JPH0580370A - Organic functional thin film and its production - Google Patents

Organic functional thin film and its production

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JPH0580370A
JPH0580370A JP23955991A JP23955991A JPH0580370A JP H0580370 A JPH0580370 A JP H0580370A JP 23955991 A JP23955991 A JP 23955991A JP 23955991 A JP23955991 A JP 23955991A JP H0580370 A JPH0580370 A JP H0580370A
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JP
Japan
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polymer
thin film
film according
molecules
molecule
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JP23955991A
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Japanese (ja)
Inventor
Tetsuzo Yoshimura
徹三 吉村
Satoshi Tatsuura
智 辰浦
Wataru Toyama
弥 外山
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 非線形光学材料や有機半導体材料などの種々
の有機機能材料として有用な有機機能薄膜を実現するこ
とを目的とする。 【構成】 2重または3重結合で結合するような複数種
類の分子を連結させてなるポリマーであって、連続した
π電子共役長が10Å以上の部分を有するポリマー、ま
たは2重または3重結合で結合するような複数種類の分
子を連結させてなるポリマーであって、結合に与かる分
子単位間の共役系の一部が単結合により分断されている
ポリマーからなる。このポリマーは、分子単位の少なく
とも一部にドナー性またはアクセプター性を有していて
もよい。
(57) [Abstract] [Purpose] The objective is to realize organic functional thin films useful as various organic functional materials such as nonlinear optical materials and organic semiconductor materials. [Structure] A polymer obtained by linking a plurality of types of molecules that are bound by a double or triple bond, wherein the polymer has a continuous π electron conjugation length of 10Å or more, or a double or triple bond A polymer obtained by linking a plurality of types of molecules that are bound to each other, wherein a part of the conjugated system between the molecular units involved in the binding is divided by a single bond. This polymer may have a donor property or an acceptor property in at least a part of the molecular unit.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、有機機能薄膜およびそ
の作成方法に関する。本発明にかかる有機機能薄膜は、
特に非線形光学材料や有機半導体材料として有利に利用
することができる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic functional thin film and a method for producing the same. The organic functional thin film according to the present invention,
In particular, it can be advantageously used as a nonlinear optical material or an organic semiconductor material.

【0002】[0002]

【従来の技術】非線形光学材料や有機半導体材料をはじ
めとする有機機能材料のための有力な材料系として、共
役ポリマーがある。かかる材料の性能を向上させるため
には、長く、乱れの少ない共役π電子系を実現すること
が必要である。また、共役ポリマーへのドナー基もしく
はアクセプター基の選択的付加もしくはドープを行った
り、あるいは共役鎖長の制御を行うことが必要である。
共役ポリマーとして、これまで、ポリジアセチレン、ポ
リフェニレンビニレンなどの各種ポリマーが開発されて
いる。しかしながら、前者は、光錯乱損失が大きく、分
子構造に自由度が少なく、またMLD(Molecular Laye
r Deposition)法による成膜ができにくいなどの理由か
ら、これを用いて散乱の少ない高性能な膜を得ることは
困難であった。後者については、MLD法による成膜が
困難であることに加えて、共役系の乱れが大きく、共役
鎖長の制御が困難であり、またドナー基やアクセプター
基の制御が困難であるという問題があった。
2. Description of the Related Art Conjugated polymers are known as a promising material system for organic functional materials such as nonlinear optical materials and organic semiconductor materials. In order to improve the performance of such materials, it is necessary to realize a long conjugated π-electron system with little disorder. Further, it is necessary to selectively add or dope a donor group or an acceptor group to the conjugated polymer, or to control the conjugated chain length.
Various polymers such as polydiacetylene and polyphenylene vinylene have been developed as conjugated polymers. However, the former has a large optical confusion loss, a low degree of freedom in the molecular structure, and MLD (Molecular Laye).
It was difficult to obtain a high-performance film with little scattering by using this because it is difficult to form a film by the r Deposition) method. Regarding the latter, in addition to the difficulty of film formation by the MLD method, the disorder of the conjugated system is large, the control of the conjugated chain length is difficult, and the control of the donor group and the acceptor group is difficult. there were.

【0003】一方、下記式、On the other hand, the following equation

【化1】 で示されるように、-CHO基と-NH2基との反応により、2
重結合(アゾメチン結合)が生じることが知られてい
る。例えば、飯島らは、上記反応を利用して蒸着重合法
によりポリマーの薄膜化に成功している(日経ニューマ
テリアル、1989年12月11日号、93〜101
頁)。また、本発明者らは、1分子オーダーでの分子配
列が可能なMLD法を開発した(特願平3─13244
8)。
[Chemical 1] As shown in, the reaction between the -CHO group and the -NH 2 group results in 2
It is known that a heavy bond (azomethine bond) occurs. For example, Iijima et al. Have succeeded in thinning a polymer by vapor deposition polymerization using the above reaction (Nikkei New Material, December 11, 1989, 93-101).
page). Further, the present inventors have developed an MLD method capable of molecular arrangement on the order of one molecule (Japanese Patent Application No. 3-13244).
8).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の如き
従来技術の問題点を解消しようとするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to solve the above-mentioned problems of the prior art.

【0005】従って、本発明の目的は、2重または3重
結合により分子間が結合するような反応を利用して、共
役系の乱れや共役鎖長のばらつきが少なく、構造が制御
された共役ポリマーからなる有機機能薄膜を実現するこ
とにある。
Therefore, an object of the present invention is to utilize a reaction in which molecules are bound to each other by a double or triple bond so that the disorder of the conjugated system and the variation of the conjugated chain length are small, and the conjugated structure is controlled. It is to realize an organic functional thin film made of a polymer.

【0006】本発明の他の目的は、2重または3重結合
により分子間が結合するような反応を利用して、ドナー
基もしくはアクセプター基の選択的付加もしくはドープ
を行ったり、あるいは共役鎖長の制御を行い、非線形光
学材料や有機半導体材料などの種々の有機機能材料とし
て有用な有機機能薄膜を実現すること、並びにそれらを
用いたデバイスを実現することにある。
Another object of the present invention is to selectively add or dope a donor group or an acceptor group by utilizing a reaction in which molecules are bound by a double or triple bond, or to conjugate chain length. To realize organic functional thin films useful as various organic functional materials such as nonlinear optical materials and organic semiconductor materials, and to realize devices using them.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記課
題を解決するため、2重または3重結合で結合するよう
な複数種類の分子を連結させてなるポリマーであって、
連続したπ電子共役長が10Å以上の部分を有するポリ
マーからなる有機機能薄膜が提供される。
According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, a polymer obtained by linking a plurality of kinds of molecules which are bound by a double or triple bond,
Provided is an organic functional thin film made of a polymer having a continuous π-electron conjugate length of 10 Å or more.

【0008】このポリマーは、好ましくは、複数の-CHO
基を持つ分子と複数の-NH2基を持つ分子を交互に結合さ
せてなるポリマーであり、微結晶質であってもよい。
The polymer is preferably a plurality of --CHO.
It is a polymer in which a molecule having a group and a molecule having a plurality of —NH 2 groups are alternately bonded, and may be microcrystalline.

【0009】本発明によれば、また、2重または3重結
合で結合するような複数種類の分子を連結させてなるポ
リマーであって、結合に与かる分子単位間の共役系の一
部が単結合により分断されているポリマーからなる有機
機能薄膜が提供される。
According to the present invention, a polymer obtained by linking a plurality of types of molecules which are bound by a double or triple bond, wherein a part of the conjugation system between the molecular units involved in the binding is There is provided an organic functional thin film composed of a polymer separated by a single bond.

【0010】好ましくは、上記単結合は、上記複数種類
の単位分子の少なくとも一部に含まれている基の他分子
との結合により形成されるか、または連続する2個以上
の単結合を含む分子を共重合させることにより導入され
たものである。
Preferably, the single bond is formed by a bond with another molecule of the group contained in at least a part of the plurality of kinds of unit molecules, or includes two or more continuous single bonds. It was introduced by copolymerizing molecules.

【0011】本発明によれば、さらに、2重または3重
結合で結合するような複数種類の分子を連結させてなる
ポリマーであって、分子単位の少なくとも一部がドナー
性および/またはアクセプター性を有するポリマーから
なる有機機能薄膜が提供される。
According to the present invention, there is further provided a polymer obtained by linking a plurality of types of molecules which are bound by a double or triple bond, wherein at least a part of the molecular unit has a donor property and / or an acceptor property. There is provided an organic functional thin film made of a polymer having:

【0012】このドナー性は、例えば、-NH2, -N(C
H3)2, -OCH3, -OHなどのドナー基により与えられ、また
アクセプター性は、例えば、-NO2, -CN, -CF3 などのア
クセプター基により与えられる。また、このポリマー
は、複数の-CHO基を持つ分子と複数の-NH2基を持つ分子
を交互に結合させてなるポリマーであり、微結晶質であ
ってもよい。あるいは、このポリマーは、結合に与かる
分子単位間の共役系の一部が単結合により分断されてい
るポリマーであるのが好ましく、この単結合は上記複数
種類の単位分子の少なくとも一部に含まれている基の他
分子との結合により形成されるかもしくは連続する2個
以上の単結合を含む分子を共重合させることにより導入
されたものであるのがよい。
This donor property is, for example, --NH 2 ,-N (C
H 3) 2, -OCH 3, provided by a donor group such as -OH, also acceptor property, for example, -NO 2, -CN, given by the acceptor group such as -CF 3. Further, this polymer is a polymer obtained by alternately binding molecules having a plurality of —CHO groups and molecules having a plurality of —NH 2 groups, and may be microcrystalline. Alternatively, this polymer is preferably a polymer in which a part of a conjugated system between molecular units involved in a bond is divided by a single bond, and the single bond is contained in at least a part of the plurality of kinds of unit molecules. It may be formed by a bond with another molecule of the present group or introduced by copolymerizing a molecule containing two or more continuous single bonds.

【0013】本発明は、また、上記の如き有機機能薄膜
を作成するに当たり、分子を真空中に導入するかもしく
は真空中で蒸発させ、基板上において結合および/また
は重合させて薄膜の形となすことを特徴とする方法を提
供する。
According to the present invention, in forming the organic functional thin film as described above, the molecules are introduced into a vacuum or evaporated in a vacuum, and are bound and / or polymerized on a substrate to form a thin film. A method characterized by the above is provided.

【0014】本発明の有機機能薄膜は、非線形光学材
料、光導波路、pまたはn型半導体、pn接合、TF
T、発光素子などに広範囲に用いることができる。
The organic functional thin film of the present invention comprises a non-linear optical material, an optical waveguide, a p or n type semiconductor, a pn junction and a TF.
It can be used in a wide range for T, light emitting elements and the like.

【0015】[0015]

【実施例】以下に、本発明の好ましい実施態様につい
て、さらに説明する。本発明のポリマーを得るのに有用
な分子の例を下記に示す。
The preferred embodiments of the present invention will be further described below. Examples of molecules useful in obtaining the polymers of the present invention are shown below.

【0016】ドナー性もしくはアクセプター性が弱いか
またはそのような性質を持たず、-CHO基を2個以上有す
る分子の例
Examples of molecules having a weak donor property or acceptor property or having no such property and having two or more --CHO groups

【化2】 [Chemical 2]

【化3】 [Chemical 3]

【化4】 [Chemical 4]

【化5】 [Chemical 5]

【0017】ドナー性もしくはアクセプター性が弱いか
またはそのような性質を持たず、-NH2基を2個以上有す
る分子の例
Examples of molecules having a weak donor property or acceptor property or having no such property and having two or more --NH 2 groups

【化6】 [Chemical 6]

【化7】 [Chemical 7]

【化8】 [Chemical 8]

【化9】 [Chemical 9]

【0018】連続する2個以上の単結合を含み、-CHO基
を2個以上有する分子の例
Examples of molecules containing two or more consecutive single bonds and having two or more --CHO groups

【化10】 [Chemical 10]

【化11】 [Chemical 11]

【化12】 [Chemical formula 12]

【0019】連続する2個以上の単結合を含み、-NH2
を2個以上有する分子の例
Examples of molecules containing two or more consecutive single bonds and having two or more --NH 2 groups

【化13】 [Chemical 13]

【化14】 [Chemical 14]

【化15】 [Chemical 15]

【0020】アクセプター性を持ち、-CHO基を2個以上
有する分子の例
Examples of molecules having an acceptor property and having two or more -CHO groups

【化16】 [Chemical 16]

【化17】 [Chemical 17]

【化18】 [Chemical 18]

【化19】 [Chemical 19]

【化20】 [Chemical 20]

【0021】アクセプター性を持ち、-NH2基を2個以上
有する分子の例
Examples of molecules having an acceptor property and having two or more —NH 2 groups

【化21】 [Chemical 21]

【化22】 [Chemical formula 22]

【化23】 [Chemical formula 23]

【化24】 [Chemical formula 24]

【化25】 [Chemical 25]

【0022】ドナー性を持ち、-CHO基を2個以上有する
分子の例
Examples of molecules having a donor property and having two or more -CHO groups

【化26】 [Chemical formula 26]

【化27】 [Chemical 27]

【化28】 [Chemical 28]

【化29】 [Chemical 29]

【化30】 [Chemical 30]

【0023】ドナー性を持ち、-NH2基を2個以上有する
分子の例
Examples of molecules having a donor property and having two or more --NH 2 groups

【化31】 [Chemical 31]

【化32】 [Chemical 32]

【化33】 [Chemical 33]

【化34】 [Chemical 34]

【化35】 [Chemical 35]

【0024】アクセプター性とドナー性を持ち、-CHO基
を2個以上有する分子の例
Examples of molecules having acceptor and donor properties and having two or more --CHO groups

【化36】 [Chemical 36]

【化37】 [Chemical 37]

【化38】 [Chemical 38]

【0025】アクセプター性とドナー性を持ち、-NH2
を2個以上有する分子の例
An example of a molecule having two or more —NH 2 groups having an acceptor property and a donor property

【化39】 [Chemical Formula 39]

【化40】 [Chemical 40]

【化41】 [Chemical 41]

【0026】また、前述した如き、他分子との反応によ
り単結合を形成する基の例としては、下記を挙げること
ができる。
Further, as described above, examples of the group forming a single bond by the reaction with another molecule include the following.

【化42】 [Chemical 42]

【化43】 [Chemical 43]

【0027】いま、例えば、図10に示す成膜装置を用
い、テレフタルアルデヒド(TPA) とパラフェニレンジア
ミン(PPDA)を種々の条件下に、CVD(Chemical Vapor
Deposition) 法により製膜した膜の吸収スペクトルを、
図1〜図4に、示す。図1はガス圧2〜10×10-3to
rr、基板温度24℃、レート 100〜 300Å/min で作製
した膜の吸収スペクトルであり、PPDAおよびTPA のメタ
ノール溶液の吸収もいっしょに示されている。PPDAまた
はTPA 単独では可視領域において透明である。一方、膜
は、 500〜 350nmの領域で強い吸収を示す。このことか
ら、10Å以上の長い共役結合が得られていることがわ
かる。さらに、480nm 付近の鋭い吸収ピークにより確認
できるように、本発明の膜により、エキシトンの生成が
可能となった。このことも長い共役ポリマーの形成をう
らづけている。一方、図2に示すように、吸収スペクト
ル測定に際し、入射光に対して基板を傾けると、60〜
100 Å/min と成膜速度が速い場合、光の入射角θが0
°から45°および60°に変化するに従って、エキシ
トン吸収が減少している。このことから、成膜速度が速
い場合、きれいな共役鎖は基板と平行に成長する傾向に
あることがわかる。一方、図3の場合のように、レート
20〜60Å/min で製膜すると、逆に基板の傾きの増
大とともにエキシトン吸収が顕著になる。従って、きれ
いな共役系は基板と垂直方向に伸びる傾向にあることが
わかる。このように、本発明によれば、製膜条件により
配向を制御することもできる。尚、図4の場合のよう
に、膜厚が薄いかまたはレートが0.5 Å/min と著しく
遅い場合は、エキシトンがほとんど現れないこともあ
る。また、基板を0℃以下に冷却して成膜した場合、鋭
いエキシトン吸収が観測された。これらのことから、共
役ポリマー作成には成膜条件の適正化が不可欠であると
言える。
Now, for example, using a film forming apparatus shown in FIG. 10, terephthalaldehyde (TPA) and paraphenylenediamine (PPDA) are subjected to CVD (Chemical Vapor) under various conditions.
The absorption spectrum of the film formed by the (Deposition) method
This is shown in FIGS. Figure 1 shows the gas pressure of 2 to 10 × 10 -3 to
rr, the substrate temperature is 24 ° C., the absorption spectrum of the film is prepared at a rate of 100 to 300 Å / min, and the absorption of the methanol solution of PPDA and TPA is also shown. PPDA or TPA alone is transparent in the visible region. On the other hand, the film shows strong absorption in the region of 500 to 350 nm. From this, it can be seen that a long conjugated bond of 10 Å or more is obtained. Furthermore, as can be confirmed by the sharp absorption peak near 480 nm, the film of the present invention enabled the production of excitons. This also encourages the formation of long conjugated polymers. On the other hand, as shown in FIG. 2, when measuring the absorption spectrum, if the substrate is tilted with respect to the incident light,
When the deposition rate is as high as 100 Å / min, the incident angle θ of light is 0.
Exciton absorption decreases with changes from ° to 45 ° and 60 °. From this, it is understood that when the film formation rate is high, a clean conjugated chain tends to grow parallel to the substrate. On the other hand, when the film is formed at a rate of 20 to 60Å / min as in the case of FIG. 3, conversely, exciton absorption becomes remarkable as the tilt of the substrate increases. Therefore, it can be seen that a clean conjugated system tends to extend in the direction perpendicular to the substrate. As described above, according to the present invention, the orientation can be controlled by the film forming conditions. Incidentally, as in the case of FIG. 4, when the film thickness is thin or the rate is extremely slow at 0.5 Å / min, excitons may hardly appear. Further, when the substrate was cooled to 0 ° C. or lower to form a film, sharp exciton absorption was observed. From these, it can be said that proper film formation conditions are indispensable for the production of conjugated polymers.

【0028】本発明のポリマーにおいて、分子単位間の
共役系の一部が単結合により分断されているポリマーの
例を下記に示す。
In the polymer of the present invention, an example of the polymer in which a part of the conjugated system between the molecular units is divided by a single bond is shown below.

【化44】 [Chemical 44]

【0029】このポリマーは、例えば、下記の分子を適
当な順序で結合させることにより得られる。
This polymer can be obtained, for example, by binding the following molecules in an appropriate order.

【化45】 [Chemical 45]

【0030】かかるポリマーの他の例は、下記のような
ものである。
Other examples of such polymers are as follows:

【化46】 [Chemical 46]

【0031】このポリマーは、例えば、下記の分子を適
当な順序で結合させることにより得られる。
This polymer can be obtained, for example, by binding the following molecules in an appropriate order.

【化47】 [Chemical 47]

【0032】また、これらの分子を適当な順序で結合さ
せることにより、例えば、図5に示す如きポテンシャル
井戸を形成したポリマーを得ることもできる。このよう
なポリマーは、量子効果を発現させるだけでなく、共役
長を均一にするのにも有効である。
By binding these molecules in an appropriate order, for example, a polymer having a potential well as shown in FIG. 5 can be obtained. Such a polymer is effective not only for producing the quantum effect but also for making the conjugation length uniform.

【0033】図13は、本発明に係る量子井戸構造を持
つポリマーの一例について測定された吸収曲線を示す図
である。図中、(A)は測定されたポリマーを構成する
分子、即ち、テレフタルアルデヒド(TPA)、パラフ
ェニレンジアミン(PPDA)および4,4’−ジアミ
ノジフェニルエーテル(DDE)のそれぞれの吸収を示
し、(B)および(C)はそれらのポリマーの吸収を示
す。尚、これらの分子の構成を図14に示す。(C)で
は、量子井戸構造は形成されていない。(B)では−O
−ボンドがバリアとなり、ベンゼン環3つを含む、長さ
20Å程度の量子井戸が形成されている。(C)はベン
ゼン環1つからなる井戸長さの短い量子井戸である。
(C)、(B)、(A)の順に、吸収帯は短波長側にシ
フトする。これは、量子井戸による電子閉じ込めによる
と考えられる。
FIG. 13 is a diagram showing absorption curves measured for an example of the polymer having the quantum well structure according to the present invention. In the figure, (A) shows the measured absorption of each of the molecules constituting the polymer, that is, terephthalaldehyde (TPA), paraphenylenediamine (PPDA) and 4,4′-diaminodiphenyl ether (DDE), and (B) ) And (C) show the absorption of these polymers. The constitution of these molecules is shown in FIG. In (C), the quantum well structure is not formed. -O in (B)
-The bond serves as a barrier, and a quantum well with a length of about 20Å is formed that includes three benzene rings. (C) is a quantum well having a short well length consisting of one benzene ring.
The absorption band shifts to the short wavelength side in the order of (C), (B), and (A). It is considered that this is due to electron confinement by the quantum well.

【0034】また、かかるポリマーのバリア部の結合基
の差異による吸収ピークを測定したところ、図7に示す
結果が得られた。結合基は、下記に示すような、−O−
の代わりに−S−または−(CH2) −を持つ分子を用いる
ことで−S−または−(CH2)−に変えられる。−S−、
−O−、−(CH2) −の順に、吸収ピーク位置(エネルギ
ーギャップを反映)は高エネルギー側にシフトしてお
り、この順にバリア高さが高くなり、電子閉じ込め効果
が増大していることがわかる。図5および具体例として
は図14に示す如き本発明のポリマー分子について、井
戸部の長さと吸収ピークとの関係を測定したところ、図
6のような、長さが短くなるとともに、ピークがブルー
シフトするという結果が得られ(丸で示す)、井戸型ポ
テンシャルモデルの計算上のカーブとよく一致してい
る。
When the absorption peak due to the difference in the bonding group of the barrier portion of the polymer was measured, the results shown in FIG. 7 were obtained. The linking group is -O-, as shown below.
-S- or instead of - (CH 2) - -S- or by using molecules with - (CH 2) - to be changed. -S-,
-O -, - (CH 2) - in this order, the absorption peak position (reflecting the energy gap) are shifted to a higher energy side, that the order increases the barrier height, electron confinement effect is increased I understand. For the polymer molecule of the present invention as shown in FIG. 5 and as a specific example, the relationship between the length of the well portion and the absorption peak was measured. As shown in FIG. 6, the length was shortened and the peak was blue. The result of shifting (shown by a circle) is in good agreement with the calculated curve of the well potential model.

【化48】 [Chemical 48]

【0035】図8は、共役鎖を意識的に単結合で分断し
たときの膜の断面構造を模式的に描いたものである。図
において、1は共役部(井戸部)であり、2は非共役部
(バリア部)である。分子の配向は、図のような垂直配
向に限られず、水平、斜め、あるいはそれらの混合状態
のこともある。
FIG. 8 schematically shows the cross-sectional structure of the film when the conjugated chain is intentionally divided by a single bond. In the figure, 1 is a conjugated portion (well portion), and 2 is a non-conjugated portion (barrier portion). The orientation of the molecules is not limited to the vertical orientation shown in the figure, but may be horizontal, oblique, or a mixed state thereof.

【0036】以上のような膜を作製する方法として、従
来から用いられているCVD法がある。また、さらに進
んだ方法としては、以前に提案したMLD法がある。M
LD法の原理を図9に示す。図に示す如く、MLD法に
よれば、基板3上に例えばドナー性を有する分子の層
4、アクセプター性を有する分子の層5およびバリアと
なる分子の層6を1分子層づつ順次に堆積させて成膜す
ることができる。分子の種類、積層順序および積層数
は、図示したものに限定されず、任意に変えることがで
きることは言うまでもない。
As a method for forming the above film, there is a conventionally used CVD method. Further, as a further advanced method, there is the previously proposed MLD method. M
The principle of the LD method is shown in FIG. As shown in the figure, according to the MLD method, for example, a layer 4 of molecules having a donor property, a layer 5 of molecules having an acceptor property, and a layer 6 of molecules serving as a barrier are sequentially deposited on the substrate 3 one by one. Can be formed into a film. Needless to say, the kinds of molecules, the stacking order, and the number of stacks are not limited to those shown in the drawings and can be arbitrarily changed.

【0037】かかるMLD法は、例えば、図10に示す
ような成膜装置を用いて実施することができる。また、
同様の装置を用いることにより、CVD法を行うことも
できる。この装置は、2個の分子蒸発用Kセル7(シャ
ッタ8付き)および2個のモノマガスボンベもしくはモ
ノマガス供給セル9(バルブ10付き)を備える。この
装置では、基板ホルダ11により支承された基板3の加
熱および冷却が可能であり、基板に形成された電極12
および13間に電圧を印加することができる。しかしな
がら、電極形成や電場印加は必ずしも必要としない。ま
た、基板3上に形成されるポリマー膜の膜厚を膜厚モニ
ター14により監視し、熱電対15を介して基板温度を
制御することができる。当然ながら、分子蒸発用Kセル
およびモノマガスボンベもしくはモノマガス供給セルの
数は、例示のものに制限されない。また、膜厚モニター
法は、光学式モニターなど種々の方式を併用することが
望ましい。図22にTPAとPPDAによるMLDの例
を示した。ガス分子のバルブによる切り換えにより、1
分子層ステップでの成膜が膜厚モニターで観測されてい
る。成膜スピードは、基板温度、ガス圧などで変えるこ
とができる。
The MLD method can be carried out, for example, by using a film forming apparatus as shown in FIG. Also,
The CVD method can also be performed by using the same apparatus. This apparatus comprises two K cells 7 for molecular evaporation (with shutters 8) and two monomer gas cylinders or monomer gas supply cells 9 (with valves 10). In this device, the substrate 3 supported by the substrate holder 11 can be heated and cooled, and the electrodes 12 formed on the substrate can be heated and cooled.
A voltage can be applied between and 13. However, electrode formation and electric field application are not always necessary. Further, the film thickness of the polymer film formed on the substrate 3 can be monitored by the film thickness monitor 14, and the substrate temperature can be controlled via the thermocouple 15. Of course, the number of molecular evaporation K cells and monomer gas cylinders or monomer gas supply cells is not limited to the examples. Further, as the film thickness monitoring method, it is desirable to use various methods such as an optical monitor in combination. FIG. 22 shows an example of MLD using TPA and PPDA. 1 by switching valve of gas molecule
Film formation at the molecular layer step is observed on the film thickness monitor. The film formation speed can be changed by the substrate temperature, gas pressure and the like.

【0038】MLD法は、前述の如く、1分子オーダー
での製膜ができるため、非常に有効であるのみならず、
図11に示すように、膜の平坦性の向上にも効果があ
る。即ち、従来法(a)では、各分子鎖は場所ごとにラ
ンダムに伸びるため、表面が荒れやすくなる。一方、M
LD法(b)では、各分子鎖は1分子ずつ同時に伸びる
ため、表面が平滑になりやすい。
As described above, the MLD method is not only very effective because it can form a film on the order of one molecule,
As shown in FIG. 11, it is also effective in improving the flatness of the film. That is, in the conventional method (a), since each molecular chain extends randomly at each place, the surface is likely to be roughened. On the other hand, M
In the LD method (b), each molecular chain extends one molecule at a time, so the surface tends to be smooth.

【0039】かかるMLD法においては、基板処理によ
りポリマー分子の配向を制御することができる。例え
ば、図12に示すように、末端にアミノプロトンを持つ
シラン系界面活性材で予め基板3を処理しておくと、そ
の上の膜は基板から立って成長しやすい。また、1,10−
ジアミノデカンの膜をあらかじめ形成しておくと、その
上の膜が垂直配向することが知られており(文献1:A.
Kubono, N. Okui, K. Tanaka, S. Umemoto and T. Saka
i, Thin Solid Films, 199, 385 (1991))、これを利用
することも1方法である。これらの配向処理法はMLD
のみならずCVDにも適用できる。
In the MLD method, the orientation of polymer molecules can be controlled by treating the substrate. For example, as shown in FIG. 12, when the substrate 3 is previously treated with a silane-based surfactant having an amino proton at the terminal, a film on the substrate 3 tends to stand and grow from the substrate. Also, 1,10−
It is known that when a diaminodecane film is formed in advance, the film above it is vertically aligned (Reference 1: A.
Kubono, N. Okui, K. Tanaka, S. Umemoto and T. Saka
i, Thin Solid Films, 199 , 385 (1991)), and using this is one method. These alignment treatment methods are MLD
Not only can it be applied to CVD.

【0040】さらに、本発明のポリマーにおいて、ドナ
ー基およびアクセプター基を有するポリマーの例を下記
に示す。
Further, examples of polymers having a donor group and an acceptor group in the polymer of the present invention are shown below.

【化49】 [Chemical 49]

【0041】このポリマーは、例えば、下記の分子を適
当な順序で結合させることにより得られる。
This polymer can be obtained, for example, by binding the following molecules in an appropriate order.

【化50】 [Chemical 50]

【0042】かかるポリマーの他の例は、下記のような
ものである。
Other examples of such polymers are as follows:

【化51】 [Chemical 51]

【0043】このポリマーは、例えば、下記の分子を適
当な順序で結合させることにより得られる。
This polymer can be obtained, for example, by binding the following molecules in an appropriate order.

【化52】 [Chemical 52]

【0044】かかるポリマーのさらに他の例は、下記の
ようなものである。
Still other examples of such polymers are as follows:

【化53】 [Chemical 53]

【0045】このポリマーは、例えば、下記の分子を適
当な順序で結合させることにより得られる。
This polymer can be obtained, for example, by binding the following molecules in an appropriate order.

【化54】 [Chemical 54]

【0046】図15は、共役鎖を意識的に単結合で分断
したときの膜の断面構造を模式的に描いたものである。
図において、16は共役部(井戸部)であり、17は非
共役部(バリア部)である。この場合、共役部にはドナ
ー基(D)とアクセプター基(A)とが存在する。尚、
分子の配向は、図のような垂直配向に限られず、水平、
斜め、あるいはそれらの混合状態のこともある。
FIG. 15 is a schematic drawing of the cross-sectional structure of the film when the conjugated chain is intentionally divided by a single bond.
In the figure, 16 is a conjugate portion (well portion), and 17 is a non-conjugation portion (barrier portion). In this case, the conjugate group has a donor group (D) and an acceptor group (A). still,
The molecular orientation is not limited to the vertical orientation shown in the figure,
It may be diagonal or a mixture thereof.

【0047】図16に模式図で示すボリマーでは、共役
系はつながっているが、ドナー性およびアクセプター性
を持たないニュートラル分子単位(H)が挿入されてい
る。図17は、DおよびAを共役鎖に付加し、n型、p
型半導体とした例である。電子は共役鎖に沿って流れ
る。D、Aの付加量により、n、pの強さが調節でき
る。この例では、pn接合を作製した。n型、p型を単
独でつくることもできる。これらは、フォトダイオード
やLEDの機能も持つ。さらに、共振器構造の導入によ
り、レーザー発振も可能である。
In the polymer shown in the schematic view of FIG. 16, the conjugated system is connected, but the neutral molecular unit (H) having neither donor property nor acceptor property is inserted. FIG. 17 shows the addition of D and A to the conjugated chain, n-type, p
This is an example in which a type semiconductor is used. The electrons flow along the conjugated chain. The strength of n and p can be adjusted by the addition amount of D and A. In this example, a pn junction was created. The n-type and the p-type can be made independently. These also have the functions of a photodiode and an LED. Furthermore, laser oscillation is possible by introducing a resonator structure.

【0048】図18は、本発明に係る共役ポリマーを用
いたTFTの例であり、有機薄膜層18の構成材料とし
てDおよびAを有するポリマーが用いられる。図中、1
9はゲートインシュレーターである。図19は、光導波
路の例である。バッファー層20/非線形光学材料層2
1/バッファー層20をポリマー鎖上に連続して現れる
ように作る。バッファー層は、単結合からなる屈折率が
低い層である。この場合、バッファー層を共役ポリマー
で形成してもよい。非線形光学層とバッファー層の屈折
率の差は、共役結合と単結合の割合、置換基の調節など
により可能となる。
FIG. 18 is an example of a TFT using the conjugated polymer according to the present invention, and a polymer having D and A is used as a constituent material of the organic thin film layer 18. 1 in the figure
Reference numeral 9 is a gate insulator. FIG. 19 is an example of an optical waveguide. Buffer layer 20 / Nonlinear optical material layer 2
The 1 / buffer layer 20 is made to appear continuously on the polymer chains. The buffer layer is a layer composed of a single bond and having a low refractive index. In this case, the buffer layer may be formed of a conjugated polymer. The difference in refractive index between the non-linear optical layer and the buffer layer can be controlled by adjusting the ratio of conjugated bond and single bond, adjusting substituents, and the like.

【0049】さらに、本発明のポリマーの他の例を図2
0に模式図で示す。図において、3は基板である。ま
た、図21は、本発明に係るポリマーの他の一例につい
て測定された吸収曲線を示す図である。図中、TPAは
テレフタルアルデヒドを示し、NPDAは2−ニトロ−
1,4−フェニレンジアミンを示し、TS は基板温度で
ある。ポリマー化によるNPDA単独の吸収が消失して
いる。以上のドナーおよび/またはアクセプターの導
入、量子井戸の形成、さらにそれらを用いたデバイス
は、MLD法によって形成できるとともに、膜厚制御さ
れたCVDによっても形成できることは言うまでもな
い。
Further, another example of the polymer of the present invention is shown in FIG.
0 is shown in a schematic diagram. In the figure, 3 is a substrate. In addition, FIG. 21 is a diagram showing absorption curves measured for another example of the polymer according to the present invention. In the figure, TPA represents terephthalaldehyde and NPDA represents 2-nitro-
1,4-phenylenediamine, T S is the substrate temperature. Absorption of NPDA alone due to polymerization has disappeared. It goes without saying that the above-mentioned introduction of the donor and / or the acceptor, the formation of the quantum well, and the device using them can be formed not only by the MLD method but also by CVD with controlled film thickness.

【0050】以上に説明したように、本発明によれば、
きれいな共役鎖を持つ共役ポリマーが得られるととも
に、共役長の制御や量子井戸の形成などがなされた共役
ポリマーが実現できる。また、高性能な非線系光学材
料、有機半導体材料などの有機機能薄膜やそれらを用い
たデバイスが実現できる。
As described above, according to the present invention,
It is possible to obtain a conjugated polymer having a clean conjugated chain, and to realize a conjugated polymer in which the conjugation length is controlled and quantum wells are formed. In addition, high-performance non-linear optical materials, organic functional thin films such as organic semiconductor materials, and devices using them can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、本発明に係る膜の一例の吸収スペクト
ル図である。
FIG. 1 is an absorption spectrum diagram of an example of a film according to the present invention.

【図2】図2は、本発明に係る膜の他の例の吸収スペク
トル図である。
FIG. 2 is an absorption spectrum diagram of another example of the film according to the present invention.

【図3】図3は、本発明に係る膜の他の例の吸収スペク
トル図である。
FIG. 3 is an absorption spectrum diagram of another example of the film according to the present invention.

【図4】図4は、本発明に係る膜の他の例の吸収スペク
トル図である。
FIG. 4 is an absorption spectrum diagram of another example of the film according to the present invention.

【図5】図5は、ポテンシャル井戸を形成した、本発明
のボリマーの例を示す模式図である。
FIG. 5 is a schematic view showing an example of the polymer of the present invention in which a potential well is formed.

【図6】図6は、本発明のポリマー分子における、井戸
部の長さと吸収ピークとの関係を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a relationship between the length of a well portion and an absorption peak in the polymer molecule of the present invention.

【図7】図7は、本発明のポリマー分子における、パリ
ア部の結合基の差異による吸収ピークを示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing absorption peaks in the polymer molecule of the present invention due to the difference in the binding group of the paria part.

【図8】図8は、共役鎖を意識的に単結合で分断したと
きの膜の断面構造を模式的に示す図である。
FIG. 8 is a diagram schematically showing a cross-sectional structure of a film when a conjugated chain is intentionally divided by a single bond.

【図9】図9は、MLD法の原理を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing the principle of the MLD method.

【図10】図10は、MLD法の実施に有用な成膜装置
を示す模式図である。
FIG. 10 is a schematic diagram showing a film forming apparatus useful for carrying out the MLD method.

【図11】図11は、MLD法による成膜の利点の1つ
を説明する図である。
FIG. 11 is a diagram for explaining one of the advantages of film formation by the MLD method.

【図12】図12は、末端にアミノプロトンを持つシラ
ン系界面活性材で予め基板を処理した場合の説明図であ
る。
FIG. 12 is an explanatory diagram of a case where a substrate is previously treated with a silane-based surfactant having an amino proton at a terminal.

【図13】図13は、本発明に係るポリマーの一例につ
いて測定された吸収曲線を示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing absorption curves measured for an example of the polymer according to the present invention.

【図14】図14は、図13おける分子の構成を示す図
である。
FIG. 14 is a diagram showing a structure of a molecule in FIG. 13.

【図15】図15は、共役鎖を意識的に単結合で分断し
たときの膜の他の例の断面構造を模式的に示す図であ
る。
FIG. 15 is a diagram schematically showing a cross-sectional structure of another example of the membrane when the conjugated chain is intentionally divided by a single bond.

【図16】図16は、ドナー性およびアクセプター性を
持たないニュートラル分子単位が挿入されているボリマ
ーの模式図である。
FIG. 16 is a schematic diagram of a polymer in which a neutral molecular unit having neither donor property nor acceptor property is inserted.

【図17】図17は、本発明に係るポリマーをn型、p
型半導体とした例を示す図である。
FIG. 17 shows a polymer according to the present invention with n-type, p-type
It is a figure which shows the example made into a type semiconductor.

【図18】図18は、本発明に係る共役ポリマーを用い
たTFTの例を示す図である。
FIG. 18 is a diagram showing an example of a TFT using the conjugated polymer according to the present invention.

【図19】図19は、本発明に係る共役ポリマーを用い
た光導波路の例を示す図である。
FIG. 19 is a diagram showing an example of an optical waveguide using the conjugated polymer according to the present invention.

【図20】図20は、MLD法で得られる本発明のポリ
マーの他の例の模式図である。
FIG. 20 is a schematic view of another example of the polymer of the present invention obtained by the MLD method.

【図21】図21は、本発明に係るポリマーの他の一例
について測定された吸収曲線を示す図である。
FIG. 21 is a diagram showing absorption curves measured for another example of the polymer according to the present invention.

【図22】図22は、TPAとPPDAによるMLDの
例を説明する図である。
FIG. 22 is a diagram illustrating an example of MLD using TPA and PPDA.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、16…共役部(井戸部) 2、17…非共役部(バリア部) 3…基板 4…ドナー性を有する分子の層 5…アクセプター性を有する分子の層 6…バリアとなる分子の層 7…分子蒸発用Kセル7 8…シャッタ 9…モノマガスボンベもしくはモノマガス供給セル 10…バルブ 11…基板ホルダ 12、13…電極 14…膜厚モニター 15…熱電対 18…有機薄膜層 19…ゲートインシュレーター 20…バッファー層 21…非線形光学材料層 1, 16 ... Conjugated portion (well portion) 2, 17 ... Non-conjugated portion (barrier portion) 3 ... Substrate 4 ... Layer of molecule having donor property 5 ... Layer of molecule having acceptor property 6 ... Layer of molecule serving as barrier 7 ... K cell for molecular evaporation 7 8 ... Shutter 9 ... Monomer gas cylinder or monomer gas supply cell 10 ... Valve 11 ... Substrate holder 12, 13 ... Electrode 14 ... Film thickness monitor 15 ... Thermocouple 18 ... Organic thin film layer 19 ... Gate insulator 20 ... Buffer layer 21 ... Non-linear optical material layer

Claims (26)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 2重または3重結合で結合するような複
数種類の分子を連結させてなるポリマーであって、連続
したπ電子共役長が10Å以上の部分を有するポリマー
からなる有機機能薄膜。
1. An organic functional thin film comprising a polymer obtained by linking a plurality of types of molecules that are bound by a double or triple bond, the polymer having a continuous π electron conjugation length of 10 Å or more.
【請求項2】 前記ポリマーが複数の-CHO基を持つ分子
と複数の-NH2基を持つ分子を交互に結合させてなるポリ
マーである、請求項1記載の薄膜。
2. The thin film according to claim 1, wherein the polymer is a polymer obtained by alternately binding molecules having a plurality of —CHO groups and molecules having a plurality of —NH 2 groups.
【請求項3】 前記ポリマーが微結晶質である、請求項
1または2記載の薄膜。
3. The thin film according to claim 1, wherein the polymer is microcrystalline.
【請求項4】 2重または3重結合で結合するような複
数種類の分子を連結させてなるポリマーであって、結合
に与かる分子単位間の共役系の一部が単結合により分断
されているポリマーからなる有機機能薄膜。
4. A polymer obtained by linking a plurality of types of molecules which are bound by a double or triple bond, wherein a part of the conjugated system between molecular units involved in the bond is separated by a single bond. Organic functional thin film made of polymer.
【請求項5】 前記単結合が前記複数種類の単位分子の
少なくとも一部に含まれている基の他分子との結合によ
り形成されたものである、請求項4記載の薄膜。
5. The thin film according to claim 4, wherein the single bond is formed by bonding with another molecule of a group contained in at least a part of the plurality of kinds of unit molecules.
【請求項6】 前記単結合が連続する2個以上の単結合
を含む分子を共重合させることにより導入されたもので
ある、請求項4記載の薄膜。
6. The thin film according to claim 4, wherein the single bond is introduced by copolymerizing a molecule containing two or more continuous single bonds.
【請求項7】 2重または3重結合で結合するような複
数種類の分子を連結させてなるポリマーであって、分子
単位の少なくとも一部がドナー性および/またはアクセ
プター性を有するポリマーからなる有機機能薄膜。
7. A polymer obtained by linking a plurality of types of molecules which are bound by a double or triple bond, wherein at least a part of the molecular unit is a polymer having a donor property and / or an acceptor property Functional thin film.
【請求項8】 ドナー性が-NH2, -N(CH3)2, -OCH3, -OH
などのドナー基により与えられる、請求項7記載の有機
機能薄膜。
8. The donor property is --NH 2 , --N (CH 3 ) 2 , --OCH 3 , --OH.
The organic functional thin film according to claim 7, which is provided by a donor group such as.
【請求項9】 アクセプター性が-NO2, -CN, -CF3など
のアクセプター基により与えられる、請求項7記載の有
機機能薄膜。
9. The organic functional thin film according to claim 7, wherein the acceptor property is provided by an acceptor group such as —NO 2 , —CN, and —CF 3 .
【請求項10】 ドナー基の少なくとも1つは-NH2基以
外の基である、請求項7〜9のいずれかに記載の薄膜。
10. The thin film according to claim 7, wherein at least one of the donor groups is a group other than a —NH 2 group.
【請求項11】 前記ポリマーが複数の-CHO基を持つ分
子と複数の-NH2基を持つ分子を交互に結合させてなるポ
リマーである、請求項7〜10のいずれかに記載の薄
膜。
11. The thin film according to claim 7, wherein the polymer is a polymer in which a molecule having a plurality of —CHO groups and a molecule having a plurality of —NH 2 groups are alternately bonded.
【請求項12】 前記ポリマーが微結晶質である、請求
項7〜11のいずれかに記載の薄膜。
12. The thin film according to claim 7, wherein the polymer is microcrystalline.
【請求項13】 前記ポリマーが結合に与かる分子単位
間の共役系の一部が単結合により分断されているポリマ
ーである、請求項7〜12のいずれかに記載の薄膜。
13. The thin film according to claim 7, wherein the polymer is a polymer in which a part of a conjugated system between molecular units involved in a bond is separated by a single bond.
【請求項14】 前記単結合が前記複数種類の単位分子
の少なくとも一部に含まれている基の他分子との結合に
より形成されたものである、請求項13記載の薄膜。
14. The thin film according to claim 13, wherein the single bond is formed by bonding with another molecule of a group contained in at least a part of the plurality of types of unit molecules.
【請求項15】 前記単結合が連続する2個以上の単結
合を含む分子を共重合させることにより導入されたもの
である、請求項13記載の薄膜。
15. The thin film according to claim 13, wherein the single bond is introduced by copolymerizing a molecule containing two or more continuous single bonds.
【請求項16】 請求項1〜15のいずれかに記載の有
機機能薄膜を作成するに当たり、分子を真空中に導入す
るかもしくは真空中で蒸発させ、基板上において結合お
よび/または重合させて薄膜の形となすことを特徴とす
る方法。
16. When preparing the organic functional thin film according to any one of claims 1 to 15, molecules are introduced into a vacuum or evaporated in a vacuum, and are bound and / or polymerized on a substrate to form a thin film. A method of making the shape of.
【請求項17】 MLD法を用い、重合すべき分子を順
次に基板に飛来させて成膜を行う、請求項16記載の方
法。
17. The method according to claim 16, wherein the MLD method is used to sequentially deposit molecules to be polymerized onto a substrate to form a film.
【請求項18】 前記基板が末端にアミノプロトンを持
つシラン系界面活性材で予め処理されている、請求項1
6または17記載の方法。
18. The substrate according to claim 1, which has been previously treated with a silane-based surfactant having an amino proton at a terminal.
The method according to 6 or 17.
【請求項19】 アミノプロトンを有する分子からなる
成膜をあらかじめ形成した、請求項16または17記載
の方法。
19. The method according to claim 16, wherein a film formed of a molecule having an amino proton is previously formed.
【請求項20】 分子が1,10−ジアミノデカンである、
請求項19記載の方法。
20. The molecule is 1,10-diaminodecane,
The method according to claim 19.
【請求項21】 請求項1〜15のいずれかに記載の膜
を用いた非線形光学材料。
21. A non-linear optical material using the film according to claim 1.
【請求項22】 請求項1〜15のいずれかに記載の膜
を用いた光導波路。
22. An optical waveguide using the film according to claim 1.
【請求項23】 請求項1〜15のいずれかに記載の膜
を用いたpまたはn型半導体。
23. A p-type or n-type semiconductor using the film according to claim 1.
【請求項24】 請求項1〜15のいずれかに記載の膜
を用いたpn接合。
24. A pn junction using the film according to claim 1.
【請求項25】 請求項1〜15のいずれかに記載の膜
を用いたTFT。
25. A TFT using the film according to claim 1.
【請求項26】 請求項1〜15のいずれかに記載の膜
を用いた発光素子。
26. A light emitting device using the film according to claim 1.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0689067A2 (en) 1994-06-22 1995-12-27 Fujitsu Limited Method of producing optical waveguide system, optical device and optical coupler employing the same, optical network and optical circuit board
JP2003323988A (en) * 2002-02-28 2003-11-14 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light emitting device and electric appliance using the same
KR100462712B1 (en) * 2000-08-10 2004-12-20 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 Organic electronic device, method of producing the same, method of operating the same and display device using the same
JP2006131801A (en) * 2004-11-08 2006-05-25 Japan Science & Technology Agency Conductive organic molecule, electronic device using the same, and conductive organic molecule and method for producing electronic device
JP2008216947A (en) * 2007-03-06 2008-09-18 Tetsuzo Yoshimura Polymer chain/thin film growing method

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0689067A2 (en) 1994-06-22 1995-12-27 Fujitsu Limited Method of producing optical waveguide system, optical device and optical coupler employing the same, optical network and optical circuit board
KR100462712B1 (en) * 2000-08-10 2004-12-20 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 Organic electronic device, method of producing the same, method of operating the same and display device using the same
JP2003323988A (en) * 2002-02-28 2003-11-14 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light emitting device and electric appliance using the same
JP2006131801A (en) * 2004-11-08 2006-05-25 Japan Science & Technology Agency Conductive organic molecule, electronic device using the same, and conductive organic molecule and method for producing electronic device
JP2008216947A (en) * 2007-03-06 2008-09-18 Tetsuzo Yoshimura Polymer chain/thin film growing method

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