JPH0587155B2 - - Google Patents

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JPH0587155B2
JPH0587155B2 JP61169546A JP16954686A JPH0587155B2 JP H0587155 B2 JPH0587155 B2 JP H0587155B2 JP 61169546 A JP61169546 A JP 61169546A JP 16954686 A JP16954686 A JP 16954686A JP H0587155 B2 JPH0587155 B2 JP H0587155B2
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JP
Japan
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discharge tube
distance
power source
gas
discharge
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JPS6327078A (ja
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Norio Karube
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Fanuc Corp
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Priority to US07/174,999 priority patent/US4907241A/en
Priority to DE8787904726T priority patent/DE3778902D1/de
Priority to PCT/JP1987/000511 priority patent/WO1988000764A1/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors

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  • Electromagnetism (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスレーザ装置に関し、特に、放電管
の形状を発振効率を向上するようにしたガスレー
ザ装置に関する。
〔従来の技術〕
ガスレーザ装置においては発振効率を如何に向
上させるかが大きな技術上のテーマであり、その
技術の一つとして電子捕捉現象による放電正抵抗
特性発生や陰極効果欠如によるものがある。この
ためには、放電電源の周波数を増加させることに
より、電子捕捉現象を起こさせることが必要であ
る。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、高出力で高周波の電源を作成すること
は極めて困難である。例えば、電子捕捉現象、即
ち電子が放電管の側壁に到達しないためには、次
式に示すように放電管の電極方向の距離ｄが半周
波数あたりの電子の移動距離ｌより相当大きい必
要がある。
＝2μE／ω＝Ve／π≪ｄ ここで、各文字は以下の値を表す。
……電子の移動距離 μ……電子のモビリテイ Ｅ……電界強度 ω……電源の角速度 ……電源の周波数 Ve……電子の速度で、約８×106cm／sec ｄ……放電管の側壁管の距離 この式から、ｄ＝２cmとして、電子が側壁に衝
突しないための最低の距離＝ｄとしてｆを計算
すると、 ＝1.24MHz となり、これより相当高い周波数を必要とする。
本発明の目的は上記問題点を解決し、電源の周
波数をそれほど増加させないで、放電管の形状を
発振効率を向上するようにしたガスレーザ装置提
供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕 本発明では上記の問題点を解決するために、 放電管内をレーザ媒質ガスを循環させ、放電に
よつて励起されたガスからレーザ光を発生させる
ように構成したガスレーザ装置において、 放電用の電源として高周波電源を設け、 前記放電管の電極方向の距離を前記高周波電源
の周波数と電子のモビリテイから電子が側壁に衝
突しない距離とし、 複数の反射鏡を設け、 レーザ光を折り返し反射させて増幅するように
構成したことを特徴とするガスレーザ装置 採用した。
〔作用〕
電極方向の距離を大きくしたので、一定周波数
では電子の移動できる距離が増加し、これにより
電子捕捉現象を発生させることができ、又、この
距離が大きくなつたのでレーザ光を反射折り返し
て増幅することができる。
〔実施例〕
以下本発明の一実施例を図面に基ずいて説明す
る。
第１図に本発明の一実施例のブロツク図を示
す。図において、１は放電管であり、この内部に
レーザ媒質ガスを循環させ、放電を行わせ、レー
ザ媒質ガスを励起して、レーザ光を増幅させる。
２ａ及び２ｂは電極であり、電極２ａは高周波電
源に、電極２ｂはアースに接続されている。３は
高周波電源であり、放電用の高周波を発生させ、
整合用のリアクタンス４を経由して電極２ａに接
続される。５，６及び７は反射鏡であり、レーザ
光を反射する。８は出力鏡でありレーザ光の一部
を透過、出力し残部を反射する。９はレーザ光の
光軸を示す。放電管の電極方向の距離ｄは高周波
電源３の周波数ｆで放電管１の側壁に衝突即ち、
電子捕捉現象が発生するように、充分大きくと
る。又、この距離を利用して、レーザ光を折り返
し反射させて、増幅度を上昇させることができ
る。
第２図は第１図の概略の外観図であり、同一の
部分には同一の符号が付してある。第２図に示す
ように放電管１は矩形状としている。この放電管
はセラミツク等で作成されている。又、電極２ａ
及び２ｂは金属で放電管１に接合されている。
以上の実施例では放電管１を矩形としたが、他
の形状例えば、楕円形等に構成することもでき
る。又、折り返し数は２としたが、電極方向の距
離ｄの値に対応して、折り返し数を任意に増加さ
せることができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明では、放電管の電極
方向の距離を電子捕捉現象が発生するに充分な距
離とし、レーザ光を折り返し反射させ増幅させる
ように構成したので、レーザ光の発振効率を上昇
させることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は
第１図の概略の外観図である。 １……放電管、２ａ，２ｂ……電極、３……高
周波電源、５，６，７……反射鏡、８……出力
鏡、９……レーザ光の光軸。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 放電管内をレーザ媒質ガスを循環させ、高周
    波放電によつて励起されたガスからレーザ光を発
    生させるように構成したガスレーザ装置におい
    て、 放電用の電源として高周波電源を設け、 前記放電管の電極方向の距離を前記高周波電源
    の周波数と電子のモビリテイから電子が側壁に衝
    突しない距離とし、 複数の反射鏡を設け、 レーザ光を折り返し反射させて増幅するように
    構成したことを特徴とするガスレーザ装置。 ２ 前記放電管の形状は矩形であることを特徴と
    する特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装
    置。
JP61169546A 1986-07-18 1986-07-18 ガスレ−ザ装置 Granted JPS6327078A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61169546A JPS6327078A (ja) 1986-07-18 1986-07-18 ガスレ−ザ装置
EP87904726A EP0317632B1 (en) 1986-07-18 1987-07-15 Gas laser device
US07/174,999 US4907241A (en) 1986-07-18 1987-07-15 Gas laser device
DE8787904726T DE3778902D1 (de) 1986-07-18 1987-07-15 Gas-laseranordnung.
PCT/JP1987/000511 WO1988000764A1 (fr) 1986-07-18 1987-07-15 Dispositif laser a gaz

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Publication Number Publication Date
JPS6327078A JPS6327078A (ja) 1988-02-04
JPH0587155B2 true JPH0587155B2 (ja) 1993-12-15

Family

ID=15888481

Family Applications (1)

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JP61169546A Granted JPS6327078A (ja) 1986-07-18 1986-07-18 ガスレ−ザ装置

Country Status (4)

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US (1) US4907241A (ja)
EP (1) EP0317632B1 (ja)
JP (1) JPS6327078A (ja)
WO (1) WO1988000764A1 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
JPS6327078A (ja) 1988-02-04
EP0317632A1 (en) 1989-05-31
WO1988000764A1 (fr) 1988-01-28
EP0317632B1 (en) 1992-05-06
US4907241A (en) 1990-03-06
EP0317632A4 (en) 1989-02-13

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