JPH0592376A

JPH0592376A - ２次元運動機構

Info

Publication number: JPH0592376A
Application number: JP7604192A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Yanagisawa; 健柳沢
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1991-08-07
Filing date: 1992-02-27
Publication date: 1993-04-16
Anticipated expiration: 2011-09-25
Also published as: JP2536992B2

Abstract

(57)【要約】【目的】スライダの位置精度が高く、高速運転におい
ても振動発生等を防止し得る２次元運動機構を提供す
る。【構成】１対のＸ軸ガイド１４ａ、１４ｂと、１対の
Ｙ軸ガイド２６ａ、２６ｂと、Ｙ軸ガイド２６ａ、２６
ｂ間に跨がって配設され、Ｙ軸ガイド２６ａ、２６ｂに
沿ってＹ軸方向へ移動可能なＸ軸スライダガイド３０
と、Ｘ軸ガイド１４ａ、１４ｂ間に跨がって配設され、
Ｘ軸ガイド１４ａ、１４ｂに沿ってＸ軸方向へ移動可能
なＹ軸スライダガイド１８と、Ｘ軸スライダガイド３０
とＹ軸スライダガイド１８上をＸ−Ｙ方向へ移動可能な
スライダ４２と、スライダ４２をＸ−Ｙ方向へ移動させ
るための駆動機構３４、３６、３８、４０と、Ｘ軸スラ
イダガイド３０のＸ軸方向に対する傾きを規制するため
のＸ軸規制手段２４ａ、２４ｂ、３２、３３ａ、３３ｂ
と、Ｙ軸スライダガイド１８のＹ軸方向に対する傾きを
規制するためのＹ軸規制手段１２ａ、１２ｂ、２０、２
２ａ、２２ｂとを具備することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は２次元運動機構に関し、
より詳細にはスライダをＸ−Ｙ方向へ運動させるための
２次元運動機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】スライダをＸ−Ｙ方向へ運動させるため
の２次元運動機構としては特開昭５９−２３２７７８号
公報に開示される技術がある。この２次元運動機構は、
Ｘ軸方向へ平行に配設された１対のＸ軸ガイドと、Ｘ軸
方向と直角なＹ軸方向へ平行に配設された１対のＹ軸ガ
イドと、Ｘ軸ガイドに対して摺動可能な１対のＸ軸移動
体と、Ｙ軸ガイドに対して摺動可能な１対のＹ軸移動体
と、Ｘ軸移動体同士を連結するＹ軸スライダガイドと、
Ｙ軸移動体同士を連結するＸ軸スライダガイドと、Ｙ軸
スライダガイドおよびＸ軸スライダガイド上をＸ−Ｙ方
向へ移動可能なスライダと、Ｘ軸スライダガイド上に配
されると共に、スライダへ螺合され、スライダをＸ軸方
向へ移動させるＸ軸ボールネジと、Ｙ軸スライダガイド
上に配されると共に、スライダへ螺合され、スライダを
Ｙ軸方向へ移動させるＹ軸ボールネジと、Ｘ軸ボールネ
ジおよびＹ軸ボールネジをそれぞれ回転させるためのＸ
軸モータおよびＹ軸モータとから成る２次元運動機構で
ある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の２次元運動機構には次のような課題がある。Ｘ軸
移動体およびＹ軸移動体と、Ｘ軸ガイドおよびＹ軸ガイ
ドとは、単に摺動可能な嵌合関係にある。そのため、ス
ライダが移動してＸ軸方向（またはＹ軸方向）の一方の
Ｘ軸移動体（Ｙ軸移動体）に接近した状態でＸ軸方向へ
移動すると、他方のＸ軸移動体の移動は一方のＸ軸移動
体の移動より遅れが生じる。この遅れによりＹ軸スライ
ダガイド（Ｘ軸スライダガイド）がＹ軸（Ｘ軸）に対し
て傾き、スライダの位置誤差や、スライダの高速運動中
における振動発生等の原因になるという課題がある。従
って、本発明はスライダの位置精度が高く、高速運転に
おいても振動発生等を防止し得る２次元運動機構を提供
することを目的とする。

【０００４】上記課題を解決するため、本発明は次の構
成を備える。すなわち、Ｘ軸方向へ平行に配設された１
対のＸ軸ガイドと、前記Ｘ軸方向と直角なＹ軸方向へ平
行に配設された１対のＹ軸ガイドと、前記Ｘ軸方向へ配
設されると共に、前記１対のＹ軸ガイド間に跨がって配
設され、Ｙ軸ガイドに沿ってＹ軸方向へ移動可能なＸ軸
スライダガイドと、前記Ｙ軸方向へ配設されると共に、
前記１対のＸ軸ガイド間に跨がって配設され、Ｘ軸ガイ
ドに沿ってＸ軸方向へ移動可能なＹ軸スライダガイド
と、前記Ｘ軸スライダガイドと、前記Ｙ軸スライダガイ
ド上をＸ−Ｙ方向へ移動可能なスライダと、該スライダ
をＸ−Ｙ方向へ移動させるための駆動機構と、前記Ｙ軸
ガイドと平行に設けられ、前記Ｘ軸スライダガイドのＸ
軸方向に対する傾きを規制するためのＸ軸規制手段と、
前記Ｘ軸ガイドと平行に設けられ、前記Ｙ軸スライダガ
イドのＹ軸方向に対する傾きを規制するためのＹ軸規制
手段とを具備することを特徴とする。

【０００５】

【作用】作用について説明する。Ｘ軸規制手段とＹ軸規
制手段により、Ｘ軸スライダガイドのＸ軸方向に対する
傾き及びＹ軸スライダガイドのＹ軸方向に対する傾きを
規制することが可能となるので、Ｘ軸スライダガイドと
Ｙ軸スライダガイドを常時Ｘ軸方向またはＹ軸方向に保
持可能となる。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。（第１実施例）第１実施例について図１と共に説明す
る。１０は基台であり、中央部分をくり抜いた枠体状に
形成されている。１２ａ、１２ｂはＹ軸規制手段を構成
するＸ軸ラックであり、基台１０上においてＸ軸方向へ
互いに平行に配設されている。１４ａ、１４ｂはＸ軸ガ
イドであり、基台１０上においてＸ軸方向へ互いに平
行、かつＸ軸ラック１２ａ、１２ｂのそれぞれの内側に
Ｘ軸ラック１２ａ、１２ｂとも平行に配設されている。
１６ａ、１６ｂはＸ軸移動体であり、Ｘ軸ガイド１４
ａ、１４ｂへそれぞれ嵌合すると共に、Ｘ軸ガイド１４
ａ、１４ｂ上をＸ軸方向へ摺動可能になっている。ま
た、Ｘ軸移動体１６ａ、１６ｂはＸ軸ガイド１４ａ、１
４ｂから、例えばアリ構造により外れを防止されてい
る。

【０００７】１８はＹ軸スライダガイドであり、両端が
開放された筒状に形成されている。Ｙ軸スライダガイド
１８は、Ｙ軸方向に配設されると共に、両端がＸ軸移動
体１６ａ、１６ｂに固定されている。２０はＹ軸規制手
段を構成するＹ軸ロッドであり、Ｙ軸スライダガイド１
８およびＸ軸移動体１６ａ、１６ｂ内を回転可能に貫挿
している。Ｘ軸移動体１６ａ、１６ｂから突出したＹ軸
ロッド２０の両端には、Ｙ軸規制手段を構成するピニオ
ンギア２２ａ、２２ｂが固定され、それぞれＸ軸ラック
１２ａ、１２ｂへ噛合している。なお、Ｙ軸スライダガ
イド１８を設けない場合、Ｙ軸ロッド２０がＹ軸スライ
ダガイドの役目を兼務する。Ｘ軸ラック１２ａ、１２
ｂ、Ｙ軸ロッド２０およびピニオンギア２２ａ、２２ｂ
により構成されるＹ軸規制手段により、Ｙ軸スライダガ
イド１８を常時Ｙ軸と平行状態に保持可能になってい
る。

【０００８】２４ａ、２４ｂはＸ軸規制手段を構成する
Ｙ軸ラックであり、基台１０上においてＸ軸と直角なＹ
軸方向へ互いに平行に配設されている。２６ａ、２６ｂ
はＹ軸ガイドであり、基台１０上においてＹ軸方向へ互
いに平行、かつＹ軸ラック２４ａ、２４ｂのそれぞれの
内側にＹ軸ラック２４ａ、２４ｂとも平行に配設されて
いる。２８ａ、２８ｂはＹ軸移動体であり、Ｙ軸ガイド
２６ａ、２６ｂへそれぞれ嵌合すると共に、Ｙ軸ガイド
２６ａ、２６ｂ上をＹ軸方向へ摺動可能になっている。
また、Ｙ軸移動体２８ａ、２８ｂはＹ軸ガイド２６ａ、
２６ｂから、例えばアリ構造により外れを防止されてい
る。３０はＸ軸スライダガイドであり、両端が開放され
た筒状に形成されている。Ｘ軸スライダガイド３０は、
Ｘ軸方向に配設されると共に、両端がＹ軸移動体２８
ａ、２８ｂに固定されている。

【０００９】３２はＸ軸規制手段を構成するＸ軸ロッド
であり、Ｘ軸スライダガイド３０およびＹ軸移動体２８
ａ、２８ｂを回転可能に貫挿している。Ｙ軸移動体２８
ａ、２８ｂから突出したＸ軸ロッド３２の両端にはＸ軸
規制手段を構成するピニオンギア３３ａ、３３ｂが固定
され、それぞれＹ軸ラック２４ａ、２４ｂへ噛合してい
る。なお、Ｘ軸スライダガイド３０を設けない場合、Ｘ
軸ロッド３２がＸ軸スライダガイドの役目を兼務する。
Ｙ軸ラック２４ａ、２４ｂ、Ｘ軸ロッド３２およびピニ
オンギア３３ａ、３３ｂにより構成されるＸ軸規制手段
により、Ｘ軸スライダガイド３０を常時Ｘ軸と平行状態
に保持可能となっている。

【００１０】３４は駆動機構を構成するＸ軸ボールネジ
であり、Ｘ軸スライダガイド３０およびＸ軸ロッド３２
と平行、かつ両端がＹ軸移動体２８ａ、２８ｂにそれぞ
れ回転可能に架設されている。Ｘ軸ボールネジ３４の回
転が停止中にはＸ軸ボールネジ３４の現在の回転位置が
保持可能になっており、位置ずれを防止可能になってい
る。３６は駆動機構を構成するＸ軸サーボモータであ
り、Ｙ軸移動体２８ａに設けられ、Ｘ軸ボールネジ３４
を回転させる。Ｘ軸サーボモータ３６の回転数、回転方
向、回転量を制御することによりＸ軸ボールネジ３４の
回転をコントロール可能になっている。３８は駆動機構
を構成するＹ軸ボールネジであり、Ｙ軸スライダガイド
１８およびＹ軸ロッド２０と平行、かつ両端がＸ軸移動
体１６ａ、１６ｂにそれぞれ回転可能に架設されてい
る。Ｙ軸ボールネジ３８の回転が停止中にはＹ軸ボール
ネジ３８の現在の回転位置が保持可能になっており、位
置ずれを防止可能になっている。

【００１１】４０は駆動機構を構成するＹ軸サーボモー
タであり、Ｘ軸移動体１６ｂに設けられ、Ｙ軸ボールネ
ジ３８を回転させる。Ｙ軸サーボモータ４０の回転数、
回転方向、回転量を制御することによりＹ軸ボールネジ
３８の回転をコントロール可能になっている。４２はス
ライダであり、Ｙ軸スライダガイド１８およびＸ軸スラ
イダガイド３０が内部で平面的に直交している。また、
Ｘ軸ボールネジ３４およびびＹ軸ボールネジ３８はスラ
イダ４２と螺合すると共に、スライダ４２の内部で平面
的に直交している。スライダ４２はＹ軸スライダガイド
１８およびＸ軸スライダガイド３０上を移動可能になっ
ており、Ｘ軸ボールネジ３４が軸線を中心として回転す
ると、Ｘ軸方向へ移動し、Ｙ軸ボールネジ３８が軸線を
中心として回転すると、Ｙ軸方向へ移動する。従って、
Ｘ軸サーボモータ３６および／またはＹ軸サーボモータ
４０が駆動されると、運動体４２は基台１０中空部分の
平面内を移動可能になっている。また、スライダ４２に
は複数のロボットヘッド、ワーク、工具等（不図示）が
取り付け可能になっている。

【００１２】上記の構成によると、前述のとおりＸ軸規
制手段およびＹ軸規制手段により、Ｘ軸スライダガイド
３０およびＹ軸スライダガイド１８を常時Ｘ軸およびＹ
軸と平行状態を保持可能であると共に、Ｘ軸ラック１２
ａ、１２ｂとピニオンギア２２ａ、２２ｂ、Ｙ軸ラック
２４ａ、２４ｂとピニオンギア３３ａ、３３ｂの噛合
は、Ｙ軸ロッド２０、Ｘ軸ロッド３２に生じるトーショ
ン（捩じり剛性）によりバックラッシュが可及的に消滅
させられるので、繰り返し位置決め精度を飛躍的に向上
させることができる。さらに、駆動機構にＸ軸ボールネ
ジ３４、Ｙ軸ボールネジ３８を使用しているので位置決
めの精度をさらに向上させ得る。

【００１３】（第２実施例）第２実施例について図２と
共に説明する。なお、第１実施例と同一の構成部材につ
いては第１実施例と同一の符号を付し、説明は省略す
る。スライダ４２の駆動機構は、第１実施例と同様、Ｘ
軸ボールネジ３４、Ｙ軸ボールネジ３８、Ｘ軸サーボモ
ータ３６およびＹ軸サーボモータ４０から構成されてい
る。また、Ｘ軸ボールネジ３４およびＹ軸ボールネジ３
８は、それぞれＸ軸スライドガイドおよびＹ軸スライド
ガイドを兼ねており、スライダ４２はＸ軸ボールネジ３
４およびＹ軸ボールネジ３８の回転に伴い、Ｘ軸ボール
ネジ３４およびＹ軸ボールネジ３８上をＸ−Ｙ移動する
ようになっている。

【００１４】続いてＹ軸規制手段の構成について説明す
る。１００ａ、１００ｂはＸ軸タイミングベルトであ
り、Ｘ軸ガイド１４ａ、１４ｂと平行に配設されてい
る。Ｘ軸タイミングベルト１００ａ、１００ｂは、基台
１０上にフリー回転可能に設けられているタイミングプ
ーリ１０２ａ、１０２ｂとの間、およびタイミングプー
リ１０２ｃ、１０２ｄとの間に架け渡されている。Ｘ軸
タイミングベルト１００ａ、１００ｂにはＸ軸移動体１
６ａ、１６ｂが止具１０８を介してそれぞれ連結されて
おり、Ｘ軸移動体１６ａ、１６ｂのＸ軸方向の移動に伴
い、Ｘ軸タイミングベルト１００ａ、１００ｂも回転す
る。Ｘ軸タイミングベルト１００ａ、１００ｂとタイミ
ングプーリ１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄと
の噛合によりＹ軸スライダガイドを兼ねるＹ軸ボールネ
ジ３８を常時Ｙ軸と平行状態に保持可能となっている。

【００１５】次にＸ軸規制手段の構成について説明す
る。１０４ａ、１０４ｂはＹ軸タイミングベルトであ
り、Ｙ軸ガイド２６ａ、２６ｂと平行に配設されてい
る。Ｙ軸タイミングベルト１０４ａ、１０４ｂは、基台
１０上にフリー回転可能に設けられているタイミングプ
ーリ１０６ａ、１０６ｂとの間、およびタイミングプー
リ１０６ｃ、１０６ｄとの間に架け渡されている。Ｙ軸
タイミングベルト１０４ａ、１０４ｂにはＹ軸移動体２
８ａ、２８ｂが止具１０８を介してそれぞれ連結されて
おり、Ｙ軸移動体２８ａ、２８ｂのＹ軸方向の移動に伴
い、Ｙ軸タイミングベルト１０４ａ、１０４ｂも回転す
る。Ｙ軸タイミングベルト１０４ａ、１０４ｂとタイミ
ングプーリ１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄと
の噛合によりＸ軸スライダガイドを兼ねるＸ軸ボールネ
ジ３４を常時Ｘ軸と平行状態に保持可能となっている。

【００１６】なお、タイミングプーリ１０２ｂと１０２
ｄ間を連結しているシャフト１１０はＹ軸移動体２８ｂ
内を非接触に貫挿し、タイミングプーリ１０６ｂと１０
６ｄ間を連結しているシャフト１１２はＸ軸移動体１６
ａ内を非接触に貫挿している。また、タイミングプーリ
１０２ａと１０２ｃ間、およびタイミングプーリ１０６
ａと１０６ｃ間をそれぞれ１本のシャフトで連結すると
位置決め精度をさらに向上させることが可能となる。第
２実施例において、Ｘ軸規制手段およびＹ軸規制手段と
してタイミングベルトおよびタイミングプーリを用いた
が、Ｘ軸スライダガイドとＹ軸スライダガイドのＸ軸方
向およびＹ軸方向の傾きを規制する効果さえ十分であれ
ば、タイミングベルトに代えて平ベルトやワイヤ、さら
にはチェーンを用いてもよい。

【００１７】（第３実施例）第３実施例について図３と
共に説明する。なお、先行実施例と同一の構成部材につ
いては先行実施例と同一の符号を付し、説明は省略す
る。第３実施例において、Ｘ軸ガイド２００ａ、２００
ｂはシャフトであり、Ｘ軸移動体１６ａ、１６ｂが摺動
可能にＸ軸移動体１６ａ、１６ｂへそれぞれ挿通されて
いる。Ｘ軸ガイド２００ａ、２００ｂは両端がそれぞれ
基台１０上に立設されているギアボックス２０２へ固定
されている。Ｙ軸ガイド２０４ａ、２０４ｂもシャフト
であり、Ｙ軸移動体２８ａ、２８ｂが摺動可能にＹ軸移
動体２８ａ、２８ｂへそれぞれ挿通されている。Ｙ軸ガ
イド２０４ａ、２０４ｂも両端がそれぞれ基台１０上に
立設されているギアボックス２０２へ固定されている。
Ｘ軸スライダガイド２０６およびＹ軸スライダガイド２
０８は金属シャフトで形成され、両端はＸ軸移動体１６
ａ、１６ｂとＹ軸移動体２８ａ、２８ｂへ固定されてい
る。

【００１８】次にスライダ４２の駆動機構について説明
する。２１０は第１のモータであり、ＤＣサーボモータ
である。第１のモータ２１０はスライダ４２へ搭載され
ており、給電ケーブル２１２を介して電力が供給され
る。従って、第１のモータ２１０はスライダ４２と一体
に２次元移動を行う。２１４は第２のモータであり、Ｄ
Ｃサーボモータである。第２のモータ２１４は基台１０
に固定されている。２１６は第１のリンク片であり、左
端は第１のモータ２１０の出力軸２１８と連結されてい
る。一方、２２０は第２のリンク片であり、右端は第２
のモータ２１４の出力軸２２２と連結されている。第１
のリンク片２１６の右端と第２のリンク片２２０の左端
は軸２２４を介して軸着されている。

【００１９】このように構成された駆動機構において、
第１のモータ２１０を回転させると、第１のリンク片２
１６は出力軸２１８を中心に回動しようとする。一方、
第２のモータ２１４を回転させると、第２のリンク片２
２０は出力軸２２２を中心に回動しようとする。ところ
が、第１のリンク片２１６と第２のリンク片２２０は軸
２２４で軸着されているため、第１のモータ２１０と第
２のモータ２１４の出力トルクはスライダ４２に作用す
る。しかし、スライダ４２にはＸ軸スライダガイド２０
６とＹ軸スライダガイド２０８が挿通されているため、
前記出力トルクはＸ方向とＹ方向の分力に分解される。
その結果、スライダ４２はＸ−Ｙ移動を行う。

【００２０】なお、スライダ４２のＸ−Ｙ方向の移動量
と、第１のモータ２１０および第２のモータ２１４の回
転方向、回転角度、第１のリンク片２１６および第２の
リンク片２２０との間には相関関係があるため、第１の
モータ２１０および第２のモータ２１４の回転方向、回
転角度を制御することによりスライダ４２の位置を制御
可能である。第３実施例においては、Ｘ軸規制手段およ
びＹ軸規制手段としては第２実施例と同一のＸ軸タイミ
ングベルト１００ａ、１００ｂ、Ｙ軸タイミングベルト
１０４ａ、１０４ｂとタイミングプーリを採用すること
によりＸ軸スライダガイド２０６とＹ軸スライダガイド
２０８のＸ軸方向およびＹ軸方向の傾きを規制し、高精
度の位置決めを図っている。なお、本実施例においてＸ
軸規制手段およびＹ軸規制手段としては、タイミングベ
ルト等に代えて第１実施例のラック・ピニオン方式を採
用することができる。

【００２１】（第４実施例）第４実施例について図４と
共に説明する。なお、先行実施例と同一の構成部材につ
いては先行実施例と同一の符号を付し、説明は省略す
る。第４実施例において、スライダ３００の駆動は不図
示のコンプレッサからの圧空の給排により行われる。ス
ライダ３００は、Ｘ軸方向に長く形成された上部３０２
とＹ軸方向に長く形成された下部３０４を一体に連結し
て成る。スライダ３００の上部３０２は、Ｘ軸方向へ中
空に形成され、Ｘ軸スライダガイド３０６が挿通されて
いる。Ｘ軸スライダガイド３０６の中央には大径部３０
８が形成されており、大径部３０８は上部３０２内を空
気室３１０ａ、３１０ｂに画成している。

【００２２】空気室３１０ａ、３１０ｂにはそれぞれエ
アポート３１２ａ、３１２ｂが設けられており、不図示
のコンプレッサと連絡されている。空気室３１０ａまた
は３１０ｂへコンプレッサから圧空を選択的に供給する
ことによりスライダ３００をＸ軸方向右側または左側へ
移動させることができる。一方、スライダ３００の下部
３０４は、Ｙ軸方向へ中空に形成され、Ｙ軸スライダガ
イド３１４が挿通されている。Ｙ軸スライダガイド３１
４の中央にも大径部（不図示）が形成されており、その
大径部は下部３０４内を空気室３１６ａ、３１６ｂに画
成している。空気室３１６ａ、３１６ｂにはそれぞれエ
アポート３１８ａ、３１８ｂが設けられており、コンプ
レッサと連絡されている。空気室３１６ａまたは３１６
ｂへコンプレッサから圧空を選択的に供給することによ
りスライダ３００をＹ軸方向上側または下側へ移動させ
ることができる。

【００２３】第４実施例におけるＸ軸規制手段およびＹ
軸規制手段としては、第３実施例と同一のＸ軸タイミン
グベルト１００ａ、１００ｂ、Ｙ軸タイミングベルト１
０４ａ、１０４ｂとタイミングプーリを採用することに
よりＸ軸スライダガイド３０６とＹ軸スライダガイド３
１４のＸ軸方向およびＹ軸方向の傾きを規制し、高精度
の位置決めを図っている。なお、本実施例においてもＸ
軸規制手段およびＹ軸規制手段としては、タイミングベ
ルト等に代えて第１実施例のラック・ピニオン方式を採
用することができる。以上、本発明の好適な実施例につ
いて種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定さ
れるのではなく、例えば複数の２次元運動機構を互いに
干渉しないよう構成すると複数のスライダの移動を互い
に独立して駆動させてもよいし、スライダへスライダの
運動平面と直角な方向へ移動可能な機構を設け、３次元
運動機構に応用してもよい等、発明の精神を逸脱しない
範囲でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんであ
る。

【００２４】

【発明の効果】本発明に係る２次元運動機構を用いる
と、Ｘ軸規制手段とＹ軸規制手段により、Ｘ軸スライダ
ガイドのＸ軸方向に対する傾き及びＹ軸スライダガイド
のＹ軸方向に対する傾きを規制することが可能となるの
で、Ｘ軸スライダガイドとＹ軸スライダガイドを常時Ｘ
軸方向またはＹ軸方向に保持可能となり、スライダの位
置決め精度を向上させることができる。また、Ｘ軸スラ
イダガイドのＸ軸方向に対する傾き及びＹ軸スライダガ
イドのＹ軸方向に対する傾きを抑制してＸ軸、Ｙ軸と平
行に維持することにより、スライダの高速駆動中におい
ても振動発生等を防止し、安定した運用が可能となる等
の著効を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る２次元運動機構の第１実施例を示
した平面図。

【図２】本発明に係る２次元運動機構の第２実施例を示
した平面図。

【図３】本発明に係る２次元運動機構の第３実施例を示
した平面図。

【図４】本発明に係る２次元運動機構の第４実施例を示
した平面図。

【符号の説明】

１２ａ、１２ｂＸ軸ラック１４ａ、１４ｂＸ軸ガイド１８Ｙ軸スライダガイド２０Ｙ軸ロッド２２ａ、２２ｂ、３３ａ、３３ｂピニオンギア２４ａ、２４ｂＹ軸ラック２６ａ、２６ｂＹ軸ガイド３０Ｘ軸スライダガイド３２Ｘ軸ロッド３４Ｘ軸ボールネジ３６Ｘ軸サーボモータ３８Ｙ軸ボールネジ４０Ｙ軸サーボモータ４２スライダ１００ａ、１００ｂＸ軸タイミングベルト１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄタイミング
プーリ１０４ａ、１０４ｂＹ軸タイミングベルト１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄタイミング
プーリ２００ａ、２００ｂＸ軸ガイド２０４ａ、２０４ｂＹ軸ガイド２０６Ｘ軸スライダガイド２０８Ｙ軸スライダガイド２１０第１のモータ２１４第２のモータ２１６第１のリンク片２２０第２のリンク片３００スライダ３０２スライダ上部３０４スライダ下部３０６Ｘ軸スライダガイド３１０ａ、３１０ｂ、３１６ａ、３１６ｂ空気室３１４Ｙ軸スライダガイド

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】Ｘ軸方向へ平行に配設された１対のＸ軸
ガイドと、前記Ｘ軸方向と直角なＹ軸方向へ平行に配設された１対
のＹ軸ガイドと、前記Ｘ軸方向へ配設されると共に、前記１対のＹ軸ガイ
ド間に跨がって配設され、Ｙ軸ガイドに沿ってＹ軸方向
へ移動可能なＸ軸スライダガイドと、前記Ｙ軸方向へ配設されると共に、前記１対のＸ軸ガイ
ド間に跨がって配設され、Ｘ軸ガイドに沿ってＸ軸方向
へ移動可能なＹ軸スライダガイドと、前記Ｘ軸スライダガイドと、前記Ｙ軸スライダガイド上
をＸ−Ｙ方向へ移動可能なスライダと、該スライダをＸ−Ｙ方向へ移動させるための駆動機構
と、前記Ｙ軸ガイドと平行に設けられ、前記Ｘ軸スライダガ
イドのＸ軸方向に対する傾きを規制するためのＸ軸規制
手段と、前記Ｘ軸ガイドと平行に設けられ、前記Ｙ軸スライダガ
イドのＹ軸方向に対する傾きを規制するためのＹ軸規制
手段とを具備することを特徴とする２次元運動機構。