JPH0581776U - Screen monitor - Google Patents
Screen monitorInfo
- Publication number
- JPH0581776U JPH0581776U JP2006692U JP2006692U JPH0581776U JP H0581776 U JPH0581776 U JP H0581776U JP 2006692 U JP2006692 U JP 2006692U JP 2006692 U JP2006692 U JP 2006692U JP H0581776 U JPH0581776 U JP H0581776U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- duct
- opening
- fluorescent plate
- electron beam
- screen monitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 形状がコンパクトで取付けが容易であり、構
造が簡単な低コストのスクリーンモニタを提供すること
である。
【構成】 内部を電子が走行するダクト31の途中に開
けられた開口32からダクト31の外側に突出する筒状
のポート部33の上記開口32の周縁に設けられた軸受
部36に、蛍光板37が揺動自在に支持される。そし
て、形状記憶合金製のばね38が、上記蛍光板37を監
視位置(I)と開口位置(II)とに選択的に配置する。
(57) [Summary] [Object] To provide a low-cost screen monitor that is compact in shape, easy to install, and simple in structure. [Structure] A fluorescent plate 37 is attached to a bearing portion 36 provided on the peripheral edge of the opening 32 of a cylindrical port portion 33 projecting to the outside of the duct 31 from an opening 32 opened in the middle of the duct 31 in which electrons travel. Is swingably supported. Then, the shape memory alloy spring 38 selectively disposes the fluorescent plate 37 at the monitoring position (I) and the opening position (II).
Description
【0001】[0001]
本考案は、シンクロトロン放射光装置、加速器、トランスポートあるいはビー ムライン等において電子ビームの位置、形状および強度等の監視を行うスクリー ンモニタに関する。 The present invention relates to a screen monitor for monitoring the position, shape and intensity of an electron beam in a synchrotron radiation device, an accelerator, a transport, a beam line or the like.
【0002】[0002]
一般に、この種のスクリーンモニタは、シンクロトロン放射光装置、加速器、 トランスポートあるいはビームライン等において、電子ビームの進行経路の途中 に蛍光板を配置し、この蛍光板に上記電子ビームを衝突させて発光させ、この光 をテレビジョンカメラ等に入射させて、電子ビームの位置、形状および強度等の 監視を行うものである。 Generally, in this type of screen monitor, a fluorescent plate is arranged in the course of the electron beam traveling path in a synchrotron radiation device, accelerator, transport or beam line, etc., and the fluorescent plate is made to collide with the electron beam to emit light. This light is made incident on a television camera or the like to monitor the position, shape, and intensity of the electron beam.
【0003】 たとえば、図3に示すように、ループ状に配置されるとともに超高真空に維持 されたダクト1内で電子を加速走行させ、この加速電子の進行方向を超電導偏向 電磁石2を用いて偏向させ,この偏向の際に加速電子から、いわゆるシンクロト ロン放射光を放出させるシンクロトロン放射光装置では、ダクト1の複数箇所に スクリーンモニタ3,3,…を配置し、これらのスクリーンモニタ3,3,…に より、ダクト1内での電子ビームの位置、形状および強度等の監視を行っている 。For example, as shown in FIG. 3, electrons are accelerated in a duct 1 arranged in a loop and maintained in an ultrahigh vacuum, and the direction of travel of the accelerated electrons is determined by using a superconducting deflection electromagnet 2. In a synchrotron radiation device that deflects and emits so-called synchrotron radiation from accelerated electrons during this deflection, screen monitors 3, 3, ... Are arranged at a plurality of locations in the duct 1, and these screen monitors 3, 3. The position, shape, intensity, etc. of the electron beam in the duct 1 are monitored by 3, ...
【0004】 上記シンクロトロン放射光装置に使用されている従来のスクリーンモニタ3の 一例を図4および図5に示す。このスクリーンモニタ3は、ステッピングモータ 4を用いた直線導入機5により、酸化クロムを含んだアルミナのセラミックスか らなる蛍光板6を、ダクト1内を進行する電子ビームに対して45度の傾斜をも って、上記ダクト1の中に進退させる。上記蛍光板6がダクト1内に挿入される と、電子ビームが蛍光板6に衝突して蛍光板6が発光する。この発光した光は、 上記ダクト1に設けたポートの観測窓7から、図示しないテレビジョンカメラに 入射し、このテレビジョンカメラから出力する映像信号をテレビジョンモニタに 入力して電子ビームの位置、形状および強度等の監視を行なう。An example of a conventional screen monitor 3 used in the synchrotron radiation device is shown in FIGS. 4 and 5. The screen monitor 3 is provided with a linear introduction machine 5 using a stepping motor 4, and a fluorescent plate 6 made of alumina ceramics containing chromium oxide is tilted by 45 degrees with respect to an electron beam traveling in the duct 1. Then, it is moved back and forth in the duct 1. When the fluorescent plate 6 is inserted into the duct 1, the electron beam collides with the fluorescent plate 6 and the fluorescent plate 6 emits light. This emitted light enters an unillustrated television camera through an observation window 7 of a port provided in the duct 1, and a video signal output from this television camera is input to a television monitor to determine the position of the electron beam, Monitor the shape and strength.
【0005】 上記スクリーンモニタ3の直線導入機5は、図5に示すように、ステッピング モータ4を支持するためのモータ支持プレート8とこのモータ支持プレート8に 対向して配置されたプレート9との間に回転自在にウオーム11を支持し、この ウオーム11にウオームギヤ12を螺合させ、一端に蛍光板6のホルダ13を固 定してなる軸14の他端を上記ウオームギヤ12に固定し、上記ウオーム11の 回転により、ウオームギヤ12を進退させて、上記ホルダ13に保持された蛍光 板6を上記ダクト1内に進退させる。上記プレート9は、直線導入機5をダクト 1側の固定用フランジ15(図4参照)に接続するための接続フランジ16を有 し、この接続フランジ16と上記プレート9とが接続部17により一体に接続さ れ、その内部を蛍光板6のホルダ13が直線的に変位する。この接続部17はダ クト1と連通しており、ダクト1の内部の真空を維持するため、上記プレート9 とホルダ13の軸14との間は、シール機構18によりシールされる。As shown in FIG. 5, the straight line introducing machine 5 of the screen monitor 3 includes a motor support plate 8 for supporting the stepping motor 4 and a plate 9 arranged so as to face the motor support plate 8. The worm 11 is rotatably supported between the worm 11, a worm gear 12 is screwed onto the worm 11, and the other end of a shaft 14 formed by fixing the holder 13 of the fluorescent plate 6 to one end is fixed to the worm gear 12. The rotation of 11 causes the worm gear 12 to move forward and backward, so that the fluorescent plate 6 held by the holder 13 moves forward and backward into the duct 1. The plate 9 has a connecting flange 16 for connecting the straight line introducing machine 5 to the fixing flange 15 (see FIG. 4) on the duct 1 side, and the connecting flange 16 and the plate 9 are integrated by the connecting portion 17. And the holder 13 of the fluorescent plate 6 is linearly displaced inside. The connecting portion 17 communicates with the duct 1 and maintains a vacuum inside the duct 1, so that the seal mechanism 18 seals between the plate 9 and the shaft 14 of the holder 13.
【0006】 上記ウオーム11のモータ支持プレート8からの突出端に固定されたプーリ2 1とステッピングモータ4の出力軸4aに固定されたプーリ22との間にベルト 23が張り渡され、ステッピングモータ4により上記ウオーム11が駆動され、 ウオームギヤ12が直線的に変位する。ステッピングモータ4はモータコントロ ール24により回転駆動される。また、上記ウオームギヤ11がその最進出位置 および最後退位置に達すると、ウオームギヤ12に設けられた突起部12aがリ ミットスイッチ25,26のアクチュエータ25a,26aを蹴り、これらリミ ットスイッチ25,26からモータコントロール24に信号が入力して、ステッ ピングモータ4を停止させる。A belt 23 is stretched between a pulley 21 fixed to the protruding end of the worm 11 from the motor support plate 8 and a pulley 22 fixed to the output shaft 4 a of the stepping motor 4, and the stepping motor 4 As a result, the worm 11 is driven, and the worm gear 12 is linearly displaced. The stepping motor 4 is rotationally driven by a motor control 24. When the worm gear 11 reaches the most advanced position and the most retracted position, the protrusion 12a provided on the worm gear 12 kicks the actuators 25a, 26a of the limit switches 25, 26, and the limit switches 25, 26 drive the motors. A signal is input to the control 24 to stop the stepping motor 4.
【0007】 上記直線導入機5の蛍光板6の駆動源としては、上記のようなステッピングモ ータ4を使用するもののほかに圧縮空気を使用するものがある。As a drive source for the fluorescent plate 6 of the straight line introduction machine 5, there is a drive source that uses compressed air in addition to the drive source that uses the stepping motor 4 as described above.
【0008】[0008]
ところで、図3に示すような産業用途に開発された小型のシンクロトロン放射 光装置では、その用途からして、スクリーンモニタ3はできる限りのコンパクト 化が要求される。しかしながら、上記従来のスクリーンモニタ3では、上記した ことからも分かるように、蛍光板6に電子ビームを衝突させるために、ステッピ ングモータ4や圧縮空気の空気圧を利用して、電子ビームに対して蛍光板6を、 上下または前後に動かすための直線導入機5を取り付けるポート15を設けると ともに、このポート15には、ビーム不安定性抑制としてダクト1に段差が生じ ないよう、開口部に蛍光板37が通過できるだけのスリット板27が溶接されて おり、このポート15に直線導入機5を取り付けている。このため、スクリーン モニタ3の外形寸法は、ダクト1の数倍の大きさになってしまうという問題があ った。 By the way, in the small synchrotron radiation device developed for industrial use as shown in FIG. 3, the screen monitor 3 is required to be as compact as possible due to its use. However, in the above-mentioned conventional screen monitor 3, as can be seen from the above, in order to collide the electron beam with the fluorescent plate 6, the stepping motor 4 and the air pressure of the compressed air are used to cause the fluorescent plate 6 to move against the electron beam. In addition to providing a port 15 for mounting the straight line introducing device 5 for moving up and down or back and forth, the port 15 can only pass the fluorescent plate 37 through the opening so as not to cause a step difference in the duct 1 to suppress beam instability. The slit plate 27 is welded, and the straight line introduction machine 5 is attached to the port 15. For this reason, there has been a problem that the outer dimensions of the screen monitor 3 are several times larger than the duct 1.
【0009】 本考案の目的は、形状がコンパクトで取付けが容易であり、構造が簡単な低コ ストのスクリーンモニタを提供することである。An object of the present invention is to provide a low-cost screen monitor that is compact in shape, easy to install, and simple in structure.
【0010】[0010]
このため、本考案は、内部が超高真空状態に維持されてなるダクトの途中に配 置され、このダクト内を加速される電子ビームの位置、形状および強度等の監視 を行うスクリーンモニタであって、上記ダクトの途中に開けられた開口から上記 ダクトの外側に突出するとともに、突出端側の開口が光透過性の材料からなる光 透過板で閉塞されてなる筒状のポート部と、ダクトに開けられた上記開口の周縁 に設けられた軸受部に、上記ダクト内を加速走行する電子ビームが衝突して発光 し、この発光した光を上記ポート部の光透過板からダクトの外に取り出す電子ビ ームの監視位置と上記開口位置との間で揺動自在に支持されてなる蛍光板と、一 端が上記ポート内に取り付けられるとともに他端が上記蛍光板に取り付けられ、 上記蛍光板を監視位置と開口位置とに選択的に配置する形状記憶合金からなるば ね手段と、このばね手段に通電して温度を上昇させる通電手段とを備えたことを 特徴としている。 Therefore, the present invention is a screen monitor that is placed in the middle of a duct whose inside is maintained in an ultra-high vacuum state and that monitors the position, shape, and intensity of the electron beam accelerated in this duct. And a cylindrical port portion that protrudes to the outside of the duct from an opening opened in the middle of the duct, and the opening on the protruding end side is closed by a light transmitting plate made of a light transmitting material, and the duct. An electron beam that accelerates in the duct collides with a bearing section that is provided around the opening of the opening to emit light, and the emitted light is extracted from the light transmission plate of the port section to the outside of the duct. A fluorescent plate that is swingably supported between the monitoring position of the electron beam and the opening position, and one end is attached to the port and the other end is attached to the fluorescent plate to monitor the fluorescent plate. Position and the I unit if on the open position consist selectively positioned to shape memory alloys, it is characterized in that a current supply means for raising the temperature by energizing the spring means.
【0011】[0011]
上記通電手段により通電されて温度が上昇し、形状記憶温度に達すると、上記 ばね手段はその記憶形状に戻る。これにより、蛍光板は軸受部の廻りに回動し、 上記開口位置に停止して保持される。また、上記通電が停止されてばね手段の温 度が低下すると、ばね手段は形状の記憶状態を脱する。これにより、蛍光板は電 子ビームの監視位置に配置される。 When the temperature is raised by energization by the energizing means and the shape memory temperature is reached, the spring means returns to the memorized shape. As a result, the fluorescent plate is rotated around the bearing portion and stopped and held at the opening position. When the energization is stopped and the temperature of the spring means decreases, the spring means exits the shape memory state. As a result, the fluorescent plate is placed at the electron beam monitoring position.
【0012】[0012]
本考案によれば、蛍光板は形状が小さくコンパクトな形状記憶合金からなるば ね手段により、電子ビームの監視位置と開口位置とに選択的に配置されるので、 蛍光板を駆動するための機構が簡単化されるとともに、ダクトからの突出量も小 さくなり、コンパクトでコストの低いスクリーンモニタを得ることができる。 According to the present invention, the fluorescent plate is selectively placed at the electron beam monitoring position and the aperture position by the beam means made of a small shape and compact shape memory alloy, so that the mechanism for driving the fluorescent plate is simple. In addition, the amount of projection from the duct is reduced, and a compact and low-cost screen monitor can be obtained.
【0013】[0013]
以下に、添付の図面を参照して本考案の実施例を説明する。本発明にかかるス クリーンモニタを、シンクロトロン放射光装置において、ダクト内を加速される 電子ビームの監視に適用した実施例を図1および図2に示す。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. 1 and 2 show an embodiment in which the screen monitor according to the present invention is applied to monitor an electron beam accelerated in a duct in a synchrotron radiation device.
【0014】 図1および図2において、ダクト31は、内部が超高真空状態に維持されてな り、この内部を電子が加速され走行する。上記ダクト31には、その途中に開口 32が開けられ、この開口32から上記ダクト31の外側に突出してポート部3 3が溶接される。このポート部33の突出端側の開口34は、光透過性の材料か らなる光透過板35で閉塞される。In FIG. 1 and FIG. 2, the inside of the duct 31 is maintained in an ultra-high vacuum state, and electrons are accelerated inside the duct 31 to travel. An opening 32 is formed in the duct 31 in the middle thereof, and the port portion 33 is welded to the outside of the duct 31 through the opening 32. The opening 34 on the protruding end side of the port 33 is closed by a light transmitting plate 35 made of a light transmitting material.
【0015】 上記ダクト31に開けられた開口32の周縁には軸受部36が設けられ、この 軸受部36に蛍光板37がその一端部で揺動自在に支持される。蛍光板37は、 形状記憶合金製のばね38,38により、上記軸受部36からダクト31内に傾 斜し、ダクト31内を加速走行する電子ビームが衝突する電子ビームの監視位置 (I)と上記ダクト31の開口32を閉じる開口位置(II)とに選択的に配置さ れる。蛍光板37は、その電子ビームの上記監視位置(I)にて、軸受部36に 平行にダクト31に取り付けられたストッパ39により、ダクト31内を加速走 行される電子ビームに対して45度の角度をなすように規制される。電子ビーム の衝突により発光した蛍光板37の光は、上記ポート部33の光透過板35を透 過してそれに対向して配置されたテレビジョンカメラ41に入射する。A bearing portion 36 is provided on the peripheral edge of the opening 32 formed in the duct 31, and a fluorescent plate 37 is swingably supported by the bearing portion 36 at one end thereof. The fluorescent plate 37 is tilted from the bearing portion 36 into the duct 31 by the springs 38 made of a shape memory alloy, and the electron beam monitoring position (I) at which the electron beam accelerating in the duct 31 collides with the above-mentioned (I). It is selectively arranged at an opening position (II) that closes the opening 32 of the duct 31. The fluorescent plate 37 has a position of 45 ° with respect to the electron beam accelerated in the duct 31 by the stopper 39 attached to the duct 31 in parallel with the bearing portion 36 at the monitoring position (I) of the electron beam. It is regulated to make an angle. The light of the fluorescent plate 37 emitted by the collision of the electron beam passes through the light transmitting plate 35 of the port portion 33 and is incident on the television camera 41 arranged opposite thereto.
【0016】 形状記憶合金製のばね38,38は、その一端が上記ポート部33に固定され た電流導入端子42の上記ポート部33内への突出端に導電的に固定され、他端 が上記蛍光板37の先端部に固定される。上記電流導入端子42は、形状記憶合 金に電流を供給する。The shape memory alloy springs 38, 38 are conductively fixed to the projecting end of the current introducing terminal 42 fixed to the port portion 33 into the port portion 33, and the other end is It is fixed to the tip of the fluorescent plate 37. The current introduction terminal 42 supplies a current to the shape memory alloy.
【0017】 このような構成において、形状記憶合金製のばね38,38には、常時は、上 記通電端子より通電されている。この通電によるジュール熱のために、上記ばね 38,38は、その温度が記憶形状温度を越えており、記憶形状を保持する。記 憶形状を保持している状態では、上記ばね38,38は蛍光板37の先端部にば ね力を作用させる。これにより、蛍光板37はダクト31の開口位置に保持され る。この状態では、蛍光板37は、ダクト31内の電子ビームの経路から退避し た状態にある。In such a configuration, the shape memory alloy springs 38, 38 are always energized from the above energizing terminals. Due to the Joule heat due to this energization, the temperature of the springs 38, 38 exceeds the memorized shape temperature and holds the memorized shape. In the state where the storage shape is maintained, the springs 38, 38 exert a spring force on the tip portion of the fluorescent plate 37. As a result, the fluorescent plate 37 is held at the opening position of the duct 31. In this state, the fluorescent plate 37 is retracted from the electron beam path in the duct 31.
【0018】 一方、上記通電が停止され、ばね38,38の温度が低下すると、ばね38, 38は形状の記憶状態を脱する。これにより、蛍光板37はその重量により軸受 部36の廻りに回動し、ストッパ39に当接するまで、ダクト31内に降下する 。この状態では、ダクト31内の電子ビームが蛍光板37に衝突し、蛍光板37 からは光43が発生する。この光43は、上記蛍光板37からポート部33を通 り、光透過板35を透過してテレビジョンカメラ41に入射し、モニタされる。On the other hand, when the energization is stopped and the temperatures of the springs 38, 38 drop, the springs 38, 38 come out of the shape memory state. As a result, the fluorescent plate 37 rotates around the bearing portion 36 due to its weight and descends into the duct 31 until it comes into contact with the stopper 39. In this state, the electron beam in the duct 31 collides with the fluorescent plate 37, and light 43 is emitted from the fluorescent plate 37. The light 43 passes from the fluorescent plate 37 through the port portion 33, the light transmitting plate 35 and the television camera 41 to be monitored.
【0019】 このように、形状が小さくコンパクトな形状記憶合金製のばね38を用いるこ とにより、蛍光板37を監視位置(I)と開口位置(II)に選択的に配置するこ とができる。これにより、スクリーンモニタは、その蛍光板37を駆動するため の機構が簡単化される。また、スクリーンモニタがコンパクトでダクト31から の突出量も小さくなり、コストも低くなる。As described above, the fluorescent plate 37 can be selectively arranged at the monitoring position (I) and the opening position (II) by using the shape memory alloy spring 38 having a small shape and compact size. As a result, the screen monitor has a simplified mechanism for driving the fluorescent screen 37. Further, the screen monitor is compact, the amount of projection from the duct 31 is small, and the cost is low.
【0020】 本考案は、シンクロトロン放射光装置において電子ビームの位置、形状および 強度等の監視を行うスクリーンモニタに限らず、加速器、トランスポートあるい はビームライン等のスクリーンモニタにも適用することができる。The present invention is not limited to a screen monitor that monitors the position, shape, intensity, etc. of an electron beam in a synchrotron radiation device, and can be applied to a screen monitor such as an accelerator, transport, or beam line. You can
【図1】 本考案に係るスクリーンモニタの一実施例の
構成を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing a configuration of an embodiment of a screen monitor according to the present invention.
【図2】 図1のスクリーンモニタの横断面図である。2 is a cross-sectional view of the screen monitor of FIG.
【図3】 シンクロトロン放射光装置の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a synchrotron radiation device.
【図4】 従来のスクリーンモニタの構造を示す説明図
である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a structure of a conventional screen monitor.
【図5】 図4のスクリーンモニタの蛍光板を進退させ
る直線導入機の説明図である。5 is an explanatory view of a straight line introduction machine for moving a fluorescent screen of the screen monitor of FIG. 4 forward and backward.
31 ダクト 32 開口 33 ポート部 34 開口 35 光透過板 36 軸受部 37 蛍光板 38 形状記憶合金製のばね 39 ストッパ 41 テレビジョンカメラ 42 電流導入端子 43 光 31 Duct 32 Opening 33 Port Part 34 Opening 35 Light Transmission Plate 36 Bearing Part 37 Fluorescent Plate 38 Spring of Shape Memory Alloy 39 Stopper 41 Television Camera 42 Current Introducing Terminal 43 Light
Claims (1)
クトの途中に配置され、このダクト内を加速される電子
ビームの位置、形状および強度等の監視を行うスクリー
ンモニタであって、上記ダクトの途中に開けられた開口
から上記ダクトの外側に突出するとともに、突出端側の
開口が光透過性の材料からなる光透過板で閉塞されてな
る筒状のポート部と、ダクトに開けられた上記開口の周
縁に設けられた軸受部に、上記ダクト内を加速走行する
電子ビームが衝突して発光し、この発光した光を上記ポ
ート部の光透過板からダクトの外に取り出す電子ビーム
の監視位置と上記開口位置との間で揺動自在に支持され
てなる蛍光板と、一端が上記ポート内に取り付けられる
とともに他端が上記蛍光板に取り付けられ、上記蛍光板
を監視位置と開口位置とに選択的に配置する形状記憶合
金からなるばね手段と、このばね手段に通電して温度を
上昇させる通電手段とを備えたことを特徴とするスクリ
ーンモニタ。1. A screen monitor which is disposed in the middle of a duct whose inside is maintained in an ultra-high vacuum state and which monitors the position, shape, intensity, etc. of an electron beam accelerated in the duct. A cylindrical port portion that is projected from the opening opened in the middle of the duct to the outside of the duct, and the opening on the protruding end side is closed by a light transmitting plate made of a light transmitting material. The electron beam accelerated in the duct collides with the bearing provided on the periphery of the opening to emit light, and the emitted light is extracted from the light transmitting plate of the port to the outside of the duct. A fluorescent plate that is swingably supported between a monitoring position and the opening position, one end of which is attached to the inside of the port and the other end of which is attached to the fluorescent plate. 1. A screen monitor, comprising: a spring means made of a shape memory alloy selectively arranged in a storage unit; and an energization means for energizing the spring means to raise the temperature.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006692U JPH0581776U (en) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | Screen monitor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006692U JPH0581776U (en) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | Screen monitor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0581776U true JPH0581776U (en) | 1993-11-05 |
Family
ID=12016723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006692U Pending JPH0581776U (en) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | Screen monitor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0581776U (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10213663A (en) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | Local dosimeter |
-
1992
- 1992-04-03 JP JP2006692U patent/JPH0581776U/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10213663A (en) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | Local dosimeter |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3575861B1 (en) | Shutter device, method of controlling the same, photolithography machine, and method for controlling an exposure dose thereof | |
| JPH0581776U (en) | Screen monitor | |
| JPH03286742A (en) | Holding device | |
| US4332450A (en) | Magnetic actuation methods and apparatus | |
| US3756714A (en) | Pinch roller assembly | |
| US4227783A (en) | Device for stopping or fixing moving or mobile components | |
| US5294952A (en) | Apparatus for driving mirror of camera | |
| JPH063340A (en) | Method for retaining ultrasonic probe | |
| JPH03231723A (en) | Shutter | |
| JPS5822725Y2 (en) | sunlansenjiyokiyosouchi | |
| JP3623672B2 (en) | Ultra high vacuum pulse current driver | |
| US4827495A (en) | Pivoting motor drive for bucky | |
| US6185373B1 (en) | Mirror control apparatus for mirror in single lens relex camera | |
| CN116134376B (en) | Camera shutter mechanism with double lever arms | |
| JPS62128675A (en) | Blade-action control device for focal-plane shutter in electronic camera with electronic viewfinder | |
| JPH0763273A (en) | Solenoid valve | |
| EP4160307B1 (en) | Shutter and camera device | |
| JP4017742B2 (en) | Camera shutter | |
| JP2000128396A (en) | Positioning carrying device for sheet body | |
| JPH03245750A (en) | Direct drive motor with electromagnetic brake | |
| JPH07156091A (en) | Linear actuator | |
| JP2024040984A (en) | mass spectrometer | |
| US3837093A (en) | Apparatus for the determination of the quality of a pupil{40 s response | |
| JP3192043B2 (en) | Exposure control device | |
| JPH0726837A (en) | Wire winding jig of drum |