JPH0593524U - 真空圧フィルター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 フィルタを分解することなく強制的にフィル
タエレメントのクリーニングができる吸着装置用のフィ
ルタの提供。 【構成】 吸着部に連通する管３と真空計４が胴部から
貫通され、一端が深く絞られてドレン管に連通する円筒
１と、真空発生機に連通する管８と真空計９から貫通さ
れた蓋２とからなり、円筒１の内部には、中央に穴５ａ
が空けられたじゃま板５が管取付部３ａおよび真空計取
付部４ａよりも真空発生機寄りに取付けられ、該じゃま
板５よりも更に真空発生機寄りに円筒内壁に取付けられ
た座６の上にフィルターエレメント７が振盪自在に載置
され、円筒１と蓋２がシール１０を挟持して固定されて
おり、更に吸着部連通管３に開閉弁、連通管８を切替弁
及びを介してそれぞれ送風機及び真空発生機に連通す
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は真空圧で吸着する装置で使用する真空フィルターに関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば、半導体ウェーハの製造工程では、その材質、形状等の制限から、半導 体ウェーハを１枚１枚真空吸着をして、加工、搬送、移動がなされる場合が多い 。従って吸着面の状態やその周りの雰囲気もまちまちである。故にクリーンな吸 着面や雰囲気の場合は兎も角として、吸着面に付着物があったり、吸着部周辺の 清浄度が悪い場合には、吸着部と真空発生機の間にフィルターが必要である。

【０００３】 例えば、半導体ウェーハの製造工程の一つである面取工程では、ウェーハの表 面が切削粉が混ざった切削液で濡れた状態で吸着され、時にはウェーハの欠片が 吸引される場合もある。又ラッピング工程では、切削粉、ラッピング砥粒が混在 する切削油で濡れた状態で吸着される。

【０００４】 しかしながら、従来のフィルターはろ過対象物が一種類で、しかもカートリッ ジタイプのものである。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

従って、従来のものは、上記製造工程のように、吸着しようとする面に種々雑 多なものが付着している工程での使用には不適格である。即ち、ろ過対象物の種 類が多いと多くのフィルターを装着するか、或いは多段式の複雑な構造のフィル ターが必要となる。

【０００６】 又、カートリッジタイプのものは、一旦目詰りするとカートリッジ毎交換しな ければならず、そのために装置の稼動を止めてフィルターの分解をしなければな らず、時間、コストの面で問題がある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記のような問題点を解決するためになされたものである。即ち、円 筒と蓋とからなり、円筒の胴部には、吸着部に連通する管と一方の真空計が配設 され、該円筒の一端は深く絞られてドレン管へ連通され、蓋は真空発生機に連通 する管と他方の真空計が配設されている。円筒の内部には、中心に穴が空けられ たじゃま板が、吸着部に連通する管の円筒への取付部および一方の真空計取付部 よりも真空発生機寄りに取り付けられ、このじゃま板より更に真空発生機寄りに 座が内壁に取付けられ、その上にフィルターエレメントが固着せずに載置される 。更に円筒と蓋の間にシールが挟持されて、円筒と蓋が例えばボルトで固定され ている。

【０００８】 以上の様な真空圧フィルターを提供するものである。

【０００９】 更に加えて、上記の真空圧フィルターの吸着部に連通する管に開閉弁を取付け 、真空発生機に連通する管に切換弁を取付けて一方の流路を送風機に連通させた 真空圧フィルターをも提供する。

【００１０】

【作用】

吸着面に種々雑多なものが付着しているものの表面を真空吸着する工程におい て、吸着部と真空発生機の間に上記のような真空圧フィルターを装着して真空吸 着をすると、真空圧フィルターの中では次のような動きが起きる。即ち、吸引さ れたもので、比較的重いものは直接ドレン側に落ち、比較的軽いものはじゃま板 の中心に空けられている穴を通ってフィルターエレメントに当り付着する。又中 間的な重さのものはじゃま板に当り付着したり落下したりする。

【００１１】 通常、真空吸着の作業は吸着、解放の繰り返し作業であるので、フィルターの 内部は真空圧、大気圧の繰り返しとなる。従ってフィルターの内部が大気圧にな れば、フィルターエレメントに付着したものの多くはドレン側に落ちて、じゃま 板上或いはじゃま板の中心の穴からドレン側に落ち、じゃま板上に落ちたものは 周縁上に設けられた捕集物堆積部へたまる。又じゃま板下側に付着したものの多 くは下に落ちてドレン口側へたまる。

【００１２】 以上のような繰り返しによりフィルターのセルフクリーニングが行なわれる。 更に、吸着部に連通する管に開閉弁を取付け、真空発生機に連通する管に切換弁 を取付けて一方の流路を送風機に連通された真空圧フィルターにおいて、吸着部 に連通する管に取付けた開閉弁を閉にして、真空発生機に連通する管に取付けた 切換弁を送風機に連通するようにすればフィルターの目に詰まったものはドレン 側に落ち、又じゃま板の捕集物堆積部にたまったものは舞い上って、じゃま板の 中心の穴から下へ落ち、ドレン側へ落下する。このようにしてフィルターエレメ ントの目詰りが解除される。

【００１３】 円筒に取付けられた真空計と蓋に取付けた真空計との圧力指示値の差、即ち圧 力の差が大であればフィルターの目詰りが大であるからフィルターエレメントの 目詰り状態が評価でき、蓋に取付けられた真空計では真空発生機の吸引力を評価 することができる。

【００１４】

【実施例】

以下、本考案の具体例を図面に基いて説明する。

【００１５】 図１は本考案の１実施例を表わした部分断面図で、図１の上下方向の状態で使 用される。

【００１６】 部品を大別すると、円筒１と蓋２とからなる。円筒１には蓋２を取付けるため の鍔１ａがあり、鍔１ａの反対側は捕集物がスムーズに流れる様に深く絞られ、 先端はドレン管に連通するドレン口１ｂを有する。

【００１７】 円筒１の胴部には吸着部（図示せず）に連通する管３とフィルターエレメント ７の目詰り状態を評価する真空計４が円筒１を貫通して配設してあり、管３は斜 め下方に向けられ、開口面３ａはほゞ水平に切断されている。

【００１８】 円筒１への管取付部３ｂより若干上部の内部には、じゃま板５が円筒内周に取 付けられ、深皿を逆さにした状態で中心には穴５ａが開口しており周縁上部には 凹状の捕集物堆積部５ｂを有する。

【００１９】 又じゃま板５より更に上部には座６（リング状又は多点支持構造）が円筒内壁 に取付けられ、その上にフィルターエレメント７が載置される。この座６とフィ ルターエレメント７の組合せは吸着部に付着している物、即ち捕集物に応じて２ 対、３対と増加させることも可能である。

【００２０】 一方蓋２には真空発生機に連通する管８と吸引圧を評価する真空計９が取付け られている。このような状態の円筒１と蓋２の間にはシール１０が挟持され、複 数個のボルト１１で円筒１の鍔１ａと蓋２とが取付けられる。

【００２１】 シール１０はＯリング、パッキン、ガスケット等円筒１の材質や加工方法等に 応じて選択できる。円筒の材質は金属、合成樹脂を問わないが、フィルター内の 捕集物の堆積量が外から見える様に、透明の合成樹脂が望ましい。

【００２２】 実施例２ 実施例１に付け加えて、吸着部に連通する管３に開閉弁２１が取付けられ、真 空発生機に連通する管８に切換弁２２，２３が取付けられ、一方の流路が送風機 （図示せず）に連通される。その具体例を図２に示す。そして管３の開閉弁が閉 にされ、管８の切換弁２２が送風機方向に連通されると、フィルターエレメント ７への付着物が強制的に払い落されることになる。尚、吸着操作は図１と同様で ある。

【００２３】

【考案の効果】 本考案の真空圧フィルターを吸着部と真空発生機の間に装着されて、真空吸着 作業が行われると、被吸着体、例えば半導体ウェーハの吸着面およびその周辺に 種々雑多な汚染物質が付着していても、従来の如くフィルターを分解することな く強制的にフィルターエレメントのクリーニングが出来るので、次のような効果 がある。

【００２４】 （１）常に所定の吸引圧で吸着作業が行われる。

【００２５】 （２）フィルターエレメントの交換、清掃がほとんど要らない。従って吸着装 置の運転停止や作業工数がほとんど不要である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一具体例を示す部分断面正面図

【図２】本考案の他の具体例を示す正面図

【符号の説明】 １ 円筒 １ａ 鍔 １ｂ ドレン口 ２ 蓋 ３ 管 ３ａ 開口面 ３ｂ 管取付部 ４ 真空計 ４ａ 真空計取付部 ５ じゃま板 ５ａ 穴 ５ｂ 捕集物堆積部 ６ 座 ７ フィルターエレメント ８ 管 ９ 真空計 １０ シール １１ ボルト ２１ 開閉弁 ２２，２３ 切換弁 ２４ ドレン弁

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸着部に連通する管（３）と真空計
   （４）が胴部から貫通され、一端が深く絞られてドレン
   管に連通する円筒（１）と、真空発生機に連通する管
   （８）と真空計（９）から貫通された蓋（２）とからな
   り、円筒（１）の内部には、中央に穴（５ａ）が空けら
   れたじゃま板（５）が管取付部（３ａ）および真空計取
   付部（４ａ）よりも真空発生機寄りに取付けられ、該じ
   ゃま板（５）よりも更に真空発生機寄りに円筒内壁に取
   付けられた座（６）の上にフィルターエレメント（７）
   が振盪自在に載置され、円筒（１）と蓋（２）がシール
   （１０）を挟持して固定されてなる真空圧フィルター。
2. 【請求項２】 吸着部に連通する管（３）に開閉弁（２
   １）が取付けられ、真空発生機に連通する管（８）に切
   換弁（２２）及び（２３）が取付けられ、一方の流路を
   送風機に連通させてなる請求項１に記載の真空圧フィル
   ター。