JPH0580540B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0580540B2 JPH0580540B2 JP60236382A JP23638285A JPH0580540B2 JP H0580540 B2 JPH0580540 B2 JP H0580540B2 JP 60236382 A JP60236382 A JP 60236382A JP 23638285 A JP23638285 A JP 23638285A JP H0580540 B2 JPH0580540 B2 JP H0580540B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strength
- bendability
- alloy
- heat resistance
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/40—Leadframes
- H10W70/456—Materials
Landscapes
- Conductive Materials (AREA)
Description
「発明の目的」
本発明はリードフレーム用アルミニウム合金に
係り、熱覆歴後の強度、硬度ならびに曲げ加工性
が良好で低コストなリードフレーム用アルミニウ
ム合金を提供しようとするものである。 産業上の利用分野 半導体を要素とするIC、LED等の機器におけ
るリードフレーム用アルミニウム合金。 従来の技術 半導体を要素とするIC、LSI、LEDなどの機器
は何れも半導体ペレツト、リード、ボンデイング
ワイヤにより構成されたものを、セラミツクスや
樹脂によつて封止したもので、種々の形式のもの
が用いられている。然してこの種機器に使用され
るリード用フレームは薄板をプレス打抜きして所
定の形状に成形した後、組付けを容易とするため
溶融ハンダ材が被覆されることとなり、このよう
な工程において熱覆歴を受ける。ところで従来こ
れらの機器におけるリードフレーム材としては、
鉄系材料としてコバール(Fe−29%Ni−17%
Co)、Fe−42%Ni合金、Fe−Ni合金にAlをクラ
ツドした材料が用いられ、又銅系材料として194
合金(Cu−Fe−Zn−P系)、195合金(Cu−Fe
−Co−Sn−P系)などが使用されて来た。即ち
前記鉄系材料は耐熱性、強度などが優れており、
MOS型IC、LSI等に広く採用され、銅系材料は
良好な熱伝導性や曲げ性を有し、しかも鉄系のも
のに比較して安価であることから近年パワートラ
ンジスタ、ダイオード、サイリスタ等の個別半導
体のリードフレーム材として広く使用されてい
る。近時、高集積化がますます進む中で、電気抵
抗の小さい、高熱伝導度、高強度の銅合金も開発
され、鉄系材料に代つて次第に使用されつつあ
る。 なお一部に銅合金より更に低価格な材料として
アルミニウム合金の使用も考えられているようで
ある。 発明が解決しようとする問題点 しかし前記した鉄系材料のものは相当に高価で
あり、しかも熱伝導性や耐食性に劣る不利があ
る。この点銅系材料によるものは鉄系材料よりは
安価で、熱伝導性や曲げ性に優れたものである
が、耐熱性や強度においては鉄系材料のものより
劣り、しかもやはりそれなりに高価格とならざる
を得ない。 アルミニウム合金によるものは価格的には最も
有利であるが、熱覆歴後の硬度、耐繰返し曲げ性
などの機械的性質が低いという問題点を有してい
る。 「発明の構成」 問題点を解決するための手段 Cu:3.0〜6.5wt%、Mg:0.02〜1.7wt%、Si:
0.02〜0.5wt% を含有し、しかも Mn:0.20〜1.2wt%、Cr:0.10〜0.30wt%、
Zr:0.05〜0.25wt%、V:0.05〜0.20wt% の1種又は2種以上を添加し、残部がAlと不可
避的不純物より成ることを特徴とするリードフレ
ーム用アルミニウム合金。 作 用 Mg、Si、Cuを下限以上に含有させることによ
り溶体化処理後の時効によつて、Mg2Si、Al−
Cu−Mg相などを析出し、析出硬化によつて大き
な強度を与える。又それらが上限以下とすること
によつて曲げ性劣化を回避する。 Mn、Cr、Zr、Vの何れか1種又は2種以上を
下限値以上に添加することにより耐熱性を向上
し、結晶粒径を微細化せしめ、しかもその上限以
下とすることにより曲げ性劣化を防止する。 実施例 上記したような本発明について更に説明する
と、本発明では前記のようにMg、Si、Cuを含有
させることによりリードフレーム材として必要な
強度を高価化を来すことなしに得ようとする。即
ちこれらの成分は溶体化処理後の時効によつて
Mg2Si、Al−Cu−Mg相などが析出し、その析出
硬化により大きな強度を得しめる。wt%(以下
単に%という)でMgが不純物としての上限であ
る0.05%以下の0.02%以下では充分な斯かる強度
が得られず、一方1.7%を超えると曲げ性が劣化
する。 Siも、不純物上限の0.05%より低い0.02%以下
では上記のような強度が得られず、しかも0.5%
を越えると強度は増加するが曲げ性が劣化するの
で0.02〜0.5%とした。 Cuは、上記のような条件下で3.0%未満では充
分な強度が得られず、一方6.5%を超えて添加し
てもそれ以上に強度の増加がなく、むしを曲げ性
を劣化させるので3.0〜6.5%とした。好ましい範
囲としては3.0〜6.2%である。 Mn、Cr、ZrおよびVは、耐熱性を向上させる
ために添加し、又結晶粒径を小さくしてプレス打
抜き工程などにおける肌荒れを防止する。然して
これらの遷移金属元素はAl中に固溶した状態で
は導電率および熱伝導率を低下させる。又これら
の元素はMnAl6、AlMnSi、CrAl7、ZrAl3、
VAl10などの化合物について微細な粒子としてマ
トリツクスに分散しているとき最も耐熱性が高く
なる。 Mnが0.20%以下では上部のような耐熱性が有
効に得られず、一方1.0%以上となると粗大な
MnAl6粒子が生じて曲げ性を劣化する。 Crも0.10%以下では耐熱性に対する上記効果が
不充分であり、一方0.30%を超えると粗大な
CrAl7粒子が生じて曲げ性を劣化する。 Zrは、このもので上記のような耐熱性を得る
には0.05%以下では効果が乏しく、又0.25%以上
となると粗大なZrAl3粒子が生じて曲げ性を劣化
させるので、0.05〜0.25%とした。 Vは、0.05%以下では充分な耐熱性が得られ
ず、又0.20%以上では粗大なVAl10粒子が生じて
曲げ性を劣化する。 なお本発明によるものは上記成分以外に鋳造割
れ防止および結晶粒微細化のために一般的に添加
されているTi、Bの何れか一方又は双方を含有
させてもよい。特に本発明合金においてはこれら
の成分が前述した耐熱性向上元素の均一な分布を
図るという効果があり、それらの効果はTiが0.01
%未満、Bが0.001%未満では充分でなく、又Ti
が0.15%を超え、Bが0.01%を超えると、TiAl3、
TiB2、AlB2などの粗大粒子を生じ、曲げ性を害
するので、Ti:0.01〜0.15%およびB:0.001〜
0.01%が適当な添加範囲である。 又不純物としてFe≦0.3%、Zn≦0.3%の範囲で
あれば、本発明の特性を劣化させることがない。 本発明合金によるリードフレーム材の製造は、
通常のアルミニウム合金と同様に溶解され、前記
した結晶微細化剤のTiとBが溶解炉中、又は鋳
造機への溶湯移送樋中へ連続的に添加され、次い
で溶湯中の酸化物などの非金属介在物を除去すべ
く濾過され、最後にDC鋳造などの半連続鋳造法
や、ハンター鋳造法などの連続鋳造圧延によつて
鋳塊とされる。次いで鋳塊の均質化処理、熱間圧
延又は冷間圧延によつて所定の厚さの板とし、最
後に熱処理が施される。なお熱処理は圧延の中間
段階でも施されることがある。 本発明によるものの具体的な製造例について説
明すると以下の如くである。 次の第1表に示すような成分組成を有している
本発明例1〜8および比較例A〜HのAl−Cu−
Mg系の合金を溶解鋳造して鋳塊となし、500℃
で8時間加熱した後、熱間圧延により5mm厚まで
圧延した。このようにして得られた合金板は、次
いでこの圧延板を溶体化処理し、水焼入れ後0.5
mm厚まで冷間圧延し、更に200℃で1時間の人工
時効を行つた。
係り、熱覆歴後の強度、硬度ならびに曲げ加工性
が良好で低コストなリードフレーム用アルミニウ
ム合金を提供しようとするものである。 産業上の利用分野 半導体を要素とするIC、LED等の機器におけ
るリードフレーム用アルミニウム合金。 従来の技術 半導体を要素とするIC、LSI、LEDなどの機器
は何れも半導体ペレツト、リード、ボンデイング
ワイヤにより構成されたものを、セラミツクスや
樹脂によつて封止したもので、種々の形式のもの
が用いられている。然してこの種機器に使用され
るリード用フレームは薄板をプレス打抜きして所
定の形状に成形した後、組付けを容易とするため
溶融ハンダ材が被覆されることとなり、このよう
な工程において熱覆歴を受ける。ところで従来こ
れらの機器におけるリードフレーム材としては、
鉄系材料としてコバール(Fe−29%Ni−17%
Co)、Fe−42%Ni合金、Fe−Ni合金にAlをクラ
ツドした材料が用いられ、又銅系材料として194
合金(Cu−Fe−Zn−P系)、195合金(Cu−Fe
−Co−Sn−P系)などが使用されて来た。即ち
前記鉄系材料は耐熱性、強度などが優れており、
MOS型IC、LSI等に広く採用され、銅系材料は
良好な熱伝導性や曲げ性を有し、しかも鉄系のも
のに比較して安価であることから近年パワートラ
ンジスタ、ダイオード、サイリスタ等の個別半導
体のリードフレーム材として広く使用されてい
る。近時、高集積化がますます進む中で、電気抵
抗の小さい、高熱伝導度、高強度の銅合金も開発
され、鉄系材料に代つて次第に使用されつつあ
る。 なお一部に銅合金より更に低価格な材料として
アルミニウム合金の使用も考えられているようで
ある。 発明が解決しようとする問題点 しかし前記した鉄系材料のものは相当に高価で
あり、しかも熱伝導性や耐食性に劣る不利があ
る。この点銅系材料によるものは鉄系材料よりは
安価で、熱伝導性や曲げ性に優れたものである
が、耐熱性や強度においては鉄系材料のものより
劣り、しかもやはりそれなりに高価格とならざる
を得ない。 アルミニウム合金によるものは価格的には最も
有利であるが、熱覆歴後の硬度、耐繰返し曲げ性
などの機械的性質が低いという問題点を有してい
る。 「発明の構成」 問題点を解決するための手段 Cu:3.0〜6.5wt%、Mg:0.02〜1.7wt%、Si:
0.02〜0.5wt% を含有し、しかも Mn:0.20〜1.2wt%、Cr:0.10〜0.30wt%、
Zr:0.05〜0.25wt%、V:0.05〜0.20wt% の1種又は2種以上を添加し、残部がAlと不可
避的不純物より成ることを特徴とするリードフレ
ーム用アルミニウム合金。 作 用 Mg、Si、Cuを下限以上に含有させることによ
り溶体化処理後の時効によつて、Mg2Si、Al−
Cu−Mg相などを析出し、析出硬化によつて大き
な強度を与える。又それらが上限以下とすること
によつて曲げ性劣化を回避する。 Mn、Cr、Zr、Vの何れか1種又は2種以上を
下限値以上に添加することにより耐熱性を向上
し、結晶粒径を微細化せしめ、しかもその上限以
下とすることにより曲げ性劣化を防止する。 実施例 上記したような本発明について更に説明する
と、本発明では前記のようにMg、Si、Cuを含有
させることによりリードフレーム材として必要な
強度を高価化を来すことなしに得ようとする。即
ちこれらの成分は溶体化処理後の時効によつて
Mg2Si、Al−Cu−Mg相などが析出し、その析出
硬化により大きな強度を得しめる。wt%(以下
単に%という)でMgが不純物としての上限であ
る0.05%以下の0.02%以下では充分な斯かる強度
が得られず、一方1.7%を超えると曲げ性が劣化
する。 Siも、不純物上限の0.05%より低い0.02%以下
では上記のような強度が得られず、しかも0.5%
を越えると強度は増加するが曲げ性が劣化するの
で0.02〜0.5%とした。 Cuは、上記のような条件下で3.0%未満では充
分な強度が得られず、一方6.5%を超えて添加し
てもそれ以上に強度の増加がなく、むしを曲げ性
を劣化させるので3.0〜6.5%とした。好ましい範
囲としては3.0〜6.2%である。 Mn、Cr、ZrおよびVは、耐熱性を向上させる
ために添加し、又結晶粒径を小さくしてプレス打
抜き工程などにおける肌荒れを防止する。然して
これらの遷移金属元素はAl中に固溶した状態で
は導電率および熱伝導率を低下させる。又これら
の元素はMnAl6、AlMnSi、CrAl7、ZrAl3、
VAl10などの化合物について微細な粒子としてマ
トリツクスに分散しているとき最も耐熱性が高く
なる。 Mnが0.20%以下では上部のような耐熱性が有
効に得られず、一方1.0%以上となると粗大な
MnAl6粒子が生じて曲げ性を劣化する。 Crも0.10%以下では耐熱性に対する上記効果が
不充分であり、一方0.30%を超えると粗大な
CrAl7粒子が生じて曲げ性を劣化する。 Zrは、このもので上記のような耐熱性を得る
には0.05%以下では効果が乏しく、又0.25%以上
となると粗大なZrAl3粒子が生じて曲げ性を劣化
させるので、0.05〜0.25%とした。 Vは、0.05%以下では充分な耐熱性が得られ
ず、又0.20%以上では粗大なVAl10粒子が生じて
曲げ性を劣化する。 なお本発明によるものは上記成分以外に鋳造割
れ防止および結晶粒微細化のために一般的に添加
されているTi、Bの何れか一方又は双方を含有
させてもよい。特に本発明合金においてはこれら
の成分が前述した耐熱性向上元素の均一な分布を
図るという効果があり、それらの効果はTiが0.01
%未満、Bが0.001%未満では充分でなく、又Ti
が0.15%を超え、Bが0.01%を超えると、TiAl3、
TiB2、AlB2などの粗大粒子を生じ、曲げ性を害
するので、Ti:0.01〜0.15%およびB:0.001〜
0.01%が適当な添加範囲である。 又不純物としてFe≦0.3%、Zn≦0.3%の範囲で
あれば、本発明の特性を劣化させることがない。 本発明合金によるリードフレーム材の製造は、
通常のアルミニウム合金と同様に溶解され、前記
した結晶微細化剤のTiとBが溶解炉中、又は鋳
造機への溶湯移送樋中へ連続的に添加され、次い
で溶湯中の酸化物などの非金属介在物を除去すべ
く濾過され、最後にDC鋳造などの半連続鋳造法
や、ハンター鋳造法などの連続鋳造圧延によつて
鋳塊とされる。次いで鋳塊の均質化処理、熱間圧
延又は冷間圧延によつて所定の厚さの板とし、最
後に熱処理が施される。なお熱処理は圧延の中間
段階でも施されることがある。 本発明によるものの具体的な製造例について説
明すると以下の如くである。 次の第1表に示すような成分組成を有している
本発明例1〜8および比較例A〜HのAl−Cu−
Mg系の合金を溶解鋳造して鋳塊となし、500℃
で8時間加熱した後、熱間圧延により5mm厚まで
圧延した。このようにして得られた合金板は、次
いでこの圧延板を溶体化処理し、水焼入れ後0.5
mm厚まで冷間圧延し、更に200℃で1時間の人工
時効を行つた。
【表】
これらの板について、ハンダづけに相当した
275℃で30秒間の加熱をなしてから強度、硬さ、
90°曲げの繰返し曲げ性および導電率を測定した
結果は次の第2表の如くであり、前記繰返し曲げ
性の評価基準は上記のような275℃×30secの加熱
後に90°の繰返し曲げを3回以上行つても割れの
生じないものを良とし、割れの生じたものは不良
とした。総合評価については、強度、硬度、繰返
し曲げ性の全般について判断し評価した。
275℃で30秒間の加熱をなしてから強度、硬さ、
90°曲げの繰返し曲げ性および導電率を測定した
結果は次の第2表の如くであり、前記繰返し曲げ
性の評価基準は上記のような275℃×30secの加熱
後に90°の繰返し曲げを3回以上行つても割れの
生じないものを良とし、割れの生じたものは不良
とした。総合評価については、強度、硬度、繰返
し曲げ性の全般について判断し評価した。
【表】
又LED用リードフレームとして使用する場合、
該フレームは275℃×30secの加熱後の導電率が40
%IACS以下、望ましくは35%IACS以下であるこ
とが求められ、可視光線の全波長域に亘つて良好
な反射率が要求される。従来の銅合金材料や鉄系
材料で銅メツキの施されているものの場合、可視
光線の短波長側で反射率が劣り、そのため銀メツ
キが施されているが、上記のような本発明のもの
は良好な反射特性を有している。即ち0.38〜
0.77μmの波長範囲において普通仕上げ板で65〜
75%、光輝仕上げ板で75〜80%を得ることができ
る。 更に上記した製造例および比較例のものについ
てハンダづけの評価のために、ハンダとしてSn
−Pb系の共晶ハンダを用い、超音波ハンダ付け
およびフラツクスを用いたデイツプ式のハンダ付
けを行い、その評価をなした結果は第3表の如く
である。
該フレームは275℃×30secの加熱後の導電率が40
%IACS以下、望ましくは35%IACS以下であるこ
とが求められ、可視光線の全波長域に亘つて良好
な反射率が要求される。従来の銅合金材料や鉄系
材料で銅メツキの施されているものの場合、可視
光線の短波長側で反射率が劣り、そのため銀メツ
キが施されているが、上記のような本発明のもの
は良好な反射特性を有している。即ち0.38〜
0.77μmの波長範囲において普通仕上げ板で65〜
75%、光輝仕上げ板で75〜80%を得ることができ
る。 更に上記した製造例および比較例のものについ
てハンダづけの評価のために、ハンダとしてSn
−Pb系の共晶ハンダを用い、超音波ハンダ付け
およびフラツクスを用いたデイツプ式のハンダ付
けを行い、その評価をなした結果は第3表の如く
である。
【表】
「発明の効果」
以上説明したような本発明によれば、この種リ
ードフレームとして要求される耐熱性、特に強
度、硬度および曲げ性において好ましいバランス
を採つて安定状態に優れ、しかもハンダ付け性な
ども良好であるから工業的にその効果の大きい発
明である。
ードフレームとして要求される耐熱性、特に強
度、硬度および曲げ性において好ましいバランス
を採つて安定状態に優れ、しかもハンダ付け性な
ども良好であるから工業的にその効果の大きい発
明である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 Cu:3.0〜6.5wt%、Mg:0.02〜1.7wt%、
Si:0.02〜0.5wt% を含有し、しかも Mn:0.20〜1.0wt%、Cr:0.10〜0.30wt%、
Zr:0.05〜0.25wt%、V:0.05〜0.20wt% の1種又は2種以上を添加し、残部がAlと不可
避的不純物より成ることを特徴とするリードフレ
ーム用アルミニウム合金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60236382A JPS6296644A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | リ−ドフレ−ム用アルミニウム合金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60236382A JPS6296644A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | リ−ドフレ−ム用アルミニウム合金 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6296644A JPS6296644A (ja) | 1987-05-06 |
| JPH0580540B2 true JPH0580540B2 (ja) | 1993-11-09 |
Family
ID=16999956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60236382A Granted JPS6296644A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | リ−ドフレ−ム用アルミニウム合金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6296644A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6389640A (ja) * | 1986-10-01 | 1988-04-20 | Sky Alum Co Ltd | 電子電気機器導電部品材料 |
| JPH0674479B2 (ja) * | 1986-10-09 | 1994-09-21 | スカイアルミニウム株式会社 | リードフレーム、コネクタもしくはスイッチ用導電圧延材料 |
| US20160099200A1 (en) * | 2014-10-01 | 2016-04-07 | Stmicroelectronics S.R.L. | Aluminum alloy lead frame for a semiconductor device and corresponding manufacturing process |
-
1985
- 1985-10-24 JP JP60236382A patent/JPS6296644A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6296644A (ja) | 1987-05-06 |
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