JPH0590347U - 絶縁薄膜の硬度測定装置 - Google Patents

絶縁薄膜の硬度測定装置

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JPH0590347U
JPH0590347U JP7299191U JP7299191U JPH0590347U JP H0590347 U JPH0590347 U JP H0590347U JP 7299191 U JP7299191 U JP 7299191U JP 7299191 U JP7299191 U JP 7299191U JP H0590347 U JPH0590347 U JP H0590347U
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JP
Japan
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film
conductive
needle
load cell
load
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Pending
Application number
JP7299191U
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English (en)
Inventor
和彦 柴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Stanley Electric Co Ltd
Original Assignee
Stanley Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】この考案は、絶縁薄膜の硬度を数値化する絶縁
薄膜の硬度測定装置である。 【構成】導電性膜３上に絶縁膜４を塗布した被測定物Ａ
を載置するステージ１に、ほぼ垂直にエアシリンダ７を
配置し、該エアシリンダ７のロッド７２下端にロードセ
ル５を装着すると共に、該ロードセル５にはほぼ垂直に
導電性針６を取付け、かつ前記ロードセル５と導電性針
６と導電性膜３とを検出器８に接続し、該導電性針６を
絶縁膜４につき立てて荷重をかけ、導電性膜３と導電性
針６との電気信号を検出して膜の破壊点を検出器８で検
出し、該膜の耐荷重を測定する構成にされている。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この考案は、薄膜製品一般に利用される絶縁薄膜の硬度測定装置に関するもの である。
【０００２】
【従来の技術】
従来における絶縁薄膜の硬度測定は、基板上に塗布、形成された絶縁膜をカッ ター等を用いてこすり、傷が付くかどうかで硬度を評価している。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
しかし、前記従来の技術では、測定者の感に頼って絶縁膜の硬度測定を行って いるため、測定の際は個人差が出るという問題点がある。
【０００４】 また、定量的に測定できないため、硬度評価は数値化できないという問題点が ある。
【０００５】 そこで、本考案は、上記従来の技術の問題点に鑑み案出されたもので、絶縁膜 の硬度を数値化する絶縁薄膜の硬度測定装置の提供を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本考案における絶縁薄膜の硬度測定装置において は、導電性膜上に絶縁膜を塗布した被測定物を載置するステージに、ほぼ垂直に エアシリンダを配置し、該エアシリンダのロッド下端にロードセルを装着すると 共に、該ロードセルにはほぼ垂直に導電性針を取付け、かつ前記ロードセルと導 電性針と導電性膜とを検出器に接続し、該導電性針を絶縁膜につき立てて荷重を かけ、導電性膜と導電性針との電気信号を検出して膜の破壊点を検出器で検出し 、該膜の耐荷重を測定する構成にされている。
【０００７】
【作用】
被測定物をステージ上に載置した後、エアシリンダのロッドを作動させて導電 性針を徐々に降下させ、更に、薄膜に針を突き立てエアーの圧力で更に、該針に 荷重をかけてゆく。
【０００８】 この時、前記導電性針の針先と絶縁膜下の導電性部分との間に電気信号をかけ ておき、絶縁膜が該針によって破壊された時、該針と絶縁膜下の導電性部分と接 触し、両者間に信号が流れる。これを検出器で検知し、その時のロードセル（導 電性針の針先）にかかっている荷重を測定する。
【０００９】
【実施例】
実施例について図１を参照して説明すると、被測定物Ａは、例えばＡｌ、Ｆｅ 等の金属板又はガラス基板２上の導電性膜（ＩＴＯ等）３の表面に、絶縁膜４が 塗布されている。
【００１０】 前記被測定物Ａを載置するステージ１には、ほぼ垂直にエアー７１の供給によ り作動するエアシリンダ７が設置され、該エアシリンダ７のロッド７２下端には ロードセル（荷重計）５が装着されている。
【００１１】 また、該ロードセル５には、ほぼ垂直に針先０．１ｍｍφ程度の金属の導電性 針６が取付けられている。
【００１２】 検出器８は、ロードセル５、導電性針６、導電性膜３の各々に接続してあり、 該導電性膜３と導電性針６との電気信号を検出して絶縁膜４の破壊点を検出し、 該膜の耐荷重を測定するものである。
【００１３】 すなわち、導電性針６の針先と絶縁膜４下の導電性部分との間に電気信号をか けておき、絶縁薄膜４が該針によって破壊された時、該針６と絶縁膜４下の導電 性部分と接触し、両者間に信号が流れるのを検知し、その時のロードセル５（導 電性針６の針先）にかかっている荷重を測定している。
【００１４】
【考案の効果】
本考案は、上述の通り構成されているので、従来は、測定者の評価で硬度測定 を行っていたのを、機械的に定量的に測定して数値化できる。従って、絶縁薄膜 の硬度測定は機械的に行うことができる。
【００１５】 また、絶縁膜の測定が定量的に測定でき数値化できるため、測定者の個人差が 出るのを解決でき、均一な測定ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の装置の概略図である。
【符合の説明】
１ ステージ ３ 導電性膜 ４ 絶縁膜 ５ ロードセル ６ 導電性針 ７ エアシリンダ ７２ ロッド ８ 検出器 Ａ 被測定物

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】導電性膜上に絶縁膜を塗布した被測定物を
    載置するステージに、ほぼ垂直にエアシリンダを配置
    し、該エアシリンダのロッド下端にロードセルを装着す
    ると共に、該ロードセルにはほぼ垂直に導電性針を取付
    け、かつ前記ロードセルと導電性針と導電性膜とを検出
    器に接続し、該導電性針を絶縁膜につき立てて荷重をか
    け、導電性膜と導電性針との電気信号を検出して膜の破
    壊点を検出器で検出し、該膜の耐荷重を測定して成る絶
    縁膜硬度測定装置。
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