JPH0590364A - Magnifying recognition apparatus - Google Patents

Magnifying recognition apparatus

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JPH0590364A
JPH0590364A JP24721291A JP24721291A JPH0590364A JP H0590364 A JPH0590364 A JP H0590364A JP 24721291 A JP24721291 A JP 24721291A JP 24721291 A JP24721291 A JP 24721291A JP H0590364 A JPH0590364 A JP H0590364A
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修三 五十嵐
Sadao Kakizawa
貞雄 柿沢
Yukio Sekiya
幸雄 関屋
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は,プリント板等の検査結果を拡大鏡
で確認する作業に用いる指示機能付きの拡大確認装置に
関し,確認作業の効率化と検査員の目の疲労度の低下を
目的とする。 【構成】 ステレオスコープ1で得られる拡大画像にお
いて不良箇所を光で指示するための投光装置6と,不良
箇所を光で指示するように投光装置6を制御する座標コ
ントローラ5とを設け,同一視野内に複数の不良箇所が
存在する場合に,座標コントローラ5が不良箇所を順次
光により指示すると共に,この間X−Yステージコント
ローラ7が移動しないように構成する。
(57) [Summary] [Object] The present invention relates to a magnifying confirmation device with an indicating function used for confirming an inspection result of a printed circuit board or the like with a magnifying glass. The purpose is to reduce. [Arrangement] A light projecting device 6 for pointing a defective portion with light in an enlarged image obtained by a stereoscope 1 and a coordinate controller 5 for controlling the light projecting device 6 to point a defective portion with light are provided. When there are a plurality of defective points in the same visual field, the coordinate controller 5 sequentially indicates the defective points by light, and the XY stage controller 7 is configured not to move during this period.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は,拡大確認装置に関し,
特に,プリント板等の検査結果を拡大鏡(ステレオスコ
ープ)で確認する作業に用いる指示機能付き拡大確認装
置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an expansion confirmation device,
In particular, it relates to a magnifying confirmation device with an indication function used for confirming the inspection results of printed boards with a magnifying glass (stereoscope).

【0002】プリント(配線)板に半導体装置等の電子
部品を半田付けにより実装した後,その半田付けの結果
がX線又は光学式等の半田付け検査装置を用いて検査さ
れる。そして,更に,この検査の結果,不良とされた箇
所が真の不良か否かが,拡大確認装置を用いて拡大した
状態で目視により確認される。
After mounting an electronic component such as a semiconductor device on a printed (wiring) board by soldering, the result of the soldering is inspected by using an X-ray or optical soldering inspection device. Then, as a result of this inspection, it is visually confirmed whether or not the defective portion is a true defect in an enlarged state using an enlargement confirmation device.

【0003】[0003]

【従来の技術】図6は,従来の拡大確認装置による確認
作業の概略を示す。図6において,検査装置12での検
査結果は,確認象物3であるプリント板上での不良箇所
の位置データとして,検査結果ファイル9に格納されて
いる。位置データは,X座標及びY座標からなる位置座
標(X,Y)で表される。一方,確認作業のため,プリ
ント板が拡大確認装置のX−Yステージ4上の所定の位
置に載置されている。この状態で,パーソナルコンピュ
ータの如きコントローラ8’に検査結果ファイル9の位
置データを入力する。コントローラ8’は,X−Yステ
ージコントローラ7を介してX−Yステージ4を移動さ
せることにより,ステレオスコープ(拡大鏡)1の直下
に,当該位置データの示す不良箇所を移動させる。これ
により,拡大画像が得られるので,検査員が目視によ
り,真の不良か否かを確認する。真の不良である場合,
検査員は,当該不良箇所を修正する。
2. Description of the Related Art FIG. 6 shows an outline of confirmation work by a conventional enlargement confirmation device. In FIG. 6, the inspection result of the inspection device 12 is stored in the inspection result file 9 as the position data of the defective portion on the printed board which is the confirmation object 3. The position data is represented by position coordinates (X, Y) composed of an X coordinate and a Y coordinate. On the other hand, for the confirmation work, the printed board is placed at a predetermined position on the XY stage 4 of the enlargement confirmation device. In this state, the position data of the inspection result file 9 is input to the controller 8'such as a personal computer. The controller 8 ′ moves the XY stage 4 via the XY stage controller 7 to move the defective portion indicated by the position data just below the stereoscope (magnifying glass) 1. As a result, a magnified image is obtained, and the inspector visually confirms whether or not the defect is true. If it is a true defect,
The inspector corrects the defective part.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術におい
て,ステレオスコープ1によって得られる拡大画像は,
図7に示す如く,常に,不良箇所が画像の中心にくるよ
うに制御されていた。即ち,位置データの示す不良箇所
が,拡大鏡の視野の中心に存在するように,X−Yステ
ージ4が移動していた。
In the above-mentioned prior art, the magnified image obtained by the stereoscope 1 is
As shown in FIG. 7, the defective portion was always controlled so as to be located at the center of the image. That is, the XY stage 4 was moved so that the defective portion indicated by the position data was located at the center of the field of view of the magnifying glass.

【0005】ところが,同一視野内に複数の部品(チッ
プ部品等)又は複数のリード(IC等のリード)が存在
し,かつ,それらの複数箇所が不良である場合には,一
度に確認できるにも拘らず,対象不良箇所が視野の中心
にくるようにその都度X−Yステージ4が移動してしま
う。このため,必ずX−Yステージ4の移動を伴うので
作業効率が悪いという問題があった。また,次の目視の
対象である不良箇所が同一の視野内を移動するので,ど
うしても検査員がこれに注目してしまい目の疲労度が大
きくなってしまうという問題があった。
However, when a plurality of parts (chip parts or the like) or a plurality of leads (leads such as IC) are present in the same field of view and the plurality of parts are defective, it is possible to confirm at a time. Despite this, the XY stage 4 moves each time so that the target defective portion comes to the center of the visual field. Therefore, there is a problem that the work efficiency is poor because the XY stage 4 is always moved. In addition, since the next defective portion, which is the object of visual inspection, moves within the same field of view, there is a problem that the inspector inevitably pays attention to this and the degree of eye fatigue increases.

【0006】本発明は,確認作業の効率化と検査員の目
の疲労度の低下が可能な指示機能付き拡大確認装置を提
供することを目的とする。
It is an object of the present invention to provide an enlarged confirmation device with an indicating function, which is capable of improving the efficiency of confirmation work and reducing the degree of eye fatigue of an inspector.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】図1は,本発明の原理構
成図であり,本発明による拡大確認装置を示す。図1に
おいて,X−Yステージ4は,確認対象物3であるプリ
ント板等を載置する。この確認対象物3については,予
め検査装置による検査が行われ,その結果としての不良
箇所についてのデータが検査結果ファイル9に格納され
ている。このデータに基づいて,X−Yステージコント
ローラ7が,不良箇所が所定の位置,即ち,ステレオス
コープ1の直下に移動するように,X−Yステージ4を
制御する。ステレオスコープ1は,所定の位置の不良箇
所について,目視による確認のためにその拡大画像を得
る。
FIG. 1 is a principle block diagram of the present invention, showing an enlargement confirmation device according to the present invention. In FIG. 1, an XY stage 4 mounts a printed board or the like, which is the confirmation target 3. This confirmation object 3 is inspected by an inspection device in advance, and the inspection result file 9 stores data as a result of the defect. Based on this data, the XY stage controller 7 controls the XY stage 4 so that the defective portion moves to a predetermined position, that is, directly below the stereoscope 1. The stereoscope 1 obtains an enlarged image of a defective portion at a predetermined position for visual confirmation.

【0008】この拡大画像において,投光装置6が,そ
の時点で確認の対象となっている不良箇所を光(可視
光)により指示(マーキング)する。座標コントローラ
5は,不良箇所についてのデータに基づいて,不良箇所
を投光装置6からの光が指示するように,投光装置6を
制御する。特に,座標コントローラ5は,1つの拡大画
像内に複数の不良箇所が存在する場合に,複数の不良箇
所を順次光により指示するように,投光装置6を制御す
る。そして,この間は,X−Yステージコントローラ7
が,X−Yステージ4(即ち,確認対象物3)を移動し
ないように制御する。
In this enlarged image, the light projecting device 6 indicates (marks) the defective portion, which is the object of confirmation at that time, with light (visible light). The coordinate controller 5 controls the light projecting device 6 so that the light from the light projecting device 6 indicates the defective part based on the data on the defective part. In particular, the coordinate controller 5 controls the light projecting device 6 so as to sequentially indicate a plurality of defective spots by light when a plurality of defective spots exist in one enlarged image. During this time, the XY stage controller 7
Controls the XY stage 4 (that is, the confirmation target 3) so as not to move.

【0009】[0009]

【作用】図2は,本発明の作用説明図であり,図7と対
比されるものである。ステレオスコープ1により得られ
る拡大画像は,図2の如くになる。即ち,まず,1つの
不良箇所,例えば電子部品P1が,X−Yステージコン
トローラ7により,所定の位置,例えば拡大画像の中心
の位置に移動され,この状態で,座標コントローラ5に
より投光装置6からの光で現在の確認対象であることが
指示される(図の上部)。この時,同一拡大画像(ステ
レオスコープの同一視野)内に,他の不良箇所である電
子部品P2が存在する。
2 is an explanatory view of the operation of the present invention, which is to be compared with FIG. An enlarged image obtained by the stereoscope 1 is as shown in FIG. That is, first, one defective portion, for example, the electronic component P1 is moved by the XY stage controller 7 to a predetermined position, for example, the center position of the enlarged image. In this state, the coordinate controller 5 causes the light projecting device 6 to project. The light from indicates that it is the current confirmation target (upper part of the figure). At this time, there is another defective electronic component P2 in the same magnified image (the same field of view of the stereoscope).

【0010】検査員が確認を終了し,次の確認対象P2
の確認を行う指示を入力すると,座標コントローラ5の
制御により投光装置6からの光が移動し,次の時点での
確認対象である電子部品P2を指示する(図の下部)。
そして,この間,X−Yステージコントローラ7が,X
−Yステージ4即ち確認対象物3を移動させることはな
い。
When the inspector finishes the confirmation, the next confirmation target P2
When the instruction to confirm is input, the light from the light projecting device 6 is moved by the control of the coordinate controller 5 to instruct the electronic component P2 to be confirmed at the next time point (the lower part of the figure).
During this time, the XY stage controller 7
-The Y stage 4, that is, the confirmation target object 3 is not moved.

【0011】これにより,同一拡大画像内に複数の不良
箇所が存在する場合には,X−Yステージ4の移動を伴
わないので,作業効率が向上する。また,不良箇所が同
一視野内を移動することもないので,検査員の目の疲労
度を低下できる。更に,光により作業員にその時点での
確認対象を指示できるので,この点でも作業員の負担を
軽くできる。
As a result, when a plurality of defective portions are present in the same magnified image, the XY stage 4 is not moved and the working efficiency is improved. Further, since the defective portion does not move within the same visual field, the degree of eye fatigue of the inspector can be reduced. Furthermore, since the operator can instruct the operator what to check at that point by light, the burden on the operator can be reduced in this respect as well.

【0012】[0012]

【実施例】図1において,パーソナルコンピュータの如
き総合制御装置8は,検査結果ファイル9中の不良箇所
についてのデータを,より最適なX−Yステージ制御デ
ータ及び投光装置制御データに変換した上で,各々,X
−Yステージコントローラ7及び座標コントローラ5へ
送る。不良箇所についてのデータは,予め,確認対象物
3をその検査装置(図示せず)により検査することによ
って得る。X−Yステージコントローラ7及び座標コン
トローラ5へのデータの送出は,検査員がコンソールの
テストステップスイッチ11を押下げることにより,所
定の順に1つの不良箇所毎に行われる。このテストステ
ップスイッチ11の押下げは,図2の次対象指示に相当
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In FIG. 1, a general control device 8 such as a personal computer converts data on a defective portion in an inspection result file 9 into more optimal XY stage control data and light projecting device control data. And each X
-Send to Y stage controller 7 and coordinate controller 5. The data on the defective portion is obtained in advance by inspecting the confirmation object 3 with its inspection device (not shown). The data is sent to the XY stage controller 7 and the coordinate controller 5 by the inspector pressing down the test step switch 11 of the console in a predetermined order for each defective portion. The depression of the test step switch 11 corresponds to the next target instruction in FIG.

【0013】また,総合制御装置8には,確認(診断)
の結果が入力される。この入力は,不良箇所としたデー
タが正しいか否かを,例えば,コンソールの所定のボタ
ンの押下げによって行う。否ボタンの押下げの場合,確
認対象とされた(不良)箇所は真に不良であったことに
なる。一方,正ボタンの押下げ(又は否ボタンの押下げ
がない)の場合,確認対象とされた(不良)箇所は不良
ではなかったことになる。
In addition, the integrated control device 8 confirms (diagnoses).
The result of is input. This input is performed by, for example, pressing a predetermined button on the console to determine whether or not the data indicating the defective portion is correct. In the case of pressing down the No button, the (defective) part to be confirmed is truly defective. On the other hand, in the case of pressing the normal button (or there is no pressing of the reject button), it means that the (defective) location to be checked was not defective.

【0014】この確認結果は,次工程,例えば修正工程
で利用される。即ち,検査結果ファイル9中のデータ
は,確認結果に基づいて,真の不良箇所のみを示すよう
に修正される。また,修正されたデータに基づいて,確
認対象物3の修正がなされる。
This confirmation result is used in the next step, for example, the correction step. That is, the data in the inspection result file 9 is corrected based on the confirmation result so as to show only the true defective portion. Further, the confirmation target object 3 is corrected based on the corrected data.

【0015】検査結果ファイル9中のデータは,図3に
示す如き形とされる。即ち,確認対象物3であるプリン
ト板上の不良箇所である電子部品毎に,部品No. ,型
格,位置座標を格納してなる。電子部品は,例えば,検
査装置での検査順序に従って並べられる。部品No. は,
そのプリント板内での当該電子部品の番号(プリント板
内ID)であり,ユニークなものである。型格は,メー
カの付した製品名である。これらはプリント板の修正の
ためのものである。位置座標は,X−Yステージ座標と
光指示座標とからなる。X−Yステージ座標は,当該不
良箇所又は電子部品の確認の際(拡大画像とする際)の
X−Yステージ4の位置を表す。光指示座標は,拡大画
像における光による指示の位置を表す。そして,前者は
X−Yステージコントローラ7へ,後者は座標コントロ
ーラ5へ,各々送られる。
The data in the inspection result file 9 has a form as shown in FIG. That is, a part number, a model, and a position coordinate are stored for each electronic part which is a defective portion on the printed board which is the confirmation object 3. The electronic components are arranged according to the inspection order in the inspection device, for example. The part number is
It is the number of the electronic component in the printed board (ID in the printed board) and is unique. The model name is the product name given by the manufacturer. These are for modification of the printed board. The position coordinates consist of XY stage coordinates and light pointing coordinates. The XY stage coordinates represent the position of the XY stage 4 when confirming the defective portion or the electronic component (when forming an enlarged image). The light pointing coordinate represents the position of the light pointing in the enlarged image. Then, the former is sent to the XY stage controller 7, and the latter is sent to the coordinate controller 5.

【0016】図3において,確認対象(電子部品)P
1,P2及びP3のX−Yステージ座標は,(X,Y)
=(x1,y1)で共通であり,一方,光指示座標は各
々異なる。従って,これら確認対象P1,P2及びP3
の拡大画像(視野)における位置関係は,図2の如き関
係となる。
In FIG. 3, the confirmation target (electronic component) P
XY stage coordinates of 1, P2 and P3 are (X, Y)
= (X1, y1), but the light pointing coordinates are different. Therefore, these confirmation targets P1, P2 and P3
The positional relationship in the enlarged image (field of view) is as shown in FIG.

【0017】即ち,まず,X−Yステージコントローラ
7は,X−Yステージ座標(x1,y1)を与えられる
と,これにより当該座標(x1,y1)即ち確認対象P
1が拡大画像の中心にくるように,X−Yステージ4を
制御する。そして,確認対象P2およびP3のX−Yス
テージ座標も同一であるから,これらの確認の間も,X
−Yステージ4は移動しないように,制御される。
That is, first of all, when the XY stage controller 7 is given the XY stage coordinates (x1, y1), the coordinates (x1, y1), that is, the confirmation target P.
The XY stage 4 is controlled so that 1 is located at the center of the enlarged image. Since the XY stage coordinates of the confirmation objects P2 and P3 are also the same, the X-axis coordinate is maintained during the confirmation.
The Y stage 4 is controlled so as not to move.

【0018】一方,座標コントローラ5は,光指示座標
(x1,y1)を与えられると,これにより当該座標
(x1,y1)即ち確認対象P1に光が当たるように,
投光装置6を制御する。この後,検査員がテストステッ
プスイッチ11を押下げるとカウンタ10の出力が+1
だけカウントアップされる。これにより,検査結果ファ
イル9において製品No. が検査順に+1だけカウントア
ップされ,確認対象P2のデータが総合制御装置8を介
して送出される。座標コントローラ5は,新たな光指示
座標(x2,y2)を与えられるので,確認対象P2を
光指示する。この時,前述の如く,X−Yステージ座標
は変更がないので,X−Yステージ4は移動しない。
On the other hand, when the coordinate controller 5 is given the light designated coordinates (x1, y1), the coordinates (x1, y1), that is, the confirmation target P1 is irradiated with the light by the coordinate controller 5,
The light projecting device 6 is controlled. After that, when the inspector pushes down the test step switch 11, the output of the counter 10 becomes +1.
Only counted up. As a result, the product number in the inspection result file 9 is incremented by +1 in the inspection order, and the data of the confirmation target P2 is sent out via the integrated control device 8. Since the coordinate controller 5 is given new light designation coordinates (x2, y2), it optically designates the confirmation target P2. At this time, as described above, since the XY stage coordinates are not changed, the XY stage 4 does not move.

【0019】以上の如きデータ,特に,位置座標は,確
認作業の初めの段階で,総合制御装置8によって作成さ
れる。検査装置から得られる不良箇所を示すデータは,
例えば,個々の不良箇所のX座標及びY座標であり,図
3における光指示座標と同様のものである。そこで,総
合制御装置8は,これらのデータをそのまま光指示座標
とする。次に,総合制御装置8は,1つの確認対象例え
ばP1を視野(拡大画像)の中心とした場合に,その視
野に他の確認対象(不良箇所)が存在するか否かを調べ
る。例えば,図2の如く,他の確認対象P2及びP3が
存在する場合,これら確認対象P1乃至P3のX−Yス
テージ座標を,視野の中心に置いた確認対象P1の座標
(x1,y1)に統一する。
The above-mentioned data, especially the position coordinates, are created by the general control unit 8 at the beginning of the confirmation work. The data that shows the defective points obtained from the inspection equipment is
For example, the X coordinate and the Y coordinate of each defective portion are the same as the light pointing coordinates in FIG. Therefore, the integrated control device 8 uses these data as the light indication coordinates as they are. Next, the integrated control device 8 checks whether or not there is another confirmation target (defective portion) in the visual field when one confirmation target, for example, P1 is the center of the visual field (enlarged image). For example, when there are other confirmation objects P2 and P3 as shown in FIG. 2, the XY stage coordinates of these confirmation objects P1 to P3 are set to the coordinates (x1, y1) of the confirmation object P1 placed in the center of the visual field. Unify.

【0020】なお,このようにX−Yステージ座標を定
めることは,ステレオスコープ1の視野を定めることに
なる。X−Yステージ座標は,なるべく,ステレオスコ
ープ1による視野(拡大画像)の数が少なくなるように
(X−Yステージ4の移動回数が少なくなるように)求
められる。同一視野内の確認対象の製品No. は連続とさ
れる。
Note that defining the XY stage coordinates in this way defines the field of view of the stereoscope 1. The XY stage coordinates are calculated so that the number of visual fields (enlarged images) by the stereoscope 1 is reduced (the movement number of the XY stage 4 is reduced) as much as possible. The product numbers to be confirmed within the same field of view are continuous.

【0021】図4は,光指示について示している。投光
装置6は,主に,光源61,X−Y制御ミラー62及び
63,ミラー駆動部64及び65からなる。座標コント
ローラ5は,光指示座標を総合制御装置8から受ける
と,これを用いてミラー駆動部64及び65を制御し
て,X−Y制御ミラー62及び63の方向を制御する。
これにより,レーザーダイオードの如き光源61からの
光は,X−Y制御ミラー62及び63を介して,ハーフ
ミラー2によりX−Yステージ4上の確認対象物3の不
良箇所に当たる(指示する)。従って,ステレオスコー
プ1の視野には,ハーフミラーを通して,確認対象物3
と指示光との合成画像が得られる。
FIG. 4 shows an optical instruction. The light projecting device 6 mainly includes a light source 61, XY control mirrors 62 and 63, and mirror driving units 64 and 65. When the coordinate controller 5 receives the light-instructed coordinates from the general controller 8, the coordinate controller 5 controls the mirror driving units 64 and 65 using the light-instructed coordinates to control the directions of the XY control mirrors 62 and 63.
As a result, the light from the light source 61 such as a laser diode strikes (indicates) the defective portion of the confirmation target object 3 on the XY stage 4 by the half mirror 2 via the XY control mirrors 62 and 63. Therefore, in the visual field of the stereoscope 1, through the half mirror, the confirmation object 3
A composite image of the light and the pointing light is obtained.

【0022】座標コントローラ5は,投光装置6全体を
制御するが,例えば,光源61からの光の色を不良内容
等に応じて変更するようにしてもよい。この場合,検査
結果ファイル9のデータとして,不良箇所毎にその不良
内容を格納しておくことにより,確認対象箇所の指示と
その内容の指示とを同時に行うことができる。
Although the coordinate controller 5 controls the entire light projecting device 6, for example, the color of the light from the light source 61 may be changed according to the content of the defect. In this case, as the data of the inspection result file 9, by storing the defect contents for each defective part, it is possible to instruct the confirmation target part and its content at the same time.

【0023】図5は,拡大確認処理フローを示す。ステ
ップ1において,総合制御装置8が,検査結果ファイル
9のデータを図3に示した形にする処理の他,以後の処
理のために必要な処理を行う。ステップ2において,総
合制御装置8が,検査結果ファイル9から1つの不良箇
所のデータを読出し,変換後にX−Yステージコントロ
ーラ7及び座標コントローラ5へ送る。ステップ3にお
いて,X−Yステージコントローラ5の制御により,X
−Yステージ4が当該データに応じた位置へ移動する。
ステップ4において,座標コントローラ5の制御によ
り,投光装置6が当該データに応じた位置を光指示す
る。
FIG. 5 shows an enlargement confirmation processing flow. In step 1, the integrated control device 8 performs the processing necessary for the subsequent processing in addition to the processing for converting the data of the inspection result file 9 into the form shown in FIG. In step 2, the integrated control device 8 reads the data of one defective portion from the inspection result file 9, sends it to the XY stage controller 7 and the coordinate controller 5 after conversion. In step 3, the X-Y stage controller 5 controls the X-Y stage controller 5.
-Y stage 4 moves to a position according to the data.
In step 4, under the control of the coordinate controller 5, the light projecting device 6 optically indicates a position corresponding to the data.

【0024】以上により,確認対象を指示する光を含む
拡大画像がステレオスコープ1に得られるので,検査員
が,これについての確認を行う。そして,確認結果を正
/否ボタンにより入力し,次にテストステップスイッチ
を押下げる。
As described above, the magnified image including the light indicating the confirmation target is obtained in the stereoscope 1, and the inspector confirms this. Then, input the confirmation result with the right / wrong button and then push down the test step switch.

【0025】これに応じて,ステップ5において,総合
制御装置8が,正/否いずれのボタンが押下げられたか
を調べる。正ボタンが押下げられた場合,不良ではなか
ったのであるから,ステップ6において,総合制御装置
8が,検査結果ファイル9から該当データを削除する。
否ボタンが押下げられた場合,不良であったのであるか
ら,ステップ7において,総合制御装置8がこれをファ
イルに記録する。
In response to this, in step 5, the integrated control device 8 checks whether the correct / incorrect button is pressed. If the correct button is pressed, it is not a defect, so in step 6, the general controller 8 deletes the corresponding data from the inspection result file 9.
If the No button is pressed, it is defective and the integrated control device 8 records it in a file in step 7.

【0026】次に,ステップ8において,総合制御装置
8が,同一視野内に他の不良箇所が存在するか否かを調
べる。存在する場合,ステップ4以下を繰り返し,存在
しない場合,ステップ2以下を繰り返す。ここで,同一
視野内における不良箇所の存在の有無の判定は,実際
は,確認処理中には行わない。この判定の結果は,予
め,ステップ1において総合制御装置8が視野データと
して作成して,テーブル形式で適当なファイルに保持し
ている。視野データは,例えば,格視野毎に同一視野内
に存在する確認対象(不良箇所)の数を表すようにされ
る。そして,ステップ8において,総合制御装置8が当
該視野の視野データを参照し,視野データが“1”であ
ればステップ2へ戻り,視野データが“2”以上であれ
ば,“−1”だけカウントダウンしてステップ4へ戻
る。そして,全ての視野についての確認処理を行って,
処理を終了する。
Next, in step 8, the integrated control device 8 checks whether or not another defective portion exists in the same visual field. If it exists, step 4 and subsequent steps are repeated, and if it does not exist, step 2 and subsequent steps are repeated. Here, the determination of the presence or absence of a defective portion in the same visual field is not actually performed during the confirmation processing. The result of this determination is created in advance as visual field data by the integrated control device 8 in step 1 and is held in an appropriate file in a table format. The field-of-view data is set to represent, for example, the number of confirmation objects (defective points) existing in the same field of view for each rated field. Then, in step 8, the total control device 8 refers to the visual field data of the visual field, and if the visual field data is "1", the process returns to step 2, and if the visual field data is "2" or more, only "-1" is obtained. Count down and return to step 4. Then, after performing confirmation processing for all fields of view,
The process ends.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように,本発明によれば,
拡大確認装置において,確認対象を光指示すると共に,
同一視野内に複数の確認対象が存在する場合にX−Yス
テージの移動なしで光指示のみを移動することにより,
X−Yステージの移動を省略した分だけ作業効率を向上
することができ,また,同一視野内を確認対象が移動す
ることがないので検査員の目の疲労度を低下させること
ができる。
As described above, according to the present invention,
In the enlargement confirmation device, the confirmation target is optically indicated and
By moving only the optical instruction without moving the XY stage when there are multiple confirmation objects in the same visual field,
The work efficiency can be improved by omitting the movement of the XY stage, and the eye fatigue of the inspector can be reduced because the confirmation target does not move within the same visual field.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の原理構成図である。FIG. 1 is a principle configuration diagram of the present invention.

【図2】本発明の作用説明図である。FIG. 2 is an explanatory view of the operation of the present invention.

【図3】検査データの説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of inspection data.

【図4】光指示の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a light instruction.

【図5】拡大確認処理フローである。FIG. 5 is an enlarged confirmation processing flow.

【図6】従来技術説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a conventional technique.

【図7】従来技術の問題点説明図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a problem of the conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ステレオスコープ 2 ハーフミラー 3 確認対象物 4 X−Yステージ 5 座標コントローラ 6 投光装置 7 X−Yステージコントローラ 8 総合制御装置 8’コントローラ 9 検査結果ファイル 10 カウンタ 11 テストステップスイッチ 12 検査装置 61 光源 62,63 X−Y制御ミラー 64,65 ミラー駆動部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Stereoscope 2 Half mirror 3 Object to be confirmed 4 XY stage 5 Coordinate controller 6 Projector 7 XY stage controller 8 Total control device 8'Controller 9 Inspection result file 10 Counter 11 Test step switch 12 Inspection device 61 Light source 62,63 XY control mirror 64,65 Mirror drive unit

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 確認対象物(3)を載置するためのX−
Yステージ(4)と, 前記確認対象物(3)の不良箇所についてのデータを格
納する検査結果ファイル(9)と, 前記データに基づいて,前記不良箇所が所定の位置へ移
動するように前記X−Yステージ(4)を制御するX−
Yステージコントローラ(7)と, 前記所定の位置の不良箇所についての拡大画像を得るた
めのステレオコープ(1)とを備える拡大確認装置にお
いて, 前記拡大画像において前記不良箇所を光により指示する
ための投光装置(6)と, 前記データに基づいて,前記不良箇所を前記光が指示す
るように前記投光装置(6)を制御する座標コントロー
ラ(5)とを備えることを特徴とする拡大確認装置。
1. An X-for mounting a confirmation object (3).
A Y stage (4), an inspection result file (9) for storing data on a defective portion of the confirmation object (3), and based on the data, the defective portion is moved to a predetermined position. X-Y that controls the XY stage (4)
A magnifying confirmation device comprising a Y stage controller (7) and a stereocorp (1) for obtaining a magnified image of a defective portion at a predetermined position, for indicating the defective portion by light in the magnified image. Enlargement confirmation comprising: a light projecting device (6); and a coordinate controller (5) for controlling the light projecting device (6) so that the light indicates the defective portion based on the data. apparatus.
【請求項2】 前記不良箇所が1つの前記拡大画像内に
複数存在する場合に,前記座標コントローラ(5)が,
前記複数の不良箇所を順次光により指示するように前記
投光装置(6)を制御すると共に,この間前記X−Yス
テージコントローラ(7)が前記X−Yステージ(4)
を移動しないように制御することを特徴とする請求項1
記載の拡大確認装置。
2. The coordinate controller (5), when there are a plurality of defective parts in one magnified image,
The light projecting device (6) is controlled so as to sequentially indicate the plurality of defective points by light, and during this time, the XY stage controller (7) controls the XY stage (4).
The control is performed so as not to move.
Enlargement confirmation device described.
【請求項3】 前記データは,前記不良箇所毎に,前記
X−Yステージ(4)の位置を表す第1の位置座標と,
前記光による指示の位置を表す第2の位置座標とからな
り, 前記X−Yステージコントローラ(7)は前記第1の位
置座標により前記X−Yステージ(4)を制御し, 前記座標コントローラ(5)は前記第2の位置座標によ
り前記投光装置(6)を制御することを特徴とする請求
項1又は請求項2記載の拡大確認装置。
3. The data includes a first position coordinate representing a position of the XY stage (4) for each defective portion,
A second position coordinate representing a position indicated by the light, and the XY stage controller (7) controls the XY stage (4) by the first position coordinate, and the coordinate controller ( The magnifying confirmation apparatus according to claim 1 or 2, wherein 5) controls the light projecting device (6) according to the second position coordinates.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110763703A (en) * 2018-07-27 2020-02-07 皓琪科技股份有限公司 Projection type system for assisting printed circuit board in quick positioning, fixed-point amplification and observation

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