JPH0582378B2 - - Google Patents

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JPH0582378B2
JPH0582378B2 JP60010940A JP1094085A JPH0582378B2 JP H0582378 B2 JPH0582378 B2 JP H0582378B2 JP 60010940 A JP60010940 A JP 60010940A JP 1094085 A JP1094085 A JP 1094085A JP H0582378 B2 JPH0582378 B2 JP H0582378B2
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reaction
methylene chloride
sulfuric acid
chloroacrylate
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Mutsuo Kataoka
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Toray Industries Inc
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03CPHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
    • G03C1/00Photosensitive materials
    • G03C1/72Photosensitive compositions not covered by the groups G03C1/005 - G03C1/705

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野] 本発明はフルオロアルキルα−クロロアクリラ
ートの製造方法に関するものである。 さらに詳しくは、高感度、高解像度のポジ型感
放射線レジストである、ポリ(フルオロアルキル
α−クロロアクリラート)形成用のモノマの製造
方法に関するものである。 [従来技術] 従来、IC,LSI等の製造のための微細パターン
の形成方法としては、紫外線に感光するフオトレ
ジストを利用する方法が広く実用化されている。
しかし、最近LSI等の高密度化、高集積化の要請
から、電子線、X線、イオンビーム等、光より波
長の短い放射線を用いる技術が開発され、これに
伴なつて高感度、高解像度の感放射線レジストが
要望されている。 従来ポジ型感放射線レジストとしては、メタク
リラート系ポリマが多く用いられているが、一般
に感度が高ければガラス転移点が低く、耐熱性に
劣るという欠点を有していた。 一方島崎ら(特公昭57−969号公報)によつて
提案されたポリ(フルオロアルキルα−クロロア
クリラート)は極めて高感度で、かつガラス転移
点が高く、感放射線レジストとして有用な物質で
ある。 従来フルオロアルキルα−クロロアクリラート
は下記の方法により製造できることが知られてい
る(特開昭57−118535号公報)。 CH2=CH−COOH+ROH ……() → CH2=CH−COOR ……() → CH2Cl−CHClCOOR ……() → CH2=CHCl−COOR ……() (R:フルオロアルキル基) しかしこの方法は、製造段階が長い、生成物に
不純物が多く精製が困難である、という欠点を有
していることが明らかとなつた。すなわち第2段
階における塩素ガスによる()の塩素化工程
は、反応速度が極めて遅く、再現性に乏しい。こ
れはフルオロアルキル基の強力な電子吸引効果の
ため二重結合の塩素に対する反応性が下つている
ためと考えられる。 また()の脱塩化水素による()の製造に
おいては不純物が多く生成し、通常の蒸留操作に
よつて95%以上の純度に精製することは極めて困
難である。 この方法により製造した不純物を含有するモノ
マを用い、重合を行なつた場合には不純物の量及
び種類がバツチ間で異なるため、再現性良くポリ
マを得ることが困難となる。 [発明が解決しようとする問題点] 本発明は、かかる従来技術の諸欠点に鑑み創案
されたもので、その目的とするところは上記ポリ
(フルオロアルキルα−クロロアクリラート)の
モノマであるフルオロアルキルα−クロロアクリ
ラートを収率良く、高純度でしかも安定に製造す
る方法を提供することにある。 [問題点を解決するための手段] すなわち、本発明は2−クロロアクリロニトリ
ルを酸素存在下、硫酸で加水分解して2−クロロ
アクリル酸とした後、該2−クロロアクリル酸を
硫酸の存在下でフルオロアルカノールと反応せし
めることを特徴とするフルオロアルキルα−クロ
ロアクリラートの製造方法である。 すなわち、本発明は製造工程が短く高純度のフ
ルオロアルキルα−クロロアクリラートを次の方
法で得るものである。
【化】 本発明で用いるフルオロアルカノール(ROH)
としては、2位以上の位置に1個以上のフツ素原
子を有するフルオロアルカノールが挙げられる。
好ましくは炭素数2〜10個の1級または2級アル
コールが用いられる。 例えば、2,2,2−トリフルオロエタノー
ル、1−トリフルオロメチルエタノール、ヘキサ
フルオロイソプロパノール、3,3,3−トリフ
ルオロプロパノール、2,2,3,3,3−ペン
タフルオロプロパノール、2,2,3,3−テト
ラフルオロプロパノール、2,2,3,3,4,
4,4−ヘプタフルオロプロパノール、2,2,
3,4,4,4−ヘキサフルオロブタノール、
2,2,3,4,4,4−ヘキサフルオロ−1−
メチルブタノール等であるが、これらに限定され
るものではない。本発明の第一段階は2−クロロ
アクリロニトリル()を酸素存在下、硫酸で加
水分解し、2−クロロアクリル酸()を製造す
ることによりなる。 この方法はすでに知られているが(西独特許
2213734号)本発明者らはこの反応を工業的規模
で実施すべく検討したところ、上記特許に記載の
方法は大型反応槽においては実施が極めて困難で
あることが判明した。 すなわち、上記特許は重合禁止剤としてヒドロ
キノンを加えると述べているが、これだけでは十
分でなく、空気すなわち酸素の存在が重合禁止に
不可欠である。酸素の不存在下に反応を行なつた
場合には、反応物の一部が重合し、反応後の溶媒
抽出工程において二層分離が極めて困難となる。 反応に用いる硫酸の濃度は40〜90wt%、好ま
しくは60〜80wt%である。硫酸の量は2−クロ
ロアクリロニトリルに対し4〜10倍、好ましくは
5〜8倍である。硫酸の量が少ないと反応で生成
する硫酸アンモニウムの結晶が反応混合物中に析
出し、反応後の抽出分離が困難となる。また多す
ぎると反応後の抽出効率が悪くなる。 反応温度は70〜120℃好ましくは80〜110℃であ
る。温度が低いと反応に長時間を要し、高すぎる
と反応物の分解が起り着色が激しくなる。反応時
間は、用いる反応温度、攪拌状態により異なるが
通常は2〜20時間である。 反応時に存在させるべき酸素の量は微量であつ
ても効果があるため、特に制限はないが、反応容
器中の気相部分の20〜0.01体積%が好ましい。安
全性の点からは空気ではなく、空気と窒素の混合
物を吹き込む方法が好ましく用いられる。 この場合空気と窒素の混合比は1:1〜1:
1000、好ましくは1:10〜1:1000である。吹き
込む量は反応混合物1Kg当り0.001〜10/分、
好ましくは0.01〜1/分である。 2−クロロアクリロニトリルは硫酸と混ざり合
わないため反応の初期は2層反応となる。従つて
攪拌は激しくする方が好ましい。 反応後に用いる抽出溶媒としては、水と混ざり
合わず、硫酸と反応しないものであれば特に制限
はないが、石油エーテル、石油ベンジン、n−ヘ
キサン、n−ヘプタンn−ペンタン、シクロヘキ
サン等の炭化水素類、ベンゼン、トルエン、キシ
レン等の芳香族炭化水素類、塩化メチレン、クロ
ロホルム、四塩化炭素、ジクロロエタン、トリク
ロロエタン、トリクレン、常温で液体のフレオン
類等のハロゲン化炭化水素、酢酸メチル、酢酸エ
チル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢
酸n−ブチル、酢酸イソブチル等のエステル類が
好ましい。反応で生成する2−クロロアクリル酸
は、好ましくは溶液の形でそのまま次のエステル
化工程に用いる。この場合には上記炭化水素類、
ハロゲン化炭化水素が用いられ、塩化メチレン、
クロロホルムフレオン等の低沸点ハロゲン化炭化
水素、特に塩化メチレンが好ましい。 抽出回数としては1〜5回、好ましくは2〜3
回である。 抽出溶媒の総量としては2−クロロアクリロニ
トリルの2〜20倍、好ましくは4〜8倍である。 2−クロロアクリル酸は水溶性であるため、通
常行なわれる抽出後の水洗工程は好ましくない。 抽出後、無水硫酸ナトリウム、無水硫酸マグネ
シウム等の脱水剤を用いて脱するか、用いた溶媒
が水と共沸するものであれば、少量を留去して水
を除くことも可能である。 かくして得られた2−クロロアクリル酸の溶液
をそのまま次の反応に用いるか、あるいは溶媒を
留去して2−クロロアクリル酸の結晶を得る。 溶液をそのまま次の反応に用いる場合は一部を
採取して溶媒を留去し、収率を確認するのがよ
い。 本発明の第二段階は第一段階で得た2−クロロ
アクリル酸を硫酸、好ましくは濃硫酸又は発煙硫
酸の存在下、溶媒の存在又は非存在下、フルオロ
アルカノールと反応させ、フルオロアルキルα−
クロロアクリラートを製造する工程よりなる。 反応は有機溶媒非存在下に行なつても良いが、
有機溶媒の存在下に行なう方が好ましい。用いる
有機溶媒としては、本発明の第一段階で2−クロ
ロアクリル酸の抽出溶媒に用いた溶媒をそのまま
用いることが好ましい。この方法により溶媒を留
去する工程が省け、かつ、溶媒を用いない場合よ
り目的物の収率が高いという効果がある。 用いる溶媒としては石油エーテル、石油ベンジ
ン、n−ヘプタン、n−ヘキサン、n−ペンタ
ン、シクロヘキサン等の炭化水素類、塩化メチレ
ン、クロロホルム、四塩化炭素、ジクロロエタ
ン、トリクロロエタン、トリクレン、常温で液体
のフレオン類等のハロゲン化炭化水素類である
が、塩化メチレン、クロロホルム、フレオン等の
低沸点ハロゲン化炭化水素、特に塩化メチレンが
好ましい。 本発明で用いる濃硫酸は90〜100%濃度のもの
が好ましく用いられ、また発煙硫酸は三酸化イオ
ウの濃度が0〜30%のものが好ましく用いられ
る。 反応に用いる濃硫酸または発煙硫酸の量は特に
限定されるものではなく、エステル化反応で生成
する水を除くに足る量であれば良い。通常は2−
クロロアクリル酸に対し、0.2〜10倍、好ましく
は0.5〜5倍が用いられる。 エステル化反応に用いるフルオロアルカノール
の量は、2−クロロアクリル酸に対し0.3〜10倍
モルであるが、通常この種のアルコールは高価で
あるため、等モル付近、すなわち0.5〜2.0倍用い
ることが経済的に有利である。 エステル化の反応時間は、当然のことながら他
の反応条件、例えば用いる濃硫酸または発煙硫酸
の量、フルオロアルカノールの量、反応温度等に
より異なるが、通常1〜100時間、より好ましく
は5〜50時間が採用される。 また反応温度も特に限定されるものではないが
0〜80℃(溶媒を共存させる場合は溶媒の沸点)、
好ましくは30〜70℃(溶媒を共存させる場合は溶
媒の沸点)に設定するのがよい。 ただし溶媒を共存させる場合には、フルオロア
ルカノール、2−クロロアクリル酸、濃硫酸また
は発煙硫酸、溶媒の量比はエステル化反応の終点
において、反応系が二層分離しているように選ぶ
べきである。反応が進んだ時点において二層分離
していなければ、収率向上という効果が現われな
い。反応の開始時点においては一層であつても二
層であつても良い。 一般的に濃硫酸または発煙硫酸と、溶媒とが二
層をなしている系において、カルボン酸、アルコ
ールおよびそれらより生成するエステルが共存す
る場合、濃硫酸または発煙硫酸の層は相対的にア
ルコールおよびカルボン酸に富み、溶媒層は相対
的にエステルに富む。なぜなら、一般的にアルコ
ール、カルボン酸類はその対応するエステルより
濃硫酸および発煙硫酸に溶け易いからである。従
つて、溶媒共存下という二層系においてエステル
化反応を行なつた場合には、濃硫酸または発煙硫
酸層において生成したエステルは有機溶媒層に連
続的に抽出され、エステル化反応の平衡がずれ、
エステルの収率を大幅に向上させることができ
る。 反応後は通常エステル化反応の後処理に用いら
れる方法が適宜用いられる。すなわち反応混合物
を氷水に注ぎ、二層分離後、重曹水溶液、水洗等
の工程の後、脱水し、溶媒を除く。 かくして得にれた粗モノマは減圧蒸留により精
製されるが、蒸留後不純物として検出される物質
は、2−クロロアクリロニトリル、フルオロアル
カノール、反応に用いた溶媒のみであり、いずれ
の前留部分を除くことにより除去でき、所望の純
度のフルオロアルキルα−クロロアクリラートを
得ることができる。通常この方法により得られる
モノマの純度は99%以上であり、これを重合する
ことにより、バツチ間にバラツキのない性能を有
するポリマを得ることができる。 [実施例] 以下に実施例にて、本発明を詳述する。 実施例 1 2−クロロアクリロニトリル20部、水33部、ヒ
ドロキノン0.1部を反応器に仕込む。窒素:酸素
95:5(体積比)の混合ガス0.3部(原料Kgに対し
)を吹き込みながら以下の反応を行なう。攪拌
下に濃硫酸88部を反応混合物の温度が80℃を越え
ない速さで加える。 この後反応温度85〜100℃で6.5時間攪拌する。
反応器を冷却し、内温を20℃以下にする。塩化メ
チレン40部で3回抽出する。この場合、硫酸層と
塩化メチレン層の二層分離は速やかに起る。 得られた2−クロロアクリル酸塩化メチレン溶
液を反応器に仕込み加熱攪拌して塩化メチレン12
部を留去させる。 この塩化メチレン溶液の一部をとり、溶媒を減
圧留去すると2−クロロアクリル酸が淡黄色結晶
として得られた。収率は通常85〜95%である。 比較例 実施例と同じ方法を酸素の非存在下に行なつ
た。同様の反応を行ない、塩化メチレンで抽出し
ようとしたところ、多量のゲル状物を生じ、1日
室温で放置しても二層分離しなかつた。 実施例 2 実施例1より得られた2−クロロアクリル酸の
塩化メチレン溶液を用い、以下の反応を行なう。
2−クロロアクリル酸の塩化メチレン溶液を入れ
た反応器に2,2,2−トリフルオロエタノール
20部、ヒドロキノン0.05部を仕込む。攪拌下に96
%濃硫酸40部を滴下する。この後攪拌還流下に17
時間反応させる。 反応混合物を水40部、氷90部の混合物中に加え
る。塩化メチレン層を取り、水層を塩化メチレン
27部で抽出する。塩化メチレン層を合わせ、水60
部で洗浄する。9%重曹水溶液60部で2回洗浄
し、水60部で2回洗浄する。 2,2′−メチレンビス(6−t−ブチル−p−
クレゾール)0.06部を加え、加熱攪拌下に塩化メ
チレンを留去すると25部の粗モノマが得られた。 粗モノマを55〜56℃/47Torrで減圧蒸留する
と純度99.1%の2,2,2−トリフルオロエチル
α−クロロアクリラートが19.4部得られた。 実施例 3 実施例1と同様の反応により得られた2−クロ
ロアクリル酸の塩化メチレン溶液より溶媒を留去
し、2−クロロアクリル酸21.9部を得る。 2,2,2−トリフルオロエタノール20部を加
えかきまぜて溶解させた後、96%濃硫酸40部を攪
拌下に滴下する。この後45℃で17時間反応させ
る。 反応混合物を水40部、氷90部の混合物中に加え
る。塩化メチレン40部で3回抽出する。塩化メチ
レン層を合わせ、水60部で洗浄する。9%重曹水
溶液60部で2回洗浄し、水60部で2回洗浄する。 2,2′−メチレンビス(6−t−ブチル−p−
クレゾール)0.06部を加え、加熱攪拌下に塩化メ
チレンを留去すると17.0部の粗モノマが得られ
た。 粗モノマを55〜56℃/47Torrで減圧蒸留する
と純度99.0%の2,2,2−トリフルオロエチル
α−クロロアクリラートが12.9部得られた。 実施例 4 実施例1と同様の反応により得られた2−クロ
ロアクリル酸の塩化メチレン溶液を用い以下の反
応を行なう。 2−クロロアクリル酸の塩化メチレン溶液に1
−トリフルオロメチルエタノール22.8部、ヒドロ
キノン0.05部を加える。攪拌下に96%濃硫酸45部
を滴下する。この後攪拌還流下に20時間反応させ
る。 反応混合物を水40部、氷100部の混合物中に加
える。塩化メチレン層を取り、水層を塩化メチレ
ン27部で抽出する。塩化メチレン層を合わせ、水
60部で洗浄する。9%重曹水溶液60部で2回洗浄
し、さらに60部の水で2回洗浄する。 2,2′−メチレンビス(6−t−ブチル−p−
クレゾール)0.06部を加え、加熱攪拌下に塩化メ
チレンを留去すると21.0部の粗モノマが得られ
た。粗モノマを61〜62℃/45Torrで減圧蒸留す
ると純度99.5%の(トリフルオロメチル)エチ
ル/α−クロロアクリラート16.2部が得られた。 実施例 5 実施例1と同様の反応により得られた2−クロ
ロアクリル酸の塩化メチレン溶液より溶媒を留去
し、2−クロロアクリル酸22.4部を得る。1−ト
リフルオロメチルエタノール22.8部、ヒドロキノ
ン0.05部を加えかきまぜて溶解させた後、96%濃
硫酸45部を攪拌下に滴下する。この後45℃で20時
間反応させる。 反応混合物を水40部、氷100部の混合物中に加
え、塩化メチレンで3回抽出する。塩化メチレン
層を合せ、水60部で洗浄する。9%重曹水溶液60
部で2回洗浄し、さらに60部の水で2回洗浄す
る。 2,2′−メチレンビス(6−t−ブチル−p−
クレゾール)0.06部を加え、加熱攪拌下に塩化メ
チレンを留去すると14.4部の粗モノマが得られ
た。粗モノマを61〜62℃/45Torrで減圧蒸留す
ると、純度99.0%の(1−トリフルオロメチル)
エチルα−クロロアクリラート11.1部が得られ
た。 実施例 6 実施例1と同様の反応により得られた2−クロ
ロアクリル酸の塩化メチレン溶液を用い以下の反
応を行なう。 2−クロロアクリル酸の塩化メチレン溶液に
2,2,3,3,3−ペンタフルオロプロパノー
ル30部、ヒドロキノン0.05部を加える。攪拌下に
96%濃硫酸45部を滴下する。この後攪拌還流下に
20時間反応させる。 反応混合物を水40部、氷100部の混合物中に加
える。塩化メチレン層を取り、水層を塩化メチレ
ン27部で抽出する。塩化メチレン層を合わせ、水
60部で洗浄する。9%重曹水溶液60部で2回洗浄
し、さらに60部の水で2回洗浄する。 2,2′−メチレンビス(6−t−ブチル−p−
クレゾール)0.06部を加え、加熱攪拌下に塩化メ
チレンを留去すると32.3部の粗モノマが得られ
た。粗モノマを54〜55℃/30Torrで減圧蒸留す
ると純度99.2%の2,2,3,3,3−ペンタフ
ルオロプロピルα−クロロアクリラート26.7部が
得られた。 実施例 7 実施例1と同様の反応により得られた2−クロ
ロアクリル酸の塩化メチレン溶液より溶媒を留去
し、2−クロロアクリル酸21.7部を得る。2,
2,3,3,3−ペンタフルオロプロパノール30
部、ヒドロキノン0.05部を加えかきまぜて溶解さ
せた後、96%濃硫酸45部を攪拌下に滴下する。こ
の後45℃で20時間反応させる。 反応混合物を水40部、氷100部の混合物中に加
え、塩化メチレンで3回抽出する。塩化メチレン
層を合わせ、水6部で洗浄する。9%重曹水溶液
60部で2回洗浄し、さらに60部の水で2回洗浄す
る。 2,2′−メチレンビス(6−t−ブチル−p−
クレゾール)0.06部を加え、加熱攪拌下に塩化メ
チレンを留去すると21.4部の粗モノマが得られ
た。粗モノマを54〜55℃/30Torrで減圧蒸留す
ると純度99.0%の2,2,3,3,3−ペンタフ
ルオロプロピルα−クロロアクリラート17.4部が
得られた。 実施例 8 実施例1と同様の反応により得られた2−クロ
ロアクリル酸の塩化メチレン溶液を用い、以下の
反応を行なう。 2−クロロアクリル酸の塩化メチレン溶液に
2,2,3,3,4,4,4−ヘプタフルオロブ
タノール40部、ヒドロキノン0.05部を加える。攪
拌下に96%濃硫酸50部を滴下する。この後攪拌還
流下に20時間反応させる。 反応混合物を水40部、氷110部の混合物中に加
える。塩化メチレン層を取り、水層を塩化メチレ
ン27部で抽出する。塩化メチレン層を合わせ、水
60部で洗浄する。9%重曹水溶液60部で2回洗浄
し、さらに60部の水で2回洗浄する。 2,2′−メチレンビス(6−t−ブチル−p−
クレゾールル)0.06部を加え、加熱攪拌下に塩化
メチレンを留去すると36.0部の粗モノマが得られ
た。粗モノマを61〜62℃/22Torrで減圧留去す
ると純度99.4%の2,2,3,3,4,4,4−
ヘプタフルオロブチルα−クロロアクリラート
29.0部を得た。 実施例 9 実施例1と同様の反応により得られた2−クロ
ロアクル酸の塩化メチレン溶液より溶媒を留去
し、2−クロロアクリル酸22.6部を得る。2,
2,3,3,4,4,4−ヘプタフルオロブタノ
ール40部、ヒドロキノン0.05部を加えかきまぜて
溶解させた後、96%濃硫酸50部を攪拌下に滴下す
る。この後45℃で20時間反応させる。 反応混合物を水40部、氷110部の混合物中に加
え、塩化メチレンで3回抽出する。塩化メチレン
層を合わせ、水60部で洗浄する。9%重曹水溶液
60部で2回洗浄し、さらに60部の水で2回洗浄す
る。 2,2′−メチレンビス(6−t−フチル−p−
クレゾール)0.06部を加え、加熱攪拌下に塩化メ
チレンを留去すると23.3部のモノマが得られた。
粗モノマを61〜62℃/Torrで減圧留去すると純
度99.2%の2,2,3,3,4,4,4−ヘプタ
フルオロブチルα−クロロアクリラート19.1部が
得られた。 [発明の効果] 本発明の上述のごとく構成したので、高純度の
フルオロアルキルα−クロロアクリラートを収率
よく、安定にし、しかも短い製造工程で経済的に
得ることができるという利点を有する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 2−クロロアクリロニトリルを酸素存在下、
    硫酸で加水分解して2−クロロアクリル酸とした
    後、該2−クロロアクリル酸を硫酸の存在下でフ
    ルオロアルカノールでエステル化することを特徴
    とするフルオロアルキルα−クロロアクリラート
    の製造方法。 2 2−クロロアクリル酸を溶媒の存在下、硫酸
    を用い、フルオロアルカノールでエステル化する
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のフ
    ルオロアルキルα−クロロアクリラートの製造方
    法。 3 2−クロロアクリル酸を溶媒で抽出して、2
    −クロロアクリル酸溶液とした後、該2−クロロ
    アクリル酸溶液にフルオロアルカノールおよび硫
    酸を加えてエステル化することを特徴とする特許
    請求の範囲第2項記載のフルオロアルキルα−ク
    ロロアクリラートの製造方法。 4 溶媒がハロゲン化炭化水素である特許請求の
    範囲第2項又は範囲3項記載のフルオロアルキル
    α−クロロアクリラートの製造方法。 5 フルオロアルカノールが炭素数2〜8個の1
    級フルオロアルカノールである特許請求の範囲第
    1項又は第2項記載のフルオロアルキルα−クロ
    ロアクリラートの製造方法。 6 フルオロアルカノールが2,2,2−トリフ
    ルオロエタノール、2,2,3,3,3−ペンタ
    フルオロプロパノール又は2,2,3,3,4,
    4,4−ヘプタフルオロブタノールの群から選ば
    れた1種であることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項又は第2項記載のフルオロアルキルα−ク
    ロロアクリラートの製造方法。
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