JPH0588010A - カラー表示装置用カラーフイルターの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高解像度のカラー表示用に適したカラーフィ
ルターを生産性良く、製造する方法を提供する。 【構成】 透明基板上に透明導電層を形成し、導電層上
に磁性体パターンマスクを置き、裏面に磁石を装着して
マスクを固定し、電着塗装法により導電層上に着色層を
形成し、着色層間の露出した導電層をエッチング除去す
る。あるいは、エッチング後に着色層と透明導電層を共
に透明基板に転写することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は新規なカラー表示装置用
のカラーフィルターの製法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶カラーテレビ等の各種の液晶カラー
フィルターには種々の型のものが考えられるが、大別す
るとパターン化された透明電極の上又は下に着色層を設
けるもの、透明基板上にパターン化された着色層を設け
るものとがある。

【０００３】また、着色層の配列の方法としては、各着
色層をストライプ状に交互に配列するもの、独立した多
数の多角形状の着色層を特定の配列パターンで配置する
ものがある。

【０００４】一般的にカラーフィルターを製造する方法
としては、スクリーン印刷などの印刷による方法、フォ
トリソグラフィーによる方法が行われている。しかし、
印刷法ではパターンの微細化に限度があり最近のカラー
表示装置の高解像度化に対応するのが難しくなってきて
いる。一方フォトリソグラフィー法によればパターンの
微細化には対応できるが、カラーフィルターの製造工程
で多数回のフォトグラフィーを繰り返す必要があり、更
に広く行われている染色法では防染工程を必要とするた
め工程が非常に複雑で生産性、歩留まりが低い。

【０００５】これらの欠点を解決する方法として電着塗
装法によるカラーフィルターの製造法が種々提案されて
いる。

【０００６】電着塗装法を応用する方法としては、つぎ
のような方法がある。 （１） 基板上に形成された透明導電性膜をパターンニ
ングして透明電極を形成し、パターン化された透明電極
の同じ色に着色されるべき箇所のみを結線して着色電着
浴中で電着塗装し、着色層を形成する。他の色について
も同様にして着色層を形成する。形成された着色透明電
極基板をそのままカラーフィルターとする。また同様な
方法で形成された着色電極基板の着色層または着色層及
び電極を透明基板に転写してカラーフィルターとする。 （２） 基板上に透明導電膜層を形成し、その上にポジ
型感光性樹脂組成物膜を形成した後、所定のパターンを
有するポジマスクを介して露光した後、露光部を現像に
より除去した部分パターン化された該基板を着色電着浴
中で電着塗装を行ない、露出した導電性膜上に着色層を
形成する。同様にフォトリソグラフィー、電着塗装を繰
り返し多色の着色層を透明電極膜上に形成した後基板全
面に露光し、現像を行ない基板上のレジスト膜を除去し
露出した導電膜部分をエッチング除去してカラーフィル
ターとする。 （３） また、他の方法として前記の部分パターン化導
電基板を電極として電着塗装を行ない所定の位置に着色
層を形成し、該着色層を転写用基板に転写する。他の色
についても同様の操作を繰り返し、ついで着色層を有す
る転写用基板を透明基板に圧着し着色層を転写してカラ
ーフィルターとする方法が提案されている。

【０００７】

【発明解決しようとする課題】しかし、（１）の方法で
は電着塗装に際して微細にパターンニングされた導電性
電極を非常に細かい部分に結線せねばならず困難かつ信
頼性に欠ける。特に着色電極が多数個の独立した多角形
パターンとして配列される場合は、当該結線箇所が非常
に多数となり、結局ストライプ状パターンのみが実際上
可能である。

【０００８】（２）の方法ではフォトレジスト膜の形成
は１回で良いが各色の電着を行なうために色数だけ露
光、現象を繰り返す必要がありまた着色層形成後の全面
露光、導電膜のエッチング工程が必要となりやはり工程
はかなり複雑であり、生産性、歩留まりの点から好まし
くない。

【０００９】また、（３）の方法では各色毎にフォトリ
ソグラフィーによるパターンニングの必要はないが、精
密な位置合せを要する転写工程を必要な色数プラス１回
繰り返す必要があり、工程が複雑となり生産性、歩留ま
りの面から好ましくない。更に電着用マスクとして使用
される部分パターン化導電基板は、パターンを形成して
いるのは感光性樹脂であり、多数回の使用により基板か
らの剥れ、膨潤等により変形するため，不良の発生、精
度低下をもたらし、使用回数に制限がある。そして、一
定の使用回数毎にフォトリソグラフィーによるパターニ
ングをやりなおし、マスクを再作成する必要を生じる。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明者は上記問題点を
解決すべく鋭意研究の結果、電着塗装法と特殊なマスク
とを組み合わせることにより、簡単な工程でカラーフィ
ルター特に高解像度カラー表示装置に必要な独立した微
小な多角形型着色層を特定の位置に配列したカラーフィ
ルターを製造するのに好適な方法を見出し、本発明を完
成するに至った。

【００１１】すなわち本発明は、 「１． （ａ）透明基板上に透明導電層を形成し、
（ｂ）該導電層上に該導電層と電気的に絶縁された所定
のパターンを有する磁性体マスクを置き裏面に磁石を装
着してマスクを固定し、（ｃ）マスクを装着した該基板
を所定の色の電着塗料浴に浸漬し対極との間に所定量の
通電を行ない、電着塗装法により基板上の露出した導体
上に着色層を形成し、（ｄ）（ｂ）と（ｃ）の工程を繰
り返し所定の色の着色層を導電層上の所定の位置に設
け、（ｅ）着色層間の露出した導電層をエッチング除去
することを特徴とするカラー表示装置用カラーフィルタ
ーの製造方法。 ２． （ａ）導電層を有する基板上に、（ｂ）該導電層
と電気的に絶縁された所定のパターンを有する磁性体マ
スクを置き裏面に磁石を装着してマスクを固定し、
（ｃ）マスクを装着した該基板を所定の色の電着塗料浴
に浸漬し対極との間に所定量の通電を行ない、電着塗装
法により基板上の露出した導体上に着色層を形成し、
（ｄ）（ｂ）と（ｃ）の工程を繰り返し所定の色の着色
層を導電層上の所定の位置に形成し、（ｅ）該多色着色
層を透明基板上に転写し、定着することを特徴とするカ
ラー表示装置用カラーフィルターの製造方法。 ３． 導電層を有する基板上に、１項記載の（ｂ）〜
（ｅ）の工程により着色層を形成し、エッチングされて
残った導電膜上の着色層のみを透明基板上に転写し、定
着することを特徴とするカラー表示装置用カラーフィル
ターの製造方法。 ４． 基板上に透明導電層を形成し、１項記載の（ｂ）
〜（ｅ）の工程により着色層を形成し、エッチングされ
て残った透明導電層とこの導電層上の着色層を透明基板
上に転写し、定着することを特徴とするカラー表示装置
用カラーフィルターの製造方法。 ５． ４項記載の製造方法において基板と透明導電層と
の間に剥離層を設けることを特徴とするカラー表示装置
用カラーフィルターの製造方法。」 に関する。

【００１２】

【作用】本発明を図面を参照して説明する。図１は本発
明の第１の態様の製法における製造工程を示す工程図で
ある。

【００１３】まず、図１（イ）に示すようにガラスやプ
ラスチック等からなる透明基板１上に酸化錫、酸化イン
ジウム等より成る透明導電膜２をスプレーコートやスッ
パタリング法等によって形成する。次いで図１（ロ）〜
（ニ）に示すように該導電膜上に所定のパターンを有す
る電気的に絶縁されて磁性体製のマスク３を置き裏面よ
り磁石４を装着して固定し所定の着色電着塗料浴中で電
着塗装を繰り返すことにより着色層より成るパターンを
得る。次いで図１（ホ）に示すように露出した導電性膜
を公知の方法、例えば塩化第２鉄溶液、臭化水素溶液等
を用いてエッチングして除去することによりカラー表示
装置用のカラーフィルターを得る。

【００１４】図２に本発明の第２の態様における製造工
程を示す。第２の態様の場合には図２（イ）に示す基板
１′及び導電層２′は透明であっても透明で無くとも良
い。また基板そのものが導電性であっても良い。図２
（ロ）から（ニ）までの工程は第１の態様における図１
（ロ）から（ニ）までの工程と同様である。かくして図
２（ホ）に示すように導電膜上に多色着色パターンを得
る。次いで該パターンを透明基板５上に押し付けて図１
（ヘ）に示すように着色層を転写してカラー表示装置用
カラーフィルターを得る。この場合基板１′はプラスチ
ックフイルムのような可とう性のあるものが転写作業性
上好ましい。導電性膜としては特に制限は無いが、転写
のしやすさから金、白金、ニッケル等の貴金属膜で有る
ことが好ましい。転写は着色層が透明基板に接触するよ
うにして、着色層の形成されている基板の裏面からゴム
製ローラー等を用いて行なっても良い。

【００１５】図３に本発明の第３の態様における製造工
程を示す。第３の態様の場合には図３（イ）から（ホ）
までの工程は基本的には第１の態様における図１（イ）
から（ホ）までの工程と同様である。但し、図３（イ）
に示す基板１′及び導電層２′は第２の態様と同様のも
のが使用できる。かくして得られた、図３（ホ）に示す
エッチングされて残った導電膜上の多色着色パターンを
透明基板上に押し付けて図３（ヘ）に示すように着色層
のみを透明基板５に転写する事によりカラー表示装置用
カラーフィルターを得る。

【００１６】図４に本発明の第４の態様における製造工
程を示す。図４（イ）から（ホ）までの工程は基本的に
は第１の態様における図１（イ）から（ホ）までの工程
と同様である。但し図４（イ）に示す基板１′は透明で
あっても無くても良いが導電層２は透明であることが必
要である。かくして得られた図４（ホ）に示すエッチン
グされて残った導電膜と、該膜上の多色着色パターンを
透明基板上に押し付けて図４（ヘ）に示すように着色層
と透明導電層を透明基板５に転写する事によりカラー表
示装置用カラーフィルターを得る。

【００１７】図５に本発明の第５の態様における製造工
程を示す。第５の態様は基板と導電性膜との間に転写を
容易にするために剥離層６を設ける以外は本質的には第
４の態様と同様である。もちろん剥離層６が無くとも転
写が円滑に行われる場合には剥離層６を設ける必要はな
い。剥離層６としては通常シリコーン薄膜などが有用で
ある。

【００１８】本発明に使用されるマスクは少なくとも基
板表面の導電層に接する側は電気的に絶縁体であり、マ
スク全体としては磁性を示す基材より成っている。パタ
ーンは電着塗装により着色層を形成する部位のみに開口
部を設けた物、または着色層を形成する部位及び既に着
色層が形成された部位に開口部を設けた物でも良い。前
者の場合図１（ハ）等に示したようにマスクは基板表面
より僅かに（着色層の膜厚分）離れるが着色層の膜厚に
比してマスクの厚さが厚いために必要充分な解像力が得
られ、マスクのパターンニングが容易なため好ましい。

【００１９】マスクの製造法としては前記した条件を満
たすもので有れば特に制限は無いが例えば、 （１）鉄、磁性酸化鉄、ニッケル等の磁性体薄板にフォ
トリソグラフィー法等でパターンニング、エッチング処
理して所定の位置に開口部を設けた後、マスクの片面ま
たは両面に有機樹脂、有機無機複合樹脂、無機系樹脂等
を塗布することにより、また有機樹脂やＳｉＯ_２等の無
機質被膜をを蒸着やスッパタリング等で形成することに
よりまたはＣＶＤ等により有機高分子、有機無機複合樹
脂膜を形成するなどの手段により電気的絶縁膜を形成す
る。 （２）有機樹脂フィルム、ガラス繊維、無機充填材等を
含む有機樹脂積層板等の片面又は両面に前述したような
磁性体粉末を含む塗料を塗布したり、磁性体薄膜をラミ
ネートしたり、磁性体を蒸着やスパッタリングすること
により磁性膜を形成する。次いでドリリング、レーザー
アブレージョン水圧打ち抜き等の手段により所定の位置
に開口部を設ける。更に必要に応じてその片面または両
面に（１）で挙げた方法により絶縁膜をその上に設けて
も良い。 （３）（２）の方法に於て磁性体膜を形成する前に開口
部を設ける。等の方法が挙げられる。前述した塗料の方
法としては例えば、刷毛塗り法、スプレー法、ロールコ
ート法、印刷法、スピンコート法、電着法等が挙げられ
る。

【００２０】マスク用素材の厚さについては特に制限は
ないが、加工のし易さ、マスクの取扱のし易さ、繰り返
し使用に対する耐久性の点から１５〜５００μｍ程度が
好ましい。マスク全体の厚さも同様な理由から１５〜１
０００μｍ程度が好ましい。電気絶縁材料としては体積
固有抵抗が１０^６Ωｃｍ程度以上あれば特に制限はな
い。かくして得られるマスクは耐久性が高く半永久的に
使用することができる。このような磁性マスクを使用す
る利点は、（１）着色層パターンを形成する際のマスク
の基板への装着が、基板裏面から磁石を当てて固定する
だけで良く、極めてその着脱が簡単なこと、（２）マス
クの交換が簡単なため、容易に希望する形状、配列のパ
ターンが得られること、（３）従って、多色層パターン
を得るのに転写を繰り返す必要がないこと等が挙げられ
る。

【００２１】着色層を形成するための電着塗料は、必要
な色に着色するための染料または顔料を電着性のビヒク
ル中に溶解、または分散させた水性塗料である。電着浴
のビヒクル成分として使用される高分子樹脂はカチオン
性、アニオン性の何れであってもよく、従来公知のもの
も例えばアクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、
ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂またはその前駆体樹
脂、ポリエステル樹脂、等が挙げられる。またこれらの
樹脂はそれ自身熱硬化性、及び／または光硬化性であっ
てもまたは硬化剤、重合性モノマー等を加えて熱硬化性
及び／または光硬化性になるものであっても良い。ビヒ
クルが硬化性である場合は着色層形成後に加熱及び／ま
たは光照射を行なうことにより硬化させ、着色層の耐久
性を高めることができる。顔料及び染料としては透明
性、耐久性、電着塗装特性、浴安定性、等を考慮して選
択する必要がある。この点から顔料としてはフタロシア
ニン系、キナクリドン系、スレン系、酸化物無機顔料系
等が、染料としては油溶性、分散性染料などが好まし
い。顔料及び染料には黒及び白色のものを含む。

【００２２】電着塗装の条件は塗料の種類、パターンの
種類により異なるが、定電圧法で塗装する場合は印加電
圧１０〜１５０Ｖで１０〜１８０秒、定電流法の場合は
電流密度２５〜１５０ｍＡ／ｄｍ^２で１０〜１８０秒程
度が一般的である。形成される着色層の膜厚は０．５〜
５μｍが一般的に好ましい。

【００２３】

【実施例】本発明を実施例により更に詳細に説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものでない。

【００２４】Ａ． 電着塗料用樹脂の製造 製造例１ メチルメタクリレート ３０ 重量部 ｎ−ブチルアクリレート ２５ 重量部 ｎ−ブチルメタクリレート １９．５重量部 Ｎ−ブトキシメチルアクリルアミド １０ 重量部 ２−ヒドロキシエチルアクリレート １０ 重量部 アクリル酸 ５．５重量部 ｔ−ブチルパオキシオクトエート １．５重量部 上記のモノマー混合物をメトキシプロパノール５０重量
部中で共重合して重量平均分子量約４０００、樹脂酸価
４２の樹脂溶液（固形分６６．７重量％）を得た。

【００２５】製造例２ ２−ヒドロキシエチルアクリート １５ 重量部 メチルメタクリレート ３０ 重量部 ｎ−ブチルアクリレート ２０ 重量部 ｎ−ブチルメタクリレート ３０ 重量部 ジメチルアミノエチルメタクリレート １５ 重量部 アゾビスイソブチロニトリル ２．５重量部 上記のモノマー混合物をメトキシプロパノール５０重量
部中で共重合して重量平均分子量約２５００、樹脂アミ
ン価５４の樹脂溶液（固形分６６．７重量％）を得た。

【００２６】製造例３ イソフタル酸 １００ 重量部 無水フタル酸 ４４ 重量部 無水トリメリット酸 ２９ 重量部 ネオペンチルグリコール ８３ 重量部 トリメチロールプロパン ２７ 重量部 上記混合物を縮合して、酸価４７のポリエステルを得
た。これに２−ブトキシエタノール７５重量部を加え７
７重量％の樹脂溶液を得た。粘度はＺ_３（ガードナ泡粘
度計２５℃）であった。

【００２７】Ｂ． 電着塗料浴の調製 塗料例１ 製造例１の樹脂溶液１００重量部にトリエチルアミン２
重量部を加えて中和したワニス１０２重量部に、フタロ
シアニンブルー７重量部（塗料１Ｂ）、フタロシアニン
グリーン７重量部（塗料１Ｇ）及びアゾ金属塩赤顔料７
重量部（塗料１Ｒ）を別々に加え分散したのち、各々に
脱イオン水６２８重量部を添加して固形分１０重量％の
電着塗料浴３種類を得た。

【００２８】塗料例２ 製造例１の樹脂溶液 １００ 重量部 トリエチルアミン ２ 重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート １２ 重量部 ２，２−ジメトキシ −２−フェニルアセトフェノン ３．５重量部 上記組成を混合、中和して得られるワニス１１４重量部
中に、 フタロシアニンブルー １２重量部（塗料２Ｂ） フタロシアニングリーン １２重量部（塗料２Ｇ） アゾ金属塩赤顔料 １２重量部（塗料２Ｒ） を別々に加え分散したのち、脱イオン水７９３重量部を
添加して固形分１０重量％の電着塗料浴３種類を得た。

【００２９】塗料例３ 製造例２の樹脂溶液 １００ 重量部 ブロックイソシアネート １０ 重量部 酢酸 １．３重量部 上記組成を混合、中和して得られるワニス１１１．３重
量部に フタロシアニンブルー ５重量部（塗料３Ｂ） フタロシアニングリーン ５重量部（塗料３Ｇ） アゾ金属塩赤顔料 ５重量部（塗料３Ｒ） を別々に加え分散したのち、脱イオン水５６１重量部を
添加して固形分１０重量％の電着塗料浴３種類を得た。

【００３０】塗料例４ 製造例３の樹脂溶液 １００ 重量部 ヘキサメトキシメチルメラミン ２０ 重量部 ジメチルアミノエタノール １．７重量部 上記組成を混合、中和して得られるワニス１２１．７重
量部に フタロシアニンブルー ２０重量部（塗料４Ｂ） フタロシアニングリーン ２０重量部（塗料４Ｇ） キナクリドンレッド ２０重量部（塗料４Ｒ） を別々に加え分散したのち、脱イオン水１０２８重量部
を添加して固形分１０重量％の電着塗料浴３種類を得
た。

【００３１】Ｃ． マスク製造例 マスク製造例１ 図６に示すような着色層の配列になるように、着色が必
要な部位のみに１００μｍ×１００μｍの開口部を設け
た厚さ１００μｍのニッケル板（各々開口部と開口部は
最終的に３色を合せたとき、それぞれの開口部が３０μ
ｍのスペースをもって並ぶようにする）に、スパッタリ
ングによりＳｉＯ_２膜を１０００Å両面に施しマスクと
した。赤、緑、青用各１枚ずつ作成した。図中Ｒは赤、
Ｇは緑、Ｂは青を示す。

【００３２】マスク製造例２ 図７に示すような着色層の配列になるように、着色が必
要な部位のみに１００μｍ×１００μｍの開口部を設け
た厚さ１５０μｍ（ニッケル層５０μｍ、ポリイミド層
１００μｍ）の片面ニッケル張りポリイミドフイルム
（各々の開口部と開口部は最終的に３色に合せたとき、
それぞれの開口部が３０μｍのスペースで並ぶようにす
る）上に、塗料例１の塗料１Ｂを乾燥膜厚５μｍになる
ように電着塗装し、１４０℃、３０分焼付けてマスクと
した。赤、緑、青用各１枚ずつ作成した。Ｒ．Ｇ．Ｂ．
は夫々赤、緑、青を示す。

【００３３】実施例１ 透明基板上に、スプレー法によりインジウム錫酸化物
（ＩＴ０）からなる透明導電層を形成し、その上にマス
ク製造例１で得た例えば赤色用マスクを、基板の裏面に
磁石を当てることにより所定位置に固定した。ついで塗
料例１の塗料１Ｒの電着浴に浸漬し透明導電層を陽極と
して８０ｍＡ／ｄｍ^２の電流密度で２０秒間通電したの
ち、マスクを取りはずし、水洗いし、８０℃、１０分間
乾燥して膜厚１．８μｍの赤色着色層を形成した。次
に、同様にして、所定の色用マスクと所定の塗料（１Ｂ
及び１Ｇ）を用いて各着色層を形成し、そのあと臭化水
素水溶液を用いて露出しているＩＴＯ層を除去し、１４
０℃、３０分加熱してカラー表示装置用カラーフィルタ
ーを得た。なお、本工程においてエッチング（ＩＴＯ層
の除去）の前に１４０℃、３０分間の加熱を行ない、エ
ッチング後の加熱を省略しても同様の結果が得られた。

【００３４】実施例２ 厚さ２５μｍのニッケル層を無電解メッキ法で厚さ１０
０μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フイル
ム上に形成せしめた基板上に、マスク製造例２で得た赤
色用マスクを、基板の裏面に磁石を当てることによりニ
ッケル面の所定位置に固定した。ついで、塗料例２の塗
料２Ｒの電着浴に浸漬しニッケル面を陽極として８０Ｖ
の電圧を５０秒印加したのち、マスクを取りはずし、水
洗いし、８０℃、１０分間乾燥して膜厚２．１μｍの赤
色着色層を形成した。次に、同様にして、所定のマスク
と所定の塗料（２Ｂ及び２Ｇ）を用いて各着色層を形成
したのち、該着色基板を透明基板上に、間に気泡が入ら
ぬように圧着し、透明基板側から超高圧水銀灯により２
００ｍｊ／ｃｍ^２紫外線照射した。ついでニッケルメッ
キＰＥＴフイルムを該透明基板上より剥離して着色層を
透明基板上に転写したのち１４０℃、３０分間加熱して
表示装置用カラーフィルターを得た。

【００３５】実施例３ 実施例２で使用したニッケルメッキＰＥＴフイルム基板
を使用する以外は実施例１と同様にして多色着色層を形
成させた後、露出したニッケル層を臭化水素水溶液でエ
ッチング除去し、１４０℃、３０分間の加熱をすること
なしに該着色基板を透明基板上に気泡が入らぬように圧
着した。ついで、ニッケルメッキＰＥＴフイルム基板を
剥離し、着色層のみを透明基板に転写し、１４０℃、３
０分間加熱して表示装置用カラーフィルターを得た。

【００３６】実施例４ 厚さ３００μｍのポリテトラフルオロエチレンフイルム
上に、スパッタリングによりＩＴＯ透明導電層を形成
し、その上にマスク製造例２で得た例えば赤色用マスク
を、基板の裏面に磁石を当てることにより所定位置に固
定した。ついで塗料例４の塗料４Ｒの電着浴に浸漬し透
明導電層を陽極として６０ｍＡ／ｄｍ^２の電流密度で３
０秒間通電したのち、磁石を取りはずし、水洗いし、６
０℃、１０分間水切乾燥して膜厚１．９μｍの赤色着色
層を形成した。次に、同様にして、所定の色用マスクと
所定の塗料（４Ｂ及び４Ｇ）を用いて着色層を形成し、
そのあと塩化第２鉄水溶液を用いて露出しているＩＴＯ
層を除去した後、透明基板上に気泡の入らぬように圧着
し、ポリテトラフルオロエチレンフイルムを剥離して着
色層及び透明導電層を転写し、１９０℃で６０分間加熱
して表示装置用カラーフィルターを得た。

【００３７】実施例５ 厚さ１００μｍのポリイミドフイルムに膜厚１μｍのポ
リオルガノシロキサン膜を形成させたのち、スパッタリ
ングによりＩＴＯ透明導電層を形成する以外は実施例４
と同様にして表示装置用カラーフィルターを得た。

【００３８】実施例６ 厚さ１００μｍのポリイミドフイルムに、パラジウム層
をスパッタリングにより形成した基板上に、マスク製造
例２で得た例えば赤色用マスクを、基板の裏面に磁石を
当てることによりパラジウム面の所定位置に固定した。
ついで、塗料例３の塗料３Ｒの電着浴に浸漬しパラジウ
ム面を陰極として８０Ｖの電圧を４０秒印加したのち、
マスクを取りはずし、水洗いし、８０℃、１０分間乾燥
して膜厚１．９μｍの赤色着色層を形成した。次に、同
様にして、所定のマスクと所定の塗料（３Ｃ及び３Ｇ）
を用いて各着色層を形成したのち、該着色基板を透明基
板上に、間に気泡が入らぬように圧着し、パラジウム層
を有するポリイミドフイルムを該透明基板より剥離して
着色層を透明基板上に転写した。ついで１６０℃、２０
分間加熱して表示装置用カラーフィルターを得た。

【００３９】

【発明の効果】このように本発明の方法によれば着色層
パターンを形成するのに前述の従来技術（２）の様にレ
ジストの露光、現像を繰り返す必要がなく工程が単純と
なり生産性、歩留まりを大幅に向上させることが出来
る。また前述したように従来技術１）では実質的に着色
層をストライプパターンでしか形成出来ないが、本発明
によれば電着塗装前に同一色に着色されるべきパターン
同士を従来技術（１）のように互いに結線する必要が無
いのでパターンの形状に関係なく容易に希望するパター
ン形状、配列のカラーフィルターを得る事が出来、また
従来技術（３）のように転写を多数回行なう必要がない
こと、マスクの耐久性が高く、半永久的に使用できると
いう利点を有し、高解像度のカラー表示装置用に適した
カラーフィルターを生産性良く、経済的に製造すること
が出来る。また第２の態様によれば転写後の基板は何度
も繰り返し使用することが出来、更に経済性の向上を計
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の態様を示す工程図である。

【図２】本発明の第２の態様を示す工程図である。

【図３】本発明の第３の態様を示す工程図である。

【図４】本発明の第４の態様を示す工程図である。

【図５】本発明の第５の態様を示す工程図である。

【図６】本発明のマスク製造例１の着色層配列を示す図
である。

【図７】本発明のマスク製造例２の着色層配列を示す図
である。

【符号の説明】

１ 透明基板 １′基板 ２ 透明導電層 ２′導電層 ３ 磁性体マスク ４ 磁石 ５ 被転写用透明基板 ６ 剥離層

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）透明基板上に透明導電層を形成
   し、 （ｂ）該導電層上に該導電層と電気的に絶縁された所定
   のパターンを有する磁性体マスクを置き裏面に磁石を装
   着してマスクを固定し、 （ｃ）マスクを装着した該基板を所定の色の電着塗料浴
   に浸漬し対極との間に所定量の通電を行ない、電着塗装
   法により基板上の露出した導体上に着色層を形成し、 （ｄ）（ｂ）と（ｃ）の工程を繰り返し所定の色の着色
   層を導電層上の所定の位置に設け、 （ｅ）着色層間の露出した導電層をエッチング除去する
   ことを特徴とするカラー表示装置用カラーフィルターの
   製造方法。
2. 【請求項２】 （ａ）導電層を有する基板上に、 （ｂ）該導電層と電気的に絶縁された所定のパターンを
   有する磁性体マスクを置き裏面に磁石を装着してマスク
   を固定し、 （ｃ）マスクを装着した該基板を所定の色の電着塗料浴
   に浸漬し対極との間に所定量の通電を行ない、電着塗装
   法により基板上の露出した導体上に着色層を形成し、 （ｄ）（ｂ）と（ｃ）の工程を繰り返し所定の色の着色
   層を導電層上の所定の位置に形成し、 （ｅ）該多色着色層を透明基板上に転写し、定着するこ
   とを特徴とするカラー表示装置用カラーフィルターの製
   造方法。
3. 【請求項３】 導電層を有する基板上に、請求項１記載
   の（ｂ）〜（ｅ）の工程により着色層を形成し、エッチ
   ングされて残った導電膜上の着色層のみを透明基板上に
   転写し、定着することを特徴とするカラー表示装置用カ
   ラーフィルターの製造方法。
4. 【請求項４】 基板上に透明導電層を形成し、請求項１
   記載の（ｂ）〜（ｅ）の工程により着色層を形成し、エ
   ッチングされて残った透明導電層とこの導電層上の着色
   層を透明基板上に転写し、定着することを特徴とするカ
   ラー表示装置用カラーフィルターの製造方法。
5. 【請求項５】 基板と透明導電層との間に剥離層を設け
   ることを特徴とする請求項４記載のカラー表示装置用カ
   ラーフィルターの製造方法。