JPH0593750U - 精密研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 スビンドルユニットに対する重量軽減機能を
損なわずに軽量化を図れるようにした、精密研削装置を
提供する。 【構成】 半導体ウェーハ等を研削する砥石が装着され
たスピンドルユニット１を少なくとも含む精密切削装置
において、スピンドルユニット１の自重に抗して反対側
にエアーシリンダー等の圧力バランサー１３を設ける。
圧力バランサーは従来のバランスウェイトよりも遥かに
軽量であり、スビンドルユニットに対する重量軽減機能
はバランスウェイトと同等以上を保持することができ
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウェーハ等を研削するための精密研削装置に関するものであ る。

【０００２】

【従来の技術】

従来、半導体ウェーハ等の被加工物の表面を研磨する精密研削装置があり、こ れは例えば図２に示すようにスピンドルユニット１のスピンドル１ａの先端部に マウンター１ｂを介して砥石ホイール２が取り付けられ、この砥石２を回転させ てリング状砥石片２ａにより回転チャックテーブル５上に載置固定された半導体 ウェーハ等の被加工物６の表面を研磨するものである。 前記スピンドルユニット１は支持フレーム３の側部に設けられたガイドレール ４に沿って上下動可能に支持され、即ち支持フレーム３に取り付けられたスクリ ューボルト７をモーター８で回転させ、そのスクリューボルト７に螺合している 送りナット９を上下動させ、この送りナット９に結合した前記スピンドルユニッ ト１を上下動できるようにしてある。 この場合、スピンドルユニット１は例えば１３０Ｋｇと非常に重く、上下動す る際に自重により前記スクリューボルト７や送りナット９等に悪影響を及ぼすこ とがあり、それを回避するためにスピンドルユニット１にワイヤー１０を取り付 け、支持フレーム３の上部に取り付けた滑車１１に掛けて反転させ、更にその下 端部にバランスウェイト１２を取り付けて、スピンドルユニット１の重量軽減を 図るようにしている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記バランスウェイト１２は通常９０Ｋｇ以上の重量が必要で あるため、支持フレーム３を設置しているクリーンルーム等の床に大きな重量負 担を掛けることになる。従って、装置を設置する際にクリーンルーム等の床強度 の制限を受け、時には設置できない等の問題が生じ、又は床の補強工事が必要に なる等の面倒な事態を引き起こす。

【０００４】 本考案は、このような従来の問題点を解決するためになされ、スピンドルユニ ットに対する重量軽減機能を損なわずに軽量化を図れるようにした、精密研削装 置を提供することを課題としたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

この課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、半導体ウェーハ等 を研削する砥石が装着されたスピンドルユニットを少なくとも含む精密研削装置 において、前記スピンドルユニットの自重に抗して反対側にエアシリンダー等の 圧力バランサーを設けた構成を要旨とするものである。

【０００６】

【作 用】

エアシリンダー等の圧力バランサーは従来のバランスウェイトに比して遥かに 軽量なので、クリーンルーム等の設置床への重量負担を軽減させることができ、 且つバランスウェイトと同等以上の機能を保持することができる。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて詳説する。但し、従来例と同じ部 材は同一の符号で表す。 図１において、１はスピンドルユニットであり、そのスピンドル１ａの先端部に マウンター１ｂを介して砥石ホイール２が固定され、この砥石ホイール２の下面 周辺部にはリング状の砥石片２ａが装着されている。

【０００８】 ３は支持フレームであり、側面にガイドレール４が上下方向に取り付けられ、 このガイドレール４に前記スピンドルユニット１の側部に設けたガイド片１ｃが 摺動自在に係合している。

【０００９】 ５は回転可能に設けられたチャックテーブルであり、その上面に半導体ウェー ハ等の被加工物６を載置固定するようになっている。

【００１０】 ７は支持フレーム３に取り付けられたスクリューボルトであり、モーター８で 正逆回転させることによりそのスクリューボルト７に螺合している送りナット９ を上下動させ、この送りナット９に結合した前記スピンドルユニット１を上下動 できるようにしてある。

【００１１】 １０はワイヤーであり、その一端は前記スピンドルユニット１の取付片１ｄに 結着され、中間部は支持フレーム３の上部に取り付けた滑車１１に掛け渡して反 転させ、その他端は支持フレーム３に固定した圧力バランサー１３のプランジャ ーロッド１３ａの先端部に取付片１３ｂを介して結着されている。

【００１２】 この場合、前記圧力バランサー１３はエアシリンダー等で構成され、コンプレ ッサー等の駆動源１４を接続してある。

【００１３】 本考案に係る精密切削装置は上記のように構成され、従来と同様にスピンドル ユニット１のスピンドル１ａにより砥石ホイール２を回転させ、その砥石ホイー ル２の砥石片２ａを前記回転チャックテーブル５上の被加工物６に適圧で当接さ せて研磨加工を行う。

【００１４】 この研磨加工において、必要に応じてスピンドルユニット１を上下に移動させ るが、この移動時に前記圧力バランサー１３を作動させてスピンドルユニット１ の重量軽減を図ることにより、スピンドルユニット１を小さな力で円滑に動かす ことができる。つまり、圧力バランサー１３が従来のバランスウェイトとしての 機能を果たすため、前記スクリューボルト７や送りナット９等の駆動機構に悪影 響を及ぼすことがない。

【００１５】 しかも、圧力バランサー１３自体は従来のバランスウェイトよりも遥かに軽量 であるため、装置を設置するクリーンルーム等の床に過大の重量負担を掛けるこ とがない。従って、通常のクリーンルームの床強度であれば装置を設置すること ができ、重量制限を受けることがなく又床の補強工事も不要になる。

【００１６】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、スピンドルユニットが上下動可能に設 けられた精密研削装置において、そのスピンドルユニットの自重に抗して反対側 にエアシリンダー等の圧力バランサーを設けたので、スピンドルユニットに対す る重量軽減機能を損なうことなく軽量化が可能となり、クリーンルーム等の設置 床への重量負担を軽減させ、床の補強工事も不要となる等の優れた効果を奏する 。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例を示す一部破断の正面図で
ある。

【図２】 従来例を示す一部破断の正面図である。

【符号の説明】 １…スピンドルユニット １ａ…スピンドル １ｂ
…マウンター １ｃ…ガイド片 １ｄ…取付片
２…砥石ホイール ２ａ…砥石片 ３…支持フレー
ム ４…ガイドレール ５…回転チャックテーブル
６…被加工物 ７…スクリューボルト ８…モ
ーター ９…送りナット １０…ワイヤー １１
…滑車 １２…バランスウェイト １３…圧力バラ
ンサー １３ａ…プランジャーロッド １３ｂ…取付片 １
４…駆動源

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウェーハ等を研削する砥石が装着
   されたスピンドルユニットを少なくとも含む精密研削装
   置において、前記スピンドルユニットの自重に抗して反
   対側にエアシリンダー等の圧力バランサーを設けたこと
   を特徴とする精密研削装置。