JPS59148255A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS59148255A JPS59148255A JP58021242A JP2124283A JPS59148255A JP S59148255 A JPS59148255 A JP S59148255A JP 58021242 A JP58021242 A JP 58021242A JP 2124283 A JP2124283 A JP 2124283A JP S59148255 A JPS59148255 A JP S59148255A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- bright line
- rotation
- angle
- screen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は走査像を任意の方向に傾（Ｊて観察し得る走査
電子顕微鏡に関する。
電子顕微鏡に関する。
［従来技術］
走査電子顕微鏡は観察試ｒ１の表面における凹凸が激し
くても鮮明な像が得られるという利点があるが、この利
点を充分に利用するためには照射電子線に対して試料表
面を仔危の方向を軸として傾斜できるようにして凹凸の
影に相当する部分を観察可能にする必要がある。この要
求に応えるため、走査電子顕微鏡は従来より第１図に示
すような試料装置を有している。即ち、試料室の側壁１
に傾斜機構２が取り付けられており、その傾斜軸Ｕは固
定されている。該傾斜機構２の上部にはＸＹ移動機構３
が、その上部には回転機構４が載置されており、観察試
料５は回転機構４にホルダーを介して取り付けられる。
くても鮮明な像が得られるという利点があるが、この利
点を充分に利用するためには照射電子線に対して試料表
面を仔危の方向を軸として傾斜できるようにして凹凸の
影に相当する部分を観察可能にする必要がある。この要
求に応えるため、走査電子顕微鏡は従来より第１図に示
すような試料装置を有している。即ち、試料室の側壁１
に傾斜機構２が取り付けられており、その傾斜軸Ｕは固
定されている。該傾斜機構２の上部にはＸＹ移動機構３
が、その上部には回転機構４が載置されており、観察試
料５は回転機構４にホルダーを介して取り付けられる。
このような試ｒ１装置を用いて試料照射電子線６に対す
る試料表面を傾斜機構２により傾（ｊた後、試料回転機
構４により試料を回転すると、試料に対して傾斜軸Ｕが
回転するため第２図（ａ ）、 （ｂ ）、 （ｃ
）に示Ｊように、画面Ｃに表示される凹凸の影に相当
する部分を変化させることができる。
る試料表面を傾斜機構２により傾（ｊた後、試料回転機
構４により試料を回転すると、試料に対して傾斜軸Ｕが
回転するため第２図（ａ ）、 （ｂ ）、 （ｃ
）に示Ｊように、画面Ｃに表示される凹凸の影に相当
する部分を変化させることができる。
このような装置における該回転量の調節は、従来、嫡子
や押している期間のみ試料が回転し続け、押すのを止め
ると回転が停止するようにされた押しボタンスイッチを
操作者が画面を観察しながら操作して行なっていた。し
かしながら、試料の回転はモータ駆動による機械的なも
のであるため、嫡子やボタン操作に対して応答性が悪く
、熟練した操作者でないと、１回の操作で所望の角度に
回転させることはできなかった。そのため、通常回転の
開始と停止を繰り返して試行錯誤の未目的を達するわけ
であるが、特に回転の開始と停止を急激に行なうことは
できないため、目的を達するためにはかなりの時間がか
かった。
や押している期間のみ試料が回転し続け、押すのを止め
ると回転が停止するようにされた押しボタンスイッチを
操作者が画面を観察しながら操作して行なっていた。し
かしながら、試料の回転はモータ駆動による機械的なも
のであるため、嫡子やボタン操作に対して応答性が悪く
、熟練した操作者でないと、１回の操作で所望の角度に
回転させることはできなかった。そのため、通常回転の
開始と停止を繰り返して試行錯誤の未目的を達するわけ
であるが、特に回転の開始と停止を急激に行なうことは
できないため、目的を達するためにはかなりの時間がか
かった。
［発明の目的］
本発明はこのような従来の欠点を解決するためになされ
たもので、簡単且つ短時間に試料を所望の角度回転する
ことのできる走査電子顕微鏡を提供することを目的とす
るものである。
たもので、簡単且つ短時間に試料を所望の角度回転する
ことのできる走査電子顕微鏡を提供することを目的とす
るものである。
［発明の構成］
本発明は試料回転機構と、試ｒ１移動機構と、試料回転
機構と、試料上において電子線を二次元的に走査する手
段と、該電子線の走査に同期して走査され該電子線の走
査に伴なって得られる検出信号に基づいて試料像を表示
する表示手段とを備えた装置において、該表示手段の表
示両面にマークを表示する手段と、該マークを（Ｔ意に
回転する手段と、該マークの基準からの角度φを表わす
信号に基づいて前記試１１回転機横をφだけ回転させる
ための制御手段と、該試料回転機構の回転に伴なう視野
の逃げを防ぐため該回転に前後して又は該回転と共に前
記試ｒ１移動機構により試ｙＩ＋を移動させるための手
段とを具備していることを特徴としている。
機構と、試料上において電子線を二次元的に走査する手
段と、該電子線の走査に同期して走査され該電子線の走
査に伴なって得られる検出信号に基づいて試料像を表示
する表示手段とを備えた装置において、該表示手段の表
示両面にマークを表示する手段と、該マークを（Ｔ意に
回転する手段と、該マークの基準からの角度φを表わす
信号に基づいて前記試１１回転機横をφだけ回転させる
ための制御手段と、該試料回転機構の回転に伴なう視野
の逃げを防ぐため該回転に前後して又は該回転と共に前
記試ｒ１移動機構により試ｙＩ＋を移動させるための手
段とを具備していることを特徴としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第３図は本発明の一実施例の概略を示すもので、第１図
と同一の構成要素に対しては同一番号が付されている。
と同一の構成要素に対しては同一番号が付されている。
図中、７は電子銃であり、８は電子３−
線６を集束するための集束レンズ、９Ｘ、９Ｙは偏向コ
イルである。偏向コイル９Ｘ、９Ｙには走査信号発生回
路１０より鋸歯状の走査信号が供給されている。１１Ｘ
、１１Ｙは増幅器である。走査信号発生回路１０よりの
走査信号は陰極線管１２の偏向コイルＤにも供給されて
おり、陰極線管１２は前記電子線６と同期走査される。
イルである。偏向コイル９Ｘ、９Ｙには走査信号発生回
路１０より鋸歯状の走査信号が供給されている。１１Ｘ
、１１Ｙは増幅器である。走査信号発生回路１０よりの
走査信号は陰極線管１２の偏向コイルＤにも供給されて
おり、陰極線管１２は前記電子線６と同期走査される。
電子線６の照射によって試料５より発生する二次電子を
検出するため二次電子検出器１３が配置されている。
検出するため二次電子検出器１３が配置されている。
検出器１３よりの信号は増幅器１４及び輝線信号加算回
路１５を介して陰極線管１２のカソードに供給されてい
る。１６１．１６Ｒは各々前記傾斜機構２及び回転機構
４を駆動するためのパルスモータであり、１６Ｘ、１６
ＹはＸ、Ｙ移動機構を駆動するためのパルスモータであ
る。これらモータ１６ Ｔ、 １６Ｒ，１６Ｘ、 １６
Ｙｌ；を各々モータ駆動回路１７１．１７Ｒ，１７Ｘ、
１７Ｙより発生する駆動パルスの供給により回転する。
路１５を介して陰極線管１２のカソードに供給されてい
る。１６１．１６Ｒは各々前記傾斜機構２及び回転機構
４を駆動するためのパルスモータであり、１６Ｘ、１６
ＹはＸ、Ｙ移動機構を駆動するためのパルスモータであ
る。これらモータ１６ Ｔ、 １６Ｒ，１６Ｘ、 １６
Ｙｌ；を各々モータ駆動回路１７１．１７Ｒ，１７Ｘ、
１７Ｙより発生する駆動パルスの供給により回転する。
これら各駆動回路における駆動パルスの発生は制御装置
１８よりの制御信号により制御されている。この＝４− 制御装置１８は記憶部や演算部等を有しており、各駆動
回路を制御するだけでなく、走査信号発生回路１０より
供給される走査に同期した信号に基づいて、陰極線管１
２の画面上に第４図に示すような輝線Ｑを表示するため
の輝線表示信号を発生する。この輝線表示信号は輝線加
算回路１５において検出器１３よりの信号と重畳されて
陰ｔｒｉｆｍ管１２に供給される。制御装置１８には入
力装置１９が接続されている。この入力装置１９は第５
図に示すように、陰極線管１２の両面に表示される輝線
Ｑを画面上で回転させるための輝線回転嫡子１９ａ、前
記回転機構４により試料を回転して、表示された輝線Ｑ
の角度まで回転させることを命じる回転指令ボタン１９
ｂ、傾斜機構２による傾斜角を指定する試料傾斜嫡子１
９ｃ、ＸＹ移動機構３により試料をＸ、Ｙ方向に移動さ
せるためのボタン１９ｘ ａ 、 １９ｘｂ、 １９ｙ
ａ、 １９ｙｂ等が備えられている。
１８よりの制御信号により制御されている。この＝４− 制御装置１８は記憶部や演算部等を有しており、各駆動
回路を制御するだけでなく、走査信号発生回路１０より
供給される走査に同期した信号に基づいて、陰極線管１
２の画面上に第４図に示すような輝線Ｑを表示するため
の輝線表示信号を発生する。この輝線表示信号は輝線加
算回路１５において検出器１３よりの信号と重畳されて
陰ｔｒｉｆｍ管１２に供給される。制御装置１８には入
力装置１９が接続されている。この入力装置１９は第５
図に示すように、陰極線管１２の両面に表示される輝線
Ｑを画面上で回転させるための輝線回転嫡子１９ａ、前
記回転機構４により試料を回転して、表示された輝線Ｑ
の角度まで回転させることを命じる回転指令ボタン１９
ｂ、傾斜機構２による傾斜角を指定する試料傾斜嫡子１
９ｃ、ＸＹ移動機構３により試料をＸ、Ｙ方向に移動さ
せるためのボタン１９ｘ ａ 、 １９ｘｂ、 １９ｙ
ａ、 １９ｙｂ等が備えられている。
このような構成において、電子線６を走査信号発生回路
１０よりの走査信号により試料５」−において走査すれ
ば、陰極線管１２に試料像が得られる。輝線回転部子１
９ａを操作しない最初の状態においては、この画面上に
は第４図に示すように水平方向の輝線Ｑが画像に重畳し
て表示される。
１０よりの走査信号により試料５」−において走査すれ
ば、陰極線管１２に試料像が得られる。輝線回転部子１
９ａを操作しない最初の状態においては、この画面上に
は第４図に示すように水平方向の輝線Ｑが画像に重畳し
て表示される。
そこで操作者はまず、試料像を観察しながら試料傾斜椅
子１９ｃを操作して傾斜機構２により試料５を所定角度
例えばθ０傾斜させると共に、ボタン１９ｘａ、 １９
ｘｂ、 １９１／ａ、 １９ｙｂを操作して移動機構３
により試料５を所定位置Ｘ１．Ｖｌまで移動させる。そ
こで、このような操作の結果得られた像を観察しながら
、入力装置１９の輝線回転部子１９ａを操作して、制御
装置１８より供給される輝線表示信号を変化させ、最初
の状態では水平に表示されていた輝線Ｑを画面中心を中
心として画面上で回転させる。このような回転により、
輝線Ｑが回転機構４による回転により両面の水平位置に
表示したいと思う画像部分に重なるまで、例えば第４図
における輝線Ｑ１まで回転させたら、次に回転指令ボタ
ン１９ｂを操作して回転機構４により試料５の回転を命
じる。いま上記輝線の回転角がφであるとすると、制御
装置１８にはこの角度φを表わすデータを保持している
ため、回転指令ボタン１９ｈの操作により入力装置Ｆ？
１９より制御装置に回転機構４の回転を指令する信号
が供給されると、制御装置１８は駆動回路１７Ｒに制御
信号を送り、パルスモータ１６Ｒを前記角度φだけ回転
させる。その結果、画面上で輝線Ｑ１に重畳して表示さ
れていた像の部分は角度φだけ回転する。ところで、回
転機構４による回転の軸と光軸とが一致していない多く
の場合には、移動機構３により試わ１５を移動しないと
、光軸７直下に配置されていた試別５上の点０（Ｘｔ、
Ｖｌ）は、第６図に示すようにＸｏ 、Ｖｏの位置に移
動した回転中心Ｒを中心とする試別４の回転に伴なって
Ｏ′まで回転でるため、両面の視野が逃げてしまう。こ
のような事態を防ぐため、制御装置１８は試料回転装置
４の回転中心位置Ｘｏ 、Ｖｏと光軸の位置Ｘ＋＋Ｖ＋
を記憶しており、この記憶しであるデータと前記φを表
わす信号に基づいて、移動機構３により試料５をＸ方向
及びＹ方向に図中７− のＱ、ｘ、Ｑｙだけ移動させる。その結果、回転機構４
による回転が終了した時点においては、陰極線管１２の
画面上には回転前に輝線Ｑ１に重畳して表示されていた
像の部分が水平線上に表示され、しかも何ら視野の逃げ
のない像が表示される。このような試別５の回転と共に
制御装置１８から発生する輝線表示信号は自動的に水平
に輝線を表示するための信号に切換えられ、そのため輝
線は前記水平の輝線Ｑに戻る。
子１９ｃを操作して傾斜機構２により試料５を所定角度
例えばθ０傾斜させると共に、ボタン１９ｘａ、 １９
ｘｂ、 １９１／ａ、 １９ｙｂを操作して移動機構３
により試料５を所定位置Ｘ１．Ｖｌまで移動させる。そ
こで、このような操作の結果得られた像を観察しながら
、入力装置１９の輝線回転部子１９ａを操作して、制御
装置１８より供給される輝線表示信号を変化させ、最初
の状態では水平に表示されていた輝線Ｑを画面中心を中
心として画面上で回転させる。このような回転により、
輝線Ｑが回転機構４による回転により両面の水平位置に
表示したいと思う画像部分に重なるまで、例えば第４図
における輝線Ｑ１まで回転させたら、次に回転指令ボタ
ン１９ｂを操作して回転機構４により試料５の回転を命
じる。いま上記輝線の回転角がφであるとすると、制御
装置１８にはこの角度φを表わすデータを保持している
ため、回転指令ボタン１９ｈの操作により入力装置Ｆ？
１９より制御装置に回転機構４の回転を指令する信号
が供給されると、制御装置１８は駆動回路１７Ｒに制御
信号を送り、パルスモータ１６Ｒを前記角度φだけ回転
させる。その結果、画面上で輝線Ｑ１に重畳して表示さ
れていた像の部分は角度φだけ回転する。ところで、回
転機構４による回転の軸と光軸とが一致していない多く
の場合には、移動機構３により試わ１５を移動しないと
、光軸７直下に配置されていた試別５上の点０（Ｘｔ、
Ｖｌ）は、第６図に示すようにＸｏ 、Ｖｏの位置に移
動した回転中心Ｒを中心とする試別４の回転に伴なって
Ｏ′まで回転でるため、両面の視野が逃げてしまう。こ
のような事態を防ぐため、制御装置１８は試料回転装置
４の回転中心位置Ｘｏ 、Ｖｏと光軸の位置Ｘ＋＋Ｖ＋
を記憶しており、この記憶しであるデータと前記φを表
わす信号に基づいて、移動機構３により試料５をＸ方向
及びＹ方向に図中７− のＱ、ｘ、Ｑｙだけ移動させる。その結果、回転機構４
による回転が終了した時点においては、陰極線管１２の
画面上には回転前に輝線Ｑ１に重畳して表示されていた
像の部分が水平線上に表示され、しかも何ら視野の逃げ
のない像が表示される。このような試別５の回転と共に
制御装置１８から発生する輝線表示信号は自動的に水平
に輝線を表示するための信号に切換えられ、そのため輝
線は前記水平の輝線Ｑに戻る。
尚、上述した実施例においては、試料の回転に伴なう視
野の逃げを防ぐための試料の移動を、回転ＩＩＩによる
回転動作と同期させて行なわなかったが、回転機構の回
転によるＸ方向及びＹ方向の移動の速度成分を相殺する
ように移動機構の移動を回転機構の回転に合わせて制御
するようにすれば、視野の逃げを回転終了時においてば
かりでなく、回転の全過程において防ぐことができる。
野の逃げを防ぐための試料の移動を、回転ＩＩＩによる
回転動作と同期させて行なわなかったが、回転機構の回
転によるＸ方向及びＹ方向の移動の速度成分を相殺する
ように移動機構の移動を回転機構の回転に合わせて制御
するようにすれば、視野の逃げを回転終了時においてば
かりでなく、回転の全過程において防ぐことができる。
更に上述した実施例においては、試料の回転角を指定す
るための目印となるマークとして輝線を用いるようにし
たが、例えば十字状のマークでも良８− いし、又、画面の半分を輝度を変えて表示することによ
り輝線の代りをさせるようにしても良い。
るための目印となるマークとして輝線を用いるようにし
たが、例えば十字状のマークでも良８− いし、又、画面の半分を輝度を変えて表示することによ
り輝線の代りをさせるようにしても良い。
［効果］
」二連したように、本発明においては、両面上に表示さ
れるマークを任意の角度回転させ、このマークの角度だ
け自動的に回転機構４を回転させるようにしているが、
マークの表示ｍｍは全て電気的な制御により応答性良く
変化させることができるため、試料を簡単且つ短時間に
所望の角度まで回転させることができる。
れるマークを任意の角度回転させ、このマークの角度だ
け自動的に回転機構４を回転させるようにしているが、
マークの表示ｍｍは全て電気的な制御により応答性良く
変化させることができるため、試料を簡単且つ短時間に
所望の角度まで回転させることができる。
第１図は走査電子顕微鏡の試料装置を説明するための図
、第２図は回転機構により回転させることにより傾斜軸
が回転することを説明するための図、第３図は本発明の
実施例の概略を説明するための図、第４図は陰極線管に
表示される輝線の変化を説明するための図、第５図は入
力装置を説明するための図、第６図は試別の回転に基づ
く視野の逃げを説明するための図である。 １：側壁、２：傾斜機構、３：移動ｔＲ椙、４：回転機
構、５：試料、６：電子線、７：電子銃、８：集束レン
ズ、９Ｘ、９Ｙ：偏向コイル、１０：走査信号発生回路
、１２：陰極線管、１３：二次電子検出器、１５：輝線
信号加算回路、１６■。 １６Ｒ，１６Ｘ、 １６Ｙ ：パ）ｌ／ス−Ｅ−夕、１
７■。 １７Ｒ，１７Ｘ、１７Ｙ：駆動回路、１８：制御装置、
１９：人力装動、１９ａ：輝線回転嫡子、１９ｂ：回転
指令ボタン、１９Ｃ：試料傾斜嫡子、１９ｘａ 、１９
ｘｂ、１９ｙａ、１９ｙｂ ：試料移動椅子、Ｕ：傾斜
軸、Ｃ：画面、ｌ：光軸、Ｑ、Ｑｌ ：輝線。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 １１− 」“ ） ２７２− ｆ → トか
、第２図は回転機構により回転させることにより傾斜軸
が回転することを説明するための図、第３図は本発明の
実施例の概略を説明するための図、第４図は陰極線管に
表示される輝線の変化を説明するための図、第５図は入
力装置を説明するための図、第６図は試別の回転に基づ
く視野の逃げを説明するための図である。 １：側壁、２：傾斜機構、３：移動ｔＲ椙、４：回転機
構、５：試料、６：電子線、７：電子銃、８：集束レン
ズ、９Ｘ、９Ｙ：偏向コイル、１０：走査信号発生回路
、１２：陰極線管、１３：二次電子検出器、１５：輝線
信号加算回路、１６■。 １６Ｒ，１６Ｘ、 １６Ｙ ：パ）ｌ／ス−Ｅ−夕、１
７■。 １７Ｒ，１７Ｘ、１７Ｙ：駆動回路、１８：制御装置、
１９：人力装動、１９ａ：輝線回転嫡子、１９ｂ：回転
指令ボタン、１９Ｃ：試料傾斜嫡子、１９ｘａ 、１９
ｘｂ、１９ｙａ、１９ｙｂ ：試料移動椅子、Ｕ：傾斜
軸、Ｃ：画面、ｌ：光軸、Ｑ、Ｑｌ ：輝線。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 １１− 」“ ） ２７２− ｆ → トか
Claims (1)
- 試料傾斜機構と、試料移動機構と、試料回転機構と、試
料上において電子線を二次元的に走査する手段と、該電
子線の走査に同期して走査され該電子線の走査に伴なっ
て得られる検出信号に基づいて試料像を表示する表示手
段とを備えた装置において、該表示手段の表示画面にマ
ークを表示する手段と、該マークを任意に回転する手段
と、該マークの基準からの角度φを表わす信号に基づい
て前記試料回転機構をφだけ回転させるための制御手段
と、該試料回転機構の回転に伴なう視野の逃げを防ぐた
め該回転に前後して又は該回転と共に前記試料移動機構
により試料を移動させるための手段とを具備しているこ
とを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58021242A JPS59148255A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58021242A JPS59148255A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59148255A true JPS59148255A (ja) | 1984-08-24 |
| JPH0360150B2 JPH0360150B2 (ja) | 1991-09-12 |
Family
ID=12049579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58021242A Granted JPS59148255A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59148255A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61104549A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
| US10265817B2 (en) | 2013-03-06 | 2019-04-23 | SFI Alpha Spin Ltd. | Turbine driven power unit for a cutting tool |
-
1983
- 1983-02-10 JP JP58021242A patent/JPS59148255A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61104549A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
| US10265817B2 (en) | 2013-03-06 | 2019-04-23 | SFI Alpha Spin Ltd. | Turbine driven power unit for a cutting tool |
| US10414007B2 (en) | 2013-03-06 | 2019-09-17 | SFI Alpha Spin Ltd. | Turbine driven power unit for a cutting tool |
| US11020833B2 (en) | 2013-03-06 | 2021-06-01 | Wto, Inc. | Turbine driven power unit for a cutting tool |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0360150B2 (ja) | 1991-09-12 |
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