JPH0583064A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPH0583064A JPH0583064A JP24147091A JP24147091A JPH0583064A JP H0583064 A JPH0583064 A JP H0583064A JP 24147091 A JP24147091 A JP 24147091A JP 24147091 A JP24147091 A JP 24147091A JP H0583064 A JPH0583064 A JP H0583064A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- oscillator
- manufacturing
- substrate
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 品質が安定し、特性の経時変化が小さい水晶
振動子の製造方法を提供する。 【構成】 水晶振動子の製造方法において、水晶基板の
変形層を取り除く熱処理を施した後、水晶基板上に電極
を形成することを特徴とする。
振動子の製造方法を提供する。 【構成】 水晶振動子の製造方法において、水晶基板の
変形層を取り除く熱処理を施した後、水晶基板上に電極
を形成することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子機器等に使用され
る水晶振動子の製造方法に関するものである。
る水晶振動子の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の水晶振動子の製造方法は、水晶基
板を所定の厚みにラッピングした後に、加工変質層を取
り除くためにフッ酸等でエッチングしてから、電極とし
て銀、ニッケル、アルミニウムなどを水晶基板上に、真
空蒸着、スパッタリングなどの真空薄膜形成方法により
成膜していた。
板を所定の厚みにラッピングした後に、加工変質層を取
り除くためにフッ酸等でエッチングしてから、電極とし
て銀、ニッケル、アルミニウムなどを水晶基板上に、真
空蒸着、スパッタリングなどの真空薄膜形成方法により
成膜していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の技術で
は、エッチングにより水晶基板最表面の加工変質層を取
り除くことはできるが、水晶基板表面の数十ミクロンの
水晶の変形層を取り除くことはできない。このような水
晶基板に電極を形成して水晶振動子とした場合、水晶振
動子が振動する時の損失、すなわちＣＩ値が大きくなっ
たり、水晶の変形層が経時変化することにより、振動周
波数が変化するため、高精度な水晶振動子を得ることが
できない。また、水晶への変形層の入り方が常に一定で
はないため、製造工程において品質の安定した水晶振動
子を得ることができない。
は、エッチングにより水晶基板最表面の加工変質層を取
り除くことはできるが、水晶基板表面の数十ミクロンの
水晶の変形層を取り除くことはできない。このような水
晶基板に電極を形成して水晶振動子とした場合、水晶振
動子が振動する時の損失、すなわちＣＩ値が大きくなっ
たり、水晶の変形層が経時変化することにより、振動周
波数が変化するため、高精度な水晶振動子を得ることが
できない。また、水晶への変形層の入り方が常に一定で
はないため、製造工程において品質の安定した水晶振動
子を得ることができない。
【０００４】本発明は上記のような課題を解決するもの
であり、水晶振動子の特性において経時変化を防ぎ、安
定した品質を確保できる水晶振動子の製造方法を提供す
るものである。
であり、水晶振動子の特性において経時変化を防ぎ、安
定した品質を確保できる水晶振動子の製造方法を提供す
るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の水晶振動子の製
造方法は、水晶基板を摂氏３００度以上水晶の変曲点以
下の熱処理を施した後に、水晶基板上に電極を形成する
ことを特徴とする。
造方法は、水晶基板を摂氏３００度以上水晶の変曲点以
下の熱処理を施した後に、水晶基板上に電極を形成する
ことを特徴とする。
【０００６】熱処理温度が摂氏３００度未満の場合、水
晶基板の変形層を熱処理によって再配列させ正常な状態
に戻すことはできない。また、水晶の変曲点を越える
と、水晶の圧電性が失われて振動子として使えなくなる
ため適さない。
晶基板の変形層を熱処理によって再配列させ正常な状態
に戻すことはできない。また、水晶の変曲点を越える
と、水晶の圧電性が失われて振動子として使えなくなる
ため適さない。
【０００７】
【実施例】本発明をバーＡＴ振動子の製造方法を例にと
り詳細に説明する。
り詳細に説明する。
【０００８】人工水晶原石をＡＴカット方位にバンドソ
ーにより厚さ５０ミクロンの水晶ウェハーに切断する。
次に両面ラッピングにより厚さ４４ミクロンまで水晶ウ
ェハーを研磨し、バーＡＴ振動子の大き２ｍｍ×４ｍｍ
にダイシングによって切断する。さらに水晶ウェハー最
表面の加工変質層を取り除くために、フッ酸によりエッ
チングを行ない、厚さ４０ミクロンの水晶チップとす
る。
ーにより厚さ５０ミクロンの水晶ウェハーに切断する。
次に両面ラッピングにより厚さ４４ミクロンまで水晶ウ
ェハーを研磨し、バーＡＴ振動子の大き２ｍｍ×４ｍｍ
にダイシングによって切断する。さらに水晶ウェハー最
表面の加工変質層を取り除くために、フッ酸によりエッ
チングを行ない、厚さ４０ミクロンの水晶チップとす
る。
【０００９】次にアルゴン雰囲気中で表１に示す条件で
熱処理を行なった後、真空蒸着により電極として銀を３
０００Ａの厚さで水晶チップの両面に１．５ｍｍ×３．
５ｍｍの大きさで形成する。なお比較例として本発明の
熱処理における温度範囲から外れるサンプルおよび熱処
理を施さないサンプルを作成した。
熱処理を行なった後、真空蒸着により電極として銀を３
０００Ａの厚さで水晶チップの両面に１．５ｍｍ×３．
５ｍｍの大きさで形成する。なお比較例として本発明の
熱処理における温度範囲から外れるサンプルおよび熱処
理を施さないサンプルを作成した。
【００１０】次に、上記のサンプルにリード線をハンダ
付けをし、真空雰囲気中でケースに圧入しバーＡＴ振動
子とした。
付けをし、真空雰囲気中でケースに圧入しバーＡＴ振動
子とした。
【００１１】このようにして得られたバーＡＴ振動子の
特性を発振法により振動周波数ｆおよびＣＩ値をそれぞ
れの水準について、１００ケずつ測定した後、エージン
グ特性として摂氏１３０度で１０００時間放置して再度
ｆおよびＣＩ値を測定した。この結果を表２に示す。
特性を発振法により振動周波数ｆおよびＣＩ値をそれぞ
れの水準について、１００ケずつ測定した後、エージン
グ特性として摂氏１３０度で１０００時間放置して再度
ｆおよびＣＩ値を測定した。この結果を表２に示す。
【００１２】表２から明かなように本発明によるバーＡ
Ｔ振動子は、エージング特性が優れていると同時に、特
性のばらつきが小さく、高精度で品質の安定したバーＡ
Ｔ振動子を得ることができる。
Ｔ振動子は、エージング特性が優れていると同時に、特
性のばらつきが小さく、高精度で品質の安定したバーＡ
Ｔ振動子を得ることができる。
【００１３】本発明では、水晶基板に熱処理を施してか
ら電極を形成しているが、電極を形成した後熱処理を行
うと電極が酸化したり、電極の密着性の劣化、電極材の
水晶基板への拡散が起こるため適さない。
ら電極を形成しているが、電極を形成した後熱処理を行
うと電極が酸化したり、電極の密着性の劣化、電極材の
水晶基板への拡散が起こるため適さない。
【００１４】なお、実施例ではバーＡＴ振動子について
述べたが、水晶基板を使う振動子についても同様な効果
が得られるのは言うまでもない。
述べたが、水晶基板を使う振動子についても同様な効果
が得られるのは言うまでもない。
【００１５】
【表１】
【００１６】
【表２】
【００１７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば品質
が安定し、経時変化が小さい高精度な水晶振動子を得る
ことができる。特にＡＴ振動子のように振動周波数が高
く、水晶基板の厚さが小さい程、本発明の効果が著し
い。
が安定し、経時変化が小さい高精度な水晶振動子を得る
ことができる。特にＡＴ振動子のように振動周波数が高
く、水晶基板の厚さが小さい程、本発明の効果が著し
い。
【００１８】また、水晶振動子に限らず、水晶基板を使
用するフィルタについても水晶基板の変形層を取り除く
ことにより、品質が安定し経時変化が少ない製品を得る
ことができるという効果も有する。
用するフィルタについても水晶基板の変形層を取り除く
ことにより、品質が安定し経時変化が少ない製品を得る
ことができるという効果も有する。
Claims (1)
- 【請求項１】 水晶振動子の製造方法において、水晶基
板を摂氏３００度以上水晶の変曲点以下の熱処理を施し
た後、水晶基板上に電極を形成することを特徴とする水
晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24147091A JPH0583064A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24147091A JPH0583064A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 水晶振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0583064A true JPH0583064A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17074795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24147091A Pending JPH0583064A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0583064A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995011548A1 (en) * | 1993-10-18 | 1995-04-27 | Seiko Epson Corporation | Rectangular at-cut quartz crystal plate, quartz crystal unit, and quartz oscillator and manufacture of quartz crystal plate |
| US6469423B2 (en) | 1993-10-18 | 2002-10-22 | Seiko Epson Corporation | Rectangular at-cut quartz element, quartz resonator, quartz resonator unit and quartz oscillator, and method of producing quartz element |
-
1991
- 1991-09-20 JP JP24147091A patent/JPH0583064A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995011548A1 (en) * | 1993-10-18 | 1995-04-27 | Seiko Epson Corporation | Rectangular at-cut quartz crystal plate, quartz crystal unit, and quartz oscillator and manufacture of quartz crystal plate |
| DE4497992C2 (de) * | 1993-10-18 | 1998-05-07 | Seiko Epson Corp | Rechteckiges AT-Schnitt-Quarzelement, Quarzschwinger, Quarzschwingereinheit und Quarzoszillator sowie Verfahren zur Herstellung des Quarzelements |
| US6469423B2 (en) | 1993-10-18 | 2002-10-22 | Seiko Epson Corporation | Rectangular at-cut quartz element, quartz resonator, quartz resonator unit and quartz oscillator, and method of producing quartz element |
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