JPH0588016A - カラーフイルターの製造方法 - Google Patents
カラーフイルターの製造方法Info
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- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高解像度のカラー表示用に適したカラーフィ
ルターを生産性良く、製造する方法を提供する。 【構成】 基板上に導電層又は透明導電層を形成し、導
電層上に磁性体パターンマスクを置き、裏面に磁石を装
着してマスクを固定し、電着塗装法により導電層上に着
色層を形成し、着色層間の露出した導電層をエッチング
後、着色層のみ又は着色層及び透明導電層を共に接着剤
を塗布した透明基板に転写する。あるいは、エッチング
せず、着色層のみを接着剤を塗布した透明基板に転写す
ることを特徴とする。
ルターを生産性良く、製造する方法を提供する。 【構成】 基板上に導電層又は透明導電層を形成し、導
電層上に磁性体パターンマスクを置き、裏面に磁石を装
着してマスクを固定し、電着塗装法により導電層上に着
色層を形成し、着色層間の露出した導電層をエッチング
後、着色層のみ又は着色層及び透明導電層を共に接着剤
を塗布した透明基板に転写する。あるいは、エッチング
せず、着色層のみを接着剤を塗布した透明基板に転写す
ることを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は新規なカラーフィルター
の製法に関する。
の製法に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶カラーテレビ等の各種の液晶カラー
表示装置用カラーフィルターには種々の型のものが考え
られるが、大別するとパターン化された透明電極の上又
は下に着色層を設けるもの、透明基板上にパターン化さ
れた着色層を設けるものとがある。
表示装置用カラーフィルターには種々の型のものが考え
られるが、大別するとパターン化された透明電極の上又
は下に着色層を設けるもの、透明基板上にパターン化さ
れた着色層を設けるものとがある。
【0003】また、着色層の配列の方法としては、各着
色層をストライプ状に交互に配列するもの、独立した多
数の多角形状の着色層を特定の配列パターンで配置する
ものがある。
色層をストライプ状に交互に配列するもの、独立した多
数の多角形状の着色層を特定の配列パターンで配置する
ものがある。
【0004】一般的にカラーフィルターを製造する方法
としては、スクリーン印刷などの印刷による方法、フォ
トリソグラフィーによる方法が行われている。しかし、
印刷法ではパターンの微細化に限度があり最近のカラー
表示装置の高解像度化に対応するのが難しくなってきて
いる。一方フォトリソグラフィー法によればパターンの
微細化には対応できるが、カラーフィルターの製造工程
で多数回のフォトグラフィーを繰り返す必要があり、更
に広く行われている染色法では防染工程を必要とするた
め工程が非常に複雑で生産性、歩留まりが低い。
としては、スクリーン印刷などの印刷による方法、フォ
トリソグラフィーによる方法が行われている。しかし、
印刷法ではパターンの微細化に限度があり最近のカラー
表示装置の高解像度化に対応するのが難しくなってきて
いる。一方フォトリソグラフィー法によればパターンの
微細化には対応できるが、カラーフィルターの製造工程
で多数回のフォトグラフィーを繰り返す必要があり、更
に広く行われている染色法では防染工程を必要とするた
め工程が非常に複雑で生産性、歩留まりが低い。
【0005】これらの欠点を解決する方法として電着塗
装法によるカラーフィルターの製造法が種々提案されて
いる。
装法によるカラーフィルターの製造法が種々提案されて
いる。
【0006】電着塗装法を応用する方法としては、つぎ
のような方法がある。 (1) 基板上に形成された透明導電性膜をパターンニ
ングして透明電極を形成し、パターン化された透明電極
の同じ色に着色されるべき箇所のみを結線して着色電着
浴中で電着塗装し、着色層を形成する。他の色について
も同様にして着色層を形成する。形成された着色透明電
極基板をそのままカラーフィルターとする。また同様な
方法で形成された着色電極基板の着色層または着色層及
び電極を透明基板に転写してカラーフィルターとする。 (2) 基板上に透明導電膜層を形成し、その上にポジ
型感光性樹脂組成物膜を形成した後所定のパターンを有
するポジマスクを介して露光した後、露光部を現像によ
り除去した部分パターン化された該基板を着色電着浴中
で電着塗装を行ない、露出した導電性膜上に着色層を形
成する。同様にフォトリソグラフィー、電着塗装を繰り
返し多色の着色層を透明電極膜上に形成した後基板全面
に露光し、現像を行ない基板上のレジスト膜を除去し露
出した導電膜部分をエッチング除去してカラーフィルタ
ーとする。 (3) また、他の方法として前記の部分パターン化導
電基板を電極として電着塗装を行ない所定の位置に着色
層を形成し、該着色層を転写用基板に転写する。他の色
についても同様の操作を繰り返し、ついで着色層を有す
る転写用基板を透明基板に圧着し着色層を転写してカラ
ーフィルターとする方法が提案されている。
のような方法がある。 (1) 基板上に形成された透明導電性膜をパターンニ
ングして透明電極を形成し、パターン化された透明電極
の同じ色に着色されるべき箇所のみを結線して着色電着
浴中で電着塗装し、着色層を形成する。他の色について
も同様にして着色層を形成する。形成された着色透明電
極基板をそのままカラーフィルターとする。また同様な
方法で形成された着色電極基板の着色層または着色層及
び電極を透明基板に転写してカラーフィルターとする。 (2) 基板上に透明導電膜層を形成し、その上にポジ
型感光性樹脂組成物膜を形成した後所定のパターンを有
するポジマスクを介して露光した後、露光部を現像によ
り除去した部分パターン化された該基板を着色電着浴中
で電着塗装を行ない、露出した導電性膜上に着色層を形
成する。同様にフォトリソグラフィー、電着塗装を繰り
返し多色の着色層を透明電極膜上に形成した後基板全面
に露光し、現像を行ない基板上のレジスト膜を除去し露
出した導電膜部分をエッチング除去してカラーフィルタ
ーとする。 (3) また、他の方法として前記の部分パターン化導
電基板を電極として電着塗装を行ない所定の位置に着色
層を形成し、該着色層を転写用基板に転写する。他の色
についても同様の操作を繰り返し、ついで着色層を有す
る転写用基板を透明基板に圧着し着色層を転写してカラ
ーフィルターとする方法が提案されている。
【0007】
【発明解決しようとする課題】しかし、(1)の方法で
は電着塗装に際して微細にパターンニングされた導電性
電極を非常に細かい部分に結線せねばならず困難かつ信
頼性に欠ける。特に着色電極が多数個の独立した多角形
パターンとして配列される場合は、当該結線箇所が非常
に多数となり、結局ストライプ状パターンのみが実際上
可能である。
は電着塗装に際して微細にパターンニングされた導電性
電極を非常に細かい部分に結線せねばならず困難かつ信
頼性に欠ける。特に着色電極が多数個の独立した多角形
パターンとして配列される場合は、当該結線箇所が非常
に多数となり、結局ストライプ状パターンのみが実際上
可能である。
【0008】(2)の方法ではフォトレジスト膜の形成
は1回で良いが各色の電着を行なうために色数だけ露
光、現象を繰り返す必要がありまた着色層形成後の全面
露光、導電膜のエッチング工程が必要となりやはり工程
はかなり複雑であり、生産性、歩留まりの点から好まし
くない。
は1回で良いが各色の電着を行なうために色数だけ露
光、現象を繰り返す必要がありまた着色層形成後の全面
露光、導電膜のエッチング工程が必要となりやはり工程
はかなり複雑であり、生産性、歩留まりの点から好まし
くない。
【0009】また、(3)の方法では各色毎にフォトリ
ソグラフィーによるパターンニングの必要はないが、精
密な位置合せを要する転写工程を必要な色数プラス1回
繰り返す必要があり、工程が複雑となり生産性、歩留ま
りの面から好ましくない。更に電着用マスクとして使用
される部分パターン化導電基板は、パターンを形成して
いるのは感光性樹脂であり、多数回の使用により基板か
らの剥れ、膨潤等により変形するため,不良の発生、精
度低下をもたらし、使用回数に制限がある。そして、一
定の使用回数毎にフォトリソグラフィーによるパターニ
ングをやり直し、マスクを再作成する必要を生じる。
ソグラフィーによるパターンニングの必要はないが、精
密な位置合せを要する転写工程を必要な色数プラス1回
繰り返す必要があり、工程が複雑となり生産性、歩留ま
りの面から好ましくない。更に電着用マスクとして使用
される部分パターン化導電基板は、パターンを形成して
いるのは感光性樹脂であり、多数回の使用により基板か
らの剥れ、膨潤等により変形するため,不良の発生、精
度低下をもたらし、使用回数に制限がある。そして、一
定の使用回数毎にフォトリソグラフィーによるパターニ
ングをやり直し、マスクを再作成する必要を生じる。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記問題点を
解決すべく鋭意研究の結果、電着塗装法と特殊なマスク
とを組み合わせることにより、簡単な工程でカラーフィ
ルター特に高解像度カラー表示装置に必要な独立した微
小な多角形型着色層を特定の位置に配列したカラーフィ
ルターを効率よく製造するのに好適な方法を見出し、本
発明を完成するに至った。
解決すべく鋭意研究の結果、電着塗装法と特殊なマスク
とを組み合わせることにより、簡単な工程でカラーフィ
ルター特に高解像度カラー表示装置に必要な独立した微
小な多角形型着色層を特定の位置に配列したカラーフィ
ルターを効率よく製造するのに好適な方法を見出し、本
発明を完成するに至った。
【0011】すなわち本発明は、 「1. (a)導電層を有する基板上に、(b)該導電
層と電気的に絶縁された所定のパターンを有する磁性体
マスクを置き裏面に磁石を装着してマスクを固定し、
(c)マスクを装着した該基板を所定の色の電着塗料浴
に浸漬し対極との間に所定量の通電を行ない、電着塗装
法により基板上の露出した導体上に着色層を形成し、
(d)(b)と(c)の工程を繰り返し所定の色の着色
層を導電層上の所定の位置に設け、(e)着色層間の露
出した導電層をエッチング除去し、(f)接着剤を塗布
した透明基板上に該多色着色層をのみ転写し、定着する
ことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 2. 基板上に導電層を形成し、1項記載の(b)〜
(e)の工程により多色着色層を形成した後、エッチン
グされて残った透明導電層とこの導電層上の多色着色層
を接着剤を塗布した透明基板上に転写し、定着すること
を特徴とするカラーフィルターの製造方法。 3. 2項において基板と透明導電層との間に剥離層を
設けることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 4. (a)導電層を有する基板上に、(b)該導電層
と電気的に絶縁された所定のパターンを有する磁性体マ
スクを置き裏面に磁石を装着してマスクを固定し、
(c)マスクを装着した該基板を所定の色の電着塗料浴
に浸漬し対極との間に所定量の通電を行ない、電着塗装
法により基板上の露出した導体上に着色層を形成し、
(d)(b)と(c)の工程を繰り返し所定の色の着色
層を導電層上の所定の位置に形成し、(e)該多色着色
層を接着剤を塗布した透明基板上に転写し、定着するこ
とを特徴とするカラーフィルターの製造方法。」 に関する。
層と電気的に絶縁された所定のパターンを有する磁性体
マスクを置き裏面に磁石を装着してマスクを固定し、
(c)マスクを装着した該基板を所定の色の電着塗料浴
に浸漬し対極との間に所定量の通電を行ない、電着塗装
法により基板上の露出した導体上に着色層を形成し、
(d)(b)と(c)の工程を繰り返し所定の色の着色
層を導電層上の所定の位置に設け、(e)着色層間の露
出した導電層をエッチング除去し、(f)接着剤を塗布
した透明基板上に該多色着色層をのみ転写し、定着する
ことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 2. 基板上に導電層を形成し、1項記載の(b)〜
(e)の工程により多色着色層を形成した後、エッチン
グされて残った透明導電層とこの導電層上の多色着色層
を接着剤を塗布した透明基板上に転写し、定着すること
を特徴とするカラーフィルターの製造方法。 3. 2項において基板と透明導電層との間に剥離層を
設けることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 4. (a)導電層を有する基板上に、(b)該導電層
と電気的に絶縁された所定のパターンを有する磁性体マ
スクを置き裏面に磁石を装着してマスクを固定し、
(c)マスクを装着した該基板を所定の色の電着塗料浴
に浸漬し対極との間に所定量の通電を行ない、電着塗装
法により基板上の露出した導体上に着色層を形成し、
(d)(b)と(c)の工程を繰り返し所定の色の着色
層を導電層上の所定の位置に形成し、(e)該多色着色
層を接着剤を塗布した透明基板上に転写し、定着するこ
とを特徴とするカラーフィルターの製造方法。」 に関する。
【0012】
【作用】本発明を図面を参照して説明する。図1は本発
明の第1の態様の製法における製造工程を示す工程図で
ある。
明の第1の態様の製法における製造工程を示す工程図で
ある。
【0013】基板自身が鉄、ニッケル、銅のような導電
体であるか又は非導電性基板(以下単に基板と呼ぶこと
がある)1上に図1(イ)に示すように金層箔をラミネ
ートしたり、金層蒸着したり、あるいは酸化インジウム
や酸化錫等をスプレーコートやスパッタリング等をする
ことによって導電膜2を形成する。次いで図1(ロ)〜
(ニ)に示すように該導電膜上に所定のパターンを有す
る電気的に絶縁された磁性体製のマスク3を置き裏面よ
り磁石4を装着して固定し所定の着色電着塗料浴中で電
着塗装を繰り返すことにより着色層より成るパターンを
得る。次いで図1(ホ)に示すように露出した導電性膜
を公知の方法、例えば塩化第2鉄溶液、臭化水素溶液等
を用いてエッチングして除去後、該着色パターン上に接
着剤6を塗布した透明基板5を押し付けて着色層のみを
透明基板に転写してカラーフィルターを得る。
体であるか又は非導電性基板(以下単に基板と呼ぶこと
がある)1上に図1(イ)に示すように金層箔をラミネ
ートしたり、金層蒸着したり、あるいは酸化インジウム
や酸化錫等をスプレーコートやスパッタリング等をする
ことによって導電膜2を形成する。次いで図1(ロ)〜
(ニ)に示すように該導電膜上に所定のパターンを有す
る電気的に絶縁された磁性体製のマスク3を置き裏面よ
り磁石4を装着して固定し所定の着色電着塗料浴中で電
着塗装を繰り返すことにより着色層より成るパターンを
得る。次いで図1(ホ)に示すように露出した導電性膜
を公知の方法、例えば塩化第2鉄溶液、臭化水素溶液等
を用いてエッチングして除去後、該着色パターン上に接
着剤6を塗布した透明基板5を押し付けて着色層のみを
透明基板に転写してカラーフィルターを得る。
【0014】図2に本発明の第2の態様における製造工
程を示す。すなわち、図2(イ)に示すように基板1に
スプレーコートやスパッタリング等で酸化インジウムや
酸化錫等の透明導電層2′を形成し、図1(ロ)〜
(ニ)と同様にして得られた図2(ホ)に示すようなエ
ッチングされて残った導電膜上の着色層に図2(ヘ)に
示すように接着剤6を塗布した透明基板5を押し付けて
着色層及び透明導電層を透明基板上に転写する事により
カラーフィルターを得る。
程を示す。すなわち、図2(イ)に示すように基板1に
スプレーコートやスパッタリング等で酸化インジウムや
酸化錫等の透明導電層2′を形成し、図1(ロ)〜
(ニ)と同様にして得られた図2(ホ)に示すようなエ
ッチングされて残った導電膜上の着色層に図2(ヘ)に
示すように接着剤6を塗布した透明基板5を押し付けて
着色層及び透明導電層を透明基板上に転写する事により
カラーフィルターを得る。
【0015】図3に本発明の第3の態様における製造工
程を示す。第3の態様は基板と導電性膜との間に転写を
容易にするために剥離層7を設ける以外は本質的には第
2の態様と同様である。もちろん剥離層が無くとも転写
が円滑に行われる場合は剥離層7を設ける必要はない。
剥離層7としては通常シリコーン薄膜等が有用である。
程を示す。第3の態様は基板と導電性膜との間に転写を
容易にするために剥離層7を設ける以外は本質的には第
2の態様と同様である。もちろん剥離層が無くとも転写
が円滑に行われる場合は剥離層7を設ける必要はない。
剥離層7としては通常シリコーン薄膜等が有用である。
【0016】図4に本発明の第4の態様における製造工
程を示す。第4の態様の場合には図4(イ)〜(ニ)の
工程は第1の態様における図1(イ)〜(ニ)の工程と
同様である。かくして図4(ホ)に示すように導電膜上
に多色着色層を得る。次いで該多色層上に接着剤6を塗
布した透明基板5を押し付けて図4(ヘ)に示すように
着色層を転写したカラーフィルターを得る。
程を示す。第4の態様の場合には図4(イ)〜(ニ)の
工程は第1の態様における図1(イ)〜(ニ)の工程と
同様である。かくして図4(ホ)に示すように導電膜上
に多色着色層を得る。次いで該多色層上に接着剤6を塗
布した透明基板5を押し付けて図4(ヘ)に示すように
着色層を転写したカラーフィルターを得る。
【0017】本発明に使用する基板としては特に制限は
なく、透明のものでも不透明のものでもよいが、転写作
業しやすい点から導電層が形成された状態で膜厚50〜
500μm程度の可撓性のあるものが好ましい。
なく、透明のものでも不透明のものでもよいが、転写作
業しやすい点から導電層が形成された状態で膜厚50〜
500μm程度の可撓性のあるものが好ましい。
【0018】本発明に使用されるマスクは少なくとも基
板表面の導電層に接する側は電気的に絶縁体であり、マ
スク全体としては磁性を示す基材より成っている。パタ
ーンは電着塗装により着色層を形成する部位のみに開口
部を設けた物、または着色層を形成する部位及び既に着
色層が形成された部位に開口部を設けた物でも良い。前
者の場合図1(ハ)等に示したようにマスクは基板表面
より僅かに(着色層の膜厚分)離れるが着色層の膜厚に
比してマスクの厚さが厚いために必要充分な解像力が得
られ、マスクのパターンニングが容易なため好ましい。
板表面の導電層に接する側は電気的に絶縁体であり、マ
スク全体としては磁性を示す基材より成っている。パタ
ーンは電着塗装により着色層を形成する部位のみに開口
部を設けた物、または着色層を形成する部位及び既に着
色層が形成された部位に開口部を設けた物でも良い。前
者の場合図1(ハ)等に示したようにマスクは基板表面
より僅かに(着色層の膜厚分)離れるが着色層の膜厚に
比してマスクの厚さが厚いために必要充分な解像力が得
られ、マスクのパターンニングが容易なため好ましい。
【0019】マスクの製造法としては前記した条件を満
たすもので有れば特に制限は無いが例えば、 (1)鉄、磁性酸化鉄、ニッケル等の磁性体薄板にフォ
トリソグラフィー法等でパターンニング、エッチング処
理して所定の位置に開口部を設けた後、マスクの片面ま
たは両面に有機樹脂、有機無機複合樹脂、無機系樹脂等
を塗布することにより、また有機樹脂やSiO2等の無
機質被膜を蒸着やスッパタリング等で形成することによ
りまたはCVD等により有機高分子、有機無機複合樹脂
膜を形成するなどの手段により電気的絶縁膜を形成す
る。 (2)有機樹脂フイルム、ガラス繊維、無機充填材等を
含む有機樹脂積層板等の片面に前述したような磁性体粉
末を含む塗料を塗布したり、磁性体薄膜をラミネートし
たり、磁性体を蒸着やスパッタリングすることにより強
磁性膜を形成する。次いでドリリング、レーザーアブレ
ージョン等の手段により所定の位置に開口部を設ける。
更に必要に応じてその片面または両面に(1)で挙げた
方法により絶縁膜をその上に設けても良い。 (3)(2)の方法に於て強磁性体膜を形成する前に開
口部を設ける。 等の方法が挙げられる。前述した塗料の方法としては例
えば、刷毛塗り法、スプレー法、ロールコート法、印刷
法、スピンコート法、電着法等が挙げられる。
たすもので有れば特に制限は無いが例えば、 (1)鉄、磁性酸化鉄、ニッケル等の磁性体薄板にフォ
トリソグラフィー法等でパターンニング、エッチング処
理して所定の位置に開口部を設けた後、マスクの片面ま
たは両面に有機樹脂、有機無機複合樹脂、無機系樹脂等
を塗布することにより、また有機樹脂やSiO2等の無
機質被膜を蒸着やスッパタリング等で形成することによ
りまたはCVD等により有機高分子、有機無機複合樹脂
膜を形成するなどの手段により電気的絶縁膜を形成す
る。 (2)有機樹脂フイルム、ガラス繊維、無機充填材等を
含む有機樹脂積層板等の片面に前述したような磁性体粉
末を含む塗料を塗布したり、磁性体薄膜をラミネートし
たり、磁性体を蒸着やスパッタリングすることにより強
磁性膜を形成する。次いでドリリング、レーザーアブレ
ージョン等の手段により所定の位置に開口部を設ける。
更に必要に応じてその片面または両面に(1)で挙げた
方法により絶縁膜をその上に設けても良い。 (3)(2)の方法に於て強磁性体膜を形成する前に開
口部を設ける。 等の方法が挙げられる。前述した塗料の方法としては例
えば、刷毛塗り法、スプレー法、ロールコート法、印刷
法、スピンコート法、電着法等が挙げられる。
【0020】マスク用基材の厚さについては特に制限は
ないが、加工のし易さ、マスクの取扱のし易さ、繰り返
し使用に対する耐久性の点から15〜500μm程度が
好ましい。マスク全体の厚さも同様な理由から15〜1
000μm程度が好ましい。電気絶縁材料としては体積
固有抵抗が106Ωcm程度以上あれば特に制限はな
い。かくして得られるマスクは耐久性が高く半永久的に
使用することができる。このような磁性マスクを使用す
る利点は、(1)着色層パターンを形成する際のマスク
の基板への装着が、基板裏面から磁石を当てて固定する
だけで良く、極めてその着脱が簡単なこと、(2)マス
クの交換が簡単なため、容易に希望する形状、配列のパ
ターンが得られること、(3)従って、多色層パターン
を得るのに転写を繰り返す必要がないこと等が挙げられ
る。
ないが、加工のし易さ、マスクの取扱のし易さ、繰り返
し使用に対する耐久性の点から15〜500μm程度が
好ましい。マスク全体の厚さも同様な理由から15〜1
000μm程度が好ましい。電気絶縁材料としては体積
固有抵抗が106Ωcm程度以上あれば特に制限はな
い。かくして得られるマスクは耐久性が高く半永久的に
使用することができる。このような磁性マスクを使用す
る利点は、(1)着色層パターンを形成する際のマスク
の基板への装着が、基板裏面から磁石を当てて固定する
だけで良く、極めてその着脱が簡単なこと、(2)マス
クの交換が簡単なため、容易に希望する形状、配列のパ
ターンが得られること、(3)従って、多色層パターン
を得るのに転写を繰り返す必要がないこと等が挙げられ
る。
【0021】透明基板上に接着剤層を設けることによ
り、転写作業をより容易にかつ確実に行なうことが出
来、カラーフィルター製造に於ける生産性を大幅に向上
できる。
り、転写作業をより容易にかつ確実に行なうことが出
来、カラーフィルター製造に於ける生産性を大幅に向上
できる。
【0022】使用できる接着剤としては特に制限はな
く、従来公知の熱可塑性、熱硬化性、光硬化性、感圧接
着剤などが使用できる。接着剤はスプレー法、ロールコ
ーター法、印刷法、スピンコター法等を用いて透明基板
上に0.1〜3μm程度塗布する。
く、従来公知の熱可塑性、熱硬化性、光硬化性、感圧接
着剤などが使用できる。接着剤はスプレー法、ロールコ
ーター法、印刷法、スピンコター法等を用いて透明基板
上に0.1〜3μm程度塗布する。
【0023】熱や光硬化性の接着剤を使用した場合は該
透明基板と多色着色層を圧着した後、加熱したり透明電
極の裏面から光照射することにより硬化させることによ
り転写をより確実に出来るようにしたり、転写終了後前
述したような方法により硬化させ着色層の耐久性を向上
させることもできる。
透明基板と多色着色層を圧着した後、加熱したり透明電
極の裏面から光照射することにより硬化させることによ
り転写をより確実に出来るようにしたり、転写終了後前
述したような方法により硬化させ着色層の耐久性を向上
させることもできる。
【0020】着色層を形成するための電着塗料は、必要
な色に着色するための塗料または顔料を電着性のビヒク
ル中に溶解、または分散させた水性塗料である。電着浴
のビヒクル成分として使用される高分子樹脂はカチオン
性、アニオン性の何れであってもよく、従来公知のもの
例えばアクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポ
リアミド樹脂、ポリイミド樹脂またはその前駆体樹脂、
ポリエステル樹脂、等が挙げられる。またこれ等の樹脂
はそれ自身熱硬化性、及び/または光硬化性であっても
または硬化剤、重合性モノマー等を加えて熱硬化性及び
/または光硬化性になるものであっても良い。ビヒクル
が硬化性である場合は着色層形成後に加熱及び/または
光照射を行なうことにより硬化させ、着色層の耐久性を
高めることが出来る。
な色に着色するための塗料または顔料を電着性のビヒク
ル中に溶解、または分散させた水性塗料である。電着浴
のビヒクル成分として使用される高分子樹脂はカチオン
性、アニオン性の何れであってもよく、従来公知のもの
例えばアクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポ
リアミド樹脂、ポリイミド樹脂またはその前駆体樹脂、
ポリエステル樹脂、等が挙げられる。またこれ等の樹脂
はそれ自身熱硬化性、及び/または光硬化性であっても
または硬化剤、重合性モノマー等を加えて熱硬化性及び
/または光硬化性になるものであっても良い。ビヒクル
が硬化性である場合は着色層形成後に加熱及び/または
光照射を行なうことにより硬化させ、着色層の耐久性を
高めることが出来る。
【0021】顔料及び染料としては透明性、耐久性、電
着塗装特性、浴安定性、等を考慮して選択する必要があ
る。この点から顔料としてはフタロシアニン系、キナク
リドン系、スレン系、酸化物無機顔料系等が、染料とし
ては油溶性、分散性染料等が好ましい。顔料及び染料に
は黒及び白色のものを含む。
着塗装特性、浴安定性、等を考慮して選択する必要があ
る。この点から顔料としてはフタロシアニン系、キナク
リドン系、スレン系、酸化物無機顔料系等が、染料とし
ては油溶性、分散性染料等が好ましい。顔料及び染料に
は黒及び白色のものを含む。
【0022】電着塗装の条件は塗料の種類、パターンの
種類により異なるが、定電圧法で塗装する場合は印加電
圧10〜150Vで10〜180秒、定電流法の場合は
電流密度25〜150mA/dm2で10〜180秒程
度が一般的である。形成される着色層の膜厚は0.5〜
5μmである。
種類により異なるが、定電圧法で塗装する場合は印加電
圧10〜150Vで10〜180秒、定電流法の場合は
電流密度25〜150mA/dm2で10〜180秒程
度が一般的である。形成される着色層の膜厚は0.5〜
5μmである。
【0023】
【実施例】本発明を実施例により更に詳細に説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものでない。
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものでない。
【0024】A. 電着塗料用樹脂の製造 製造例1 メチルメタクリレート 30 重量部 n−ブチルアクリレート 25 重量部 n−ブチルメタクリレート 19.5重量部 N−ブトキシメチルアクリルアミド 10 重量部 2−ヒドロキシエチルアクリレート 10 重量部 アクリル酸 5.5重量部 t−ブチルパオキシオクトエート 1.5重量部 上記のモノマー混合物をメトキシプロパノール50重量
部中で共重合して重量平均分子量約40000、樹脂酸
価42の樹脂溶液(固形分66.7重量%)を得た。
部中で共重合して重量平均分子量約40000、樹脂酸
価42の樹脂溶液(固形分66.7重量%)を得た。
【0025】製造例2 2−ヒドロキシエチルアクリート 15 重量部 メチルメタクリレート 30 重量部 n−ブチルアクリレート 20 重量部 n−ブチルメタクリレート 30 重量部 ジメチルアミノエチルメタクリレート 15 重量部 アゾビスイソブチロニトリル 2.5重量部 上記のモノマー混合物をメトキシプロパノール50重量
部中で共重合して重量平均分子量約25000、樹脂ア
ミン価54の樹脂溶液(固形分66.7重量%)を得
た。
部中で共重合して重量平均分子量約25000、樹脂ア
ミン価54の樹脂溶液(固形分66.7重量%)を得
た。
【0026】製造例3 イソフタル酸 100 重量部 無水フタル酸 44 重量部 無水トリメリット酸 29 重量部 ネオペンチルグリコール 83 重量部 トリメチロールプロパン 27 重量部 上記混合物を縮合して、酸価47のポリエステルを得
た。これに2−ブトキシエタノール75重量部を加え7
7重量%の樹脂溶液を得た。粘度はZ3(ガードナ泡粘
度計25℃)であった。
た。これに2−ブトキシエタノール75重量部を加え7
7重量%の樹脂溶液を得た。粘度はZ3(ガードナ泡粘
度計25℃)であった。
【0027】製造例4 2−エチルヘキシルアクリレート 95 重量部 2−ヒドロキシエチルアクリレート 5 重量部 アゾビスイソブチロニトリル 0.3重量部 上記混合物を塊状重合して、重量平均分子量約2500
00の共重合体を得た。これにキシレン50重量部、イ
ソプロパノール40重量部、酢酸エチル30重量部を加
え、45.5重量%の樹脂溶液を得た。
00の共重合体を得た。これにキシレン50重量部、イ
ソプロパノール40重量部、酢酸エチル30重量部を加
え、45.5重量%の樹脂溶液を得た。
【0028】製造例5 製造例4の樹脂溶液 100 重量部 ペンタエリスリトールペンタアクリレート 5 重量部 ベンゾインエチルエーテル 2.5重量部 イロプロピルアルコール 200 重量部 酢酸エチル 200 重量部 上記組成を混合して接着剤を得た。
【0029】B. 電着塗料浴の調製 塗料例1 製造例1の樹脂溶液100重量部にトリエチルアミン2
重量部を加えて中和したワニス102重量部に、フタロ
シアニンブルー7重量部(塗料1B)、フタロシアニン
グリーン7重量部(塗料1G)及びアゾ金属塩赤顔料7
重量部(塗料1R)を別々に加え分散したのち、各々に
脱イオン水628重量部を添加して固形分10重量%の
電着塗料浴3種類を得た。
重量部を加えて中和したワニス102重量部に、フタロ
シアニンブルー7重量部(塗料1B)、フタロシアニン
グリーン7重量部(塗料1G)及びアゾ金属塩赤顔料7
重量部(塗料1R)を別々に加え分散したのち、各々に
脱イオン水628重量部を添加して固形分10重量%の
電着塗料浴3種類を得た。
【0028】塗料例2 製造例1の樹脂溶液 100 重量部 トリエチルアミン 2 重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート 12 重量部 2,2−ジメトキシ −2−フェニルアセトフェノン 3.5重量部 上記組成を混合、中和して得られるワニス114重量部
中に、 フタロシアニンブルー 12重量部(塗料2B) フタロシアニングリーン 12重量部(塗料2G) アゾ金属塩赤顔料 12重量部(塗料2R) を別々に加え分散したのち、脱イオン水793重量部を
添加して固形分10重量%の電着塗料浴3種類を得た。
中に、 フタロシアニンブルー 12重量部(塗料2B) フタロシアニングリーン 12重量部(塗料2G) アゾ金属塩赤顔料 12重量部(塗料2R) を別々に加え分散したのち、脱イオン水793重量部を
添加して固形分10重量%の電着塗料浴3種類を得た。
【0029】塗料例3 製造例2の樹脂溶液 100 重量部 ブロックイソシアネート 10 重量部 酢酸 1.3重量部 上記組成を混合、中和して得られるワニス111.3重
量部に フタロシアニンブルー 5重量部(塗料3B) フタロシアニングリーン 5重量部(塗料3G) アゾ金属塩赤顔料 5重量部(塗料3R) を別々に加え分散したのち、脱イオン水561重量部を
添加して固形分10重量%の電着塗料浴3種類を得た。
量部に フタロシアニンブルー 5重量部(塗料3B) フタロシアニングリーン 5重量部(塗料3G) アゾ金属塩赤顔料 5重量部(塗料3R) を別々に加え分散したのち、脱イオン水561重量部を
添加して固形分10重量%の電着塗料浴3種類を得た。
【0030】塗料例4 製造例3の樹脂溶液 100 重量部 ヘキサメトキシメチルメラミン 20 重量部 ジメチルアミノエタノール 1.7重量部 上記組成を混合、中和して得られるワニス121.7重
量部に フタロシアニンブルー 20重量部(塗料4B) フタロシアニングリーン 20重量部(塗料4G) キナクリドンレッド 20重量部(塗料4R) を別々に加え分散したのち、脱イオン水1028重量部
を添加して固形分10重量%の電着塗料浴3種類を得
た。
量部に フタロシアニンブルー 20重量部(塗料4B) フタロシアニングリーン 20重量部(塗料4G) キナクリドンレッド 20重量部(塗料4R) を別々に加え分散したのち、脱イオン水1028重量部
を添加して固形分10重量%の電着塗料浴3種類を得
た。
【0031】C. マスク製造例 マスク製造例1 図5に示すような着色層の配列になるように、着色が必
要な部位のみに100μm×100μmの開口部を設け
た厚さ100μmのニッケル板(各々開口部と開口部は
最終的に3色を合せたとき、それぞれの開口部が30μ
mのスペースをもつて並ぶようにする)に、スパッタリ
ングによりSiO2膜を1000Å両面に施してマスク
とした。赤、緑、青用各1枚ずつ作成した。図中Rは
赤、Gは緑、Bは青を示す。
要な部位のみに100μm×100μmの開口部を設け
た厚さ100μmのニッケル板(各々開口部と開口部は
最終的に3色を合せたとき、それぞれの開口部が30μ
mのスペースをもつて並ぶようにする)に、スパッタリ
ングによりSiO2膜を1000Å両面に施してマスク
とした。赤、緑、青用各1枚ずつ作成した。図中Rは
赤、Gは緑、Bは青を示す。
【0032】マスク製造例2 図6に示すような着色層の配列になるように、着色が必
要な部位のみに100μm×100μmの開口部を設け
た厚さ150μm(ニッケル層50μm、ポリイミド層
100μm)の片面ニッケル張りポリイミドフイルム
(各々の開口部と開口部は最終的に3色に合せたとき、
それぞれの開口部が30μmのスペースで並ぶようにす
る)上に、塗料例1の塗料1Bを乾燥膜厚5μmになる
ように電着塗装し、140℃、30分焼付けてマスクと
した。赤、緑、青用各1枚ずつ作成した。図中R.G.
B.は夫々赤、緑、青を示す。
要な部位のみに100μm×100μmの開口部を設け
た厚さ150μm(ニッケル層50μm、ポリイミド層
100μm)の片面ニッケル張りポリイミドフイルム
(各々の開口部と開口部は最終的に3色に合せたとき、
それぞれの開口部が30μmのスペースで並ぶようにす
る)上に、塗料例1の塗料1Bを乾燥膜厚5μmになる
ように電着塗装し、140℃、30分焼付けてマスクと
した。赤、緑、青用各1枚ずつ作成した。図中R.G.
B.は夫々赤、緑、青を示す。
【0033】実施例1 厚さ100μmのポリエチレンテレフタレート(PE
T)フイルム上に、スプレー法によりインジウム錫酸化
物(ITO)からなる透明導電層を形成し、その上にマ
スク製造例1で得た例えば赤色用マスクを基板の裏面に
磁石を当てることにより所定位置に固定した。ついで塗
料例1の塗料1Rの電着浴に浸漬し透明導電層を陽極と
して80mA/dm2の電流密度で20秒間通電したの
ち、マスクを取りはずし、水洗いし、80℃、10分間
乾燥して膜厚1.8μmの赤色着色層を形成した。次
に、同様にして、所定の色用マスクと所定の塗料(1B
及び1G)を用いて各着色層を形成し、そのあと臭化水
素水溶液を用いて露出しているITO層を除去した。一
方、製造例4のワニスをイソプロパノールで固形分5重
量%とした接着剤を、乾燥膜厚0.5μmになるように
透明基板上に塗布し、100℃、5分間乾燥した。この
接着剤を塗布した透明基板の接着層側を気泡の入らぬよ
うに着色層に圧着して、着色層と透明導電層を転写した
後、140℃、30分加熱して表示装置用カラーフィル
ターを得た。
T)フイルム上に、スプレー法によりインジウム錫酸化
物(ITO)からなる透明導電層を形成し、その上にマ
スク製造例1で得た例えば赤色用マスクを基板の裏面に
磁石を当てることにより所定位置に固定した。ついで塗
料例1の塗料1Rの電着浴に浸漬し透明導電層を陽極と
して80mA/dm2の電流密度で20秒間通電したの
ち、マスクを取りはずし、水洗いし、80℃、10分間
乾燥して膜厚1.8μmの赤色着色層を形成した。次
に、同様にして、所定の色用マスクと所定の塗料(1B
及び1G)を用いて各着色層を形成し、そのあと臭化水
素水溶液を用いて露出しているITO層を除去した。一
方、製造例4のワニスをイソプロパノールで固形分5重
量%とした接着剤を、乾燥膜厚0.5μmになるように
透明基板上に塗布し、100℃、5分間乾燥した。この
接着剤を塗布した透明基板の接着層側を気泡の入らぬよ
うに着色層に圧着して、着色層と透明導電層を転写した
後、140℃、30分加熱して表示装置用カラーフィル
ターを得た。
【0034】実施例2 厚さ25μmのニッケル層を無電解メッキ法で厚さ10
0μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フイル
ム上に形成せしめた基板上に、マスク製造例2で得た赤
色用マスクを、基板の裏面に磁石を当てることによりニ
ッケル面の所定位置に固定した。ついで、塗料例2の塗
料2Rの電着浴に浸漬しニッケル面を陽極として80V
の電圧を50秒印加したのち、マスクを取りはずし、水
洗いし、80℃、10分間乾燥して膜厚2.1μmの赤
色着色層を形成した。次に、同様にして、所定のマスク
と所定の塗料(2B及び2G)を用いて各着色層を形成
したのち、該着色基板を製造例5の接着剤を乾燥膜厚で
0.3μmになるように塗布した透明基板上に、間に気
泡が入らぬようにして圧着し、透明基板側より超高圧水
銀灯により200mj/cm2紫外線を照射した。次い
で、ニッケルメッキPETフイルムを該透明基板上より
剥離して着色層を透明基板上に転写した後、140℃、
30分間加熱して表示装置用カラーフィルターを得た。
0μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フイル
ム上に形成せしめた基板上に、マスク製造例2で得た赤
色用マスクを、基板の裏面に磁石を当てることによりニ
ッケル面の所定位置に固定した。ついで、塗料例2の塗
料2Rの電着浴に浸漬しニッケル面を陽極として80V
の電圧を50秒印加したのち、マスクを取りはずし、水
洗いし、80℃、10分間乾燥して膜厚2.1μmの赤
色着色層を形成した。次に、同様にして、所定のマスク
と所定の塗料(2B及び2G)を用いて各着色層を形成
したのち、該着色基板を製造例5の接着剤を乾燥膜厚で
0.3μmになるように塗布した透明基板上に、間に気
泡が入らぬようにして圧着し、透明基板側より超高圧水
銀灯により200mj/cm2紫外線を照射した。次い
で、ニッケルメッキPETフイルムを該透明基板上より
剥離して着色層を透明基板上に転写した後、140℃、
30分間加熱して表示装置用カラーフィルターを得た。
【0035】実施例3 100μm厚のポリイミドフイルム上に銅を25μmメ
ッキした基板を使用し、露出した銅膜を塩化第2銅で除
去する以外は全く実施例1と同様にして多色着色層を形
成させたのち、該着色基板を透明基板上に気泡の入らぬ
ように圧着した。次いで銅メッキポリイミドフイルム基
板を剥離し、着色層を透明基板に転写し、140℃、3
0分間加熱して表示装置用カラーフィルターを得た。
ッキした基板を使用し、露出した銅膜を塩化第2銅で除
去する以外は全く実施例1と同様にして多色着色層を形
成させたのち、該着色基板を透明基板上に気泡の入らぬ
ように圧着した。次いで銅メッキポリイミドフイルム基
板を剥離し、着色層を透明基板に転写し、140℃、3
0分間加熱して表示装置用カラーフィルターを得た。
【0036】実施例4 厚さ100μmのポリイミドフイルムに膜厚1μmのポ
リオルガノシロキサン膜を形成させた後、スパッタリン
グによりITO透明電層を形成し、その上にマスク製造
例2で得た例えば赤色用マスクを基板の裏面より磁石を
当てることにより所定の位置に固定した。次いで塗料例
4で得た塗料4Rの電着浴に浸漬し、60mA/dm2
の電流密度で30秒間、透明電極層を陽極として通電し
たのち、磁石を取りはずし、水洗いし、60℃、10分
間水切乾燥して膜厚1.9μmの赤色着色層を形成し
た。次に、同様にして、所定の色用マスクと所定の塗料
(4B及び4G)を用いて着色層を形成し、そのあと塩
化第2鉄水溶液を用いて露出しているIT0層を除去し
た後、透明基板上に気泡の入らぬように圧着し、ポリイ
ミドフイルムを剥離して着色層及び透明導電層を転写
し、190℃で60分間加熱して表示装置用カラーフィ
ルターを得た。
リオルガノシロキサン膜を形成させた後、スパッタリン
グによりITO透明電層を形成し、その上にマスク製造
例2で得た例えば赤色用マスクを基板の裏面より磁石を
当てることにより所定の位置に固定した。次いで塗料例
4で得た塗料4Rの電着浴に浸漬し、60mA/dm2
の電流密度で30秒間、透明電極層を陽極として通電し
たのち、磁石を取りはずし、水洗いし、60℃、10分
間水切乾燥して膜厚1.9μmの赤色着色層を形成し
た。次に、同様にして、所定の色用マスクと所定の塗料
(4B及び4G)を用いて着色層を形成し、そのあと塩
化第2鉄水溶液を用いて露出しているIT0層を除去し
た後、透明基板上に気泡の入らぬように圧着し、ポリイ
ミドフイルムを剥離して着色層及び透明導電層を転写
し、190℃で60分間加熱して表示装置用カラーフィ
ルターを得た。
【0037】実施例5 厚さ100μmのポリイミドフイルムにパラジウム層を
スパッタリングにより形成した基板を用い、マスク製造
例2で得た例えば赤色用マスクをパラジウム面の所定の
位置に裏面より磁石を当てることにより固定した。次い
で、塗料例3の塗料3Rの電着浴中に浸漬しパラジウム
面を陰極として80V、40秒間通電した後マスクを取
り外し、水洗いし、80℃、10分間水切乾燥して膜厚
1.9μmの赤色着色層を得た。次に所定の色用マスク
及び所定の塗料(3G、3B)を用いて着色層を得たの
ち、該基板を実施例1で用いた接着剤0.7μmを塗布
した透明基板上に気泡が入らぬようにして圧着し、パラ
ジウム層付きポリイミドフイルムを該透明基板より剥離
し、着色層を透明基板上に転写し、160℃、20分間
加熱して表示装置用カラーフィルターを得た。
スパッタリングにより形成した基板を用い、マスク製造
例2で得た例えば赤色用マスクをパラジウム面の所定の
位置に裏面より磁石を当てることにより固定した。次い
で、塗料例3の塗料3Rの電着浴中に浸漬しパラジウム
面を陰極として80V、40秒間通電した後マスクを取
り外し、水洗いし、80℃、10分間水切乾燥して膜厚
1.9μmの赤色着色層を得た。次に所定の色用マスク
及び所定の塗料(3G、3B)を用いて着色層を得たの
ち、該基板を実施例1で用いた接着剤0.7μmを塗布
した透明基板上に気泡が入らぬようにして圧着し、パラ
ジウム層付きポリイミドフイルムを該透明基板より剥離
し、着色層を透明基板上に転写し、160℃、20分間
加熱して表示装置用カラーフィルターを得た。
【0038】
【発明の効果】このように本発明の方法によれば着色層
パターンを形成するのに前述の従来技術(2)の様にレ
ジストの露光、現像を繰り返す必要がなく工程が単純と
なり生産性、歩留まりを大幅に向上させることが出来
る。また前述したように従来技術(1)では実質的に着
色層をストライプパターンでしか形成出来ないが、本発
明によれば電着塗装前に同一色に着色されるべきパター
ン同士を従来技術(1)のように互いに結線する必要が
無いのでパターンの形状に関係なく容易に希望するパタ
ーン形状、配列のカラーフィルターを得る事が出来る。
また従来技術(3)のように転写を多数回行なう必要が
ないこと、マスクの耐久性が高く、半永久的に使用でき
るという利点を有し、高解像度のカラー表示装置用に適
したカラーフィルターを生産性良く、経済的に製造する
ことが出来る。また第4の態様によれば転写後の基板は
何度も繰り返し使用することが出来、更に経済性の向上
を計れる。
パターンを形成するのに前述の従来技術(2)の様にレ
ジストの露光、現像を繰り返す必要がなく工程が単純と
なり生産性、歩留まりを大幅に向上させることが出来
る。また前述したように従来技術(1)では実質的に着
色層をストライプパターンでしか形成出来ないが、本発
明によれば電着塗装前に同一色に着色されるべきパター
ン同士を従来技術(1)のように互いに結線する必要が
無いのでパターンの形状に関係なく容易に希望するパタ
ーン形状、配列のカラーフィルターを得る事が出来る。
また従来技術(3)のように転写を多数回行なう必要が
ないこと、マスクの耐久性が高く、半永久的に使用でき
るという利点を有し、高解像度のカラー表示装置用に適
したカラーフィルターを生産性良く、経済的に製造する
ことが出来る。また第4の態様によれば転写後の基板は
何度も繰り返し使用することが出来、更に経済性の向上
を計れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の態様を示す工程図である。
【図2】本発明の第2の態様を示す工程図である。
【図3】本発明の第3の態様を示す工程図である。
【図4】本発明の第4の態様を示す工程図である。
【図5】本発明のマスク製造例1の着色層配列を示す図
である。
である。
【図6】本発明のマスク製造例2の着色層配列を示す図
である。
である。
1 基板 2 導電層 2′透明導電層 3 磁性体マスク 4 磁石 5 被転写用透明基板 6 接着剤 7 剥離層
Claims (4)
- 【請求項1】 (a)導電層を有する基板上に、 (b)該導電層と電気的に絶縁された所定のパターンを
有する磁性体マスクを置き裏面に磁石を装着してマスク
を固定し、 (c)マスクを装着した該基板を所定の色の電着塗料浴
に浸漬し対極との間に所定量の通電を行ない、電着塗装
法により基板上の露出した導体上に着色層を形成し、 (d)(b)と(c)の工程を繰り返し所定の色の着色
層を導電層上の所定の位置に設け、 (e)着色層間の露出した導電層をエッチング除去し、 (f)接着剤を塗布した透明基板上に該多色着色層をの
み転写し、定着することを特徴とするカラーフィルター
の製造方法。 - 【請求項2】 基板上に導電層を形成し、請求項1記載
の(b)〜(e)の工程により多色着色層を形成した
後、エッチングされて残った透明導電層とこの導電層上
の多色着色層を接着剤を塗布した透明基板上に転写し、
定着することを特徴とするカラー表示装置用カラーフィ
ルターの製造方法。 - 【請求項3】 基板と透明導電層との間に剥離層を設け
ることを特徴とする請求項2記載のカラーフィルターの
製造方法。 - 【請求項4】 (a)導電層を有する基板上に、 (b)該導電層と電気的に絶縁された所定のパターンを
有する磁性体マスクを置き裏面に磁石を装着してマスク
を固定し、 (c)マスクを装着した該基板を所定の色の電着塗料浴
に浸漬し対極との間に所定量の通電を行ない、電着塗装
法により基板上の露出した導体上に着色層を形成し、 (d)(b)と(c)の工程を繰り返し所定の色の着色
層を導電層上の所定の位置に形成し、 (e)該多色着色層を接着剤を塗布した透明基板上に転
写し、定着することを特徴とするカラーフィルターの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3318696A JPH0588016A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | カラーフイルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3318696A JPH0588016A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | カラーフイルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0588016A true JPH0588016A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=18101989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3318696A Pending JPH0588016A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | カラーフイルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0588016A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009086206A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ用インクジェットインク組成物、及びカラーフィルタ及びこの製造方法 |
| JP2014011109A (ja) * | 2012-07-02 | 2014-01-20 | Denso Corp | 機能膜を有する構造体の製造方法 |
| US9263617B2 (en) | 2002-11-01 | 2016-02-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP3318696A patent/JPH0588016A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9263617B2 (en) | 2002-11-01 | 2016-02-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
| JP2009086206A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ用インクジェットインク組成物、及びカラーフィルタ及びこの製造方法 |
| JP2014011109A (ja) * | 2012-07-02 | 2014-01-20 | Denso Corp | 機能膜を有する構造体の製造方法 |
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Legal Events
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