JPH057884B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本発明は高周波誘導結合プラズマ発光分析
（ICP分析と略記）用高周波電源回路に関する。

(ロ) 従来技術 ICP分析用高周波電源は負荷の変動が非常に大
きいためトランジスタ化がおくれている。即ち高
周波トランジスタでは一個で負荷の変動の全域を
一個でカバーできるような大容量のものがないの
で、多数のトランジスタを並列につないで使わね
ばならないが、このようにすると、各トランジス
タの間で負荷の負担にアンバランスを生じ、負荷
が変動して大電流を供給しなければならない状態
のとき、このアンバランスのために一個のトラン
ジスタに負担が集中して破損し、次々と将棋倒し
的にトランジスタが破損してしまうと云うような
ことが起るからである。

しかし、真空管に代えてトランジスタを用いる
ことができれば、電力消費も少くなり、発熱冷却
の問題も軽減され、回路も安価になり、耐久性も
向上する等の利点がある。

(ハ) 目的 本発明はICP分析用高周波電源回路のトランジ
スタ化を目的としている。

(ニ) 構成 高周波の電力増幅回路を複数のトランジスタの
並列接続で構成し、これらのトランジスタの電流
を順次検出する手段と、これらのトランジスタの
電流の総和を検出する手段と、上記各トランジス
タの電流と電流の総和とを比較する手段を設け
て、何れかのトランジスタの電流と各トランジス
タの電流の平均値との差或は比率が所定値を超え
た場合に警告信号を発するか或は高周波出力を低
下させる制御回路を設けたことを特徴とするICP
分析用高周波電源回路を提供する。

(ホ) 実施例 図は本発明の一実施例を示す。１は高周波発振
器、２は電力増幅回路で32個のトランジスタより
なり、16個ずつ並列にしてプツシユプルに接続
し、高周波発振器１の出力を電力増幅する。３は
プラズマトーチ、４はプラズマトーチの周囲に設
けられたコイルで５はコイル４と電源側とのイン
ピーダンス整合を行う整合回路である。ｒは電力
増幅回路２で各トランジスタTrのエミツタとア
ース間に挿入された電流検出用抵抗であり、各ト
ランジスタのエミツタの直流電位を検出すること
によつて各トランジスタの電流をモニタすること
ができる。６は切換え回路で制御回路（CPU）
７によつて制御され、各トランジスタTrのエミ
ツタ電位を順次Ａ／Ｄ変換器８に送る。CPU７
はＡ／Ｄ変換器８を通して各トランジスタTrの
エミツタ電位の情報を取込み、次のような制御動
作を行つている。

CPUは各トランジスタTrのエミツタを切換え
回路６によつて一回走査する毎に、取込んだ各ト
ランジスタのエミツタ電位の平均値Eoを算出し、
次回の走査の際取込んだ各トランジスタのエミツ
タ電位Ｅと前回の平均値Eoとの差の平均値Eoに
対する比率Ｘ Ｘ＝（Ｅ−Eo）／Eo を各トランジスタ毎に求め、このＸを予め設定し
てある値Xoと比較してＸ＞Xoであるトランジス
タが検出されたらブザー等の警報手段９を作動さ
せる。オペレータは警報手段９が作動した場合、
高周波発振器１の出力を下げる。或はCPU７が
直接高周波発振器の出力を下げるようにしてもよ
い。

(ヘ) 効果 本発明によれば複数のトランジスタを並列作動
させる場合のアンバランスがチエツクされてアン
バランスが限度を超えたとき処置がとられるか
ら、トランジスタの破壊が防がれ、仮に一個のト
ランジスタが破損しても、引続き他のトランジス
タが順次破損して全滅すると云うような心配はな
く、高価な高周波用の電力用トランジスタを安心
して使うことができ、ICP分析用高周波電源のト
ランジスタ化が可能となる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例装置の構成を示すブロ
ツク図である。 １……高周波発振器、２……電力増幅回路、３
……プラズマトーチ、４……コイル、５……イン
ピーダンス整合回路、６……切換え回路、７……
制御回路、９……警報手段。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 複数のトランジスタの並列接続により構成さ
   れる高周波電力増幅回路と、上記各トランジスタ
   の直流電流を検出する手段と、上記各直流電流の
   平均を検出し、上記各直流電流と上記平均とを比
   較し、両者の比率が予め決めてある比率を超えた
   場合警告を発し或は高周波出力を低下させるよう
   作動する制御回路とを有するICP分析用高周波電
   源装置。