
み、２２……傾斜つまみ、２３……回転つまみ、
２４……切換回路、２５……輝線表示回路、２６
……セツト回路、２７……輝線、２８……蛍光
板、２９，３０……偏向コイル、３１……偏向電
源、３２……輝線表示回路。
Claims (1)
- １ 互いに直交するXY二方向へ試料を移動させ
るXY移動機構と、該XY移動機構に載置される
回転機構と、試料を照射する電子線又は試料を透
過する電子線を偏向することによつて電子顕微鏡
像の視野を電気的に移動させる電気的XY移動手
段を備えた荷電粒子線装置における試料回転装置
において、試料回転操作の直前におけるXY移動
機構と回転機構の状態を初期信号として記憶して
おき、前記回転機構の初期状態からの変化を示す
変化信号と前記初期信号とに基づいて、回転前の
試料上での電子線の照射中心が試料回転に基づい
て移動する量だけ該移動の方向へ電子線の照射中
心を移動させるための制御信号を作成して前記電
気的XY移動手段へ供給する視野補正手段と、前
記回転機構に回転信号を供給する回転操作手段か
らの出力によつて陰極線画面内に回転操作による
視野の回転方向と回転量を表わすマークを表示す
る手段とを備えたことを特徴とする荷電粒子線装
置における試料回転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58129041A JPS6020439A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 荷電粒子線装置における試料回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58129041A JPS6020439A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 荷電粒子線装置における試料回転装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020439A JPS6020439A (ja) | 1985-02-01 |
| JPH057817B2 true JPH057817B2 (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=14999632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58129041A Granted JPS6020439A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 荷電粒子線装置における試料回転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020439A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03174239A (ja) * | 1989-03-22 | 1991-07-29 | Nippon Zeon Co Ltd | 分散剤およびその使用方法 |
| JP2007192741A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Sharp Corp | 元素分析方法及び元素分析装置 |
| JP5182864B2 (ja) * | 2007-05-11 | 2013-04-17 | 国立大学法人浜松医科大学 | 電子顕微鏡用試料ホルダ及び電子顕微鏡 |
| US10431418B1 (en) | 2018-04-05 | 2019-10-01 | B Dot Medical Inc. | Focusing magnet and charged particle irradiation apparatus |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766854U (ja) * | 1980-10-08 | 1982-04-21 |
-
1983
- 1983-07-15 JP JP58129041A patent/JPS6020439A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6020439A (ja) | 1985-02-01 |
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