JPH057818B2 - - Google Patents
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- JPH057818B2 JPH057818B2 JP59086793A JP8679384A JPH057818B2 JP H057818 B2 JPH057818 B2 JP H057818B2 JP 59086793 A JP59086793 A JP 59086793A JP 8679384 A JP8679384 A JP 8679384A JP H057818 B2 JPH057818 B2 JP H057818B2
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- cylindrical body
- cylinder
- rectangular cross
- section
- sample
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は走査形電子顕微鏡に係わり、特に試料
台装置の改良に関する。
台装置の改良に関する。
走査形電子顕微鏡の試料台装置については、そ
れぞれの特徴をもつ多くの形式のものが商品化さ
れているが、この中で球形支点又はジンバル支点
をもつた筒体の中に軸を貫通させこの突端に試料
を載置して、筒体を首振り運動させることにより
試料をＹ方向或いは試料面の高さを調節するよう
に構成した、いわゆる片持ち式の試料台装置（た
とえば特公昭58−57860号公報、特公昭56−914号
公報など）に於て筒体をそれぞれ90°方向から駆
動する手段として、一方向をばね等の弾性体で押
圧し対向する側をねじで支承しねじを回動させる
ことで首振りさせているが、このばね、ねじで挟
持されている筒体の接触点は一般的にはポリフツ
化エチレン系合成繊維等の低摩擦係数の素材又は
ころがり部材等を介在させている。しかし前者に
ついてはたがいに直角方向から強いばねで挾持し
ているため低摩擦材といえども、たがいに他の運
動を妨害して精密な駆動が困難であり、これを改
善するためにはばね圧を強くすると妨害力も強く
なり有効な解決手段を欠き不都合をきたしてい
る。又後者についてはころがりなどで一見妨害力
は極めて小さいようであるが、筒体を首振りする
と接触点が斜めになり滑りを伴ないこれが妨害力
となつて結局は精密な駆動ができない等の問題が
ある。特に球形の直径が大きくなつたときこの傾
向が顕著で別の手段が不可欠となつている。一方
自由な方向に首振り運動する筒体の回転を規制す
る手段として筒体の平面部と平行な面をもつ固定
のガイドで受けるよう構成しているが、固定ガイ
ドのため筒体が首振りにより傾斜した時接触面が
片当りになる等の不都合が伴なう。
れぞれの特徴をもつ多くの形式のものが商品化さ
れているが、この中で球形支点又はジンバル支点
をもつた筒体の中に軸を貫通させこの突端に試料
を載置して、筒体を首振り運動させることにより
試料をＹ方向或いは試料面の高さを調節するよう
に構成した、いわゆる片持ち式の試料台装置（た
とえば特公昭58−57860号公報、特公昭56−914号
公報など）に於て筒体をそれぞれ90°方向から駆
動する手段として、一方向をばね等の弾性体で押
圧し対向する側をねじで支承しねじを回動させる
ことで首振りさせているが、このばね、ねじで挟
持されている筒体の接触点は一般的にはポリフツ
化エチレン系合成繊維等の低摩擦係数の素材又は
ころがり部材等を介在させている。しかし前者に
ついてはたがいに直角方向から強いばねで挾持し
ているため低摩擦材といえども、たがいに他の運
動を妨害して精密な駆動が困難であり、これを改
善するためにはばね圧を強くすると妨害力も強く
なり有効な解決手段を欠き不都合をきたしてい
る。又後者についてはころがりなどで一見妨害力
は極めて小さいようであるが、筒体を首振りする
と接触点が斜めになり滑りを伴ないこれが妨害力
となつて結局は精密な駆動ができない等の問題が
ある。特に球形の直径が大きくなつたときこの傾
向が顕著で別の手段が不可欠となつている。一方
自由な方向に首振り運動する筒体の回転を規制す
る手段として筒体の平面部と平行な面をもつ固定
のガイドで受けるよう構成しているが、固定ガイ
ドのため筒体が首振りにより傾斜した時接触面が
片当りになる等の不都合が伴なう。
本発明の目的は片持ち式の試料台装置に於て、
球形支点をもつ筒体の首振り運動の駆動機構の前
述のような欠点を改良して、２方向からの駆動が
たがいに他の運動を妨害することなく円滑に伝達
されるように、更には前記筒体の回転規制をばね
の押圧力で挾持し常に確実に回転の規制がなし得
るように構成した良好な試料台装置を提供するこ
とにある。
球形支点をもつ筒体の首振り運動の駆動機構の前
述のような欠点を改良して、２方向からの駆動が
たがいに他の運動を妨害することなく円滑に伝達
されるように、更には前記筒体の回転規制をばね
の押圧力で挾持し常に確実に回転の規制がなし得
るように構成した良好な試料台装置を提供するこ
とにある。
本発明を要約すると、球形支点をもつ筒体をた
がいに直角方向から首振りさせる手段として、筒
体の一部に矩形の断面をもつ平面を設け、この部
分の２辺を、Ｒ溝をもつ部材を対向させた間に複
数個のスチールボールを介在させたころがりガイ
ドをもつて挾持し、このガイドの外側を筒体を囲
む部材に案内されたガイド板に一方は固着し、他
の一方は弾性体を介して固着し、これを一方はば
ねで押圧し他方をねじで承けるように構成し、ば
ねの押圧力が筒体の挾持力に及ぼすように構成し
て、挾持を確実なものとし、ねじを回動すると忠
実にこの運動が筒体に伝達され筒体を一方向に確
実に首振りするようにした。ねじの回動の過程で
筒体は傾斜してゆき、挾持しているころがりガイ
ドの間隔は増大してゆくが一方は弾性的に固定し
ているので、押圧ばねでこれを吸収し、傾斜はス
チールボールとＲ溝の間で吸収し筒体と接触する
ボールガイドは常に密着状態を維持するよう構成
している。他方これと直角方向の首振り運動は、
筒体を囲む部材に互に対向して支承された押圧ば
ねと駆動ねじを設け、筒体とこの２つの部材の間
に棒状体を介在させて筒体を挾持するよう構成
し、且つ棒状体の両端は共にポイント又は極めて
小さい面積をもつ接触として駆動ねじの回動によ
る軸方向運動が忠実に伝達され且つこれと直角方
向の動きに対しては、この棒状体が傾くことによ
つて、その動に抵抗なく応動するよう構成したも
のである。この場合傾くことによつて棒状体で支
承されている側の筒体ポジシヨンが変化するが、
棒状体の長さを適宜長く設定しておくことによつ
て、この量は実用上不都合を生じない範囲とする
ことができる。以上のように構成することによつ
て、球形支点をもつ筒体は直角をなす２方向から
の首振り運動に対して円滑な運動伝達ができるよ
うに構成したものである。
がいに直角方向から首振りさせる手段として、筒
体の一部に矩形の断面をもつ平面を設け、この部
分の２辺を、Ｒ溝をもつ部材を対向させた間に複
数個のスチールボールを介在させたころがりガイ
ドをもつて挾持し、このガイドの外側を筒体を囲
む部材に案内されたガイド板に一方は固着し、他
の一方は弾性体を介して固着し、これを一方はば
ねで押圧し他方をねじで承けるように構成し、ば
ねの押圧力が筒体の挾持力に及ぼすように構成し
て、挾持を確実なものとし、ねじを回動すると忠
実にこの運動が筒体に伝達され筒体を一方向に確
実に首振りするようにした。ねじの回動の過程で
筒体は傾斜してゆき、挾持しているころがりガイ
ドの間隔は増大してゆくが一方は弾性的に固定し
ているので、押圧ばねでこれを吸収し、傾斜はス
チールボールとＲ溝の間で吸収し筒体と接触する
ボールガイドは常に密着状態を維持するよう構成
している。他方これと直角方向の首振り運動は、
筒体を囲む部材に互に対向して支承された押圧ば
ねと駆動ねじを設け、筒体とこの２つの部材の間
に棒状体を介在させて筒体を挾持するよう構成
し、且つ棒状体の両端は共にポイント又は極めて
小さい面積をもつ接触として駆動ねじの回動によ
る軸方向運動が忠実に伝達され且つこれと直角方
向の動きに対しては、この棒状体が傾くことによ
つて、その動に抵抗なく応動するよう構成したも
のである。この場合傾くことによつて棒状体で支
承されている側の筒体ポジシヨンが変化するが、
棒状体の長さを適宜長く設定しておくことによつ
て、この量は実用上不都合を生じない範囲とする
ことができる。以上のように構成することによつ
て、球形支点をもつ筒体は直角をなす２方向から
の首振り運動に対して円滑な運動伝達ができるよ
うに構成したものである。
以下本発明の１実施例を図面により詳細に説明
する。第１図は本発明の１実施例を示す主断面
図、第２，３図は要部の断面図、第４図は首振り
運動させたときの状態を説明する断面である。図
中１は走査形電子顕微鏡のレンズ系を示す。２は
試料室で、側壁の平面部で試料台装置の基板３を
気密的に支承している。１′は試料室側壁に設け
た穴で試料台装置の要部を貫通させている。４は
第１の筒体を回動自在に支承するブロツクで基板
３に密接して気密を保つたまゝ上下動可能のよう
に支承されている。３０は基板３に支承されてい
るねじでブロツク４に設けたねじ穴と螺合しこれ
を回動することによつてブロツク４を上下動して
ワーキングテイスタンスを変えられるようにして
ある。５は第１の筒体でブロツク４に精密に嵌合
し且気密を保つたまゝ回動自在にブロツク４を貫
通して支承されている。１５は球形支点６をもつ
第２の筒体で、第１の筒体に螺合固着された球面
承３０とＯリングで気密的に且つ首振り自在に支
承されている。１７はこの筒体の一部に設けられ
た矩形の断面をもつ矩形ブロツクで、上下方向か
らＲ溝をもつボールガイド１８，１８′と密接し
受けとめられている。１９はＲ溝をもつボールガ
イドで１８と対向した位置にガイド板２４に固着
され取付けられている。２０もＲ溝をもつボール
ガイドでばね板２１を介してガイド板２４に固着
されている。３１はスチールボールで対向してい
るＲ溝のボールガイドの間に複数個介在してころ
がり接触するようになつている。前述のガイド板
２４は第１の筒体５の端部に設けられた凸起５
ａ，ｂに切欠き溝２４ａ，ｂが嵌まり一方向にの
み摺動可能のように第１の筒体５に支承されてい
る。２２は圧縮ばねであり、第１の筒体に１端を
支承され他端はボールガイド１９に接してこれを
押圧している。２３はねじばね２２と対向した位
置に設けられ第１の筒体５に螺合してボールガイ
ド２０を支承している。従つて結果的には第２の
筒体の矩形ブロツク１７部を弾性的に挾持しねじ
２３の回動による進退運動を忠実に第２の筒体の
首振り運動に変換し得る。この場合ばね板２１の
弾性は押圧ばね２２の力に対して弱いものにし
て、圧縮ばね２２の力が矩形ブロツクの挾持力に
容易に及ぼすようにしてある。従つて第２の筒体
はこの挾持力によつて回転を規制されガイド板２
４のガイド方向に沿つて首振りする。更に首振り
の角度が増大すると第４図に示すように矩形ブロ
ツクは斜めになるが、Ｒ溝をもつボールガイド
と、スチールボールの間で転動方向と直角をなす
方向に回転して矩形ブロツクにＲ溝ボールガイド
が密接したまゝこの傾斜を吸収する。更には矩形
ガイドが斜めに傾くことによつて挾持している巾
が変化するが、これは圧縮ばね２２の押圧力が及
ぼしているまゝ板ばね２１の弾性変形で吸収し挾
持力に影響しないようになつている。第２図は第
１図のイ−ロ断面図であるが、３２は第１の筒体
５に設けられたねじ穴に螺合しているねじで中心
部に円錐形の凹みをもつ穴が設けてあり、これに
対向する矩形ブロツク１７にも同様の凹み穴が設
けてあり、この間には棒状体３３が介在してい
る。この棒状体３３は両端が円錐状になつていて
前述の円錐穴にポイント接触している。ばねホー
ルダー３４の尖端円錐部は第１の筒体５に設けら
れた円錐穴で受け止められ開口部は圧縮ばね３５
を収容している。３６は伝達棒で１端が円錐にな
つていて、矩形ブロツク１７に設けられた円錐穴
にポイント接触している。従つて棒状体３３、伝
達棒３６、ばねホールダー３４を介してねじ３２
と圧縮ばね３５で矩形ブロツク１７を挾持し、ね
じ３２の回動による進退が正確に第２の筒体の首
振り運動に変換される。この場合直角方向の挾持
はころがり接触のためこの動きに対する摩擦抵抗
は謹少のため円滑な運動の伝達が可能である。第
３図はねじ２３で矩形ブロツクを上方に変位させ
たときの、３４，３６，３３の状態を示す。軸７
は第２の筒体を気密的に且つ軸方向にのみ摺動可
能の如く貫通支承されている。２５は第２の筒体
に固着された筒で中心部にねじ穴が設けられた微
動ねじ２６が螺合している。微動ねじ２６の中心
部には軸７の一部が回転自在に貫通しているが、
軸７に印加されている大気圧による吸引力はボー
ルベアリング２７を介して微動ねじ２６に受け止
められている。従つて微動ねじ２６の回動による
進退は軸７の進退に円滑に伝達され試料のＸ方向
の移動を行なう。ガイドピン１６は軸の回転規制
をする。軸１４は軸７を気密的に回転自在に貫通
していてつまみ２９で回動するようなつている。
８は試料台取付板で軸７と１体になつていて試料
回転台９を回動自在に支承している。傘歯車１０
は試料回転台９の軸部に１体化された小傘歯車１
１と噛合つている。小傘歯車１１の軸部にはピニ
オン１２が固着され軸承で試料台取付板８に支持
されている。平歯車１３は前述の軸１４に１体化
されたピニオン１２と噛合つている。従つて試料
回転台９に載置された試料３７は真空外のつまみ
２９を回動することによつて回転が与えられる。
以上のように構成されているので試料回転台９の
載置された試料はＸ，Ｙ方向、回転、第２の筒体
５の回動によつて傾斜が与えられ更にねじ３０の
回動によつてワーキングテイスタンスが、又ねじ
２３の回動によつて試料面を試料傾斜軸線３８に
合せることができる。ねじ２３による微細な試料
面の調節も、ねじ３２による精密な視野選択も共
に前述のように互に他の運動を妨害することなく
円滑正確に行なうことができるので、実施例に示
す走査形電子顕微鏡に於ける視野中心傾斜試料台
装置等に適用して実用上の効果は極めて大であ
る。
する。第１図は本発明の１実施例を示す主断面
図、第２，３図は要部の断面図、第４図は首振り
運動させたときの状態を説明する断面である。図
中１は走査形電子顕微鏡のレンズ系を示す。２は
試料室で、側壁の平面部で試料台装置の基板３を
気密的に支承している。１′は試料室側壁に設け
た穴で試料台装置の要部を貫通させている。４は
第１の筒体を回動自在に支承するブロツクで基板
３に密接して気密を保つたまゝ上下動可能のよう
に支承されている。３０は基板３に支承されてい
るねじでブロツク４に設けたねじ穴と螺合しこれ
を回動することによつてブロツク４を上下動して
ワーキングテイスタンスを変えられるようにして
ある。５は第１の筒体でブロツク４に精密に嵌合
し且気密を保つたまゝ回動自在にブロツク４を貫
通して支承されている。１５は球形支点６をもつ
第２の筒体で、第１の筒体に螺合固着された球面
承３０とＯリングで気密的に且つ首振り自在に支
承されている。１７はこの筒体の一部に設けられ
た矩形の断面をもつ矩形ブロツクで、上下方向か
らＲ溝をもつボールガイド１８，１８′と密接し
受けとめられている。１９はＲ溝をもつボールガ
イドで１８と対向した位置にガイド板２４に固着
され取付けられている。２０もＲ溝をもつボール
ガイドでばね板２１を介してガイド板２４に固着
されている。３１はスチールボールで対向してい
るＲ溝のボールガイドの間に複数個介在してころ
がり接触するようになつている。前述のガイド板
２４は第１の筒体５の端部に設けられた凸起５
ａ，ｂに切欠き溝２４ａ，ｂが嵌まり一方向にの
み摺動可能のように第１の筒体５に支承されてい
る。２２は圧縮ばねであり、第１の筒体に１端を
支承され他端はボールガイド１９に接してこれを
押圧している。２３はねじばね２２と対向した位
置に設けられ第１の筒体５に螺合してボールガイ
ド２０を支承している。従つて結果的には第２の
筒体の矩形ブロツク１７部を弾性的に挾持しねじ
２３の回動による進退運動を忠実に第２の筒体の
首振り運動に変換し得る。この場合ばね板２１の
弾性は押圧ばね２２の力に対して弱いものにし
て、圧縮ばね２２の力が矩形ブロツクの挾持力に
容易に及ぼすようにしてある。従つて第２の筒体
はこの挾持力によつて回転を規制されガイド板２
４のガイド方向に沿つて首振りする。更に首振り
の角度が増大すると第４図に示すように矩形ブロ
ツクは斜めになるが、Ｒ溝をもつボールガイド
と、スチールボールの間で転動方向と直角をなす
方向に回転して矩形ブロツクにＲ溝ボールガイド
が密接したまゝこの傾斜を吸収する。更には矩形
ガイドが斜めに傾くことによつて挾持している巾
が変化するが、これは圧縮ばね２２の押圧力が及
ぼしているまゝ板ばね２１の弾性変形で吸収し挾
持力に影響しないようになつている。第２図は第
１図のイ−ロ断面図であるが、３２は第１の筒体
５に設けられたねじ穴に螺合しているねじで中心
部に円錐形の凹みをもつ穴が設けてあり、これに
対向する矩形ブロツク１７にも同様の凹み穴が設
けてあり、この間には棒状体３３が介在してい
る。この棒状体３３は両端が円錐状になつていて
前述の円錐穴にポイント接触している。ばねホー
ルダー３４の尖端円錐部は第１の筒体５に設けら
れた円錐穴で受け止められ開口部は圧縮ばね３５
を収容している。３６は伝達棒で１端が円錐にな
つていて、矩形ブロツク１７に設けられた円錐穴
にポイント接触している。従つて棒状体３３、伝
達棒３６、ばねホールダー３４を介してねじ３２
と圧縮ばね３５で矩形ブロツク１７を挾持し、ね
じ３２の回動による進退が正確に第２の筒体の首
振り運動に変換される。この場合直角方向の挾持
はころがり接触のためこの動きに対する摩擦抵抗
は謹少のため円滑な運動の伝達が可能である。第
３図はねじ２３で矩形ブロツクを上方に変位させ
たときの、３４，３６，３３の状態を示す。軸７
は第２の筒体を気密的に且つ軸方向にのみ摺動可
能の如く貫通支承されている。２５は第２の筒体
に固着された筒で中心部にねじ穴が設けられた微
動ねじ２６が螺合している。微動ねじ２６の中心
部には軸７の一部が回転自在に貫通しているが、
軸７に印加されている大気圧による吸引力はボー
ルベアリング２７を介して微動ねじ２６に受け止
められている。従つて微動ねじ２６の回動による
進退は軸７の進退に円滑に伝達され試料のＸ方向
の移動を行なう。ガイドピン１６は軸の回転規制
をする。軸１４は軸７を気密的に回転自在に貫通
していてつまみ２９で回動するようなつている。
８は試料台取付板で軸７と１体になつていて試料
回転台９を回動自在に支承している。傘歯車１０
は試料回転台９の軸部に１体化された小傘歯車１
１と噛合つている。小傘歯車１１の軸部にはピニ
オン１２が固着され軸承で試料台取付板８に支持
されている。平歯車１３は前述の軸１４に１体化
されたピニオン１２と噛合つている。従つて試料
回転台９に載置された試料３７は真空外のつまみ
２９を回動することによつて回転が与えられる。
以上のように構成されているので試料回転台９の
載置された試料はＸ，Ｙ方向、回転、第２の筒体
５の回動によつて傾斜が与えられ更にねじ３０の
回動によつてワーキングテイスタンスが、又ねじ
２３の回動によつて試料面を試料傾斜軸線３８に
合せることができる。ねじ２３による微細な試料
面の調節も、ねじ３２による精密な視野選択も共
に前述のように互に他の運動を妨害することなく
円滑正確に行なうことができるので、実施例に示
す走査形電子顕微鏡に於ける視野中心傾斜試料台
装置等に適用して実用上の効果は極めて大であ
る。
本発明によれば球形支点をもつ筒体を、２方向
の成分に分離して動かしたい場合、前述のように
互いに他の運動を妨害する摩擦力を最小に抑える
ことができるので円滑正確な運動を伝達変換がで
きること、そして運動伝達の過程で筒体が傾く
が、これをＲ溝をもつボールガイド、スチールボ
ール、板ばね等の組合せにより前述のように合理
的に吸収して方向成分の分離と回転規制を確実に
行なうことができる等の効果があるので、走査形
電子顕微鏡の試料台装置に適用して工業上、実用
上の効果はすこぶる大である。
の成分に分離して動かしたい場合、前述のように
互いに他の運動を妨害する摩擦力を最小に抑える
ことができるので円滑正確な運動を伝達変換がで
きること、そして運動伝達の過程で筒体が傾く
が、これをＲ溝をもつボールガイド、スチールボ
ール、板ばね等の組合せにより前述のように合理
的に吸収して方向成分の分離と回転規制を確実に
行なうことができる等の効果があるので、走査形
電子顕微鏡の試料台装置に適用して工業上、実用
上の効果はすこぶる大である。
第１図ａは本発明の１実施例の要点を示す主断
面図、第１図ｂは第１図ａの要部の右側面図、第
２図は第１図のイ−ロ断面図、第３，４図は運動
状態を示す図である。 １……レンズ系、２……試料室、４……ブロツ
ク、５……第１の筒体、６……球形支点、１５…
…第２の筒体、１８，１９，２０……ボールガイ
ド、２４……ガイド板、３３……棒状体、３６…
…伝達棒。
面図、第１図ｂは第１図ａの要部の右側面図、第
２図は第１図のイ−ロ断面図、第３，４図は運動
状態を示す図である。 １……レンズ系、２……試料室、４……ブロツ
ク、５……第１の筒体、６……球形支点、１５…
…第２の筒体、１８，１９，２０……ボールガイ
ド、２４……ガイド板、３３……棒状体、３６…
…伝達棒。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空室壁に固定された第１の筒体５と、 該第１の筒体の内側に配置され、真空室の壁で
Ｏリングを介して気密的に、かつその中心を支点
として首振り自在に支承される球形部６を有する
第２の筒体１５と、 該第２の筒体の一部に形成された矩形断面部１
７と、 前記第１の筒体と第２の筒体の矩形断面部との
間に配置された、第１の方向に駆動する第１の機
構と、これとほぼ直交する第２の方向に駆動する
第２の機構とを具備し、真空外から該第２の筒体
を２方向の成分に分離して首振り運動させること
により、該第２の筒体に支承された試料の視野選
択を行うようにした走査形電子顕微鏡に於ける試
料台装置であつて、 前記第１の機構は、前記第１の筒体に進退自在
に係合する第１の駆動源３２と前記矩形断面部の
一側面との間に配置れさ、両者にポイント接触又
は僅少な面積で接触する第１の棒状体３３と、前
記矩形断面部の前記一側面と向い合う他の側面と
第１の筒体との間に配置され、ばねにより伸縮自
在に形成され、かつ前記第１の筒体および前記他
の側面と両方とポイント接触又は僅少な面積で接
触する第２の棒状体３４，３５，３６とからな
り、 前記第２の機構は、前記矩形断面部の他の向い
合う２側面を２組のスライスボールを介して挟持
する一方が弾性部材２１を固着された第１および
第２のボールガイド１９，２０と、前記弾性部材
および一方のボールガイドを取付けられた、前記
第１の駆動源の駆動方向と垂直な方向であつて、
かつ前記第１の筒体の断面内で移動方向を規制さ
れたガイド板２４と、前記第１の筒体に進退自在
に係合し、かつ該第１、第２のボールガイドの一
方に駆動力を及ぼす第２に駆動源２３と、該第
１、第２のボールガイドの他方を前記第１の筒体
に弾性的に支持する弾性部材２２とからなるよう
にしたことを特徴とする走査形電子顕微鏡に於け
る試料台装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59086793A JPS60232654A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 走査形電子顕微鏡に於ける試料台装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59086793A JPS60232654A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 走査形電子顕微鏡に於ける試料台装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60232654A JPS60232654A (ja) | 1985-11-19 |
| JPH057818B2 true JPH057818B2 (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=13896655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59086793A Granted JPS60232654A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 走査形電子顕微鏡に於ける試料台装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60232654A (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS455382Y1 (ja) * | 1966-04-06 | 1970-03-14 | ||
| JPS5948509B2 (ja) * | 1979-08-31 | 1984-11-27 | 株式会社国際精工 | 電子顕微鏡等の試料傾斜装置 |
| JPS58144754U (ja) * | 1982-03-24 | 1983-09-29 | 株式会社明石製作所 | 試料移動装置 |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP59086793A patent/JPS60232654A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60232654A (ja) | 1985-11-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |