JPH0584917A

JPH0584917A - 液体噴射記録ヘツドの製造方法

Info

Publication number: JPH0584917A
Application number: JP25185591A
Authority: JP
Inventors: Isao Imamura; 功今村
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1991-09-30
Filing date: 1991-09-30
Publication date: 1993-04-06

Abstract

(57)【要約】【目的】共通液室の形状、大きさ、高さ、容積を自在
に作製すること。【構成】液体噴射記録ヘッドの製造方法は基板上に液
流路のパターン状に型材を設ける工程と、基板上の共通
液室予定部位に磁性流体を充填する工程と、型材および
磁性流体を覆う硬化性材料層を積層する工程と、型材お
よび磁性流体を基板上より除去する工程とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
な記録液吐出口（以下、オリフィスと呼ぶ）、液流路お
よび該液流路の一部に設けられる液体吐出エネルギー発
生部とを備えている。従来、このような液体噴射記録ヘ
ッドを作成する方法として、例えば、ガラスや金属等の
板を用い、該板に切削やエッチング等の加工手段によっ
て微細な溝を形成した後、該溝を形成した板を他の適当
な板と接合して液流路の形成を行う方法が知られてい
る。

【０００３】しかしながら、かかる従来法によって作成
される液体噴射記録ヘッドでは、切削加工される液流路
内壁面の荒れが大きすぎたり、エッチング率の差から液
流路に歪が生じたりして、流路抵抗の一定した液流路が
得難く、製作後の液体噴射記録ヘッドの記録液吐出特性
にバラツキが出き易いといった問題があった。また、切
削加工の際に板の欠けや割れが生じ易く、製造歩留りが
悪いという欠点もあった。また、エッチング加工を行う
場合には、製造工程が多く、製造コストの上昇を招くと
いう不利もあった。さらには、上記従来法に共通する欠
点として、液流路を形成した溝付板を、記録液小滴を吐
出させるための吐出エネルギーを発生する圧電素子や電
気熱変換体等の駆動素子が設けられた蓋板とを貼り合わ
せる際に、これら板の位置合わせが困難であり、量産性
に欠けるといった問題もあった。

【０００４】また、液体噴射記録ヘッドは、通常その使
用環境下にあっては、記録液（一般には、水を主体とし
多くの場合中性ではないインク液、あるいは有機溶剤を
主体とするインク液等）と常時接触している。それ故、
液体噴射記録ヘッドを構成するヘッド構造材料は、記録
液からの影響を受けて強度低下を起こすことがなく、ま
た逆に記録液中に、記録液適性を低下させるような有害
な成分を与えることのないものであることが望まれる
が、上記従来法においては、加工方法等の制約もあっ
て、必ずしもこれら目的にかなった材料を選択すること
ができなかった。

【０００５】かかる従来法の問題点を解消するための技
術として、活性エネルギー線硬化性材料を液路壁構成部
材として用いる液体噴射記録ヘッドの製造方法を本出願
人は先に出願した（特願昭６１−１５４９４７号公
報）。

【０００６】しかしながら該方法は、液路に連絡する液
室の大きさや高さなど、液室を自在に製作することにお
いては必ずしも満足のゆくものではなかった。特に、オ
リフィスおよびこれに連通する液路が高密度に配列さ
れ、記録用紙の紙幅いっぱいに亘って同時に吐出を行わ
しめるようなマルチアレイタイプの液体噴射記録ヘッド
においては、液供給速度を高め、記録液の安定且つ均一
な吐出を行う上で液室容積を大きくすることは重要であ
り、このような高密度マルチアレイタイプの液体噴射記
録ヘッドの量産に適したヘッド製造方法の開発が強く望
まれている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】かかる従来法の問題点
を解消するべく本出願人は先に特開昭６２−２５３４５
７号公報として、活性エネルギー線硬化性材料を流路構
成部材として用いる液体噴射記録ヘッドの製造方法を提
唱した。

【０００８】しかしながらこの方法は、材料としては、
活性エネルギー線硬化材料に限定され、また、活性エネ
ルギー線照射後には、未硬化活性エネルギー線硬化材料
の溶媒による除去工程がある。この場合、溶媒が活性エ
ネルギー硬化部材にクラックを起こしたり、変形させた
りする等の悪影響を与えたり、未硬化材料の除去時間が
長いということがあった。また、液流路に連絡する液室
の大きさや高さなど、液室を自在に製作することにおい
ては必ずしも満足のゆくものではなかった。特にオリフ
ィスおよびこれに連通する液流路が高密度に配され、記
録用紙の紙幅いっぱいに亘って同時に吐出を行わしめる
ようなマルチアレイタイプの液体噴射記録ヘッドにおい
ては、液供給速度を高め、記録液の安定且つ均一な吐出
を行う上で液室容積を大きくすることは重要であり、こ
のような高密度マルチアレイタイプの液体噴射記録ヘッ
ドの量産に適したヘッド製造方法の開発が強く望まれて
いる。

【０００９】本発明の目的はこのような要求を満足する
新規な液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供することに
ある。

【００１０】また、液室を自在に形成することができ、
且つ廉価、精密であり、また信頼性も高い液体噴射記録
ヘッドの製造方法を供給し得る新規な液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法を提供することを目的とする。

【００１１】また、液流路が精度良く正確に且つ歩留り
良く微細加工された構成を有する液体噴射記録ヘッドを
供給することが可能な新規な液体噴射記録ヘッドの製造
方法を提供することも目的とする。

【００１２】また、記録液との相互影響が少なく、機械
的強度や耐薬品性に優れた液体噴射記録ヘッドを供給し
得る新規な液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供するこ
とも目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、
基板上に液流路のパターン状に型材を設ける工程と、前
記基板上の共通液室予定部位に磁性流体を充填する工程
と、前記型材および前記磁性流体を覆う硬化性材料層を
積層する工程と、前記型材および前記磁性流体を前記基
板上より除去する工程とを含むことを特徴とする。

【００１４】

【作用】本発明によれば、磁性流体を固定する磁石の形
状により、共通液室の形状、大きさ、高さなどを自在に
作製することができる。

【００１５】また、本発明によれば、液供給速度を高
め、記録液の安定且つ均一な吐出を行う上で、共通液室
容積を大きくすることができる。

【００１６】

【実施例】以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発
明を詳細に説明する。

【００１７】図１ないし図６は、本発明の基本的な態様
を説明するための模式図であり、図１ないし図６のそれ
ぞれには、本発明の方法にかかる液体噴射記録ヘッドの
構成とその製作手順の一例が示されている。なお、本例
では、２つのオリフィスを有する液体噴射記録ヘッドが
示されるが、もちろんこれ以上のオリフィスを有する高
密度マルチアレイ液体噴射記録ヘッドの場合あるいは１
つのオリフィスを有する液体噴射記録ヘッドの場合でも
同様であることは言うまでもない。

【００１８】本発明においては、例えばガラス、セラミ
ックス、プラスチックあるいは金属等から成る基板が用
いられる。図１は型材形成前の基板の一例の模式的斜視
図である。

【００１９】このような基板１は、液流路および液室構
成材料の一部として機能し、また後述の型材および硬化
性材料積層時の支持体として機能させるものであり、こ
の場合は、その形状、材質等、特に限定されることなく
使用することができる。

【００２０】上記基板１上には、電気熱変換体あるいは
圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子２が所望の個
数配設される（図１では２個）。このような液体吐出エ
ネルギー発生素子２によって記録液小滴を吐出させるた
めの吐出エネルギーが記録液に与えられ、記録が行われ
る。ちなみに、例えば、上記液体吐出エネルギーヘ発生
素子２として電気熱変換体が用いられるときには、この
素子が、近傍の記録液を加熱することにより、吐出エネ
ルギーを発生する。また、例えば圧電素子が用いられる
ときは、この素子の機械的振動によって、吐出エネルギ
ーが発生される。

【００２１】なお、これ等の素子２には、これら素子を
動作させるための制御信号入力電極（不図示）が接続さ
れている。また、一般にはこれら吐出エネルギー発生素
子の耐用性向上等を目的として、保護層等の各種の機能
層が設けられるが、もちろん本発明においてもこのよう
な機能層を設けることは一向に差しつかえない。

【００２２】次いで、上記液体吐出エネルギー発生素子
２を含む基板１上の液流路形成部位、例えば図２に示さ
れるような型材３を積層し、液流路と連結する共通液室
形成部位に、例えば図２に示されるような型材４を積層
する。型材４は磁性流体であり、基板１の下にある磁石
５によって固定される。また、液流路は微細なため磁性
流体では形づくれない。

【００２３】図３ないし図５は、インクジェット記録ヘ
ッドの製造工程を表わす図であり、図３ないし図５のそ
れぞれ（Ａ）は、図２のＡ−Ａ′線で切断した記録ヘッ
ドの模式的断面図を示し、図３および図５のそれぞれ
（Ｂ）は、図２のＢ−Ｂ′線で切断した記録ヘッドの模
式的断面図である。

【００２４】上記型材３は、後述する各工程を経た後に
除去され、該除去部分に液流路が構成される。もちろ
ん、液流路の形状は所望のものとすることが可能であ
り、型材３も該液流路の形状に応じたものとすることが
できる。ちなみに、本例では、２つの吐出エネルギー発
生素子に対応して設けられる２つのオリフィスのそれぞ
れから記録液小滴を吐出させることが可能なように、液
流路は２つに分散され、液室は該流路の各々に記録液を
供給し得るようにこれらと連通したものとされている。

【００２５】このような型材３を構成するに際して用い
られる材料および手段としては、例えば下記に列挙する
ようなものが具体的なものとして挙げられる。

【００２６】感光性ドライフィルムを用い、いわゆる
ドライフィルムの画像形成プロセスに従って型材を形成
する。

【００２７】基板１上に所望の厚さの溶剤可溶性ポリ
マー層およびフォトレジスト層を順に積層し、該フォト
レジスト層のパターン形成後、溶剤可溶性ポリマー層を
選択的に除去する。

【００２８】樹脂を印刷する。

【００２９】に挙げた感光性ドライフィルムとして
は、ポジ型のものもネガ型のものも用いることができる
が、例えばポジ型ドライフィルムであれば、活性エネル
ギー線照射によって、現像液に可溶化するポジ型ドライ
フィルム、またネガ型ドライフィルムであれば、光重合
型であるが塩化メチレンあるいは強アルカリで溶解ある
いは剥離除去し得るネガ型ドライフィルムが適してい
る。

【００３０】ポジ型ドライフィルムとしては、具体的に
は、例えば「ＯＺＡＴＥＣＲ２２５」（商品名、ヘキ
ストジャパン（株））等、またネガ型ドライフィルムと
しては、「ＯＺＡＴＥＣＴシリーズ」（商品名、ヘキ
ストジャパン（株））、「ＰＨＯＴＥＣＰＨＴシリー
ズ」（商品名、日立化成工業（株））、「ＲＩＳＴＯ
Ｎ」（商品名、デュ・ポン・ド・ネモアース・Ｃｏ）等
が用いられる。

【００３１】もちろん、これらの市販材料のみならず、
ポジティブに作用する樹脂組成物、例えばナフキノンジ
アド誘導体とノボラック型フェノール樹脂を主体とする
樹脂組成物、およびネガティブに作用する樹脂組成物、
例えばアクリルエステルを反応基とするアクリルオリゴ
マーと熱可塑性高分子化合物および増感剤を主体とする
組成物、あるいはポリチオールとポリエン化合物および
増感剤とから成る組成物等が同様に用いることができ
る。

【００３２】に挙げた溶剤可溶性ポリマーとしては、
それを溶解する溶剤が存在し、コーティングによって被
覆形成し得る高分子化合物であればいずれでも用い得
る。ここで用い得るフォトレジスト層としては、典型的
にはノボラック型フェノール樹脂とナフトキノンジアジ
ドから成るポジ型液状フォトレジスト、ポリビニルシン
ナメートから成るネガ形液状フォトレジスト、環化ゴム
とビスアジトから成るネガ型液状フォトレジスト、ネガ
型感光性ドライフィルム、熱硬化型および紫外線硬化型
のインキ等が挙げられる。

【００３３】に挙げた印刷法によって型材を形成する
材料としては、例えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるいは紫
外線硬化型等のそれぞれの乾燥方式で用いられている平
板インキ、スクリーンインキならびに転写型の樹脂等が
用いられる。

【００３４】以上に挙げた材料群の中で、加工精度や除
去の容易性あるいは作業性等の面から見て、の感光性
ドライフィルムを用いる手段が好ましく、その中でもポ
ジ型ドライフィルムを用いるのが特に好ましい。すなわ
ち、ポジ型感光性材料は、例えば解像度がネガ型の感光
性材料よりも優れている、レリーフパターンが垂直かつ
平滑な側壁面を持つ、あるいはテーパ型ないし逆テーパ
型の断面形状が容易につくれるという特長を持ち、液流
路を形づくる上で最適である。また、レリーフパターン
を現像液や有機溶剤で溶解除去できる等の特長も有して
おり、本発明における型材形成材料として好ましいもの
である。特に、例えば先に挙げたナフキノンジアジドと
ノボラック型フェノール樹脂を用いたポジ型感光性材料
では、弱アルカリ水溶液あるいはアルコールで完全溶解
できるので、吐出エネルギー発生素子の損傷を何ら与え
ることがなく、かつ後工程での除去もきわめて速やかで
ある。このようなポジ型感光性材料の中でも、ドライフ
ィルム状のものは、１０〜１００μｍの厚膜のものが得
られる点で、最も好ましい材料である。

【００３５】上記型材４は磁性流体から出きており、後
述する各工程を経た後に除去され、除去部分に共通液室
が形成される。勿論、共通液室の形状は磁性流体を固定
する磁石の形状により所望のものとすることが可能であ
り、特に、共通液室の容量については、磁性流体の量を
調整することによって所望の容量が得られる。なお、液
状の硬化性材料を積層する場合には、該材料の脱気を行
った後、気泡の混入を避けながら行うのが好ましい。図
４（Ａ）および（Ｂ）のように熱又は光などを用いて硬
化させた積層体から型材３および型材４を図５（Ａ）お
よび（Ｂ）に示すように除去して液流路８および共通液
室９を形成する。

【００３６】型材４の除去手段は、液供給口６から磁石
５の磁力により除去される。除去後には残渣が残る場合
もあるが、以下型材３と同様の方法で除去される。

【００３７】上記型材および型材４が形成された基板１
には、例えば図３（Ａ）および（Ｂ）に示されるよう
に、該型材および型材４を覆うように硬化性材料層７が
積層される。

【００３８】硬化性材料としては、上記型材を覆設し得
るものであれば好適に使用することができるが、該材料
は、液流路および共通液室を形成して液体噴射記録ヘッ
ドとしての構造材料と成るものであるので、基板との接
着性、機械的強度、寸法安定性、耐蝕性の面で優れたも
のを選択し用いることが好ましい。そのような材料を具
体的に示せば、液状で硬化性材料が適しており、中でも
エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ジグリコールジアルキル
カーボネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレ
タン樹脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹脂、フェノール
樹脂、尿素樹脂等が用いられる。

【００３９】硬化性材料の積層方法としては、例えば基
板形状に即したノズルを用いた吐出器具、アプリケー
タ、カーテンコータ、ロールコータ、スプレコータ、ス
ピンコータ等の手段で型材の除去手段としては特に限定
されるものではないが、具体的には例えば型材３を溶解
または膨潤あるい剥離する液体に浸漬して除去する等の
方法が好ましいものとして挙げられる。この際、必要に
応じて超音波処理、スプレー、加熱、撹拌、振とう、加
圧循環、その他の除去促進手段を用いることも可能であ
る。

【００４０】上記除去手段に対して用いられる液体とし
ては、例えば、含ハロゲン炭化水素、ケトン、エステ
ル、芳香族炭化水素、エーテル、アルコール、Ｎ−メチ
ルピロリドン、ジメチルホルムアミド、フェノール、
水、酸あるいはアルカリを含む水、等が挙げられる。こ
れら液体には、必要に応じて界面活性剤を加えても良
い。

【００４１】図５（Ａ）および（Ｂ）に上記のような型
材３および型材４の除去を行った後の状態を示すが、本
実施例の場合、型材４は液供給口６から磁力により除去
され、その後に型材３はこれを溶解する液体中に浸漬さ
れ、ヘッドのオリフィスと液供給口６を通して溶解除去
されている。

【００４２】図６には、以上の各工程を経て得られた液
体噴射記録ヘッドの模式的斜視図が示されている。な
お、以上の各工程を終了した後、液体吐出エネルギー発
生素子２とオリフィス１３との間隔を最適化するため
に、必要に応じてオリフィス先端の切断、研磨、平滑化
を行ってもよい。

【００４３】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の
工業的価値をまとめれば、下記のとおりである。

【００４４】精密な加工ができること、流路形状、共通液室形状に対し加工上の制限が少ない
こと、加工上、特に熟練を要せず、量産性にすぐれているこ
と、硬化性材料の選択範囲が広く、構造材料としての機能
にすぐれたものを用いることができること、廉価であること、高密度マルチアレイタイプの記録ヘッドに要求される
大きな共通液室が容易に形成可能であること、加えて加
工工程が簡易で量産に適していること、等である。

【００４５】以下に実施例を示し、本発明をさらに詳細
に説明する。

【００４６】図１ないし図５に示した製作手順に準じ
て、図６の構成の液体噴射記録ヘッドを作成した。

【００４７】まず、液体吐出エネルギー発生素子として
の電気熱変換対（材質ＨｆＢ₂ ）を、基板としてのガラ
ス基板（厚さ１．１ｍｍ）上に形成した後、該基板上に
ポジ型ドライフィルム「ＯＺＡＴＥＣＲ２２５」（ヘ
キストジャパン（株））から成る厚さ５０μｍの感光層
をラミネーションによって形成した。この感光層に図６
に相当するパターンのマスクを重ね、液流路を除く部分
に７０ｍＪ／ｃｍ² の紫外線照射を行った。液流路の長
さは３ｍｍとした。

【００４８】次に５％のメタケイ酸ナトリウム水溶液に
てスプレー現像を行い、上記電気熱変換体を含むガラス
基板上の液流路予定部分に厚さ約５０ミクロンのレリー
フの固体層を形成した。

【００４９】次いで、液室形成予定部位に「ＮＯＫ水ベ
ース磁性流体」（商品名、ＮＯＫ（株））を図６に相当
するように磁石を用いて磁性流体層を０．２ｍｍの厚み
に積層した。

【００５０】ＮＯＫ水ベース磁性流体は、溶媒として水
を用い強磁性コロイド粒子としてマグネタウイトを用い
たものである。

【００５１】上記同様の操作手順で、上記同様の型材を
積層した基板を合計３個作成した後、該型材が形成され
ている基板のそれぞれに、表１に示す液状の硬化性材料
を積層した。

【００５２】

【表１】

【００５３】ここで、（化１）、（化２）、（化３）の
構造式は以下の通りである。

【００５４】

【化１】

【００５５】

【化２】

【００５６】

【化３】

【００５７】操作手順は以下のように行った。

【００５８】表１のイ〜ハの硬化性材料のそれぞれを、
触媒と混合し、真空ポンプを用いて脱泡した。その後、
上記脱泡した３種の硬化性材料のそれぞれを前記型材が
積層されている第１の基板のそれぞれにアプリケータを
用いて、該基板の上面から１ｍｍの厚さに塗布し上方か
ら超高圧水銀灯「ユニアーク」（ウシオ電機（株）製）
による照射を行った。このときの３６５ｎｍ付近の光の
積算強度は、１０００ｍＷ／ｃｍ² であった。

【００５９】電気熱変換体が、オリフィス先端から、
０．７ｍｍの位置となるように切断しオリフィス端面を
形成した。

【００６０】液供給口より磁性流体を磁石により除去し
た後、オリフィス端面を露出させた３個の積層体をそれ
ぞれエタノール中に浸漬し、液室中にエタノールを充電
し、かつオリフィス端面をエタノールに接触した状態で
超音波洗浄槽中にて約３分間溶解除去操作を行った。溶
解除去が終了した後、５％のＮａＯＨ水溶液および純水
で洗浄を行った。洗浄後これら積層体を乾燥し、高圧水
銀灯を用いて１０Ｊ／ｃｍ² の後露光を行い硬化性材料
を完全硬化させた。

【００６１】このようにして作成された３個の液体噴射
記録ヘッドの液流路中には、いずれの場合にも型材の残
渣が全く存在しなかった。さらに、これら液体噴射記録
ヘッドを記録装置に装着し、純水／グリセリン／ダイレ
クトブラック１５４（水溶性黒色染料）＝６５／３０／
５（重量部）から成るインクジエットインクを用いて記
録を行ったところ、安定な印字が可能であった。なお、
得られた記録ヘッドの液流路高さは約５０μｍ、共通液
室の高さは約０．２ｍｍであった。

【００６２】本実施例においては、水を溶媒とし、強磁
性コロイド粒子としてマグネタイトからなる磁性流体を
用いた。他の磁性流体としては溶媒としてアルキルナフ
タリン、強磁性コロイド粒子としてマグネタイトからな
る磁性流体ＦＶ−５５、ＦＶ−４２、ＳＦＳ−１、溶媒
としてパーフルオロポリエーテル、強磁性コロイド粒子
としてＭｎＺｎフェライトからなる磁性流体ＰＦ−３０
２０，ＰＦ−１５２５が松本油脂製薬（株）より市販さ
れている。

【００６３】磁性流体としては、これに限られず、コバ
ルトのような金属磁性体または酸化物磁性体をコロイド
粒子として用いても本発明の目的を達成することができ
る。

【００６４】（その他）なお、本発明は、特にインクジ
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エ
ネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記録
ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。かかる方式によれば記録の高密度化，高精細化が
達成できるからである。

【００６５】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（インク）
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐
出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第
４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。

【００６６】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体
の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４４
５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。

【００６７】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。

【００６８】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

【００６９】また、本発明の記録装置の構成として、記
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。

【００７０】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００７１】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７
１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても
よい。本発明においては、上述した各インクに対して最
も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもので
ある。

【００７２】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。

【００７３】

【発明の効果】以上に説明した本発明によってもたらせ
る効果としては、下記に列挙するようなものが挙げられ
る。

【００７４】精密な加工ができる。

【００７５】流路形状、液室形状に対し加工上の制限
が少ない。特に、共通液室形成予定部位に磁性流体使う
ことにより、他の部材に悪影響を与えることなく、簡単
に除去できる。

【００７６】加工上、特に熟練を要せず、量産性にす
ぐれている。

【００７７】硬化性材料の選択範囲が広く、構造材料
としての機能にすぐれたものを用いることができる。

【００７８】廉価である。

【００７９】高密度マルチアレイタイプの記録ヘッド
に要求される大きな共通液室が容易に形成可能であり、
加えて加工工程が簡易で量産に適している。

【図面の簡単な説明】

【図１】型材形成前の記録ヘッド基板の模式的斜視図で
ある。

【図２】型材形成後の記録ヘッド基板の模式的平面図で
ある。

【図３】型材および硬化性材料積層後の記録ヘッド基板
の模式的切断面図である。

【図４】硬化性材料硬化後の積層体の模式的切断面図で
ある。

【図５】型材除去後の積層体の模式的切断面図である。

【図６】完成された状態における液体噴射記録ヘッドの
模式的斜視図である。

【符号の説明】

１第１の基板２液体吐出エネルギー発生素子３型材４型材（磁性流体）５磁石６液供給口７硬化性材料８液流路９共通液室１０硬化性材料１１オリフィス

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に液流路のパターン状に型材を設
ける工程と、前記基板上の共通液室予定部位に磁性流体を充填する工
程と、前記型材および前記磁性流体を覆う硬化性材料層を積層
する工程と、前記型材および前記磁性流体を前記基板上より除去する
工程とを含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製
造方法。
【請求項２】前記型材を感光性材料で形成することを
特徴とする請求項１に記載の液体噴射記録ヘッドの製造
方法。