JPH0590336A - テープキヤリアパツケージ - Google Patents

テープキヤリアパツケージ

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Publication number
JPH0590336A
JPH0590336A JP3251324A JP25132491A JPH0590336A JP H0590336 A JPH0590336 A JP H0590336A JP 3251324 A JP3251324 A JP 3251324A JP 25132491 A JP25132491 A JP 25132491A JP H0590336 A JPH0590336 A JP H0590336A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
die pad
chip
spacer
tape
film carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3251324A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideya Yagoura
英也 御秡如
Haruo Shimamoto
晴夫 島本
Hiroshi Seki
博司 関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP3251324A priority Critical patent/JPH0590336A/ja
Publication of JPH0590336A publication Critical patent/JPH0590336A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、絞り加工をなくして製造を簡単に
するとともに、フィルムキャリアテープ3の撓みによる
インナーリード3dの断線やショートを防止しつつ、ダ
イパッド11を十分に露出させて放熱性を向上させること
を目的とするものである。 【構成】 ICチップ1と同様の熱膨張係数を有する高
熱伝導性の平板状のダイパッド11にICチップ1を搭載
し、このダイパッド11とフィルムキャリアテープ3との
間に平板状のスペーサ13を介在させ、ダイパッド11の裏
面が露出するようにモールド樹脂6により全体をモール
ド成形した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】請求項1及び請求項2の発明は、
フィルムキャリアテープを用いてTABにより組み立て
られるテープキャリアパッケージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は従来のテープキャリアパッケージ
の一例の要部断面図である。図において、1はICチッ
プ、2はICチップ1上に設けられている突起電極、3
はテープ基材3a上に配線パターン3bが形成されてな
るフィルムキャリアテープであり、このフィルムキャリ
アテープ3には、ICチップ1を配置するためのデバイ
スホール3cが設けられている。また、配線パターン3
bは、突起電極2に接続されたインナーリード3dと、
屈曲されたグランド又は電源用リード3eとを有してい
る。
【0003】4はICチップ1が搭載されているキャッ
プであり、このキャップ4は、例えばアルミニウムから
なる金属ベース4aと、金属ベース4a上に設けられた
絶縁層4bと、裏面電位を取るため絶縁層4b上に設け
られた配線層4cとからなっている。また、配線層4c
には、グランド又は電源用リード3eの先端部が接続さ
れている。
【0004】5はICチップ1とキャップ4との間に配
置されている熱膨張係数整合用のサブマウント板、6は
全体を覆うモールド樹脂、7はICチップ1とサブマウ
ント板5との間に設けられた第1の導電性接合材、8は
キャップ4とサブマウント板5との間に設けられた第2
の導電性接合材、9はグランド又は電源用リード3eを
配線層4cに接続するための第3の導電性接合材、10は
フィルムキャリアテープ3及びキャップ4を貫通してい
るモールド樹脂6用の注入孔である。
【0005】上記のように構成された従来のテープキャ
リアパッケージにおいては、ICチップ1と配線パター
ン3bとが、ICチップ1又はインナーリード3d上に
形成された突起電極2を介して、熱圧着等により電気的
かつ機械的に互いに接続される。フィルムキャリアテー
プ3にボンディングされたICチップ1は、第1の導電
性接合材7を介してキャップ4にダイボンドされ、これ
によりICチップ1の裏面電位が取られる。ICチップ
1とキャップ4との間の熱膨張係数の差が大きい場合、
これらの間にサブマウント板5が配置され、ICチップ
1の反り等の変形が防止される。また、グランド又は電
源用リード3eを配線層4cに電気的に接続することに
より、グランドライン又は電源ラインのインダクタンス
が低減される。
【0006】この後、トランスファモールド等により、
全体がモールド樹脂6で覆われる。このとき、樹脂注入
孔10により、モールド樹脂6が表裏両面に回り込むよう
になっている。フィルムキャリアテープ3とキャップ4
との間は、主に樹脂注入孔10に充填されたモールド樹脂
6のアンカー効果により接合されている。金属ベース4
aの一部は、放熱のためモールド後も外部に露出し、こ
の露出部に放熱フィン(図示せず)等が取り付けられ
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た従来のテープキャリアパッケージにおいては、キャッ
プ4は、表面に配線層4cを形成した後に絞り加工する
ことにより形成されるが、ICチップ1(又はサブマウ
ント板5)の搭載部を平坦に保ちながら絞るのが難し
く、また絞り量が浅いと金属ベース4aのスプリングバ
ック等が生じるため、寸法を安定して絞り加工するのが
難しいなどの問題点もあった。また、金属ベース4aの
露出部の面積が十分でないため、放熱性が悪いという問
題点もあった。これに対して、例えば図6に示すよう
に、上記露出部の面積を広くすると、キャップ4のテー
プ基材3aを受ける部分が小さくなり、トランスファモ
ールド時にフィルムキャリアテープ3が撓み、インナー
リード3dが切れたり、インナーリード3dがICチッ
プ1のエッジとショートしたりすることがあるなどの問
題点があった。
【0008】請求項1及び請求項2の発明は、上記のよ
うな問題点を解決することを課題としてなされたもので
あり、絞り加工をなくして製造を簡単にすることがで
き、またフィルムキャリアテープの撓みによるインナー
リードの断線やショートを防止しつつ、放熱性を向上さ
せることができるテープキャリアパッケージを得ること
を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係るテ
ープキャリアパッケージは、平板状のダイパッドにIC
チップを搭載し、このダイパッドとフィルムキャリアテ
ープとの間に平板状のスペーサを介在させ、ダイパッド
の裏面が露出するようにモールド樹脂により全体をモー
ルド成形したものである。
【0010】請求項2の発明に係るテープキャリアパッ
ケージは、平板状のダイパッドにICチップを搭載し、
このダイパッドにフィルムキャリアテープを接合し、ダ
イパッドの裏面が露出するようにモールド樹脂により全
体をモールド成形したものである。
【0011】
【作用】請求項1の発明においては、平板状のダイパッ
ドとスペーサとを用いることにより絞り加工をなくし、
またダイパッドの十分な面積を外部に露出させることに
より放熱性を向上させる。
【0012】請求項2の発明においては、平板状のダイ
パッドを用いることにより絞り加工をなくし、またダイ
パッドの十分な面積を外部に露出させることにより放熱
性を向上させる。
【0013】
【実施例】以下、請求項1及び請求項2の発明の実施例
を図について説明する。 実施例1.図1は請求項1の発明の一実施例によるテー
プキャリアパッケージの要部断面図であり、図5と同一
又は相当部分には同一符号を付し、その説明を省略す
る。図において、11は表面にICチップ1が搭載されて
いる平板状のダイパッドであり、このダイパッド11は、
ベース11aとその表面に形成された導電層11bとからな
っている。ベース11aの材料は、例えばSiC,AlN
又はCuWなど、ICチップ1と同様の低熱膨張係数、
及び高熱伝導性を有するものが使用される。導電層11b
には、第1の導電性接合材12によりICチップ1の裏面
が接合されて電気的に接続されている。ダイパッド11
は、裏面全体が外部に露出している。
【0014】13はダイパッド11とフィルムキャリアテー
プ3との間に介在している両面配線基板からなる平板状
のスペーサであり、このスペーサ13には、フィルムキャ
リアテープ3のデバイスホール3cと重なるスペーサ用
デバイスホール13aが設けられている。スペーサ13の表
裏には、スペーサ用配線パターン13bがそれぞれ形成さ
れており、表裏のスペーサ用配線パターン13bはスペー
サ用スルーホール13cにより互いに電気的に接続されて
いる。スペーサ用デバイスホール13aの裏面周縁部は、
第2の導電性接合材14によりダイパッド11に接合されて
おり、これにより裏面のスペーサ用配線パターン13bは
導電層11bに電気的に接続されている。表面のスペーサ
用配線パターン13bには、第3の導電性接合材15により
グランド又は電源用リード3eが電気的に接続されてい
る。
【0015】上記のように構成されたテープキャリアパ
ッケージにおいては、フィルムキャリアテープ3とIC
チップ1とのボンディングを行った後、フィルムキャリ
アテープ3の裏面にスペーサ13を貼り付け、グランド又
は電源用リード3eをスペーサ用配線パターン13bに接
続する。次に、ダイパッド11上にICチップ1及びスペ
ーサ13を接合する。この後、トランスファモールドによ
り全体をモールド樹脂6で樹脂封止する。
【0016】このようなテープキャリアパッケージで
は、従来のキャップ4をダイパッド11とスペーサ13とに
分けたので、ダイパッド11を十分な面積だけ露出させる
ことができ、放熱性を向上させることができる。このと
き、スペーサ用デバイスホール13aの開口寸法をデバイ
スホール3cと同等程度にしておくことにより、フィル
ムキャリアテープ3のデバイスホール3cの周縁部が確
実に支持され、トランスファモールド時のフィルムキャ
リアテープ3の撓みが防止される。従って、インナーリ
ード3dの断線やショートも防止される。また、ダイパ
ッド11及びスペーサ13は、いずれも平板状のものであ
り、絞り加工をする必要はないので、製造が容易であり
品質も安定する。
【0017】また、従来例のテープキャリアパッケージ
では、ICチップ1と金属ベース4aの露出部との間に
サブマウント板5等が介在して多層構造になっているた
め、放熱性が悪かったが、従来のキャップ4をダイパッ
ド11とスペーサ13とに分けたので、ダイパッド11の材料
を上記のように選択することができ、この結果サブマウ
ント板5は必要でなくなり、放熱性をさらに向上させる
ことができ、ICチップ1へのストレスも小さくでき
る。
【0018】なお、上記実施例1ではスペーサ13として
両面配線基板を用いたが、裏面電位を取るだけであれば
金属材料等であってもよい。しかし、電源やグランドラ
インのインダクタンスを下げるためには両面配線基板が
優れている。
【0019】実施例2.次に、図2は請求項1の発明の
他の実施例によるテープキャリアパッケージの要部断面
図、図3は図2のモールド樹脂6を除いた部分の分解斜
視図であり、図3では表裏を見せるためにスペーサ13の
形状を変えて示している。図において、21はサポートテ
ープ21aに表面配線パターン21b及び裏面配線パターン
21cを形成してなる両面配線フィルムキャリアテープで
あり、この両面配線フィルムキャリアテープ21には、デ
バイスホール21dが設けられている。表面配線パターン
21bは、突起電極2に電気的に接続されたインナーリー
ド21eを有している。表面配線パターン21bと裏面配線
パターン21cとは、スルーホール21fにより電気的に接
続されている。両面配線フィルムキャリアテープ21の裏
面の周縁部には、閉じたループ状の裏面周回パターン21
gが形成されている。
【0020】また、スペーサ13は、表面に形成されたス
ペーサ用表面配線パターン13dと、表面周縁部にループ
状に形成された表面周回パターン13eと、スペーサ用裏
面配線パターン13fとを有している。スペーサ用裏面配
線パターン13fは、第2の導電性接合材14により導電層
11bに接合されている。スペーサ用表面配線パターン13
dは、第4の導電性接合材16により裏面配線パターン21
cに接合されている。表面周回パターン13eは、第5の
導電性接合材17により裏面周回パターン21gに接合され
ている。
【0021】この実施例2では、平板状のダイパッド11
及びスペーサ13を使用しているので、上記実施例1と同
様の効果が得られる。また、フィルムキャリアテープと
して両面配線フィルムキャリアテープ21を用い、裏面配
線パターン21cを広く形成しているので、従来のグラン
ド又は電源用リード3eを折り曲げて接続する手間がか
からず、接続が容易かつ確実である。さらに、表面配線
パターン21bと裏面配線パターン21cとをスルーホール
21fにより接続したので、インダクタンス等をさらに下
げる効果がある。
【0022】また、従来例のテープキャリアパッケージ
では、フィルムキャリアテープ3とキャップ4との接合
が不十分であるため、外部から水分が侵入し易く、信頼
性が低いという問題点があったが、この実施例2では、
表面及び裏面周回パターン21g,13eを形成し、これら
の間をはんだ等の耐湿性の優れた導電性接合材17で接合
するようにしたので、両面配線フィルムキャリアテープ
21とスペーサ13との間の界面からの水分の侵入は防止さ
れる。また、第2の導電性接合材14にも同様の接合材を
用いることにより、ダイパッド11とスペーサ13との間の
界面からの水分の侵入も防止される。
【0023】実施例3.次に、図4は請求項2の発明の
一実施例によるテープキャリアパッケージの要部断面図
である。この実施例のパッケージは、実施例2のパッケ
ージのスペーサ13を省略して、両面配線フィルムキャリ
アテープ21の裏面配線パターン21cとダイパッド11の導
電層11bとを第2の導電性接合材14により接合したもの
である。スペーサ13を省略したことにより、裏面周回パ
ターン21gも省略されている。
【0024】ICチップ1や両面配線フィルムキャリア
テープ21の厚みによっては、このようにスペーサ13を必
要としない場合が生じる。このようなパッケージにおい
ても、ダイパッド11が平板状であるため、上記実施例1
と同様の効果が得られる。また、第2の導電性接合材14
に耐湿性の優れたものを用いることにより、上記実施例
2と同様に水分の侵入も防止できる。
【0025】なお、上記実施例3ではICチップ1の裏
面電位を取るために両面配線フィルムキャリアテープ21
を用いたが、図1と同様のフィルムキャリアテープ3で
あってもよい。また、上記各実施例ではダイパッド11に
導電層11bが形成されており、ICチップ1の裏面電位
を取るものを示したが、裏面電位を取らないものであっ
てもよい。この場合、ダイパッドやスペーサには導電層
や配線パターンを形成する必要はない。
【0026】さらに、上記各実施例ではベース11aに導
電層11bが形成されたダイパッド11を示したが、導電層
11bは全面に形成しても一部に形成してもよく、またダ
イパッド11の全体を金属で構成するなどしてもよい。さ
らにまた、組立方法も上記の説明に限定されるものでは
なく、ダイパッド11とスペーサ13とを接合したものに、
フィルムキャリアテープ3にICチップ1をボンディン
グしたものを重ね合わせてもよい。
【0027】また、上記各実施例ではスペーサ13の裏面
にモールド樹脂6が回り込んでいるが、全体の構成材料
間の膨張係数の関係からパッケージの反りが小さくなれ
ばよいので、構成材料の寸法等によっては、スペーサ13
の裏面にモールド樹脂6を回り込ませなくてもよい。さ
らに、放熱効率を上げるためにダイパッド11のサイズを
自由に変更できることは言うまでもない。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明の
テープキャリアパッケージは、平板状のダイパッドにI
Cチップを搭載し、このダイパッドとフィルムキャリア
テープとの間に平板状のスペーサを介在させ、ダイパッ
ドの裏面が露出するようにモールド樹脂により全体をモ
ールド成形したので、絞り加工をなくして製造を簡単に
することができ、またフィルムキャリアテープの撓みに
よるインナーリードの断線やショートを防止しつつ、ダ
イパッドを十分に露出させて放熱性を向上させることが
できるなどの効果を奏する。
【0029】また、請求項2の発明のテープキャリアパ
ッケージは、平板状のダイパッドにICチップを搭載
し、このダイパッドにフィルムキャリアテープを接合
し、ダイパッドの裏面が露出するようにモールド樹脂に
より全体をモールド成形したので、上記請求項1の発明
と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1の発明の一実施例によるテープキャリ
アパッケージの要部断面図である。
【図2】請求項1の発明の他の実施例によるテープキャ
リアパッケージの要部断面図である。
【図3】図2のモールド樹脂を除いた部分の分解斜視図
である。
【図4】請求項2の発明の一実施例によるテープキャリ
アパッケージの要部断面図である。
【図5】従来のテープキャリアパッケージの一例の要部
断面図である。
【図6】従来のテープキャリアパッケージの他の例の要
部断面図である。
【符号の説明】
1 ICチップ 2 突起電極 3 フィルムキャリアテープ 3b 配線パターン 6 モールド樹脂 11 ダイパッド 13 スペーサ 21 両面配線フィルムキャリアテープ 21b 表面配線パターン

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 平板状のダイパッドと、このダイパッド
    の表面に搭載されているICチップと、このICチップ
    の電極に電気的に接続されている配線パターンを有して
    いるフィルムキャリアテープと、このフィルムキャリア
    テープ及び前記ダイパッドの間に介在している平板状の
    スペーサと、前記ダイパッドの裏面が露出するように全
    体をモールドしているモールド樹脂とを備えていること
    を特徴とするテープキャリアパッケージ。
  2. 【請求項2】 平板状のダイパッドと、このダイパッド
    の表面に搭載されているICチップと、このICチップ
    の電極に電気的に接続されている配線パターンを有し、
    前記ダイパッドに接合されているフィルムキャリアテー
    プと、前記ダイパッドの裏面が露出するように全体をモ
    ールドしているモールド樹脂とを備えていることを特徴
    とするテープキャリアパッケージ。
JP3251324A 1991-09-30 1991-09-30 テープキヤリアパツケージ Pending JPH0590336A (ja)

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JP3251324A JPH0590336A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 テープキヤリアパツケージ

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JP3251324A JPH0590336A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 テープキヤリアパツケージ

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JPH0590336A true JPH0590336A (ja) 1993-04-09

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JP3251324A Pending JPH0590336A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 テープキヤリアパツケージ

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7330395B2 (en) 2004-01-22 2008-02-12 Rion Co., Ltd. Method and system for automatically calibrating sound level meter
CN104952830A (zh) * 2014-03-24 2015-09-30 南茂科技股份有限公司 薄膜倒装芯片封装结构

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7330395B2 (en) 2004-01-22 2008-02-12 Rion Co., Ltd. Method and system for automatically calibrating sound level meter
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