JPH0587310B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0587310B2 JPH0587310B2 JP61078027A JP7802786A JPH0587310B2 JP H0587310 B2 JPH0587310 B2 JP H0587310B2 JP 61078027 A JP61078027 A JP 61078027A JP 7802786 A JP7802786 A JP 7802786A JP H0587310 B2 JPH0587310 B2 JP H0587310B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drying
- coating
- film
- temperature
- solution
- Prior art date
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- Optical Filters (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、ポリイミド前駆体溶液を主成分と
した塗布溶液を用いて形成した塗布被膜を乾燥す
る技術、特に、その塗布被膜をポリイミド樹脂を
主成分とした下層パターンを被うように形成する
場合に好適な技術に関するものである。
した塗布溶液を用いて形成した塗布被膜を乾燥す
る技術、特に、その塗布被膜をポリイミド樹脂を
主成分とした下層パターンを被うように形成する
場合に好適な技術に関するものである。
（従来の技術）
ポリイミド樹脂は、耐熱性、耐薬品性あるいは
耐光性などの種々の耐性にすぐれており、従来か
ら、保護被膜、あるいはパターン形成材料として
多くの分野で用いられている。
耐光性などの種々の耐性にすぐれており、従来か
ら、保護被膜、あるいはパターン形成材料として
多くの分野で用いられている。
カラー液晶表示装置、カラービデオカメラなど
に用いられるカラーフイルタの分野もその一つで
ある。カラーフイルタは、光透過性のガラス板な
どの基体の一面に、互いに異なる分光特性を有す
る２以上のフイルタ画素群、一般には、赤、緑、
青に対応する３群のフイルタ画素群を備えたもの
であり、ポリイミド樹脂は、たとえば、各フイル
タ画素群の形成材料として利用されている。
に用いられるカラーフイルタの分野もその一つで
ある。カラーフイルタは、光透過性のガラス板な
どの基体の一面に、互いに異なる分光特性を有す
る２以上のフイルタ画素群、一般には、赤、緑、
青に対応する３群のフイルタ画素群を備えたもの
であり、ポリイミド樹脂は、たとえば、各フイル
タ画素群の形成材料として利用されている。
ところで、各フイルタ画素群をポリイミド樹脂
を利用して形成する場合、ポリイミド樹脂を主成
分とした下層パターン、つまり、ある色のフイル
タ画素群の上に、別の色のフイルタ画素群を形成
するため、ポリイミド前駆体溶液を主成分とした
塗布溶液を用いて回転塗布あるいはロールコータ
による塗布、その他の塗布法によつて塗布被膜が
形成される。しかし、前記ポリイミド前駆体溶液
中の溶媒が、下層パターンに亀裂、しわ等を生じ
させたりする弊害があるため、従来では、たとえ
ば、特開昭60−247603号公報に記載されているよ
うに、下層パターンと塗布被膜との間にアクリル
系樹脂等の中間保護膜を介在させるようにしてい
た。
を利用して形成する場合、ポリイミド樹脂を主成
分とした下層パターン、つまり、ある色のフイル
タ画素群の上に、別の色のフイルタ画素群を形成
するため、ポリイミド前駆体溶液を主成分とした
塗布溶液を用いて回転塗布あるいはロールコータ
による塗布、その他の塗布法によつて塗布被膜が
形成される。しかし、前記ポリイミド前駆体溶液
中の溶媒が、下層パターンに亀裂、しわ等を生じ
させたりする弊害があるため、従来では、たとえ
ば、特開昭60−247603号公報に記載されているよ
うに、下層パターンと塗布被膜との間にアクリル
系樹脂等の中間保護膜を介在させるようにしてい
た。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、前記中間保護膜を設けた場合、製造プ
ロセスが複雑化するという問題のほか、カラーフ
イルタの平坦性を悪くするという問題を生じてし
まう。
ロセスが複雑化するという問題のほか、カラーフ
イルタの平坦性を悪くするという問題を生じてし
まう。
この発明では、こうした問題の原因となる前記
中間保護膜を省略可能な技術を提供することを目
的とする。
中間保護膜を省略可能な技術を提供することを目
的とする。
なお、前記カラーフイルタにおける各フイルタ
画素群は、互いに異なる色をもつが、その各色の
均一性を高める方法として、各フイルタ画素群を
形成する際し、ポリイミド前駆体溶液の中に、当
該溶液の溶媒に溶解する染料を混入してなる溶料
入りポリイミド樹脂溶液を塗布溶液に用いるのが
好ましい。というのは、溶媒は前記溶媒に溶解す
ることから、顔料に比べてポリイミド前駆体溶液
の中に容易にかつ均一に分散させることができる
からである。しかし、この方法を前記中間保護膜
を省略するという観点から見ると、余り歓迎する
ことはできない。染料に溶解性があることから、
中間保護膜を省略した場合、下層と上層との間に
混色問題を生じるおそれがあるからである。
画素群は、互いに異なる色をもつが、その各色の
均一性を高める方法として、各フイルタ画素群を
形成する際し、ポリイミド前駆体溶液の中に、当
該溶液の溶媒に溶解する染料を混入してなる溶料
入りポリイミド樹脂溶液を塗布溶液に用いるのが
好ましい。というのは、溶媒は前記溶媒に溶解す
ることから、顔料に比べてポリイミド前駆体溶液
の中に容易にかつ均一に分散させることができる
からである。しかし、この方法を前記中間保護膜
を省略するという観点から見ると、余り歓迎する
ことはできない。染料に溶解性があることから、
中間保護膜を省略した場合、下層と上層との間に
混色問題を生じるおそれがあるからである。
この発明は、こうした混色問題を解決可能な技
術を提供することをも目的とする。
術を提供することをも目的とする。
（問題点を解決するための手段）
この発明では、ポリイミド樹脂を主成分とした
下層パターンのある基体の一面に、ポリイミド前
駆体溶液を主成分とした塗布溶液を用いて塗布被
膜を形成した後、その塗布被膜を乾燥処理するに
際し、前記塗布被膜を、(A)前記ポリイミド前駆体
溶液中の溶媒の沸点に比べて低い温度で乾燥処理
する第１工程、ついで、(B)前記沸点に近い温度で
加熱することによつて乾燥処理を行なう第２工
程、を順次経て乾燥処理するようにしている。こ
こで、第１工程の処理温度は80℃以下、好ましく
は室温、また、第２工程の処理温度は120〜170
℃、好ましくは150℃前後である。
下層パターンのある基体の一面に、ポリイミド前
駆体溶液を主成分とした塗布溶液を用いて塗布被
膜を形成した後、その塗布被膜を乾燥処理するに
際し、前記塗布被膜を、(A)前記ポリイミド前駆体
溶液中の溶媒の沸点に比べて低い温度で乾燥処理
する第１工程、ついで、(B)前記沸点に近い温度で
加熱することによつて乾燥処理を行なう第２工
程、を順次経て乾燥処理するようにしている。こ
こで、第１工程の処理温度は80℃以下、好ましく
は室温、また、第２工程の処理温度は120〜170
℃、好ましくは150℃前後である。
（作用）
第２工程で比較的に高い温度で加熱処理する以
前に、第１工程で自然乾燥あるいは低温乾燥して
いる。そのため、第１工程によつて、塗布被膜中
の溶媒は大部分除去され、被膜は流動性を失な
う。したがつて、比較的に高い温度で加熱される
第２工程の段階では、溶媒にわずかに存在するだ
けであり、中間保護膜を省略しても既存の下層パ
ターンに前述したような損傷を与えることはな
い。
前に、第１工程で自然乾燥あるいは低温乾燥して
いる。そのため、第１工程によつて、塗布被膜中
の溶媒は大部分除去され、被膜は流動性を失な
う。したがつて、比較的に高い温度で加熱される
第２工程の段階では、溶媒にわずかに存在するだ
けであり、中間保護膜を省略しても既存の下層パ
ターンに前述したような損傷を与えることはな
い。
（実施例）
液晶カラー表示装置のカラーフイルタとして、
第１図に示すように、ガラス基板１０上に格子状
の黒色の遮光パターン１２、赤色のフイルタ画素
群１４、緑色のフイルタ画素群１６、青色のフイ
ルタ画素群１８、そして最上層を被う透明な保護
膜層２０を有するカラーフイルタ２２を次のよう
にして製造した。
第１図に示すように、ガラス基板１０上に格子状
の黒色の遮光パターン１２、赤色のフイルタ画素
群１４、緑色のフイルタ画素群１６、青色のフイ
ルタ画素群１８、そして最上層を被う透明な保護
膜層２０を有するカラーフイルタ２２を次のよう
にして製造した。
まず、ガラス基板１０上に黒色の塗布溶液をス
ピンナーで1000rpm、90秒間回転塗布し、黒色の
塗布被膜を形成した。この塗布被膜を30分間室温
中に放置することによつて、塗布被膜の流動性が
失なわれる程度に乾燥処理する。塗布被膜は、こ
の第１工程の乾燥処理によつて充分レベリングさ
れ、しかも含有溶媒の大部分が蒸発する。次に、
加熱したホツトプレートを利用することによつ
て、塗布被膜を150℃、５分間さらに乾燥処理す
る。この第２工程の乾燥処理によつて、塗布被膜
は半硬化状態となる。そこで次に、ポジ型フオト
レジストを3000rpm、30秒間回転塗布し、110℃、
30分間乾燥処理する。これを紫外線露光装置によ
り、フオトマスクを介して露光した後、水酸化ナ
トリウム溶液で現像し、同時に黒色の塗布被膜の
エツチングも行なう。その後、ポジ型フオトレジ
ストの未露光部をセロソルブアセテートで剥離
し、250℃、60分間加熱焼成して格子状の遮光パ
ターン１２を形成する。以後、同様にして赤色の
フイルタ画素群１４、緑色のフイルタ画素群１
６、青色のフイルタ画素群１８を順次形成する。
各パターンを形成した後、やはり回転塗布法によ
つて、最上層の保護膜２０を形成する。
ピンナーで1000rpm、90秒間回転塗布し、黒色の
塗布被膜を形成した。この塗布被膜を30分間室温
中に放置することによつて、塗布被膜の流動性が
失なわれる程度に乾燥処理する。塗布被膜は、こ
の第１工程の乾燥処理によつて充分レベリングさ
れ、しかも含有溶媒の大部分が蒸発する。次に、
加熱したホツトプレートを利用することによつ
て、塗布被膜を150℃、５分間さらに乾燥処理す
る。この第２工程の乾燥処理によつて、塗布被膜
は半硬化状態となる。そこで次に、ポジ型フオト
レジストを3000rpm、30秒間回転塗布し、110℃、
30分間乾燥処理する。これを紫外線露光装置によ
り、フオトマスクを介して露光した後、水酸化ナ
トリウム溶液で現像し、同時に黒色の塗布被膜の
エツチングも行なう。その後、ポジ型フオトレジ
ストの未露光部をセロソルブアセテートで剥離
し、250℃、60分間加熱焼成して格子状の遮光パ
ターン１２を形成する。以後、同様にして赤色の
フイルタ画素群１４、緑色のフイルタ画素群１
６、青色のフイルタ画素群１８を順次形成する。
各パターンを形成した後、やはり回転塗布法によ
つて、最上層の保護膜２０を形成する。
ここで、各々の塗布溶液の組成を以下に示す。
（黒色用）
ソルベント ブラツク３ 1.0ｇ
ポリイミド前駆体溶液（東レ株式会社製、セミ
コフアイン） 5.0ｇ メチルセロソルブ 15.0ｇ （赤色用） アシツド レツド257 0.5ｇ ポリイミド前駆体溶液（東レ株式会社製、セミ
コフアイン） 5.0ｇ メチルセロソルブ 8.5ｇ （緑色用） ソルベント イエロー77 0.5ｇ アシツド ブルー７ 0.5ｇ ポリイミド前駆体溶液（東レ株式会社製、セミ
コフアイン） 5.0ｇ メチルセロソルブ 8.5ｇ （青色用） ソルベント ブルー42 0.5ｇ ポリイミド前駆体溶液（東レ株式会社製、セミ
コフアイン） 5.0ｇ メチルセロソルブ 8.0ｇ （保護膜層用） ポリイミド前駆体溶液（東レ株式会社製、セミ
コフアイン） 5.0ｇ メチルセロソルブ 7.5ｇ （発明の効果） この発明では、ポリイミド樹脂を主成分とした
下層パターンのある基体の一面に、ポリイミド前
駆体溶液を主成分とした塗布溶液を用いて塗布被
膜を形成した後、その塗布被膜を乾燥処理するに
際し、前記塗布被膜の塗布直後、自然乾燥あるい
は低温乾燥の処理をしてから比較的に高い温度で
乾燥処理するようにしている。そのため、従来必
要とした中間保護膜を形成せずとも、既存の下層
パターンを損傷することがなくなり、品質の向上
および工程の簡略化を図ることができる。特に、
この発明のカラーフイルタに適用した場合、フイ
ルタの平滑性を高めることができ、さらには、ポ
リイミド樹脂の着色材として、染料を用いること
によつて均一な色特性を得ることができる。
コフアイン） 5.0ｇ メチルセロソルブ 15.0ｇ （赤色用） アシツド レツド257 0.5ｇ ポリイミド前駆体溶液（東レ株式会社製、セミ
コフアイン） 5.0ｇ メチルセロソルブ 8.5ｇ （緑色用） ソルベント イエロー77 0.5ｇ アシツド ブルー７ 0.5ｇ ポリイミド前駆体溶液（東レ株式会社製、セミ
コフアイン） 5.0ｇ メチルセロソルブ 8.5ｇ （青色用） ソルベント ブルー42 0.5ｇ ポリイミド前駆体溶液（東レ株式会社製、セミ
コフアイン） 5.0ｇ メチルセロソルブ 8.0ｇ （保護膜層用） ポリイミド前駆体溶液（東レ株式会社製、セミ
コフアイン） 5.0ｇ メチルセロソルブ 7.5ｇ （発明の効果） この発明では、ポリイミド樹脂を主成分とした
下層パターンのある基体の一面に、ポリイミド前
駆体溶液を主成分とした塗布溶液を用いて塗布被
膜を形成した後、その塗布被膜を乾燥処理するに
際し、前記塗布被膜の塗布直後、自然乾燥あるい
は低温乾燥の処理をしてから比較的に高い温度で
乾燥処理するようにしている。そのため、従来必
要とした中間保護膜を形成せずとも、既存の下層
パターンを損傷することがなくなり、品質の向上
および工程の簡略化を図ることができる。特に、
この発明のカラーフイルタに適用した場合、フイ
ルタの平滑性を高めることができ、さらには、ポ
リイミド樹脂の着色材として、染料を用いること
によつて均一な色特性を得ることができる。
第１図はこの発明により製造したカラーフイル
タの一実施例を示す断面図である。 １０…基体、１２…黒色の遮光パターン、１４
…赤色のフイルタ画素群、１６…緑色のフイルタ
画素群、１８…青色のフイルタ画素群、２０…保
護膜層、２２…カラーフイルタ。
タの一実施例を示す断面図である。 １０…基体、１２…黒色の遮光パターン、１４
…赤色のフイルタ画素群、１６…緑色のフイルタ
画素群、１８…青色のフイルタ画素群、２０…保
護膜層、２２…カラーフイルタ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ポリイミド樹脂を主成分とした下層パターン
のある基体の一面に、ポリイミド前駆体溶液を主
成分とした塗布溶液を用いて塗布被膜を形成した
後、その塗布被膜を乾燥処理する方法において、
前記塗布被膜を、(A)前記ポリイミド前駆体溶液中
の溶媒の沸点に比べて低い温度で乾燥処理する第
１工程、ついで、(B)前記沸点に近い温度で加熱す
ることによつて乾燥処理を行なう第２工程、を順
次経て乾燥処理することを特徴とする、塗布被膜
の乾燥方法。 ２ 前記下層パターンは、ポリイミド樹脂中に染
料を含む着色パターンであり、かつ、前記塗布溶
液は、ポリイミド前駆体溶液の中に、当該溶液の
溶媒に溶解する染料を混入してなる染料入りのポ
リイミド樹脂溶液である、特許請求の範囲第１項
記載の塗布被膜の乾燥方法。 ３ 前記第１工程は80℃以下、前記第２工程は
120〜170℃の温度で、各々乾燥処理する、特許請
求の範囲第１項あるいは第２項記載の塗布被膜の
乾燥方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61078027A JPS62234575A (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | 塗布被膜の乾燥方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61078027A JPS62234575A (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | 塗布被膜の乾燥方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62234575A JPS62234575A (ja) | 1987-10-14 |
| JPH0587310B2 true JPH0587310B2 (ja) | 1993-12-16 |
Family
ID=13650327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61078027A Granted JPS62234575A (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | 塗布被膜の乾燥方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62234575A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6875252B2 (ja) | 2017-10-26 | 2021-05-19 | 信越化学工業株式会社 | ポリイミドペーストの乾燥方法及び高光電変換効率太陽電池の製造方法 |
-
1986
- 1986-04-04 JP JP61078027A patent/JPS62234575A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62234575A (ja) | 1987-10-14 |
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Legal Events
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