JPH0590333A - フイルム実装型半導体装置 - Google Patents
フイルム実装型半導体装置Info
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- JPH0590333A JPH0590333A JP24585291A JP24585291A JPH0590333A JP H0590333 A JPH0590333 A JP H0590333A JP 24585291 A JP24585291 A JP 24585291A JP 24585291 A JP24585291 A JP 24585291A JP H0590333 A JPH0590333 A JP H0590333A
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- JP
- Japan
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- semiconductor device
- film
- conductive pattern
- type semiconductor
- static electricity
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- Pending
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 7
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- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィルム実装型半導体装置に於て、実装され
た半導体ペレットの任意の端子に、静電気が印可された
場合、印可された電化を逃がす経路を形成することによ
って、静電気破壊を防止する。 【構成】 テープキャリア周辺部に導電性パターン部を
配置し、搬送用スプロケットを介して接地電位を与え、
それぞれのリードパターンをこの導電性パターンに接続
する。 【効果】 テープキャリアに実装された半導体ペレット
の任意の端子に印可された静電気は、搬送用スプロケッ
トを介して接地電位を与えられているテープキャリア周
辺部に設けられた導電性パターンを介して電荷を逃がす
ことができるため、集積回路素子の静電気破壊を確実に
防止できる。
た半導体ペレットの任意の端子に、静電気が印可された
場合、印可された電化を逃がす経路を形成することによ
って、静電気破壊を防止する。 【構成】 テープキャリア周辺部に導電性パターン部を
配置し、搬送用スプロケットを介して接地電位を与え、
それぞれのリードパターンをこの導電性パターンに接続
する。 【効果】 テープキャリアに実装された半導体ペレット
の任意の端子に印可された静電気は、搬送用スプロケッ
トを介して接地電位を与えられているテープキャリア周
辺部に設けられた導電性パターンを介して電荷を逃がす
ことができるため、集積回路素子の静電気破壊を確実に
防止できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体チップを、TA
B(Tape Automated Bonding)
方式によってフィルム上に搭載した半導体装置に於ける
リード配線部の構造及び電気的特性検査方法に関する。
B(Tape Automated Bonding)
方式によってフィルム上に搭載した半導体装置に於ける
リード配線部の構造及び電気的特性検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、TAB方式によって半導体チップ
をフィルム上に搭載し、このフィルムを適宣カットして
フィルム上にあらかじめ形成されたリード配線を介して
外部回路などに接続する方法がある。
をフィルム上に搭載し、このフィルムを適宣カットして
フィルム上にあらかじめ形成されたリード配線を介して
外部回路などに接続する方法がある。
【0003】このフィルム型半導体装置の平坦構造を図
3に示す。
3に示す。
【0004】ポリィミド製のフィルムで形成されたテー
プキャリア201上には、半導体チップ202を収容す
るためのデバイスホール204と、テープ搬送用のスプ
ロケットホール205が形成されており、テープキャリ
ア201の表面上には、予め半導体チップ202上に形
成されたバンプ電極に対応した数のリード配線203が
印刷形成されている。
プキャリア201上には、半導体チップ202を収容す
るためのデバイスホール204と、テープ搬送用のスプ
ロケットホール205が形成されており、テープキャリ
ア201の表面上には、予め半導体チップ202上に形
成されたバンプ電極に対応した数のリード配線203が
印刷形成されている。
【0005】このフィルム実装型半導体装置に於ては、
半導体チップ202上に形成されたバンプ電極に接続さ
れたリード配線203は、個々に独立し、かつ、電位的
にもオープン状態となっていた。
半導体チップ202上に形成されたバンプ電極に接続さ
れたリード配線203は、個々に独立し、かつ、電位的
にもオープン状態となっていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記フ
ィルム実装型半導体装置に於ては、リード配線203が
オープン状態で電気的に不安定であることより、テープ
キャリア201自体が静電気により帯電し易く、静電気
が任意のリード配線203に印可された場合、テープキ
ャリアに実装された半導体チップの集積回路素子が、破
壊されてしまうという問題点を有していた。
ィルム実装型半導体装置に於ては、リード配線203が
オープン状態で電気的に不安定であることより、テープ
キャリア201自体が静電気により帯電し易く、静電気
が任意のリード配線203に印可された場合、テープキ
ャリアに実装された半導体チップの集積回路素子が、破
壊されてしまうという問題点を有していた。
【0007】したがって、フィルム実装型半導体装置の
製造に於ては、人体アース、製造設備のアース、イオン
アナライザーによる除電等の静電対策が必要であり、ま
た半導体装置の静電気破壊による信頼性低下をまねいて
いた。
製造に於ては、人体アース、製造設備のアース、イオン
アナライザーによる除電等の静電対策が必要であり、ま
た半導体装置の静電気破壊による信頼性低下をまねいて
いた。
【0008】そこで、本発明は上記問題を解決するもの
であり、その課題は、リード配線203を電気的に安定
させることによって、静電気が印可された時の電荷を逃
がす経路を持ったフィルム実装型半導体装置を提供する
ことにある。
であり、その課題は、リード配線203を電気的に安定
させることによって、静電気が印可された時の電荷を逃
がす経路を持ったフィルム実装型半導体装置を提供する
ことにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、フィルム上に半導体チップを搭載し、半導体チップ
に接続された複数の配線からなるリードパターンが形成
されたフィルム実装型半導体装置に於て、本発明が講じ
た手段は、テープキャリア周辺部に導電性パターン部を
配置し、搬送用スプロケットを介して接地電位を与え、
更にそれぞれのリードパターンをこの導電性パターンに
接続するものである。
に、フィルム上に半導体チップを搭載し、半導体チップ
に接続された複数の配線からなるリードパターンが形成
されたフィルム実装型半導体装置に於て、本発明が講じ
た手段は、テープキャリア周辺部に導電性パターン部を
配置し、搬送用スプロケットを介して接地電位を与え、
更にそれぞれのリードパターンをこの導電性パターンに
接続するものである。
【0010】
【実施例】次に、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【0011】(実施例1)図1は、フィルム実装型半導
体装置の実施例を示す平面図である。テープキャリア1
01のほぼ中央部にはデバイスホール104、上下端部
にはスプロケットホール102が打ち抜き形成されてい
る。半導体のバンプ電極と接続されたリード配線103
は、テープ周辺に配置され、搬送用スプロケットを介し
て接地電位を与えられる導電性パターン105に接続用
導電性パターン106を介して接続される。従って、こ
のリード配線103は電位的に接地され、静電気が製造
工程中に印可されても接地側に逃がす電気的経路を持つ
ことになる。
体装置の実施例を示す平面図である。テープキャリア1
01のほぼ中央部にはデバイスホール104、上下端部
にはスプロケットホール102が打ち抜き形成されてい
る。半導体のバンプ電極と接続されたリード配線103
は、テープ周辺に配置され、搬送用スプロケットを介し
て接地電位を与えられる導電性パターン105に接続用
導電性パターン106を介して接続される。従って、こ
のリード配線103は電位的に接地され、静電気が製造
工程中に印可されても接地側に逃がす電気的経路を持つ
ことになる。
【0012】一方、最終電気的特性検査工程では、検査
前に各々のリード配線103間及びテープ周辺に配置さ
れた導電性パターン105に接続している接続用導電性
パターン106を打ち抜くことにより、各リード配線を
電気的に絶縁させ、独立した電極として電気的特性検査
を行なうことができる。
前に各々のリード配線103間及びテープ周辺に配置さ
れた導電性パターン105に接続している接続用導電性
パターン106を打ち抜くことにより、各リード配線を
電気的に絶縁させ、独立した電極として電気的特性検査
を行なうことができる。
【0013】(実施例2)次に、図2を参照して本発明
によるフィルム実装型半導体装置の実施例2を説明す
る。
によるフィルム実装型半導体装置の実施例2を説明す
る。
【0014】この実施例に於ては、接続用導電性パター
ン106以外は図1に示す実施例1と同一であり、説明
は省略する。
ン106以外は図1に示す実施例1と同一であり、説明
は省略する。
【0015】図2に於て、接続用導電パターン106
は、リード配線外端部より各配線パターンを一括して、
接地導電パターン105に接続し、各配線パターンを電
位的に接地する。また、四方にリード配線が配置されて
いる場合、両側に配置された接地用導電パターンを結ぶ
新たな接地用導電パターンを設ける。
は、リード配線外端部より各配線パターンを一括して、
接地導電パターン105に接続し、各配線パターンを電
位的に接地する。また、四方にリード配線が配置されて
いる場合、両側に配置された接地用導電パターンを結ぶ
新たな接地用導電パターンを設ける。
【0016】最終電気的特性検査時には、検査前に接地
用導電パターン一括でを抜き、各リード配線を電気的に
独立させる。この場合、一括した接地電源パターン10
5を打ち抜くため、実施例1に要求されるほどの高い打
ち抜き精度は必要としない。
用導電パターン一括でを抜き、各リード配線を電気的に
独立させる。この場合、一括した接地電源パターン10
5を打ち抜くため、実施例1に要求されるほどの高い打
ち抜き精度は必要としない。
【0017】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、テ
ープキャリアに実装された半導体ペレットの集積回路素
子に静電気による過大電流が加わらないため、集積回路
素子の静電気破壊を確実に防止できる。
ープキャリアに実装された半導体ペレットの集積回路素
子に静電気による過大電流が加わらないため、集積回路
素子の静電気破壊を確実に防止できる。
【図1】本発明によるフィルム型半導体装置の実施例1
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図2】本発明によるフィルム型半導体装置の実施例2
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図3】従来のフィルム型半導体装置の平坦構造を示す
平面図である。
平面図である。
101 テープキャリア 102 スプロケットホール 103 リード配線 104 デバイスホール 105 導電性パターン 106 接地用導電性パタ−ン 201 テープキャリア 202 半導体チップ 203 リード配線 204 デバイスホール 205 スプロケットホール
Claims (2)
- 【請求項1】フィルム上に半導体チップを搭載し、該半
導体チップに接続された複数の配線からなるリ−ドパタ
−ンが形成されているフィルム実装型半導体装置に於
て、前記リードパターンをフィルム周辺部に設けた導電
性パターンに接続することを特徴とするフィルム実装型
半導体装置。 - 【請求項2】請求項1記載のフィルム実装型半導体装置
に於て、リードパタ−ンとフィルム周辺部に設けた導電
性パターンとの接続部を、電気的特性検査時にパンチで
抜き、電気的特性検査を行なうことを特徴とするフィル
ム実装型半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24585291A JPH0590333A (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | フイルム実装型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24585291A JPH0590333A (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | フイルム実装型半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0590333A true JPH0590333A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17139803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24585291A Pending JPH0590333A (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | フイルム実装型半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0590333A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09283572A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-31 | Nec Corp | フィルム・キャリア半導体装置 |
| KR20010018949A (ko) * | 1999-08-24 | 2001-03-15 | 마이클 디. 오브라이언 | 반도체패키지용 회로기판 |
| KR100381844B1 (ko) * | 1998-08-31 | 2003-07-10 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지용써킷테이프 |
| JP2009252964A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Oki Semiconductor Co Ltd | テープキャリア、半導体装置及び位置ずれ判定方法 |
-
1991
- 1991-09-25 JP JP24585291A patent/JPH0590333A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09283572A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-31 | Nec Corp | フィルム・キャリア半導体装置 |
| KR100381844B1 (ko) * | 1998-08-31 | 2003-07-10 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지용써킷테이프 |
| KR20010018949A (ko) * | 1999-08-24 | 2001-03-15 | 마이클 디. 오브라이언 | 반도체패키지용 회로기판 |
| JP2009252964A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Oki Semiconductor Co Ltd | テープキャリア、半導体装置及び位置ずれ判定方法 |
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