JPS60237441A - 着色画像の形成法 - Google Patents

着色画像の形成法

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JPS60237441A
JPS60237441A JP59093716A JP9371684A JPS60237441A JP S60237441 A JPS60237441 A JP S60237441A JP 59093716 A JP59093716 A JP 59093716A JP 9371684 A JP9371684 A JP 9371684A JP S60237441 A JPS60237441 A JP S60237441A
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Akira Okazaki
岡崎 暁
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/54Absorbers, e.g. of opaque materials
    • G03F1/56Organic absorbers, e.g. of photo-resists
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、着色画像の形成法に関し、さらに詳しくは、
フィルター内蔵型フルカラー液晶表示装置、カラーファ
クシミリ、3管式または単管式カラービデオカメラ、固
体カラービデオカメラなどに装着されるカラーフィルタ
ーあるいはステンドグラスなどに用いられる着色画像の
形成法に関づる。
〔発明の技術的背景ならびにその問題点〕近年家庭用カ
ラービデオカメラに対する関心が急速に高まりつつある
。家紅用カラービデオカメラは、小型であること、軽量
であることそして高価でないことが要求されており、こ
のため2種または3種以上の色相を異にする極めて微細
なストライブが透明基板上に設りられたカラーフィルタ
ーを撮像管に装着した単管式カラービデオカメラが用い
られている。また同様の目的で、カラービ、デオカメラ
の固体撮像素子の受光面上に直接密着するようにしてカ
ラーフィルターを設けた固体カラービデオカメラも提案
されている。
一方、液晶表示装置においても、表示される画像のカラ
ー化に対する関心が高まっており、そのための1つの方
法として、平行な一対の透明電極間に液晶材料を封入し
、透明電極を不連続な微細区域に分割するどともに、こ
の透明電極上の微細区域のそれぞれに赤、青、緑のいず
れか1色から選ばれたカラーを交互にパターン状に設り
る方式あるいは基板上にカラーフィルターを形成した後
透明電極を設ける方式などが提案されている。
このようにカラービデオカメラあるいはカラー液晶表示
装置などに用いられるカラーフィルターは、色相の異な
る2種または3種以上の色に着色された極めて微細な領
域を透明基板あるいは固体撮像索子上に設けることによ
って形成されている。
一般に、微細な領域を色相の異なる2種または3種以上
の色に着色するには、透明な着色画像(画素)を形成し
うる感光性樹脂が用いられている。
従来、感光性樹脂により2種または3種以上の透明着色
画像を形成するには、まずポリビニルアルコール、ポリ
ビニルピロリドン、ゼラチン、カゼイン、グリユーなど
の親水性樹脂に、感光拐として重クロム酸塩、クロム酸
塩あるいはジアゾ化合物などが添加されてなる感光性樹
脂を、透明基板あるいは固体撮像素子などの支持体上に
塗布して透明感光性樹脂層を形成する。次いで、この感
光性樹脂層上に所定形状の間ロバターンを右するマスク
を載置し、露光および現像を行なって第1樹脂層を形成
し、この第1樹脂層を所望の染料で染色して第1透明着
色画像を形成づ−る。次に、この第1透明着色画像上に
、染料の移行を防止Jるために、疎水性樹脂からなる透
明な防染用樹脂膜を形成した後、第1透明着色画像の形
成法と同様にして第2透明着色画像を形成する。上記の
操作を繰り返すことによって、2種または3種以上の色
に着色された透明着色画像が支持体上形成される。
ところが上記の方法によれば、各色ごとに感光性樹脂層
を所定形状にパターニングしな【プればならず、しかも
各色ごとに透明な防染用樹脂膜を形成しなければ、複数
色の透明画像を設りることができないため、製造工程が
極めて煩雑であるという欠点がある。さらに、ある種の
カラーフィルターは、その使用中に加熱される場合があ
るが、上記方法では染料を用いて透明画像が各色されて
いるため、冑られるカラーフィルターの耐熱性あるいは
耐光性には限界があり、この点で満足のいくものではな
かった。
また、上記の方法によれば、透明基板上に設【プられる
着色画像層の膜厚にばらつきが生じ、たとえばカラー液
晶表示装置などにこの着色画像を用いると、各色ごとに
電圧時下現象にばらつきが生ずるという問題点があった
〔発明の目的ならびにその概要〕
本発明は、従来技術に伴なう上記のような欠点あるいは
問題点を一挙に解決しようとするものであり、以下のよ
うな目的を有する。
(a) カラーフィルターなどのように2種または3種
以上に着色された透明着色画像を隣接して支持体上に設
ける際に、各色ごとに透明な防染用樹脂膜を形成する必
要がなく、したがって製造]二程を簡略化しつる透明な
着色画像の形成法を提供すること。
(1)) 耐熱性ならびに耐光性に優れた透明な着色画
像を提供しうる透明な着色画像の形成法を提供すること
(C) 着色画像層の膜厚のばらつきが小さく、したが
って液晶表示装置に用いた場合に電圧降下にばらつぎの
小さい透明な着色画像の形成法を提供すること。
上記目的を達成するため、本発明に係る着色画像の形成
法は、支持体上に、粒径1μm以上の粒子が全粒子の1
0重昂%以下であるような粒径分布を右する顔料が分散
された感光性ポリイミド被膜を形成し、次いでこの感光
性ポリイミド被膜をパターン露光した後、現像してパタ
ーン状の着色画像を形成し、さらに必要に応じて上記操
作を複数回繰り返して複数色の着色画像をパターン状に
形成することを特徴としている。
従来、ある種の顔料を支持体上に付着させてなる着色物
品は知られているが、そこぐ用いられている顔料の粒径
は、本発明のそれと比較して著しく大きいため透明性が
不充分であって、マスキングなどの用途にしか使用され
ておらず、たとえカラーフィルターなどに使用したとし
ても透過率が低いため充分な感度を有ターるものは得ら
れない。
また従来、支持体上に顔料を分散させた樹脂層を形成す
る揚台、顔料の粒径をどの範囲に制t111づれば得ら
れる着色画像の透明性が高められるかということは知ら
れていなかった。本発明【ま、特定の粒径分布を有する
顔料を分散させた感光性ポリイミド膜により着色層を形
成するようにずれば、光の散乱にJこる光透過率の低下
が抑えられ、得られる着色画像の透明性が実用に耐える
程度に充分に大きくなるという事実を見出したことに基
づいている。
〔発明の詳細な説明〕
以下、本発明に係る着色画像の形成法を図面を参照しな
がら説明する。
図(a)〜(d)は、本発明に係る着色画像の形成法を
示す断面工程図である。本発明の方法においては、まず
図(a)に示すように、支持体1上に、たとえば赤色顔
料が分布された感光性ポリイミド被膜2を刷毛塗り法、
[1−ルコート法、浸漬法、回転塗布法、スプレー法な
どにより、0.2−3.0μmの膜厚で形成する。
支持体1としては、ソーダライムガラス、パイレックス
ガラス、石英ガラス、合成石英板、光学用樹脂板、透明
樹脂フィルム(たとえばポリエステルフィルム)などの
透明支持体に加えてブラウン管基板、TFTなどの能動
素子、カラーファクシミリ用センサ、固体層像素子など
の不透明支持体が用いられうる。また支持体に設【ノら
れたパターン状の透明電極上に本発明に係る着色画像を
形成することもでき、この意味で透明電極なども支持体
1となりうる。本発明にて骨られる透明な着色画像を、
カラー液晶表示装置に用いる場合には、支持体および導
電膜は透明であることが好ましい。
本明I書においてし顔料」とは、有機溶剤あるいは水に
fl溶性である着色粉末を意味し、有機顔料および無機
顔料を含めて意味する。なお、ある種の染料(たとえば
分散染料)は、有機溶剤あるいは水に難溶性であるもの
があり、この種の染料は本発明における「顔料」として
用いることができる。
有機顔料どしては、アゾレーキ系、不溶性アゾ系、綜合
アゾ系、フタロシアニン系、主ナクリドン系、ジオキサ
ジン系、イソインドリノン系、アントラキノン系、ペリ
ノン系、チオインジコ系、ペリレン系、あるいはこれら
の顔料の混合物が用いられうる。
無機顔料としては、ミロリブルー、酸化鉄、コバルト紫
、マンガン紫、群青、紺青、コバルトブルー、セルリア
ンブルー、ごリアジン、エメラルドグリーン、コバルト
グリーンなどが用いられうる。
上記顔料は、粒径1μm以上の粒子が全顔料粒子の10
重川用以下、好ましくは5重量%以下、さらに好ましく
は2重量%以下であるような粒径分布を有していること
が好ましい。粒径1μm以上の粒子が全顔料粒子の10
重量%を越えると、光の散乱などによって光の透過率が
低下するため好ましくない。同時に、本発明に用いられ
つる顔料は、粒径0.01〜0.7μm1好ましくは0
.01〜0.3μmの粒子が全顔料粒子の20重量%以
上、好ましくは30重偵%以上、さらに好ましくは50
重量%以上であるような粒径分布を有していることが望
ましい。
上記顔料が分散される感光性ポリイミド樹脂としては、
イミド結合により構成されるポリイミドまたアミド結合
とイミド結合により構成されるポリアミドイミド、およ
びエステル結合とイミド結合により構成されるポリエス
テルイミドなどがある。さらにたとえば特公昭55−1
0181公報に開示されている、ピロメリット酸無水物
と、4.4′−ジアミノジフェニルエーテルどの縮合物
を脱水閉環させたポリイミドも用いられる。、上記のよ
うにして顔料が分布された感光性ポリイミド被膜2を支
持体1上に形成したのら、この感光性ポリイミド被膜2
を常法に従い所定形状にパターニングして、着色画像2
a(たとえば赤色)を形成する(図(b))。パターニ
ングの方法としては、支持体上に形成された感光性ポリ
イミド被膜に所定パターンのマスクを介して紫外線など
を照射し、これにより不溶化したパターンを残して、非
露光部を溶解除去することによりパターン露光部を瑛像
し、ざらに必要に応じてこれを加熱などにより乾燥させ
るとともにさらに硬化させる方法がとられる。
次に上記と同様にして、着色画像2aとは異なる色を右
り−る着色画像2b(たとえば緑色)を着色画像2aに
隣接するようにして設(Jる(図(C))。さらに必要
に応じて、着色画像2aおよび2bとは異なる色を有す
る着色画像2c(たとえば青色)を、上記と同様にして
、着色画像2aと2bどの間に狭まれるようにして設(
Jる(図(d))。
なお、必要に応じては、3色より多い複数色の着色画像
を支持体上に設番ブることも可能である。
本発明に係る着色画像を、たとえば液晶などのカラーフ
ィルタとして用いる場合には、特定の粒径を有する顔料
が分散されてなるポリイミド被膜を、布などによってこ
するなどして配向処理することが好ましい。このような
場合には、ポリイミド被膜は着色層としての働きのtよ
かに配向層しての働きをも有する。
本発明により冑られる透明な着色画像に、20’0’C
Pi!度で2時間程度加熱処理を加えても、その分光透
過率特性はほとんど変化Uず、優れた耐熱性を有してい
る。なお、一般の染料によって染色された着色画像は、
200 ’Cで数寸分間加熱されるど大きく退色づ−る
また、本発明により得られる透明な着色画像は、ノJ−
ボンアークランプで30時間程麿まで光照射しても色相
の変化【よ認められず、優れた耐光性を有している。
なお、本発明に係る着色画像を液晶表示装置に用いる場
合には、ポリイミド着色画像上に、透明導電膜、配向層
をさらに設けてもよく、さらに支持体上の光源側に偏光
板を設けてもよい。
〔発明の効果〕
本発明に係る着色画像の形成法は、特定の粒径分布を有
する顔料が分散されて4よる感光性ポリイミド被膜をパ
ターン露光して形成されでいるので、以下のような効果
を右づる。
(a) 複数色の着色画像を支持体上に設りる場合に、
各色ごとに透明な防染用樹脂膜を形成する必要がなく、
したがって製造工程を簡素化できる。
(b) 耐熱性ならびに耐光性に優れた着色画像が得ら
れる〜 (C) 着色画像層の膜厚のばらつきが小さく、したが
って液晶表示装置に用いる場合に電圧降下のばらつきが
小さい。
(d) 液晶表示装置に用いる場合に、ポリイミド名色
画像を配向層して機能させることも可能と(1つ、装置
の簡素化が図れる。
以下本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら
の実施例に限定されるものではない。
友胤麗ユ クロモノタルレッドBRN (ヂハガイギー礼製赤色顔
料)1重量部と、感光性ポリイミドぐある固形分17%
の7オト:−ス(東しく株)製)をN−メチル−2−ピ
ロリドンに溶解させて得られた()4トニース:ピ口リ
ドン−1=3(重量比))溶液10車間部とを混合し、
得られた況合物を三本[1−ルで練肉分散した後、12
00rpmT″遠心分離し1μmのグラスフィルターで
瀘過した、。
次いで得られた赤色感光性樹脂組成物を1 mm厚みパ
イレックスガラス基板上に1μmの膜厚に回転塗布し、
80℃で30分間乾燥し、所定形状のマスクを介して超
高圧水銀ランプで密着露光した、。
次にパターン露光された感光性樹脂組成物をスプレー現
像し、非露光部を選択的に溶解除去した後、170℃で
60分間加熱して、赤色画像を形成した。
次に上記感光性ポリイミド溶液10重量部とりオノール
グリーン2Y−301(東洋インキ製造(株)製 緑色
顔料)1重量部とを添加混合した後、得られた混合物を
三本ロールで練肉分散した後120Orpmで遠心分離
し、1μmのグラスフィルターで濾過した。次いで得ら
れた緑色感光性樹脂組成物を、上記の赤色透明画像が設
りられてガラス基板の全面上に1μmの膜厚で回転塗布
し、80℃で30分間乾燥し1=後、所定のマスクを精
密に位置合せした後、密着露光し、現像により非露光部
を選択的に溶解除去、170℃60分間のベーキングを
行ない、上記赤色画像に隣接りるようにして緑色画像を
形成した。
同様にして上記感光性ポリイミド溶液10重M部とクロ
モブルーA3R(チバガイギ社製 青色顔料)1重量部
とを添加混合し、青られた混合物を3本ロールで練肉分
散した4u120Orpmで遠心分散し、1μmのグラ
スフィルターで濾過した。
次いで得られた青色感光性樹脂組成物を上記の赤色おJ
:ひ緑色透明画像が設けられたガラス基板の全面上に1
μmの膜厚で回転塗布し、80℃30分間乾燥した後、
所定のマスクを精密に位置合せして、密着露光し、現像
により非露光部を選択的に溶解除去して乾燥し上記緑色
画像に隣接するようにして青色画像を形成し本発明のる
色画像を形成した。
このようにして得られた着色画像上に In2o3 (5%5n02)の透明¥4電膜を低温ス
パッタ法により800 の膜厚で設り、次いでポリイミ
ドをこの上に1000 の膜厚で塗布形成した後、ラビ
ング処理を行ない、対向電極と組み合せた。次いで液晶
を注入してセルの組み立てを行ない、着色画像をセル内
部に形成したフルカラー液晶表示装置に適用したどころ
Jぐれた特性が得られた。
なお、赤色画像中での顔料の粒径分布をCoutler
 N4サブミクロン粒子アナライザーにより分析したと
ころ、平均粒径ば0.3μmであり、0.5μm以上の
粒径を右する粒子は全粒子の3%以下であった。同様に
緑色画像および青色画像中での顔料の粒径分布を分析し
たところ平均粒径はそれぞれ0.3μmであり、0.5
μm以上の粒径を有する粒子は全粒子のそれぞれ3%以
下であった。
実施例2 1 mm厚のソーダラーrムガラスである透明支持体上
にS:O2を膜厚1000 にスパック法で成膜後、I
n2O3(5wt% 5no2)を膜厚800 にスパ
ッタ成膜し、透明導電膜を形成した。次にポジ型のレジ
ストであるFHPR(富士薬品工業(株)製)を塗布、
乾燥後所定パターン形状のマスクにより密着電光し現像
ベーキング後塩化鉄溶液により透明導電膜をエツチング
した後レジストを剥離し、透明電極を所定形状にパター
ン化した。
次いで、実施例1と同様にして着色画像を前記透明電極
」二に形成した。
すなわちクロモフタルレッドBRN (チバガイギー社
製赤色顔料)1重量部と、感光性ポリイミドで固形分1
7%の7オトニース(東しく株)製)をN−メチル−2
−ピロリドンに溶解させて得られた溶液(フォトニース
:ピ(]]リドンー1−3重量比)10重量部とを混合
し、得られた混合物を三本ロールで練肉分散した後、1
20Orpmで遠心分離し1μmのグラスフィルターで
連通した。次いで1qられた赤色感光性樹脂組成物をパ
ターン状に設りられた上記透明電極の一部上に1μmの
膜厚に回転塗布し、80℃で30分間乾燥し、所定形状
のマスクを介して超高圧水銀ランプで密着露光した。次
にパターン露光された感光性樹脂組成物をスプレー現像
し、非露光部を選択的に溶解除去した後、170℃で6
0分間加熱して、赤色画像を形成した。
次に上記感光性ポリイミド溶液10重量部とりオノール
グリーン2Y−301(東洋インキ製造(株)製 緑色
顔料)1重L6部とを添加混合した後、得られた混合物
を三本ロールで練肉分散した後1200rpmで遠心分
離し、1μmのグラスフィルターで濾過した。次いで得
られた緑色感光性樹脂組成物を、赤色画像が設けられて
いないパターン状の透明電極の一部上に1μm(D膜厚
で回転塗布し、80℃で30分間乾燥した後、所定のマ
スクを精密に位置合せした後、密着露光し、現像により
非露光部を選択的に溶解除去、170℃60分間のベー
キングを行ない、上記赤色ii!8i@に隣接するよう
にして緑色画像を形成した。
同様にして上記感光性ポリイミド溶液10重尾部とクロ
モブルーA3R(チバガイギ社製 青色顔料)1重量部
とを添加混合し、得られた混合物を3木O−ルで練肉分
散した後120Orpmで遠心分離し、1μmのグラス
フィルターで濾過した。
次いで得られた青色感光性樹脂組成物を、赤色画像およ
び緑色画像が設りられていないパターン状の上記透明電
極上に1μmの膜厚で回転塗布し、80°C30分間乾
燥した後、所定のマスクを精密に位置合せして、密着露
光し、現像により非露光部を選択的に溶解除去して乾燥
し上記緑色画像に隣接づるようにして青色画像を形成し
本発明の着色画像を形成した。
このようにして得られた着色画像の表面をラビング処理
をして、対向電極と組み合せ、液晶を注入してセルの組
み立てを行ない、着色画像をセル内部に形成したフルカ
ラー液晶表示装置を作成したところ、すぐれた特性が1
qられた。
なお、赤色画像中での顔料の粒径分布をCoutler
 N4サブミクロン粒子アナライザーにJ:り分析し1
=ところ、平均粒径は0.3μm(・・あり、0.5μ
m以上の粒径を右する粒子は全粒子の3%以下であった
。同様に緑色画像および青色画像中での顔1i+の粒径
分布を分析したところ平均粒径はそれぞれ0.3μmで
あり、0.5μm以上の粒径を有する粒子は全粒子のそ
れぞれ3%以下であった。
【図面の簡単な説明】
図(a)〜(d)は、本発明に係る着色画像の形成法の
各工程を示す断面図て゛ある。 1・・・支持体、2・・・ポリイミドむ色画像。 出願人代理人 猪 股 清 手続補正書(ブ斌) 昭和60年3月/j IEI 特許庁長官 志賀 学 殿 1 事件の表示 昭和59年 特許願 第93716号 2 発明の名称 着色画像の形成法 3 補正をする者 事件との関係 特¥1出願人 (289)大日本印刷株式会社 4代理人 昭 和 59年 7 月 11日 (発送日 昭和59年″を月31日) 6 補正の対象 委任状、図面及び明細書の[図面の簡単な説明、1の欄
7’?in正の内容 (1) 委任状を別紙の通り補正する。 (2) 図面を別紙、朱書の通り補正する。 (3) 明1111i1)第21頁、第2行の1図(a
) 〜(d)Jを[第1図(a)〜(d)」に補正する
。 第工侶

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 支持体上に、粒径1μm以上の粒子が全粒子の1
    0重恒%以下であるような粒径分布を有する顔料が分散
    された感光性ポリイミド被膜を形成し、次いでこの感光
    性ポリイミド被膜をパターン露光した後現像してパター
    ン状の着色画像を形成し、さらに必要に応じて上記操作
    を複数回繰り返して複数色の着色画像をパターン状に形
    成することを特徴とする、6色画像の形成法。 2、 前記支持体または前記着色画像の上に所定パター
    ンの透明導電膜を特徴する特許請求の範囲第1項に記載
    の方法。 3、 前記顔料が、粒径1μm以上の粒子が全粒子の5
    重量%以下であるような粒径分布を有する、特ム′l請
    求の範囲第1項に記載の方法。 4、 前記顔料が、粒径1μm1以上の粒子が全粒子の
    10重量%以下であり、かつ、粒径0.01〜0.7μ
    mの粒子が全粒子の20重M%以上であるような粒径分
    布を有づ−る、特許請求の範囲第1項に記載の方法。 5、 前記顔料が、粒径1μm以上の粒子が全粒子の5
    重量%以下であり、かつ、粒径0.01〜0.7μmの
    粒子が全粒子の30重四%以上であるような粒径分布を
    有する、特許請求の範囲第1項に記載の方法。
JP59093716A 1984-05-10 1984-05-10 カラーフィルターの形成法 Expired - Lifetime JPH0812419B2 (ja)

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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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