JPH02304338A - 電気抵抗測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、導電性材料上に形成された絶縁性材料の絶縁
性及び絶縁性の信頼性を測定する装置に関する。

〔従来の技術〕

例えば液晶表示体を例に上げると、液晶表示体では第５
図に示す様に、２枚の基板１及び２上に、電極３．４と
絶縁膜５、配向膜６．７が形成されシール９で基板１及
び２を接着、固定し、液晶８をはさみ込んでいる。絶縁
Ｉ８！５は、液晶８中に金属などの導電性の異物があっ
た場合、電極３．４が短絡するのを防ぐためであり、高
い電気的絶縁性と絶縁信頼性が要求されている。

前記絶縁膜５が充分な絶縁性と絶縁信頼性を有するか否
かの試験方法として、従来は、材料の固有の電気的絶縁
抵抗、基材への密着力、膜強度などを総合的に検討し、
最終的には製品化して評価する方法が一般的であった。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、前述の従来の方法によると、絶縁膜として使用
可能か否かの判断をするために大量の製品を作る必要が
あり、又、工程途中の変動を管理できないという問題点
を有していた。

そこで、本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり
、その目的とするところは、絶縁物の評価を簡単な方法
でしかも精度よく管理できる電気抵抗ｎ１定装置を提供
することにある。

〔課題を解決゛するための手段〕

本発明の電気抵抗測定装置は、荷重を計測する手段と、
先端が鋭利な形状をした端子と、電気抵抗を計測する手
段とを有することを特徴とする。

〔作　用〕

原理と構成を第１図により説明する。第１図は、基板１
１上に導電性膜１２が形成され、導電性膜１２上の一部
に絶縁膜１３が形成されており、この絶縁膜１３の絶縁
性を測定する場合を示す。測定装置の構成は、荷重を計
測するための手段として、バネばかり１６と、先端が鋭
利な形状をした端子１４と、電気抵抗を計δＰ１する手
段としてテスターを用いている。ここで矢印Ａの方向か
ら力を加えていった場合の、加えた力と電気抵抗の関係
は第２図に示す様に、ある荷重ａで電気抵抗は急激に変
化する。この時の荷重ａを計測して、絶縁膜の電気的絶
縁性及び絶縁性の信頼性を評価できるのである。

〔実　施　例〕

〔実施例１〕 第１図においてガラス基板１１上にＩｎ、０゜から成る
導電性膜１２を形成し、絶縁性膜１３として５ｉｎ２を
１０００人形成した。先端が鋭利な端子として先端の曲
率がｒ−１０μｍ〜１．　Ｏ０μｍのビンを用いて、第
２図に示す荷重ａを測定したところ、第３図に示す様に
、曲率と荷重ａはきれいな相関関係を示し、再現性がよ
かった。

〔実施例２〕 電気抵抗を計測する手段として、１０８Ωｃｍ以下の電
気抵抗になるとブザーが鳴るテスターを用いて実施例１
に用いた基板を、実施例１と同様に調べた。結果は実施
例１と同様であった。

〔実施例３〕 絶縁性測定には先端が鋭利な端子として、先端の曲率が
ｒ−２０μｍのピンを用い、電気抵抗を計測する手段と
して１０８Ωｃｍ以下の電気抵抗になるとブザーが鳴る
テスターを用いた。被測定基板として、実施例１に用い
た基板で、ＳｉＯ２の膜厚が３００人〜１５００Ａのも
のを用いた。

このときの膜厚と荷重ａの関係を第４図に示す。

第４図に示した様に、膜厚と荷重ａはきれいな相関関係
を示し、再現性がよかった。

〔実施例４〕 実施例３で用いた装置を用い、被測定基板として、第１
図においてガラス基板１１上にＩｎ２Ｏ、から成る導電
性膜１２を形成し、絶縁膜１３としてＡｌ２Ｏ＊、ポリ
イミドの膜をそれぞれ１０００人形成したものを用いた
。結果はＡｆｆ２０、が３００ｇ、ポリイミドが５０ｇ
であった。

実施例１〜４で、絶縁性の膜材料としてポリイミドの膜
よりもＡｌｌ　２０ｉの膜の方が優れ、さらにＳ　１０
２の膜の方が優れることがわかった。

〔実施例５〕 実施例３で用いた装置を、実際の液晶表示装置の製造工
程の管理に用いたところ、製造工程の変動による不良は
激減した。

〔実施例６〕 実施例４で、絶縁膜１３として、スパッタリング法によ
るＳｉｎ、と、熱分解法によるＳＬＯ。

をそれぞれ１００ＯＡ形成したものを用いて、実施例４
と同様の比較を行ったところ、スパッタリング法による
ものは荷重ａが７００ｇ、熱分解法によるものは６００
ｇであった。

なお、上述した各実施例では、荷重を測定する手段を端
子側に構成したが、基板を支持する側に配置しても同様
の効果が得られることは言うまでもなく明らかである。

さらに、被測定物は実施例の様にガラス基板上に導電性
膜、絶縁膜を形成したものばかりではなく、例へば金属
基板上へ塗布した塗料の絶縁性（すなわち強度となる）
、半導体における層間絶縁膜等でも良い。

又、荷重を計測する装置と電気抵抗を計測する装置を連
動させても良いし、データーをコンピューター等で管理
できる様にすることもできる。

〔発明の効果〕

以上の様に本発明の電気抵抗測定装置を用いることによ
り、製造工程を精度よく管理することができ、又、絶縁
物の材料、形成方法などの評価が簡単にできるようにな
った。又、装置の構成がシンプルなため、特別な知識、
技能が必要がなく、だれでも測定が行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理と構成を示す図。 第２図は電気抵抗と荷重の関係を示す図。 第３図は実施例１における曲率と荷重の関係を示す図。 第４図は実施例３における膜厚と荷重の関係を示す図。 第５図は液晶表示体の概略断面図。 １・・・基板 ２・・・基板 ３・・・電極 ４・・・電極 ５・・・絶縁膜 ６・・・配向膜 ７・・・配向膜 ８・・・液晶 ９・φ拳シール １１・・・基板 １２・・・導電性膜 １３◆・・絶縁膜 １４・・・端子 １５・争・テスター １６・・・バネばかり 以上 出願人　セイコーエプソン株式会社 代理人　弁理士　鈴　木　喜三部（他１名）第１図 ａ″　　　　　局重−夫 第　２因 ご〉先ｍｎａｅ　ｊＰＴｎ 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 荷重を計測する手段と、先端が鋭利な形状をした端子と
   、電気抵抗を計測する手段とを有することを特徴とする
   電気抵抗測定装置。