JPH0590326U - 流量計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造に困難を要することなく、又、計測対象
流体中への成分の抽出を確実に防止することが可能な流
量計測装置を提供すること。 【構成】 ハウジングにおいて上記羽根車を軸方向から
挟むような位置に光学式センサの発光部と受光部をそれ
ぞれ配置し、該光学式センサによって羽根車の回転数を
検出するようにした。又、ハウジングと羽根車の接液部
を耐薬品性を備えた材料から構成し、羽根車を軸支する
部分を耐磨耗性及び耐薬品性に優れた宝石により構成し
た。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば、半導体、液晶、医療、食品等の製造工場において、その製 造工程で使用される純水や薬液等の流量を計測する流量計測装置の改良に関する 。

【０００２】

【従来の技術】

従来の流量計測装置は、例えば、図６及び図７に示すような構成になっている 。まず、ハウジング１０１があり、このハウジング１０１内には、羽根車１０３ が回転可能に配置されている。上記羽根車１０３は、ハウジング１０３に軸支さ れた軸１０５と、この軸１０５に固着されたボス部１０７と、このボス部１０７ より放射方向に延長された複数枚の羽根１０９とから構成されている。上記各羽 根１０９の図中上面側には磁石１１１が埋め込まれている。一方、ハウジング１ ０３の図中上部であって片側には、磁気動作式近接スイッチ１１３が設置されて いる。尚、図７中符号１１５、１１７は軸受であり、これら軸受１１５、１１７ としては樹脂、金属、カーボン製のものを使用していた。

【０００３】 一方、計測対象流体は、図６に示すように、配管１１６内を流通しており、こ の計測対象流体の流通によって羽根車１０３が回転する。羽根車１０３の回転に より各羽根１０９に取付けられた磁石１１１が磁気動作式近接スイッチ１１３の 下方を通過することになる。そのときのＮ／Ｓパルス数を上記磁気動作式近接ス イッチ１１３によって検出することにより、計測対象流体の流速ひいては流量を 計測するものである。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上記従来の構成によると次のような問題があった。まず、半導体製造工場等に おいては、強酸性や強アルカリ性等の各種薬剤の流量を計測することがあり、そ の際、流量計測装置の接液部が上記薬品によって化学反応を起こしてその成分が 薬剤の中に抽出してしまうことがある。その場合には薬品の純粋性が損なわれる ことになる。そこで、接液部を構成する部材としてはそのような化学反応を起こ さないような限られた材質（例えば、フッ素樹脂）のものが使用されている。と ころが、上記した磁石１１１を使用したタイプのものにあっては磁石１１１を露 出させて使用した場合には上記化学反応が懸念されるために、これを流体に接触 させないような状態で羽根１０９に取付ける必要があり、そのため組立に困難を 要していた。又、磁石１１１を流体に接触させないように埋め込んでも、長期間 使用しているうちに流体が浸透して磁石１１１にまで至り、そこで化学反応を起 こして成分が抽出することも懸念される。

【０００５】 又、羽根車１０３の各部品としては、既に述べたように耐薬品性に優れた材質 のものを使用しているが、例えば、軸１０５と軸受１１５、１１７との摺動摩擦 により磨耗粉が発生することがあり、この磨耗粉が流体中に混入されてしまうと いう問題もあった。

【０００６】 本考案はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、組 立に困難を要することなく、又、計測対象流体中への成分の抽出を確実に防止す るとともに、摺動摩擦による磨耗粉の発生を抑制して、計測対象流体の純粋性を 維持することが可能な流量計測装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するべく本願考案による流量計測装置は、計測対象流体がハウ ジング内を流通し、その際ハウジング内に回転可能に配置された羽根車が回転し 、該羽根車の回転数を検出することにより流量を計測する流量計測装置において 、上記ハウジングにおいて上記羽根車を軸方向から挟むような位置に光学式セン サの発光部と受光部をそれぞれ配置し、該光学式センサによって羽根車の回転数 を検出するようにしたことを特徴とするものである。

【０００８】 又、計測対象流体がハウジング内を流通し、その際ハウジング内に回転可能に 配置された羽根車が回転し、該羽根車の回転数を検出することにより流量を計測 する流量計測装置において、少なくとも上記ハウジングと羽根車の接液部を耐薬 品性を備えた材料から構成し、羽根車を軸支する構成の全部又は一部を耐磨耗性 及び耐薬品性に優れた宝石により構成したことを特徴とするものである。

【０００９】

【作用】

まず、ハウジングにおいて上記羽根車を軸方向から挟むような位置に光学式セ ンサの発光部と受光部をそれぞれ配置し、該光学式センサによって羽根車の回転 数を検出するようにしたので、従来のように、羽根に磁石を埋め込むような困難 な作業を要することもなければ、その部分に流体が浸透して成分が流体中に抽出 されてしまうようなこともなくなる。

【００１０】 又、少なくとも上記ハウジングと羽根車の接液部を耐薬品性を備えた材料から 構成し、羽根車を軸支する構成の全部又は一部を耐磨耗性及び耐薬品性に優れた 宝石により構成した場合には、流体との反応により成分が流体中へ抽出すること を防止できることはもとより、摺動抵抗による磨耗粉の発生を抑制して、該磨耗 粉の流体中への抽出を防止することができる。

【００１１】

【実施例】

以下、図１乃至図５を参照して本考案の一実施例を説明する。本実施例による 流量計測装置は、図１及び図２に示すような構成になっている。まず、ハウジン グ１があり、このハウジング１内には羽根車３が回転可能に収容されている。こ の羽根車３は、ボス部５と、このボス部５より放射方向に延長された複数枚の羽 根７等から構成されている。上記ボス部５の図中上面側には軸受９が取付けられ ており、又、ボス部５の図中下面側には軸１１が取付けられている。一方、ハウ ジング１側にはそれぞれ軸１３と軸受１５が取付けられている。上記軸１１、１ ３と、軸受９、１５は、全て耐磨耗性及び耐薬品性に優れた宝石としてのサファ イヤから構成されている。それによって、摺動摩擦による磨耗粉の発生を抑制す るものである。尚、サファイヤ以外にも、ルビーやダイヤモンド等の宝石の使用 が考えられる。

【００１２】 上記ハウジング１には光学式センサとしての光電子センサ１７が取付けられて いる。この光電子センサ１７は、ハウジング１の図中上部に取付けられた発光部 としての投光器１９と、ハウジング１の図中下部に取付けられた受光部としての 受光器２１とから構成されている。投光器１９より発せられた光は受光器２１に より受光されることになる。その際、流体の流通により羽根車３が回転すると、 各羽根７が投光器１９と受光器２１との間を通過することになり、それによって 光が遮断されることになる。それによる出力パルスを検出してすることにより流 体の流速ひいては流量を計測するものである。すなわち、図３に示すように、デ ジタル回転計２５を使用して瞬間流量を表示したり、図４に示すように、積算計 ２７を使用して積算流量を表示したり、図５に示すように、Ｆ／Ｖ変換器２９を 使用してアナログ的に出力したりする。

【００１３】 以上本実施例によると次のような作用・効果を奏することができる。まず、従 来の磁石式の場合のように、羽根７に磁石を埋め込む必要がないので、組立が容 易になるとともに、流体との接触による化学反応によって成分が抽出してしまう ようなことがなくなった。よって、計測対象の流体の純粋性を長期にわたって維 持することができる。又、羽根車３を軸支するための軸１１、１３と、軸受９、 １５は耐磨耗性及び耐薬品性に優れたサファイヤから構成されているので、摺動 摩擦による磨耗粉の発生を抑制することができる。尚、その他の接液部が耐薬品 性の材質から構成されていて、流体との接触により化学反応を起こさないように なっているのは勿論である。

【００１４】 尚、本考案は前記一実施例に限定されるものではない。まず、光学式センサと しては、前記一実施例における光電管式センサに限定されず、その他の光学式セ ンサであってもよい。又、前記一実施例では、ボス部５に軸と軸受をそれぞれ設 けたが、両方とも軸としたり両方とも軸受にしてもよい。さらに、前記一実施例 では軸と軸受の全てを宝石により構成したが、接触部だけを宝石により構成する ことも考えられる。

【００１５】

【考案の効果】

以上詳述したように本考案による流量計測装置によると、組立が簡単になると ともに、流量計測装置を構成する各部品の流体との反応による成分の抽出を防止 し、かつ、羽根車の軸と軸受による摺動摩擦に起因した磨耗粉の発生を抑制する ことができ、流体の純粋性を損なうことを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す図で流量計測装置の一
部を切欠いて示す平面図である。

【図２】本考案の一実施例を示す図で流量計測装置の断
面図である。

【図３】本考案の一実施例を示す図で流量測定装置にデ
ジタル回転計を接続した様子を示す図である。

【図４】本考案の一実施例を示す図で流量測定装置に積
算計を接続した様子を示す図である。

【図５】本考案の一実施例を示す図で流量測定装置に変
換器を接続した様子を示す図である。

【図６】従来例を示す図で流量計測装置の一部を切欠い
て示す平面図である。

【図７】従来例を示す図で流量計測装置の断面図であ
る。

【符号の簡単な説明】

１ ハウジング ３ 羽根車 ５ ボス部 ７ 羽根 ９ 軸受 １１ 軸 １３ 軸 １５ 軸受 １７ 光電子センサ（光学式センサ） １９ 投光器（発光部） ２１ 受光器（受光部）

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 計測対象流体がハウジング内を流通し、
   その際ハウジング内に回転可能に配置された羽根車が回
   転し、該羽根車の回転数を検出することにより流量を計
   測する流量計測装置において、上記ハウジングにおいて
   上記羽根車を軸方向から挟むような位置に光学式センサ
   の発光部と受光部をそれぞれ配置し、該光学式センサに
   よって羽根車の回転数を検出するようにしたことを特徴
   とする流量計測装置。
2. 【請求項２】 計測対象流体がハウジング内を流通し、
   その際ハウジング内に回転可能に配置された羽根車が回
   転し、該羽根車の回転数を検出することにより流量を計
   測する流量計測装置において、少なくとも上記ハウジン
   グと羽根車の接液部を耐薬品性を備えた材料から構成
   し、羽根車を軸支する構成の全部又は一部を耐磨耗性及
   び耐薬品性に優れた宝石により構成したことを特徴とす
   る流量計測装置。