JPH0592950U - 電子顕微鏡の試料装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子線に対して試料面が４５°を成し、且つ
試料面の角部がユーセントリック位置に簡単に位置づけ
られる電子顕微鏡の試料装置を提供する。 【構成】 試料傾斜ステージ３に凹部が設けられ、この
凹部に試料保持体７が着脱可能に装着される。試料保持
体７には試料１１を張り付けるための案内面１２が形成
されている。案内面１２からは棚部１３が面１２と垂直
な方向に伸びており、この棚部１３の底面１３は試料１
１の縁端面を光軸に対して４５°に位置づけるため、電
子線通過孔の中心線に対して４５°を成すように形成さ
れている。試料保持体７を試料傾斜ステージ３から外し
て、光学顕微鏡で観察しながら、容易に試料を必要な位
置に取り付け得る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は半導体試料等を観察するのに適した電子顕微鏡の試料装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体製造分野では、薄膜製造技術が進歩し、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）基板 上に単原子層オーダーで原子層を積層して部品を製作することが可能になった。 図１はこのような部品を劈開して得られた板状の試料を示している。図１におい て、３０は基板、３１は原子層の積層を示しており、このような板状試料は、例 えば1.5mm ×1.0mm ×0.2mm 程度の極めて小さいものである。図２に示すように 、このような試料の (110)面のエッジ部３３に電子線を照射し、この照射によっ て得られた等厚干渉縞の強度分布の変化により組成を定量的に測定することが行 われている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

従来においては、試料を試料ホルダに取り付ける場合に、以下の要求を満たす ように取り付け位置の調整が必要であった。 試料の観察面の電子線に対する角度が必要な角度（通常４５°）の近傍にある こと。 観察部位となる試料のエッジ部先端（角部）が試料傾斜のユーセントリック位 置にあること。

【０００４】 従って上記条件を満たすように試料を試料ホルダに装着するのは極めて困難で あった。

【０００５】 本考案は上述した従来の欠点を解決し、前述した条件を満たすように試料を容 易に位置づけることのできる電子顕微鏡の試料装置を提供することを目的として いる。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

試料ホルダ本体と、該試料ホルダ本体に対して傾斜可能に支持された試料傾斜 ステージを備えた電子顕微鏡の試料装置において、板状試料を保持するための試 料保持体と、光軸方向に立てて保持される板状試料の観察面が光軸に対して所定 の角度傾斜するように案内するため前記試料保持体に設けられた案内面を備え、 前記試料保持体を前記試料傾斜ステージに対して着脱可能に構成した電子顕微鏡 の試料装置を特徴としている。

【０００７】

【作用】

試料保持体を試料傾斜ステージから取り外して光学顕微鏡にセットし、光学顕 微鏡により観察しながら、光軸方向に対して所定の角度傾斜している試料保持体 の案内面に試料の縁端面を沿わせながら試料の位置調整を行い、調整後、試料保 持体を試料傾斜ステージに取り付けることにより、簡単に前述した条件を満たす ように試料を位置づけることができる。

【０００８】

【実施例】

以下、図面に基づき本考案の実施例を詳述する。

【０００９】 図３は本考案の一実施例を示すための図であり、図４はこの一実施例装置を上 方から見た図である。両図において、１は試料ホルダ本体であり、試料ホルダ本 体１には切欠き部２が設けられている。この切欠き部２には試料傾斜ステージ３ が配置されている。試料傾斜ステージ３は傾斜軸４の回りに回転可能に設けられ ている。試料傾斜ステージ３には凹部が設けられている。図３，図４には、この 凹部の壁面が符号５により示されている。この凹部の底面６上に試料保持体７が 載置できるようになっている。試料保持体７はネジ８により試料傾斜ステージ３ に着脱可能に取り付けられる。試料傾斜ステージ３には電子線通過孔９が設けら れていると共に、試料保持体７にも電子線通過孔１０が設けられている。試料保 持体７には、試料ホルダ本体へ試料１１を接着するための接着面１２が設けられ ている。この接着面は、試料保持体装着時において、試料１１を光軸方向に立て て配置するための案内面の役割もしている。この接着面１２を試料保持体７に形 成するため、試料保持体７の前記電子線通過孔１０は完全な孔にはなっていない 。光軸方向に立てて保持される試料１１の縁端面が光軸ｚに対して略４５°傾斜 するように案内するため、接着面１２から棚１３がでており、しかもこの棚１３ は面１２に対して垂直に出ている。棚１３の底面１４は光軸ｚに対して４５°を 成すように形成されており、試料１１の縁端面（観察面）を案内するための案内 面となっている。試料傾斜ステージ３へ試料保持体７をの装着した際に、この底 面１４の延長線が前述したユーセントリック位置を通るように、底面１４の位置 が設定されている。一方、試料傾斜ステージ３の底面６は、試料の角部が当たる のを避けるため、試料が当る側だけ長穴状に切り欠かれている。

【００１０】 このような構成において、試料保持体７を試料傾斜ステージ３から外し、試料 保持体７を光学顕微鏡にセットする。図５は光学顕微鏡によって観察された試料 保持体７を示している。この状態で接着面１２上に試料１１を載置する。この際 、試料１１の裏面には接着剤を塗っておく。光学顕微鏡で試料の角部を観察しな がら、試料１１の縁端面を棚１３の底面１４に沿わせつつ試料１１を移動させて 、試料の角部が電子線通過孔の中心に位置するように試料１１の位置調整を行う 。このようにして位置調整が終了すると、その状態で試料を接着面１２に張り付 ける。次に、試料保持体７を試料傾斜ステージ３に装着し、ネジ８により試料保 持体７を試料傾斜ステージ３に固定する。このようにすれば、前述した条件を満 たすように、試料を簡単に試料傾斜ステージ３に取り付けることができる。

【００１１】 この状態では、試料１１の角部は試料を傾斜した場合に、ユーセントリックな 観察が可能な位置に位置づけられているため、電子線に対して試料の縁端面が正 確に４５°を成すように傾斜ステージ３の傾斜角を微調整すれば、試料１１によ って回折された電子線による干渉縞が蛍光板に投影される。そこで、この回折干 渉縞を解析することにより、試料の分析が行われる。

【００１２】 上述した実施例は本考案の一実施例に過ぎず、変形して実施できる。

【００１３】 例えば上述した実施例においては、試料１１を固定するため、試料を接着剤に より接着面１２に接着するようにしたが、板バネなどにより試料をこのような案 内となる面に押し付けるように構成しても良い。

【００１４】

【考案の効果】

上述した説明から明らかなように、本考案に基づく電子顕微鏡の試料装置によ れば、試料保持体を試料傾斜ステージから取り外し、光学顕微鏡にセットして光 学顕微鏡で試料位置を観察しながら試料の取り付け位置を調整できるため、簡単 に試料を必要位置に位置づけることができ、試料面に所定の角度で電子線を照射 してその回折電子線に基づき試料を分析する作業を極めて簡単に行うことが可能 になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】分析対象となる試料を例示するための図であ
る。

【図２】分析に必要な電子線と試料との位置関係を示す
ための図である。

【図３】本考案の一実施例を例示するための図である。

【図４】図３に示した一実施例を上面から見た図であ
る。

【図５】光学顕微鏡による試料位置調整を説明するため
の図である。

【符号の説明】

１ 試料ホルダ本体 ２ 切欠き部 ３ 試料傾斜ステージ ４ 傾斜軸 ５ 試料傾斜ステージ凹部壁面 ６ 凹部底面 ７ 試料保持体 ８ ネジ ９，１０ 電子線通過孔 １１ 試料 １２ 接着面 １３ 棚 １４ 棚の底面 ｚ 光軸

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料ホルダ本体と、該試料ホルダ本体に
   対して傾斜可能に支持された試料傾斜ステージを備えた
   電子顕微鏡の試料装置において、板状試料を保持するた
   めの試料保持体と、光軸方向に立てて保持される板状試
   料の観察面が光軸に対して所定の角度傾斜するように案
   内するため前記試料保持体に設けられた案内面を備え、
   前記試料保持体を前記試料傾斜ステージに対して着脱可
   能に構成したことを特徴とする電子顕微鏡の試料装置。