JPH0593686A - 液体微粒子カウンター - Google Patents
液体微粒子カウンターInfo
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- JPH0593686A JPH0593686A JP3255445A JP25544591A JPH0593686A JP H0593686 A JPH0593686 A JP H0593686A JP 3255445 A JP3255445 A JP 3255445A JP 25544591 A JP25544591 A JP 25544591A JP H0593686 A JPH0593686 A JP H0593686A
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- particle counter
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】水，薬品等の液体中の微粒子の測定を行なう液
中微粒子カウンターに於て液体サンプリングを行なう配
管系統から測定を行なうための配管系統を個別に分離出
来る機構を設け、スタンバイ時測定を行なうための配管
系統を常に純水等の清浄度の高い液体をフイルターリン
グして循環し測定部の清浄度を高く保つ機能を持つ液体
微粒子カウンター 【効果】従来の方式による液体微粒子カウンターを用い
て行う場合に比較して測定時間の大幅な短縮および測定
データの安定性を得ることができ、特にクリーン度の低
いサンプルを測定した後に、超純水などのクリーン度の
高いものを測定する場合に於て効果が顕著である。
中微粒子カウンターに於て液体サンプリングを行なう配
管系統から測定を行なうための配管系統を個別に分離出
来る機構を設け、スタンバイ時測定を行なうための配管
系統を常に純水等の清浄度の高い液体をフイルターリン
グして循環し測定部の清浄度を高く保つ機能を持つ液体
微粒子カウンター 【効果】従来の方式による液体微粒子カウンターを用い
て行う場合に比較して測定時間の大幅な短縮および測定
データの安定性を得ることができ、特にクリーン度の低
いサンプルを測定した後に、超純水などのクリーン度の
高いものを測定する場合に於て効果が顕著である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置製造工程など
に於て用いられる純水、薬品中のパーテイクルの測定に
用いられる液体微粒子カウンターに関し、その目的とす
るところは、測定の迅速化、検出測定部分の保護にあり
効率的に再現性良く測定を行なわしめるものである。
に於て用いられる純水、薬品中のパーテイクルの測定に
用いられる液体微粒子カウンターに関し、その目的とす
るところは、測定の迅速化、検出測定部分の保護にあり
効率的に再現性良く測定を行なわしめるものである。
【０００２】
【従来の技術】図２に従来の方式による液体微粒子カウ
ンターの配管図を示す。
ンターの配管図を示す。
【０００３】図中８で示される液体サンプリングを行な
う配管系統と測定を行なうための配管系統が１系統のみ
であり測定時、スタンバイ時同一流量で配管内を液体が
流れている。
う配管系統と測定を行なうための配管系統が１系統のみ
であり測定時、スタンバイ時同一流量で配管内を液体が
流れている。
【０００４】図中１で示されるパーテイクルカウンター
センサー部内に測定を行う純水、薬品などの液体が、サ
ンプル導入口１２より吸引され、液体流路部８を通って
透明な粒子検出セル２に達する。
センサー部内に測定を行う純水、薬品などの液体が、サ
ンプル導入口１２より吸引され、液体流路部８を通って
透明な粒子検出セル２に達する。
【０００５】粒子検出セルにはレーザー光学系４より発
せられたレーザー光５が照射され粒子検出セル内の液体
中にパーテイクルが存在した場合パーテイクルに依って
散乱されたレーザー光が、レンズ系６に依って集光さ
れ、受光部７に依って光電変換され、さらに波高分析器
カウンター３に依ってパーテイクル粒径が判断され、個
数がカウントされる。
せられたレーザー光５が照射され粒子検出セル内の液体
中にパーテイクルが存在した場合パーテイクルに依って
散乱されたレーザー光が、レンズ系６に依って集光さ
れ、受光部７に依って光電変換され、さらに波高分析器
カウンター３に依ってパーテイクル粒径が判断され、個
数がカウントされる。
【０００６】ここで測定しょうとする液体を替える場合
にはサンプル導入口を該液槽に付け替える訳であるが、
該液体の種類が異なったり、パーテイクルレベルが大幅
に異なる場合は配管内に大量の該サンプル液体を流し置
換を行った後測定を行った。
にはサンプル導入口を該液槽に付け替える訳であるが、
該液体の種類が異なったり、パーテイクルレベルが大幅
に異なる場合は配管内に大量の該サンプル液体を流し置
換を行った後測定を行った。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の方式では
通常測定部は小流量の為、サンプリング配管内の管壁等
に付着している汚染の影響を除くため測定液体を配管中
に大量に流す必要がある為サンプル量が限られている場
合測定が困難になる。
通常測定部は小流量の為、サンプリング配管内の管壁等
に付着している汚染の影響を除くため測定液体を配管中
に大量に流す必要がある為サンプル量が限られている場
合測定が困難になる。
【０００８】又純水等の清浄度の高い液体を測定する場
合には、直前に測定を行ったサンプルの影響を受けない
様大量に純水を流した後測定を行なうため、測定に長時
間を要する等の問題があった。
合には、直前に測定を行ったサンプルの影響を受けない
様大量に純水を流した後測定を行なうため、測定に長時
間を要する等の問題があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記従来の方法
による問題点を解決するためになされたものであり、液
体サンプリングを行なう配管系統から測定を行なうため
の配管系統を個別に分離出来る機構を設け、スタンバイ
時測定を行なうための配管系統を常に純水等の清浄度の
高い液体をフイルターリングして循環し、測定部の清浄
度を高く保つ機能を持たせた。
による問題点を解決するためになされたものであり、液
体サンプリングを行なう配管系統から測定を行なうため
の配管系統を個別に分離出来る機構を設け、スタンバイ
時測定を行なうための配管系統を常に純水等の清浄度の
高い液体をフイルターリングして循環し、測定部の清浄
度を高く保つ機能を持たせた。
【００１０】
【実施例】図１に本発明の方式によるレーザー光散乱方
式の液体微粒子カウンターの内部配管模式図を示す。
式の液体微粒子カウンターの内部配管模式図を示す。
【００１１】図中１で示されるパーテイクルカウンター
センサー部内に測定を行う純水、薬品などの液体が、サ
ンプル導入口１２より吸引され、液体流路部８を通って
透明な粒子検出セル２に達する。
センサー部内に測定を行う純水、薬品などの液体が、サ
ンプル導入口１２より吸引され、液体流路部８を通って
透明な粒子検出セル２に達する。
【００１２】粒子検出セルにはレーザー光学系４より発
せられたレーザー光５が照射され粒子検出セル内の液体
中にパーテイクルが存在した場合パーテイクルに依って
散乱されたレーザー光が、レンズ系６に依って集光さ
れ、受光部７に依って光電変換され、さらに波高分析器
カウンター３に依ってパーテイクル粒径が判断され、個
数がカウントされる。
せられたレーザー光５が照射され粒子検出セル内の液体
中にパーテイクルが存在した場合パーテイクルに依って
散乱されたレーザー光が、レンズ系６に依って集光さ
れ、受光部７に依って光電変換され、さらに波高分析器
カウンター３に依ってパーテイクル粒径が判断され、個
数がカウントされる。
【００１３】ここで液体流路部８の中間部に切り替え弁
９をサンプル導入側及び排液口前に設け必要に応じてサ
ンプルまたはフイルターを透過した純水を切り換えて流
せるようにした。
９をサンプル導入側及び排液口前に設け必要に応じてサ
ンプルまたはフイルターを透過した純水を切り換えて流
せるようにした。
【００１４】通常の測定時には従来の方法によるものと
同じく導入口１２よりサンプルを吸引し粒子検出セルを
経て排出口１３より廃液される。
同じく導入口１２よりサンプルを吸引し粒子検出セルを
経て排出口１３より廃液される。
【００１５】ここで所定の測定を終えた後、次の測定を
開始するまでの間切り替え弁９を作動させ配管内にフイ
ルターを透過した純水を供給し、当初パーテイクルがカ
ウントされる間および配管内の薬液を排出するまでの一
定時間流出した後排出側の切り替え弁を作動させ、純水
を循環ポンプによって循環させ、配管内および粒子検出
セル部をクリーンな状態に保った。
開始するまでの間切り替え弁９を作動させ配管内にフイ
ルターを透過した純水を供給し、当初パーテイクルがカ
ウントされる間および配管内の薬液を排出するまでの一
定時間流出した後排出側の切り替え弁を作動させ、純水
を循環ポンプによって循環させ、配管内および粒子検出
セル部をクリーンな状態に保った。
【００１６】上記状態で次の測定に備えて待機すること
となるため新たな測定サンプルの測定開始時にスムーズ
に測定を開始することが出来た。
となるため新たな測定サンプルの測定開始時にスムーズ
に測定を開始することが出来た。
【００１７】又、必要に応じて循環する液体の種類を選
択する事によって配管内の薬液中和などの効果も得るこ
とが出来た。
択する事によって配管内の薬液中和などの効果も得るこ
とが出来た。
【００１８】
【発明の効果】上記本発明による方式を採った液体微粒
子カウンターを使用して測定を行った結果、従来の方式
による液体微粒子カウンターを用いて行う場合に比較し
て測定時間の大幅な短縮および測定データの安定性を得
ることができ、特にクリーン度の低いサンプルを測定し
た後に、超純水などのクリーン度の高いものを測定する
場合に於て効果が顕著であった。
子カウンターを使用して測定を行った結果、従来の方式
による液体微粒子カウンターを用いて行う場合に比較し
て測定時間の大幅な短縮および測定データの安定性を得
ることができ、特にクリーン度の低いサンプルを測定し
た後に、超純水などのクリーン度の高いものを測定する
場合に於て効果が顕著であった。
【図１】 本発明の方式による液体微粒子カウンターの
配管模式図。
配管模式図。
【図２】 従来の方式による液体微粒子カウンターの配
管模式図。
管模式図。
１ パーテイクルカウンターセンサー部、 ２ 粒子検出セル、 ３ 波高分析器カウンター、 ４ レーザー光学系、 ５ レーザー光、 ６ レンズ系、 ７ 受光部、 ８ 液体流路部、 ９ 切り替え弁、 １０ フイルター、 １１ 循環ポンプ １２ サンプル導入口、 １３ 排液口、
Claims (1)
- 【請求項１】水，薬品等の液体中の微粒子の測定を行な
う液中微粒子カウンターに於て液体サンプリングを行な
う配管系統から測定を行なうための配管系統を個別に分
離出来る機構を設け、スタンバイ時＜、測定を行なうた
めの配管系統を常に純水等の清浄度の高い液体をフイル
ターリングして循環し測定部の清浄度を高く保つ機能を
持つことを特徴とする液体微粒子カウンター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3255445A JPH0593686A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 液体微粒子カウンター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3255445A JPH0593686A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 液体微粒子カウンター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0593686A true JPH0593686A (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=17278871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3255445A Pending JPH0593686A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 液体微粒子カウンター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0593686A (ja) |
-
1991
- 1991-10-02 JP JP3255445A patent/JPH0593686A/ja active Pending
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