JPH05874Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は電子や陽子などの荷電粒子線による
照射範囲とその照射強度を同時に測定するような
荷電粒子線検出器に関する。

〔従来の技術〕

従来、電子や陽子などの荷電粒子線を対象物に
照射する場合、その照射範囲と照射強度とを測定
する方法として、フアラデーカツプなどの荷電粒
子線捕集器を照射範囲を含む平面に沿つて移動さ
せることにより照射範囲と照射強度とを測定した
り、多数の小型の荷電粒子線捕集器を平面上に配
列させることにより測定していた。また、照射範
囲の測定には螢光面による発光部分を観察するこ
となども行なわれていた。

しかし、これら従来の方法には多数の問題点が
ある。例えば、荷電粒子線捕集器を移動させる方
法においては、通常これらの操作は高真空中で行
なう必要があるため、その移動を精度よく行なう
ことは困難であり、その移動機構は高価なものと
なる。また、荷電粒子線捕集器を配列させる方法
においては、精度よく照射範囲を測定するために
は、できる限り小型の捕集器を多数配列させる必
要があり、それだけ検出器は複雑になり、高価な
ものとなる。さらに、螢光面による発光部分を測
定する方法においては照射範囲は測定できるが、
照射強度の測定は困難である。

〔考案が解決しようとする問題点〕

以上のように、従来の荷電粒子線検出器におい
ては、フアラデーカツプのような荷電粒子線捕集
器を用いるものでは、照射範囲を精度よく測定す
ることは困難であり、螢光面の発光を用いるもの
では照射強度を精度よく測定することが困難であ
り、要するに、従来の荷電粒子線検出器において
は照射強度と照射範囲を精度よく同時に測定する
ことができないという問題点があつた。

この考案は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、電子や陽子などの荷電粒子線
を対象物に照射する場合、その照射強度と照射範
囲とを同時に測定できる荷電粒子線検出器を得る
ことを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案の荷電粒子線検出器は、少くとも１つ
の貫通孔が形成され、荷電粒子線が照射されると
可視光を発する螢光板、及び上記貫通孔に対面し
て設けられた荷電粒子線捕集器を備えたものであ
る。

〔作用〕

この考案においては螢光板により荷電粒子線の
照射範囲を可視光を発して示すことができ、荷電
粒子線捕集器によりその照射強度を測定できるの
で、荷電粒子線の照射範囲と照射強度を同時に測
定することができる。

〔実施例〕

この考案による荷電粒子線検出器はフアラデー
カツプのような荷電粒子線捕集器と螢光板とを組
合わせたものであり、捕集器により照射強度を、
螢光板により照射範囲をそれぞれ精度よく測定し
ようとするものである。即ち、この考案による検
出器は、荷電粒子線に対してほぼ垂直になるよう
に設置された螢光板と、この螢光板に設けられた
貫通孔に対面するように螢光板の裏側に設置され
た検出器とからなり、螢光板を照射する荷電粒子
線はそれを可視光に発光させて照射範囲を示し、
螢光板の貫通穴を照射する荷電粒子線は捕集器に
入り、照射強度を与える。ここで、螢光板には荷
電粒子線の種類やそのエネルギに応じて、可視光
を発光する螢光材料を使用し、捕集器は照射範囲
の全域の照射強度が測定できるように十分な数を
設置するとより精度よく測定できる。

以下、この考案の一実施例を図について説明す
る。第１図の一部切欠いて示す斜視図において、
１は螢光板、２は螢光板１に設けられた既知の開
口面積を有する貫通孔、３は貫通孔２に対面して
設けられた荷電粒子線捕集器である。また第２図
は上記螢光板１と荷電粒子線捕集器３の詳細を示
す拡大断面図であり、４は多数の貫通孔２を有す
る基板で、薄い厚さのガラス板または金属板等か
らなり、５は基板４の荷電粒子線の到達面側の表
面に設けられた螢光体膜で、荷電粒子線の照射で
可視光を発する螢光体、例えば酸化亜鉛などから
なり、６は螢光体膜５、貫通孔２の側面部及び荷
電粒子線捕集器３側の捕集器対面部に設けられた
導電性膜で、アルミニウムまたはチタン等の蒸着
膜などからなり、飛来する荷電粒子線のうち、蓄
積される恐れのある荷電粒子線例えば電子を逃が
すためのものである。矢印は荷電粒子線の照射方
向を示す。

次に、この考案による荷電粒子線検出器の動作
について説明する。この検出器の螢光板１に到達
した荷電粒子線は、螢光膜５を照射したものはそ
れを可視光に発光させ、貫通孔２を通過したもの
は荷電粒子線捕集器３に入射する。従つて、可視
光を観察すれば荷電粒子線の照射範囲が判明し、
捕集器３に流れる電流を測定すれば荷電粒子線の
電流密度を知ることができる。この場合、可視光
の観察は、基板４に透明なもの、例えばガラス板
などを使用すれば荷電粒子線捕集器３側より行な
えばよく、また、導電性膜６に透光性のもの、例
えば酸化インジウム膜あるいは金属金網などを使
用すれば荷電粒子線到達側より行なえばよい。照
射範囲はその可視光発光を肉眼で目視してもよい
が、カセトメータのような望遠式測長器にて計測
してもよい。また、荷電粒子線の電流密度は通常
の電流計にて測定した捕集器に流れる電流を貫通
孔２の開口面積で割算して求めればよい。螢光板
１上における貫通孔２及びそれに対面して設ける
荷電粒子線捕集器３は荷電粒子線の電流密度の値
を知りたい箇所に配置すればよいが、これらの箇
所では当然螢光体膜５はなく、その可視光による
照射範囲の表示はされないので、照射範囲の計測
に支承のないように貫通孔２の配列を行なう必要
がある。

なお、上記実施例では螢光板１に設けた貫通孔
２として、円形状のものを示したが、正方形、正
六角形などの貫通孔でもよく、また、導電性膜６
として細線を織つて作つた金網を使用することも
できる。

また、導電性膜６は基板４に金属板を使用し、
螢光体膜５に電気伝導性の大きなもの、例えば酸
化亜鉛螢光体を使用すれば不要となり、この発明
による荷電粒子線検出器はさらに簡単な構造とな
る。

上記のように、この荷電粒子線検出器は、複雑
な移動機構等を必要とせず螢光板と荷電粒子線捕
集器で構成され、簡単に得られる。

〔考案の効果〕

以上のように、この考案によれば、少くとも１
つの貫通孔が形成され荷電粒子線が照射されると
可視光を発する螢光板、及び上記貫通孔に対面し
て設けられた荷電粒子線捕集器を備えたものにす
ることにより、荷電粒子線の照射範囲とその照射
強度が同時に計測できる荷電粒子線検出器が得ら
れる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例の荷電粒子線検出
器を一部切欠いて示す斜視図で、第２図は第１図
の要部拡大断面図である。 図において、１は螢光板、２は貫通孔、３は荷
電粒子線検出器である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 少くとも１つの貫通孔が形成され、荷電粒子
   線が照射されると可視光を発する蛍光板、及び
   上記貫通孔に対面して設けられた荷電粒子線捕
   集器を備えた荷電粒子線検出器。 (2) 蛍光板には複数個の貫通孔が形成され、上記
   貫通孔に対面して複数個の荷電粒子線捕集器が
   備えられている実用新案登録請求の範囲第(1)項
   記載の荷電粒子線検出器。 (3) 蛍光板は貫通孔を有する基板、この基板の荷
   電粒子線到達面に設けられ、荷電粒子線が照射
   されると可視光を発する蛍光体膜、並びにこの
   蛍光体膜、上記貫通孔の側面部及び上記基板の
   荷電粒子線捕集器対向部に設けられた可視光透
   過性導電膜で構成されている実用新案登録請求
   の範囲第(1)項又は第(2)項記載の荷電粒子線検出
   器。