JPH0580486A - マスクデータ又はレチクルデータの生成方法 - Google Patents

マスクデータ又はレチクルデータの生成方法

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JPH0580486A
JPH0580486A JP4062696A JP6269692A JPH0580486A JP H0580486 A JPH0580486 A JP H0580486A JP 4062696 A JP4062696 A JP 4062696A JP 6269692 A JP6269692 A JP 6269692A JP H0580486 A JPH0580486 A JP H0580486A
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pattern
reticle
mask
wafer
patterns
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JP4062696A
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Frederik Sporon-Fiedler
フレデリツク・スポロン−フイールダー
Nader Shamma
ナダー・シヤンマ
Edward Lin
エドワード・リン
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70425—Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
    • G03F7/70433—Layout for increasing efficiency or for compensating imaging errors, e.g. layout of exposure fields for reducing focus errors; Use of mask features for increasing efficiency or for compensating imaging errors
    • G03F7/70441—Optical proximity correction [OPC]
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/36—Masks having proximity correction features; Preparation thereof, e.g. optical proximity correction [OPC] design processes

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 レチクルパターンを形成するために用いられるレチクル
データが、レチクルパターンの不透明部分による光の回
折により引き起こされる近接効果を有効に補正するため
に修正される。このレチクルパターン（72ａ，74ａ，76
ａ，78ａ）の修正により、ウェハ上の露光パターンが、
ウェハ上に形成される濃密パターン内の型と離間型とが
等しくかつ予期される特性を有するような所望のパター
ンとされる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、写真平板法に関し、特
に投影写真平板法用のマスクパターンの作製に関する。
【０００２】
【従来の技術】写真平板法においては、マスク又はレチ
クルにインプリントされた不透光性のパターンが、放射
光源と半導体ウェハ上の感光レジスト（フォトレジス
ト）層の間におかれる。代表的には、放射光源は水銀灯
よりなる。フォトレジストがポジ型の場合は、フォトレ
ジストの無遮光部分又は露光部分は、次の現像ステップ
において溶解法又はその他の方法により簡単に除去され
る。ポジ型フォトレジストの未露光部分は、重合状態の
まま保たれ、現像ステップにおいては除去されない。
【０００３】ネガ型フォトレジストを使用する場合は、
露光フォトレジストは、重合されて、現像液に対して抵
抗力を持つ状態になる一方、未露光のネガ型フォトレジ
ストは現像液によって容易に溶解する。
【０００４】フォトレジストが溶解、除去された後の状
態のウェハにおいては、パターン化された残留フォトレ
ジスト層は、例えばドーパントの蒸着を阻止したり、あ
るいはその残留フォトレジストの下層にある１つ以上の
層のエッチングを防ぐための保護層として用いられる。
【０００５】ある種の投影写真平板プロセスにおいて
は、ウェハに対し僅かな間隔（例えば５ミクロン）をお
いて近接配置されたマスク（全ウェハパターンが書き込
まれている）が使用される。このプロセスにおいては、
ウェハ表面にマスク像の焦点を合わせるのにレンズシス
テムは全く不要である。
【０００６】他の形態の投影写真平板プロセスにおいて
は、ウェハから離間したマスクを使用し、マスクとウェ
ハとの間に挿入したレンズシステムを用いて、ウェハ全
面にマスクパターンの焦点を合わせるようになってい
る。
【０００７】これより改良された形態の投影写真平板プ
ロセスにおいては、１枚のダイ又はウェハの比較的小さ
い部分用のパターンが書き込まれたレチクルが用いられ
る。このプロセスでは、通常ウェハから50センチメート
ル乃至１メートルの距離にレチクルを取り付け、レンズ
システムによってウェハの小さい部分にレチクルパター
ンの焦点を合わせてフォトレジストを露光するようにし
たステッパが用いられる。この露光後、レチクル像に対
してウェハを僅かに移動させ、再度露光するプロセス
が、同じレチクルによって同じパターンが位置をずらし
てウェハのほぼ全面に繰り返し露光されるまで反復され
る。
【０００８】周知のように、上記のいずれかの投影写真
平板プロセスを用いる際における画像分解能の主要な制
限要因は、光がマスク又はレチクルパターンの周りで曲
げられる光の回折である。回折のために、パターン像を
ウェハ表面に投影する際、マスク又はレチクルパターン
に僅かに歪みが生じる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本願出願人等は、通常
のマスクやレチクルを使用する従来の投影写真平板法に
よると、マスク又はレチクル上では全ての線幅が同じで
あっても、ウェハ表面上に形成されたパターンでは、線
の密集したパターン（以下「濃密パターン」と称する）
中の線幅は、離間した線の線幅より細くなるということ
を発見した。このような現象が見られるのは、ポジ型フ
ォトレジストを使用し、マスク又はレチクルの不透明部
分が、ウェハ表面上に形成すべき線等の型に対応する場
合である。ネガ型フォトレジストを使用し、マスク又は
レチクルの透明部分をウェハ表面上に形成すべき線等の
型に対応させる場合は、上記の効果は逆に現れる。
【００１０】このように、露光後のウェハは、ある型が
粗であるか濃密パターン中に入っているかによって決ま
る型の大きさにより影響を受ける。その結果、予測をは
ずれた型サイズが生じることになる。集積回路設計の技
術分野の当業者にならば、導電線が同じ電気特性を持つ
ように設計されているにもかかわらず、露光後形成され
る導電線の間で電気特性が異なる等、予測外の型サイズ
に起因する様々な問題については認識できよう。
【００１１】このように濃密パターン中の線と離間した
線とで線幅が食い違う理由を、図１乃至図３に図示す
る。ここで、このような不一致が生じるのは、単に線だ
けではなく、全ての幾何学形状において見られるという
ことに注意すべきである。
【００１２】図１及び図２は、簡単な金属被膜工程を示
す。
【００１３】まず始めに、図１(b)に示すウェハ10の表
面上にパターン化されていない二酸化ケイ素層12が形成
される。次に、通常アルミニウムを用いる金属層14が、
通常の技術を用いて二酸化ケイ素層12の表面に蒸着され
る。その後、ウェハ表面を完全に覆うよう、ウェハ表面
上にスピンコータによってポジ型フォトレジスト層が塗
工される。次に、ウェハ表面は、周知技術により、レチ
クルを通して選択露光される。
【００１４】図１(a)は、フォトレジストを露光するの
に用いられる周知のタイプのランプから発生される光を
遮る遮光部16及び18によって表されるレチクルパターン
を示す。下向きの矢印は、ランプからの部分的にコヒー
レントな放射光20を示す。レンズ22は、ウェハ10の表面
上にレチクル像の焦点を合わせる。図１(a)のグラフの
Ｘ軸は、ウェハ10の表面に沿った距離を表し、グラフの
Ｙ軸は、ウェハ10の表面に入射する光の強度を表す。
【００１５】ウェハ表面に入射する光の強度より明らか
なように、遮光部16及び18の下側には、直線経路を伝播
する光波が遮光部16及び18の周りで曲がることによる光
の回折のためにある低いレベルの強度の光が存在する。
このようにして、この回折光により、フォトレジストの
余分な部分が露光される。さらに、ウェハ10の表面の遮
光された部分の縁部では、放射光20が、光の回折の結果
相互に強め合うか又は弱め合うように干渉するというこ
とが判る。従って、強め合い干渉によって光の強度が増
大する所では、フォトレジストは、さらに多量に露光さ
れることになる。これらのエッジ効果の範囲は、下記の
刊行物に記載されているように、光のコヒーレンシー、
使用するレンズの開口数及びその他の要因の関数であ
る。即ち、「光学投影印字(Optical Projection Printi
ng) 」、J. D. Cuthbert著、SolidState Technology
（ソリッドステート技術）71年８月号；「微細製作のた
めの光学的画像形成(Optical Imaging for Microfabric
ation)」、J. H. Bruning著、Journal of Vacuum Scien
ce Technology(真空科学技術ジャーナル), 17(5), 1980
年９月／10月号。これらの刊行物は、いずれも引用文献
として本願中に組み込まれている。
【００１６】説明の便宜上、スレッショルド強度レベル
ＬTHより強い光に露光されたフォトレジストは、全てフ
ォトレジストの現像中に溶解され、除去されるものと仮
定する。実際には、このような露光フォトレジストと未
露光フォトレジストとの区別はそれ程明確ではない。こ
の光のスレッショルド強度レベルは、図１(a)のＹ軸上
にＬTHで表されている。
【００１７】図１(b)は、光パターンに十分露光され、
露光フォトレジストが除去された後のウェハ10を示す。
フォトレジストの部分24が残留している。この例におい
ては、フォトレジスト部分24の幅は、0.74ミクロンであ
る。
【００１８】図１(c)には、露出した金属層14が周知技
術を用いて異方性エッチングされ、フォトレジスト部分
24がフォトレジスト剥離器によって除去された状態が示
されている。この後、必要ならば、残っている酸化物層
12も除去される。
【００１９】このようにして、最後に残るのは図１(c)
に示す平行な金属線26及び28よりなる金属パターンであ
り、その幾何学的型は、遮光部16及び18の幾何学的型及
びこれらの遮光部間の間隔によって決定される。遮光部
16及び18の幅は、図１(c)の0.74ミクロンの金属線幅に
対応している。図１(c)の例においては、ピッチすなわ
ち金属線26と28の中心間の距離は３ミクロンである。
【００２０】図１の例においては、遮光部16からの回折
効果は金属線28の形状には影響せず、また遮光部18から
の回折効果は金属線26の形状には影響しないので、平行
な金属線26と28の間の３ミクロンのピッチは、離間した
線のパターンを生じる。
【００２１】図２(b)は、金属線30、31及び32の間のピ
ッチを 1.5ミクロンとした金属線の濃密パターンを示
す。図２の例で明らかなように、図２(a)に示すレチク
ルの遮光部40乃至42の幅が図１(a)の遮光部16及び18の
幅と同じであっても、露光によって得られる金属線30、
31及び32の幅は、0.74ミクロンより狭くなっている。こ
れは、遮光部40及び42からの回折効果が、中央の遮光部
41の下方のフォトレジストを図１の場合より大きな面積
について光のスレッショルド強度ＬTH以上に露光させる
よう、遮光部40乃至42が相互に十分近接して配置されて
いるためである。また、遮光部41からの回折効果によっ
て、遮光部40及び42の下方のフォトレジストは、図１の
場合より大きな面積にわたってＬTH以上に露光される。
【００２２】図から明らかなように、金属線31の線幅は
遮光部40及び42の回折効果によって両側で削られるた
め、金属線31は、金属線30及び32より細くなっている。
【００２３】上記のプロセスは、単に投影型写真平板プ
ロセスに固有の光回折の効果を例示したに過ぎない。回
折効果から生じる従来技術の写真平板プロセスの欠点
は、金属被膜パターンを形成するために用いられる上記
の特定プロセスに限ったものでは全くない。
【００２４】図３(a)は、簡単なレチクルパターンの上
面図を示し、このパターンにおいて長方形50、51及び52
はレチクルの不透明部分を示し、56で示す部分は、透明
部分を示す。（非常に大きく拡大され）ウェハ表面へ転
写されたパターンを図３(b)に示す。ここでは、金属線5
0ａ、51ａ及び52ａは、各々不透明部分50、51及び52に
より形成される。この例の場合、不透明部分50、51及び
52が極めて接近していることによって、図２(a)及び図
２(b)で説明したのと同様の効果により、線50ａ、51ａ
及び52ａは僅かに狭くなる。そのため、このようにして
生じた線50ａ、51ａ及び52ａのパターンは、濃密線パタ
ーンに分類される。
【００２５】また、図３(a)には、図３(b)で金属線58ａ
を生じさせる不透明部分58も示している。近接した不透
明部分からの影響がないため、金属線58ａに対しては線
幅を狭める効果が及ばない。この理由によって、金属線
58ａは、離間線に分類される。
【００２６】図４は、離間線と濃密パターン中の線をレ
チクル上で幾何学的に同じ線幅とした場合におけるエッ
チング後の0.7 ミクロンの離間線の線幅（ＬＷISO ) と
濃密線パターン中の線の線幅（ＬＷDENSE ) との差を、
一定範囲の線ピッチに対してプロットしたグラフであ
る。この線幅の差は、いわゆる近接効果によって生じ
る。図４から明らかなように、この近接効果は、約0.7
ミクロンの線幅の場合、ピッチが２ミクロンより小さく
なると顕著になる。例えば、1.5 ミクロンのピッチで
は、離間線の幅が0.7 ミクロンであるのに対し、濃密パ
ターンでの線幅は約0.67ミクロンになっている。この分
野の技術水準が向上するにつれて、線幅とピッチはさら
に小さくなり続け、離間線が濃密パターン中の線より広
く形成されるという不都合な効果がそれだけ倍加される
ものと考えられる。
【００２７】従って、写真平板法の分野においては、マ
スク又はレチクルがウェハ上に所期のパターンを形成し
得るようこのような近接効果を補正する方法が強く要望
されている。
【００２８】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明によれ
ば、離間線と濃密線パターン中の線の間の線幅差を補償
するために、ウェハ上の露光パターンが所望のパターン
となるようマスク又はレチクルパターン自体を修正し、
ウェハ上の露光パターンが所望のパターンとする。本発
明は、線だけではなくマスク又はレチクルの全ての幾何
学形状に等しく適用される。
【００２９】例えば、ポジ型フォトレジストを用い、未
露光フォトレジストによってウェハ上に実際に形成され
る導電線を画定する場合、本発明の一実施例によれば、
レチクルは、離間線を形成するためのレチクルの不透明
部分が濃密線パターン中の線を形成する不透明部分より
僅かに狭くなるように修正される。
【００３０】前述の近接効果のために、レチクル上にお
ける不透明部分の濃密パターンは、レチクル上の離間し
た不透明部分のパターンより狭い線幅をウェハ上に生じ
させる。本発明によれば、マスク又はレチクルパターン
そのものにおいて離間線と濃密線パターン中の線の間の
線幅差が補償されるので、ウェハ上に生じる離間線の線
幅は、ウェハ上の濃密パターン線の線幅に等しくなる。
【００３１】本発明の一実施例においては、マスク又は
レチクルパターンは、一連の論理ステップを含むソフト
ウェアプログラムを用いて修正される。このプログラム
は、マスク又はレチクルデータを加工し、これらのデー
タを用いて通常のマスク作製装置によりマスク又はレチ
クルパターンを自動的に作製する。
【００３２】
【実施例】図５(a)においては、70はレチクル68の透明
部分を示し、矩形の部分72、74、76及び78はレチクル68
の不透明部分を示す。例示説明のため、不透明部分72、
74及び76により画定されるレチクルパターンは、濃密パ
ターンであると仮定し、不透明部分78により画定される
レチクルパターンは離間部分であるとする。
【００３３】前述のように、ウェハ表面上に結果的に形
成される濃密線パターンは、図４のグラフに示した近接
効果のために線幅が狭くなるが、離間線は、近接効果に
よって影響されない。通常のレチクルデータを修正しな
ければ、露光の結果生じるウェハパターンは、図３(b)
に示すものと相似のパターンになる。
【００３４】図３(b)のような好ましくないウェハパタ
ーンができないようにするため、本発明においては、図
５(b)に示すような修正されたレチクルパターンが形成
されるようレチクルデータを修正する。図５(b)のレチ
クルパターンでは、不透明部分72ａ、74ａ及び76ａより
なるオリジナルな濃密パターンはそのまま保たれている
が、離間部分のパターンは修正されており、不透明部分
78ａは図５(a)の対応部分78より狭くされている。
【００３５】不透明部分78ａを図５(a)の部分78に対し
て狭くする量は、線幅（又は型サイズ）及びピッチによ
って決まる。例えば、ウェハ上に形成された離間線の線
幅が0.7ミクロンの場合には、図４のグラフを用いて、
部分78ａの必要な狭くする量を決定することができる。
【００３６】図５(b)の修正されたレチクルを用いる
と、ウェハ表面上に生じる露光パターンは、図５(c)に
示すものと相似し、図５(a)に示すオリジナルなレチク
ルに相当する所望のパターンとなる。
【００３７】この詳細な説明の記載により、当業者であ
れば、不透明部分72、74及び76を広くしても、不透明部
分78を狭くしても、以下に説明する本発明のプロセスの
効果を全く同じように達成することができるということ
は明らかであろう。さらに、本発明は、線だけでなく、
全ての幾何学形状に適用可能である。
【００３８】また、ネガ型フォトレジストを使用する
と、線がウェハ上のフォトレジストが露光された所に形
成されるので、上記の近接効果は逆の結果をもたらすと
いうことも当業者にとっては明らかであろう。このよう
な場合においては、ウェハ上の離間線が濃密線パターン
中の線より狭く形成される。従って、レチクルデータ
は、使用する各特定のウェハ製作プロセスに照らして適
宜調整することになる。
【００３９】例示説明を簡単化して行うために、図５の
例及び以下にさらに詳述するプロセスは、線形成プロセ
スにポジ型フォトレジストを使用するものとし、フォト
レジストの未露光部分がウェハ表面上に形成される導電
線に対応するものと仮定する。
【００４０】図６及び図７は、本発明に従って修正され
るレチクルパターンの他の一般的な例を示す。
【００４１】図６においては、レチクル95の、離間パタ
ーンをなすとみなせる不透明部分90〜94の線幅は、濃密
パターンの一部をなすために近接効果の影響を受けると
みなせる不透明部分96〜100 より線幅より狭く形成され
ていることが判る。投影写真平板法に固有の近接効果の
ために、図６のレチクルによってウェハ上に形成される
線は、それらの線の全長にわたって均一な幅を持つはず
である。
【００４２】図７は、レチクル102 の３種類の異なる長
さの不透明部分が近接効果を補償するよう修正されたレ
チクルパターンを示す。ここでは、幅の大きい不透明部
分103、104 及び105 は、濃密パターンの一部であり、
近接効果の影響を受けると仮定されている。不透明部分
104は、不透明部分103 及び105 より大きな長さを有
し、従ってその長さの方向の部分106 は近接効果による
影響を受けない。そのために、不透明部分104 から延び
出た離間部分106 は、線幅が狭くなっている。しかしな
がら、やはり不透明部分104 から延び出た不透明部分10
7 は、片側だけが近接効果にさらされ、そのために、幅
が、部分104 に比べてほんの僅かだけ狭くされている。
不透明部分108 についても周囲環境は部分107 と同じで
あり、幅が不透明部分103よりほんの僅かだけ小さくな
っている。これから明らかなように、１つの不透明部分
についても、周囲環境に応じて幅を種々変化させること
が可能である。
【００４３】現在の技術によりマスク又はレチクルを製
作する際には、まず周知の多くのコンピュータ援用設計
（ＣＡＤ）プログラムの中の１つを用いて所望の電気回
路を開発する。次に、マスク設計者は、その所望の回路
を、絶縁、導体、ゲート、及び集積回路製造プロセスで
形成することが可能なその他の型を含む種々の層と共に
半導体ウェハ中のＰ型及びＮ型拡散領域として形成する
ための別のＣＡＤプログラムを用いて、回路設計を具体
化する。一般に、各層形成・拡散ステップは、ステップ
毎に異なるマスクを用いて行われる。マスク設計者は、
所望の回路を作るのに必要なマスクパターンを決定した
後、そのマスク又はレチクルパターンを表すマスク又は
レチクルデータを直接又はデータ記憶手段を介して自動
化されたマスク製造装置に転送し、このマスク製造装置
は、マスク又はレチクルデータをガラスマスク又はレチ
クル板上のクロムパターンに変換する。
【００４４】本発明の一実施例においては、以下に図８
のフローチャートにより具体的に説明する方法を用いて
マスク又はレチクルデータを修正する。図８のフローチ
ャートは、本発明のプロセスを実施するために用いるこ
とが可能な多くの方法の中の一つの実施例でしかない。
図８のフローチャートは、当技術分野の当業者であれば
ソフトウェアとして容易に実施することができる。
【００４５】以下に説明するプロセスにおいては、フォ
トレジストはポジ型であり、ウェハの未露光部分が総じ
て金属被膜パターン又は他の導電パターンに対応するも
のと仮定されている。ネガ型フォトレジストを用いる場
合、あるいは他の形態の金属被膜パターン形成プロセス
を用いる場合は、離間した型又は密集した型パターンに
関するレチクルデータを近接効果を補償するよう各々の
場合に応じて適宜修正する。
【００４６】下記のプロセスは、離間パターンにおける
レチクル上の型の寸法を小さくして、近接効果のために
離間した型と濃密パターン中の型との差をなくす方式で
ある。この例の場合、線幅は0.7 ミクロンと仮定されて
いる。
【００４７】図８のフローチャートのステップ１におい
ては、あるレチクルデータに対応する図９(a)に示すオ
リジナルレチクルパターンがパターンＡとして記憶され
る。（オリジナルレチクルパターンの型は破線の輪郭線
で示されている）。
【００４８】ステップ２においては、図９(a)に示すオ
リジナルレチクルパターンの全ての型が、全ての辺がＬ
／２だけ元より大きくなるよう拡大修正される。ここで
Ｌは、その型が濃密パターンの範囲内にあると区分され
る境界での型間の間隔に等しい。この例において、Ｌは
0.8 ミクロンに等しい。この場合、Ｌ／２は0.4 ミクロ
ンに等しいから、間隔が0.8 ミクロン以下の隣接した型
同士はステップ２によって全て併合される。線幅0.7ミ
クロンの場合、Ｌのこの値は1.5 ミクロンのピッチに相
当する。図４のグラフから明らかなように、併合される
ような隣接型があれば、それらの型は全て近接効果によ
って著しく影響される。このようにして、ステップ２
は、濃密パターン中の全ての型を併合するように機能す
る。その結果生じるパターンが図９(b)に示されてい
る。
【００４９】ステップ３においては、拡大修正によって
得られた新たなパターン（図９(b)）がパターンＢとし
て記憶される。
【００５０】ステップ４においては、記憶されたパター
ンＢの型の全ての辺が（Ｌ＋ｄ）／２だけ減じられる。
ｄは型サイズに等しい。この例において、型サイズ又は
線幅は、0.7 ミクロンであると仮定されている。このス
テップ４は、ステップ２における型サイズの増大分を相
殺し、さらに図９(c)に示すように、離間した型を全て
除去するよう機能する。
【００５１】ステップ５においては、図９(c)の結果生
じるパターンがパターンＢとして記憶される。
【００５２】ステップ６においては、パターンＢの全て
の型がステップ４での濃密パターンのサイズの縮小分を
相殺するためにｄ／２だけ拡大され、その結果図９(d)
に示す長方形のパターンによって図９(a)のオリジナル
レチクルパターンの濃密パターンの境界が正確に画定さ
れる。
【００５３】ステップ７においては、この図９(d)の新
しいパターンがパターンＢとして記憶される。
【００５４】ステップ８においては、オリジナルパター
ンＡがパターンＢと論理的にＯＲ処理（論理和処理）さ
れて、実際にこれらのパターンＡとＢが併合される。併
合されたパターンは、図９(e)に示すものと類似したパ
ターンになる。
【００５５】ステップ９においては、図９(e)のパター
ンがパターンＣとして記憶される。
【００５６】ステップ10においては、パターンＣは、近
接効果による露光結果の型サイズの誤差をなくすのに離
間した型のサイズを縮小するのに必要な補正量ｓミクロ
ンだけ一様に縮小される。この例の場合、約1.5 ミクロ
ンのピッチでは、近接効果による露光結果の型サイズに
おける誤差を排除するためには、離間した型は各辺につ
き約0.02ミクロン（合計で0.04ミクロン）縮小しなけれ
ばならないから、ｓは図４のグラフにより0.02ミクロン
である。
【００５７】この補正量ｓは、ピッチ及び型サイズ（す
なわちｄ）によって決まるので、上記と異なるピッチ及
び型サイズにおける近接効果を補償する場合は、ｓも異
なる値となる。当業者であれば、本願中に開示されてい
るプロセスを与えられた場合、どのようなピッチ及び型
サイズにおいても、種々の型サイズについて図４に示す
ものと同様のグラフを作成することにより、この縮小補
正量ｓを決定することができるはずである。
【００５８】ステップ11においては、ステップ10で得ら
れたパターンが図９(f)に示すパターンＣとして記憶さ
れる。
【００５９】ステップ12においては、図９(d)に示すパ
ターンＢが図９(f)のパターンＣとＯＲ処理され、その
結果ステップ13においてパターンＤとして記憶される。
パターンＤは、図９(g)に示されている。
【００６０】ステップ14においては、パターンＤは、離
間パターンだけがｓミクロンだけ僅かに縮小された状態
となるようパターンＢのインバース（すなわちバーＢ）
とＡＮＤ（論理積）処理される。その結果生じる図９
(h)に示すパターンは、ステップ15においてパターンＮ
として記憶される。
【００６１】ステップ16においては、オリジナルパター
ンＡは、図９(d)に示すパターンＢとＡＮＤ処理され、
オリジナルな濃密パターンのみが再生される。その結果
生じる図９(i)に示すパターンは、ステップ17において
パターンＥとして記憶される。 ステップ18において
は、パターンＥが、縮小補正された離間パターンＮとＯ
Ｒ処理され、オリジナルな濃密パターンとこの縮小補正
された離間パターンが併合される。その結果生じるパタ
ーンは、図９(i)に示されており、これがこの後実際の
レチクルパターンを作成するために用いられるレチクル
データとなる。
【００６２】他の多くの簡単なルーチンを用いても、同
様の結果を達成することが可能であるということは、当
業者にとって明白であろう。本発明の一実施例において
は、図８のフローチャートに関して説明したプロセス
は、レチクルパターンに用いられる種々の型サイズ及び
ピッチについて繰り返され、その都度各特定の型サイズ
及びピッチに対応する近接効果を補償するようＬ、ｄ及
びｓの値を変えるようにした反復性手順とすることもで
きる。各特定の型サイズ及びピッチの関数としての近接
効果の大きさは、使用するステッパ、光源、フォトレジ
スト、及びウェハ製作プロセスパラメータの個々の特性
が近接効果の程度に影響を及ぼすので、実験的に決定す
るのが最も良い。
【００６３】以上は本発明の一実施例を開示したもので
ある。本発明の方法の効果は、型サイズ及びピッチが小
さくなるほどますます有利となる。
【００６４】上には、本発明の特定実施例について説明
したが、当業者にとっては、広義の意味において本発明
から逸脱することなく変更及び修正を行うことが可能な
ことは明白であり、従って、それらの変更並びに修正
は、特許請求の範囲に記載するところにより、全て本発
明の真の精神及び範囲内に包括されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 濃密線パターンと離間線パターン間の線幅の
差を説明する図
【図２】 濃密線パターンと離間線パターン間の線幅の
差を説明する図
【図３】 従来のレチクルとこのレチクルにより形成さ
れるウェハ上のパターンを示す上面図
【図４】 濃密パターン内の線と離間線間の線幅の差を
ピッチレンジに対して示すグラフ
【図５】 近接効果を補償するために本発明により修正
したレチクルパターンの図
【図６】 本発明により修正した他のレチクルパターン
を示す図
【図７】 本発明により修正した他のレチクルパターン
を示す図
【図８】 本発明の一実施例のフローチャート
【図９】 図８のプロセスを実行する場合にオリジナル
なパターンに加えられる様々な修正を示す図
【符号の説明】
10 ウェハ 68,95,102 レチクル 70 透明部分 72,72ａ,74,74ａ,76,76ａ,78，78ａ,90〜94，96〜100,1
03〜105，106〜108不透明部分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エドワード・リン アメリカ合衆国カリフオルニア州95051サ ンタ・クララ，フオンタナ・アヴエニユ ー・311

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 マスクパターン又はレチクルパターンの
    第１の不透明部分からの回折効果が前記第１の不透明部
    分に隣接する前記マスクパターン又はレチクルパターン
    の第２の不透明部分に関連した一表面上の型の型サイズ
    に実際上影響を及ぼすときに現れる近接効果を補正する
    ためのものであって、製造工程における一表面上の型を
    形成するための改良されたマスクパターン又はレチクル
    パターンに対応するマスクデータ又はレチクルデータの
    生成方法において、 オリジナルのマスクデータ又はレチクルデータの生成工
    程と、 オリジナルのマスクパターン又はレチクルパターンに対
    応して、前記オリジナルのマスクパターン又はレチクル
    パターンが一表面上に投射された場合に現れる前記近接
    効果の影響を受ける前記表面上の濃密パターンに属する
    型と離間した型との間に予想される型サイズの差異を補
    正するための前記オリジナルのマスクデータ又はレチク
    ルデータの調整工程とを有することを特徴とするマスク
    データ又はレチクルデータの生成方法。
JP4062696A 1991-03-19 1992-03-19 マスクデータ又はレチクルデータの生成方法 Pending JPH0580486A (ja)

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