JPH0594716A - 高温焼成用組成物及びペースト - Google Patents
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Abstract
はんだ付け性に優れ、かつ、はんだ食われの少ない高温
焼成用の銅合金系組成物を提供しようとするものであ
る。 【構成】 一般式AgxCuyMz(ただし、MはBi、
Pb、Znより選ばれた一種以上の金属でありx、y、
zは原子比で表わして、0.001≦x≦0.4、0.
6≦y≦0.999、0≦z≦0.05、z+y+z=
1)で表わされ、粒子表面の銀濃度が平均の銀濃度より
高く、かつ、粒子表面に向かって銀濃度が増加する領域
を有する銅合金粉末100重量部に対して、ガラスフリ
ット0.1〜50重量部及び有機ビヒクル(有機バイン
ダ及び、または溶剤)からなることを特徴とする組成物
及びこれを用いたペースト。
Description
マイグレーション性に優れ、且つ、保存性にも優れた安
価な導電性組成物に関するものである。電磁波シール
ド、セラミックコンデンサー電極、マイクロコンデンサ
ー電極、圧電素子電極、バリスタ電極、サーミスタ電
極、太陽電池用電極、チップ抵抗器用導電ペースト、抵
抗ネットワーク用導電ペースト、可変抵抗器用導電ペー
スト、導電回路用ペースト等に応用できる。。
末、ガラスフリットを必要に応じて有機バインダー及び
溶剤に分散させたものが公知であり、セラミックス基板
などの耐熱性の良い基板状に印刷され、600〜900
℃前後で焼成され、厚膜導電体が形成されている。この
場合に用いられる金属粉末としては、金、銀、白金、銀
一パラジウム、銅粉末等が挙げられる。
て用いられている金属粉末、例えば金、白金、銀、銀−
パラジウム、銀メッキ複合粉には、以下の欠点がある。
金、白金、銀、銀−パラジウム等の貴金属は非常に高価
であり、さらに銀はエレクトロマイグレーションを起こ
し易く、銀−パラジウムは導電性が劣る。銅粉を用いた
導電性ペーストは、保存中に酸化により導電性が低下し
たり、焼成時に酸化を起こし易く、焼成雰囲気のコント
ロールが困難であるため歩留りが悪いなどの問題があ
る。また、銀を主成分にした銀銅合金粉末を用い、ガラ
スフリットとともに有機ビヒクルに分散させた導電性厚
膜ペーストが開示されており(特開昭62−14030
4号)、開示内容によれば銀72wt%含む銀銅合金粉
は、60℃で焼成できることが示されているが、やはり
銀を多量に使用しているため高価であり銀のマイグレー
ションが起こりやすい。貴金属の使用量を低減化するた
めに、銀メッキした銅粉が開示されているが(例えば、
特開昭52−71531)、ペースト化時の銀の剥がれ
の問題や、マイグレーション、導電性の再現性に欠ける
点などの問題点がある。本発明は、導電性、耐酸化性、
耐マイグレーション性、はんだ付け性に優れ、はんだ食
われの少ない高温焼成用の銅合金系組成物を提供しよう
とするものである。
の本発明の構成は特許請求の範囲に記載のとおりの高温
焼成用組成物及びペーストである。本発明に用いる銅合
金粉末は、アトマイズ法により作製され、中でも水アト
マイズ法、ガスアトマイズ法が挙げられるが、特にガス
アトマイズ法が好ましい。例えば、本発明者らにより既
に開示されているガスアトマイズ法(米国出願番号39
5531号)が好ましい。開示内容によれば、かかる組
成の銀と銅の混合物を不活性雰囲気中、または真空中に
て、高周波誘導加熱、抵抗加熱、または外部よりのバー
ナー等による加熱方法で融解する。この時、用いるるつ
ぼは、かかる組成の融液と全く反応しないかあるいは極
めてゆるやかにしか反応しない材質が好ましく、黒鉛、
ボロンナイトライド、シリコンカーバイト、石英、マグ
ネシア、ちっか珪素を主成分にした材質が挙げられる。
ついで融液をるつぼ先端より不活性ガス雰囲気中へ噴出
させる。噴出と同時に、不活性ガスの高速気流を融液に
向かって噴出し、融液をアトマイズ化して微粒子を作製
する方法である。ここで用いられている不活性ガスと
は、かかる組成の融液と全く反応しないか、あるいは極
めてゆるやかにしか反応しないガスを意味する。例え
ば、窒素、ヘリウム、アルゴン、水素あるいはそれらの
混合物などが挙げられる。また、本発明で用いる銅合金
の特性に影響を与えない程度であれば、若干の不純物ガ
スが混じっていても構わない。例えばアトマイズガス中
の酸素量は2%以下が好ましく、さらに、0.5%以下
が好ましい。ガスの圧力(膨張前)は、5kg/cm2
G以上が好ましく、15kg/cm2以上がさらに好ま
しく、30kg/cm2G以上が最も好ましい。高速気
流の速度は、ガスノズル出口で50m/秒以上が好まし
く、さらに100m/秒以上が好ましく、300m/秒
が最も好ましい。ガスと融液との質量速度比は0.1以
上が好ましく、さらに1以上が好ましい。
CuyMz(ただしMは、Pb、Bi、Znより選ばれた
1種以上、0.001≦x≦0.4、0.6≦y≦0.
999、0≦z≦0.05、x+y+z=1、原子比)
であるが、xが0.001未満では、充分な耐酸化性が
得られず、また、xが0.4を超える程の銀量は耐マイ
グレーション性が悪くなる。好ましくは、0.01≦x
≦0.25、さらに好ましくは0.01≦x≦0.2で
ある。また、MはBi、Pb、Znより選ばれた1種以
上であるが、はんだ付け性、密着性を向上することがで
きる。zが0.05を超える場合には、導電性が悪くな
る。好ましくは 0.000003≦z≦0.05、さらに0.0000
06≦z≦0.01が好ましく、最も好ましくは0.0
0001≦z≦0.005である。
度が、表面近くで、粉末の表面に向かって次第に増加す
る領域を有する。表面の銀濃度は平均の銀濃度の2.1
倍以上であるが、3倍以上20倍以下が好ましく、3倍
以上15倍以下が最も好ましい。本発明で用いる銅合金
粉末の特徴である低融点である銀が表面に濃縮された粉
末の生成機構については既に本発明者らにより米国出願
番号395531号に開示されているように以下のよう
に考えられるが、この考えは本発明の範囲を規定するも
のではない。即ち高圧ガスの段熱膨張で生じた高速気流
との衝突により生じた微細な金属液滴が高速気流に同伴
し、高速走行しながら急冷凝固する。この凝固過程で低
融点である銀成分に富んだ液相が表面に排出されて遅れ
て固化し、表面に銀が濃縮された粉末ができるものと考
えられる。水アトマイズ法を用いる場合には、該組成の
融液をるつぼ先端より噴出する。噴出と同時に、ノズル
先端より噴出された融液に向かって、加圧された水をノ
ズルより噴出し、該組成の融液と衝突させ、微粒子化
し、急冷凝固する。この時、水の質量速度/融液の質量
速度が2以上であることが好ましく、10以上であるこ
とがさらに好ましい。また、水ノズル出口における水の
速度は80m/秒以上が好ましく、さらに100m/秒
以上が好ましい。加圧水をノズル先端より噴出するとき
の圧力は、50kg/cm2G以上が好ましく、100
kg/cm2以上が好ましい。
はAg/(Ag+Cu+M)、同濃度yはCu/(Ag
+Cu+M)、M濃度zはM/(Ag+Cu+M)、
(原子比)である。表面並びに表面近くの銀濃度、銅濃
度、M濃度の測定はXPS(X線光電子分光分析装置)
を用いて下記の方法で行った。 装置:KRATOS社製XSAM800 試料:試料台に導電性両面接着テープを張り付け、本発
明で用いる粉末を両面テープ上を完全に覆うように、且
つ粉末の形状に変化を与えないように付着させた。
速電圧2keV、アルゴンイオンビームの試料面に対す
る入射角45度、室内圧力10-7torrで毎回5分間
行った。銀濃度の測定条件:マグネシウムのKα線(電
圧12keV、電流10mA)を入射させ、光電子の取
り出し角度は試料面に対し、90度、室内圧力10-8t
orrで行った。銀濃度の測定は、測定、次にエッチン
グし、これを5回繰り返し行い、最初の2回の測定の平
均値を表面の銀濃度x、表面の銅濃度y、表面のM濃度
zとした。平均の銀、銅、鉛、亜鉛、ビスマス濃度の測
定は、試料を濃硝酸中で溶解し、ICP(高周波誘導結
合型プラズマ発光分析計)を用いて測定した。本発明で
用いる銅合金粉末の形状は、球状、鱗片状あるいはそれ
らの混合物が用いられるが、球状粉が好ましい。鱗片状
粉末を得るには、本発明で用いられる銅合金粉末を公知
の方法で機械的に変形させる方法がよい。例えば、スタ
ンプミル、ボールミル、振動式ミル等の方法が好まし
い。ボールミルを用いる場合には、不活性の溶剤、ボー
ル等を球状粉末とともに用いて鱗片化するのが好まし
い。
子径は、0.1μm〜50μmであるが、0.2〜30
μmが好ましく、さらに0.2〜15μmが最も好まし
い。50μmを越える場合には、印刷適正、チキソトロ
ピー性が悪く、0.1μm未満では分散性が悪く、ペー
スト中での粒子の不均一を生じやすい。平均粒子径の測
定には、レーザー回折型粒子径測定装置SALD110
0(島津製作所製)により行った。測定条件は、エチレ
ングリコール分散媒を用いて充分粉末を分散させながら
5回測定を繰り返し、体積積算平均値の5回の測定値の
平均値を粉末の平均粒子径とした。
xCuyMz(0.001≦x≦0.4、0.6≦y≦
0.999、0≦z≦0.05、x+y+z=1、ただ
しMはPb、Bi、Znより選ばれた1種以上、原子
比)であるが、抵抗調整剤として、Ag、Al、Si、
Mn、Cr、Ir、Nb、Sn、Fe、Ni、Hf、S
e、S、Te、In、Pd、Rhを、粉末状態であるい
は合金成分として混合することができるし、また、必要
に応じて有機銅(例えば、レジネート銅、ステアリン酸
銅、オレイン酸銅、酢酸銅、ラウリン酸銅、サリチル酸
銅、クエン酸銅、シュウ酸銅、シュセキ酸銅、オクチル
酸銅、安息香酸銅、その他のカルボン酸銅、ジカルボン
酸銅)や有機白金、有機パラジウム、有機ジルコネー
ト、有機チタネート、有機ロジウム(例えば、アセチル
アセトナート、パルミチン酸、アビエチン酸、ステアリ
ン酸、オレイン酸、ナフテン酸、その他のカルボン酸
塩、ジカルボン酸塩)を接着性効果をさらに高めるため
に添加することも可能である。
トとしては、所定の温度で溶融し、金属粉末どうし、あ
るいは金属導電体と基板とを強固に固着させるためのも
のであり、本発明の組成物には、これら公知のガラスフ
リットが使用できる。例えば、組み合わせとしては、P
bO−B2O3−ZnO、CaO−Al2O3−SiO2、
ZnO−B2O3、ZnO−PbO−B2O3−SiO2、
PbO−SiO2−B2O3、B2O3−PbO、SiO2−
ZnO−BaO、SiO2−ZnO−MgO、SiO2−
ZnO−CaO、SiO2−B2O3−MgO、SiO2−
B2O3−BaO、SiO2−B2O3−CaO、SiO2−
Al2O3−BaO、SiO2−Al2O3−MgO、Si
O2−Al2O3−CaO、SiO2−B2O3−Al2O3、
SiO2−B2O3−Na2O3、SiO2−B2O3−K
2O、SiO2−B2O3−Li2O、SiO2−Na2O、
SiO2−Li2O、SiO2−K2O、SiO2−B2O3
−SrO、SiO2−PbO−Na2O、SiO2−Pb
O−Li2O、SiO2−PbO−K2O、SiO2−B2
O3、SiO2−PbO−CaO、SiO2−PbO−Z
nO、SiO2−B2O3−Bi2O3を主成分としたもの
が使用できる。好ましくはホウケイ酸亜鉛、ホウケイ酸
鉛、ホウケイ酸ビスマスを主成分にしたものである。こ
れらに必要であれば密着性をさらに向上させるために、
酸化ビスマス、酸化マンガン、酸化チタン、酸化ジルコ
ニウム、酸化バリウム、酸化ベリリウム、酸化第一銅、
酸化スズ、酸化モリブデン、酸化バナジウム、酸化ネオ
ジウム、酸化カドミウム、酸化鉄、酸化ランタン、酸化
タングステン、酸化ヒソ、酸化アンチモン、酸化ゲルマ
ニウム、酸化クロム、四三酸化鉛、酸化イットリウム、
酸化セリウムやタングステンなどの金属微粉末を添加し
てすることができる。ガラスフリットの軟化点は、焼成
温度にもよるが、密着性、焼結性の点から900℃以下
300℃以上が好ましく、さらに400℃以上800℃
以下が好ましい。ガラスフリットの構造としては、前記
述ガラスフリット組成物の結晶質、非晶質あるいはそれ
らの混合ガラスフリットをもちいることもできる。
結性を得るために、0.01〜30μm程度の平均粒径
のものが好ましく、0.1〜5μmが好ましい。ここで
記述される平均粒径は、前記述のレーザー回折法で測定
した平均粒径を示す。0.01μm未満の場合には凝集
を起こしやすく、作業性が低下する。30μmを越える
場合には、印刷適性が低下する。ガラススリットの使用
量は、銅合金粉末100重量部に対して0.1〜100
重量部であるが、01未満では充分な接着性が得られ
ず、100重量部を越える場合には、はんだ付け性が悪
くなる。好ましくは1〜50重量部、さらに好ましくは
1〜30重量部である。
末とガラスフリットおよび必要な添加剤を充分に分散さ
せ、かかる組成の組成物に適度の粘度を与え、さらに
は、印刷時の印刷性を向上させるためのものであり、公
知の有機ビヒクルが使用でき、特にかかる組成物の焼成
温度以下で分解あるいは揮散するものが好ましい。有機
ビヒクルとは、有機バインダー及び又は溶剤からなるも
のをいう。このような有機ビヒクルとしては、エチルセ
ルロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセルロ
ース、ニトロセルロース、及びエチルセルロース誘導
体、アクリル系樹脂、ブチラール樹脂、アルキッドフェ
ノール樹脂、エポキシ樹脂、木材ロジンなどが挙げられ
る。好ましくはエチルセルロース、アクリル樹脂であ
る。アクリル樹脂としては、分解温度が500℃以下の
ものが好ましい。例えばポリメタアクリル酸ブチルエス
テル、ポリメタアクリル酸イソブチルエステル、低級ア
ルコールのポリメタアクリレートを含むものが挙げられ
る。ブチラール樹脂としてはポリビニルブチラール樹脂
が好ましい。本発明で用いる場合には、これらの樹脂を
溶剤等へ分散させて用いることが好ましく、公知の溶剤
を用いることができる。しかし、必ずしも、樹脂を用い
る必要はなく適度の粘性、印刷性が得られれば溶剤を分
散剤として用いても構わない。
かかる組成物の保存時に揮散が少なく、且つ適度の粘性
を与え、さらに印刷適正に優れた溶剤が好ましい。例え
ば、テルピネオールやブチルカルビトール、エチルカル
ビトール、メチルカルビトール、エチルセロソルブ、ブ
チルセロソルブ等のエーテル類、ブチルカルビトールア
セテート、エチルカルビトールアセテート、メチルカル
ビトールアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブ
チルセロソルブアセテート、酢酸エチル、酢酸ブチル等
のエステル類、メチルエチルケトン、メチルイソブチル
ケトン等のケトン類、n−メチルピリジン、ミネラルス
ピリット、トルエン、キシレンなどの炭化水素類が挙げ
られる。分散剤の使用量としては、粘性及び導電性を損
なわない程度であれば良く、例えば銅合金粉末100重
量部に対して50重量部ないし1重量部がよい。本発明
の組成物に、必要に応じて潤滑剤、酸化防止剤、粘度調
節剤などの添加剤を添加することができる。例えば、シ
ランカップリング剤(例えば、トリクロロプロピルトリ
メトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリ
エトキシシラン)、アルミニウムカップリング剤、チタ
ンカップリング剤、大豆レシチン、ジエタノールアミ
ン、トリエタノールアミン、トリブチルフォスフェー
ト、炭素数20から炭素数50までのマイクロワック
ス、炭素数20から炭素数35までのパラフィン、ステ
アリン酸、オレイン酸、ジオクチルフタレート等の可塑
剤、炭素数20までのカルボン酸、ジカルボン酸、ピロ
カテコール、メチルハイドロキノン、ハイドロキノン、
フェノール等のフェノール誘導体、アセチルアセトン等
の酸化防止剤を添加することができる。潤滑剤、酸化防
止剤、粘度調節剤、安定化剤の使用量は銅合金粉末10
0重量部に対して、50重量部以下が好ましく、さらに
20重量部以下が好ましく、さらに10重量部以下が最
も好ましい。
る組成物が充分に混合されていることが好ましく、公知
の方法を用いて混合することができる。例えば、ライカ
イキ、ニーダー、三本ロール、ミキサー等が使用でき
る。特に混合方法を指定する限りではない。組成物の好
ましい粘度は、例えばブルックフィールドHBT粘度計
で#5スピンドルを用い、15rpmで25℃で測定し
て、500Pa・s以下50Pa・s以上が好ましく、
さらに400Pa・s以下100Pa・s以上が好まし
い。本発明の組成物を印刷する場合、スクリーン印刷、
バーコート、ドクターブレード法、グラビア法、フレク
シャー法、オフセット法、マグネトナー法などの公知の
方法で構わない。印刷する基板としては、アルミナ、フ
ォルステライト、ステアライト、コージェライト、ムラ
イト、窒化アルミニウム、炭化ケイソ、ガラスなどを主
成分にした硬質あるいはフレキシブルなセラミックス基
板、ステンレス等の金属基板、ほうろう基板、ガラス基
板が好ましい。
温度は、銅合金粉末及びガラスフリットが焼結するのに
充分な温度が好ましく、例えば、500〜980℃であ
り、さらに600〜950℃が好ましい。焼成雰囲気
は、不活性雰囲気が好ましいが、分散剤を充分に燃焼さ
せるために、少量の酸素の存在が好ましい。酸素の添加
量としては、1%以下が好ましく、さらに、1000p
pm以下1ppm以上が好ましく、100ppm以下5
ppm以上が最も好ましい。本発明の組成物に用いられ
る銅合金粉末は、少量の銀を含んでいるにもかかわらず
粉末表面に銀が多量に濃縮した構造を有しているため
に、優れた耐酸化性を有している。そのため、焼成時に
も、燃焼領域で高濃度の含酸素雰囲気中での焼成が可能
となり、製品の歩どまりを向上させるのみならず、従
来、達成できえなかったルテニウム系抵抗ペーストとの
相性が良いという利点がある。かくして得られた焼成膜
も銀と銅との安定化化合物を膜内に構成するために、耐
マイグレーションに著しい効果を有しているものであ
る。
け性、接着強度、半田食われ、マイグレーション試験に
ついて測定した。導電率は4端子試験法を用いて、10
mm×50mmの導電体を作製してその面積抵抗より求
めた。接着強度の測定は、基板上へ2mm×2mmに焼
成した膜にフラックスを付け、Pb/Sn共晶はんだで
20ゲージのステンレスワイヤーを取付け、基板に対し
て垂直方向へ引張り、剥がれが生じたときの接着強度を
測定した。この時の接着強度が3kg/4mm2以上の
場合を良とした。半田付け性は10mm×10mmの焼
成膜を作製後、フラックスを全面に塗布後、さらにPb
/Sn共晶はんだ浴(230℃)に10秒漬けた後、は
んだによる濡れ面積を測定した。はんだ食われの測定
は、アルミナ基板上へ200μm×50mmの焼成膜を
作製後、230℃に維持されたPb/Sn共晶はんだ浴
中へ1サイクル10秒間の単位で漬け、何サイクルで塗
膜が絶縁になるかを測定した。マイグレーションの測定
法は、1mm間隔導体を作製し、導体間に0.2mlの
水滴を滴下し、さらに導体間に10Vの直流電圧を印加
した時の漏れ電流が100μAに達するまでの時間を測
定した。
する。 粉末作製実施例 実施例1 銀粒子(平均粒径2mmφ、以下の実施例同じ)5.3
5g、銅粒子(平均粒径3mmφ、以下の実施例同じ)
314.0075g、ビスマス粒子(平均粒径2mm
φ、以下の実施例同じ)1.045gをボロンナイトラ
イドるつぼに入れ、窒素ガス雰囲気中(99.9%以
上)で高周波誘導加熱を用いて1700℃まで加熱溶解
した。融解後、るつぼ先端に取り付けられたノズルより
窒素ガス雰囲気中へ噴出した。同時にガス圧30kg/
cm2Gの窒素ガス(99.9%以上)を融液に対して
ガス/液質量速度比0.7の条件で噴出し、融液をアト
マイズした。この時のガスノズル出口の線速度は150
m/秒であり、また、得られた粉末の平均粒子径は16
μmであった。粉末の銀濃度は、粒子表面より 0.0916、0.084、0.072、0.060、
0.058で表面の銀濃度xは0.0878であり、平
均の銀濃度はx=0.01で表面の銀濃度は平均銀濃度
の8.78倍であった。また、平均の同濃度はy=0.
989、平均のビスマス濃度はz=0.001であっ
た。
鉛(平均粒径1mmφ、以下の実施例同じ)0.006
53gを同様にして、黒鉛るつぼに入れ、窒素雰囲気中
(99.9%以上)で高周波誘導加熱を用いて1700
℃まで加熱溶解した。融液を窒素ガス雰囲気中(99.
9%以上)へるつぼ先端に取り付けたノズルより噴出し
た。噴出と同時にガス圧15kg/cm2Gの窒素ガス
(99.9%以上)を融液に対してガス/液質量速度比
2の条件で噴出し、融液をアトマイズした。この時のガ
スノズル出口のガス線速度は80m/秒であった。得ら
れた粉末の平均粒径は20μmであった。粉末の銀濃度
は、粒子表面より0.88、 0.84、 0.82、
0.80、 0.76であり表面の銀濃度x0.86で
あった。また、平均の銀濃度はx=0.39であり、表
面の銀濃度は平均の銀濃度の2.20倍であった。ま
た、平均の銅濃度はy=0.60999、平均の亜鉛濃
度はz=0.00001であった。
鉛(平均粒径3mmφ、以下の実施例同じ)5.18g
をボロンナイトライドるつぼに入れ、ヘリウム雰囲気中
(99.9%以上)で高周波誘導加熱を用いて1800
℃まで溶解した。融液をるつぼ先端よりヘリウム雰囲気
中(99.9%以上)へ、るつぼ先端に取り付けられた
ノズルより噴出した。同時にガス圧15kg/cm2G
のヘリウムガス(99.9%以上)を融液に対して、ガ
ス/液質量速度比0.3の条件で噴出し、融液をアトマ
イズした。この時、ガスノズル出口でのガス線速度は1
60m/秒であった。得られた粉末の平均粒径は10μ
mであった。また、銀濃度は、粒子表面より0.9、
0.88、 0.82、 0.78、0.74であり、
表面の銀濃度xは0.89であり、平均の銀濃度はx=
0.39で、表面の銀濃度は平均の銀濃度の2.28倍
であった。また、平均の銅濃度はy=0.605、平均
の鉛濃度はz=0.005であった。
亜鉛0.03265gを黒鉛るつぼに入れ、窒素雰囲気
中(99.9%以上)高周波誘導加熱を用いて1750
℃まで加熱溶解した。融液をるつぼ先端のノズルより窒
素ガス雰囲気中(99.9%以上)へ噴出した。噴出と
同時に、ガス圧40kg/cm2Gの窒素ガス(99.
9%以上)を融液に対してガス/液質量速度比2.1の
条件で噴出し、融液をアトマイズした。この時のガスノ
ズル出口のガス線速度は160m/秒であった。得られ
た粉末の平均粒径は14μmであった。銀濃度は粒子表
面より0.58、 0.46、 0.38、 0.2
5、 0.1で表面の銀濃度xは0.52であり、平均
の銀濃度はx=0.05であり、表面の銀濃度は平均の
銀濃度の10.4倍であった。また、平均の銅濃度はy
=0.9499、平均の亜鉛濃度はz=0.0001で
あった。
子0.00518g、亜鉛0.0016325gをボロ
ンナイトライドるつぼに入れ、窒素雰囲気中(99.9
%以上)、高周波誘導加熱を用いて1700℃まで加熱
溶解した。融液をるつぼ先端より窒素ガス雰囲気中(9
9.9%以上)へ噴出し、噴出と同時にガス圧50kg
/cm2Gの窒素ガス(99.9%以上)を融液に対し
てガス/液質量速度比2.3の条件で噴出し、融液をア
トマイズした。この時のガス線速度は180m/秒であ
り、得られた粉末の平均粒径は、13μmであった。銀
濃度は粒子表面より0.8、 0.77、 0.65、
0.54、 0.43であり、表面の銀濃度xは0.
785であった。また、平均の銀濃度はx=0.1であ
り、表面の銀濃度は平均の銀濃度の7.85倍であっ
た。また、平均の銅濃度はy=0.89999、平均の
(鉛+亜鉛)濃度はz=0.00001であった。 ペースト化実施例
0.01、y=0.989、z=0.001、平均粒径
2.5μm)10gとPbO−B2O3−ZnOガラスフ
リット2g、BaO−SiO2−ZnOガラスフリット
0.1g、SiO2−B2O3−Na2Oガラスフリット
0.1g、アクリル樹脂0.5gをテルペノール3g、
キシレノール0.1gに分散した。得られた組成物を用
いて、アルミナ基板上へ100μm×50mmのライン
5本をスクリーン(270メッシュ)で印刷した。ワト
キンスジョンソン製連続焼成炉を用いて塗膜を焼成し
た。焼成条件は以下のとおりであった。室温から550
℃まで15分間かけて10ppm酸素含有窒素雰囲気中
で有機物を分解あるいは焼き飛ばした後、さらに窒素雰
囲気中で600℃まで昇温したのち10分間焼成した。
その後、室温まで窒素雰囲気中で冷却した。得られた塗
膜の体積抵抗率は3×10-6Ω・cmであり、マイグレ
ーション時間は230秒だった。また、はんだ濡れ性は
96%であり、はんだ食われは20サイクルしても殆ど
認められなかった。また、接着強度は5kg/4mm2
であった。
0.39、y=0.60999、z=0.00001、
平均粒径2μm)10gとPbO−CaO−B2O3ガラ
スフリット0.5g、エチルセルロース0.4gをブチ
ルセロソルブ3g、エチルセロソルブ0.1g、酢酸エ
チル0.1g、アセトン0.1g中に分散した。得られ
た組成物をアルミナ基板上へスクリーン印刷(320メ
ッシュ)した。同一の焼成炉を用いて以下の条件で塗膜
を焼成した。室温から550℃まで15分間かけて10
ppm酸素含有窒素雰囲気中で有機物を分解あるいは焼
き飛ばした後、さらに850℃まで窒素雰囲気中で昇温
後、10分間焼成した。その後、窒素雰囲気中で室温ま
で冷却した。得られた焼成膜の体積抵抗率は2.5×1
0-6Ω・cmであり、マイグレーション時間は100秒
であり、半田付け性は98%、はんだ食われは20サイ
クルかけてもほとんど認められなかった。また、接着強
度は5.2kg/4mm2であった。
39、y=0.605、z=0.005平均粒径1.9
μmを10gとPbO−SiO2−MgOガラスフリッ
ト0.6g、SiO2−B2O3−K2Oガラスフリット
0.1gをテルペノール4g、メチルカルビトール0.
1g、エチルカルビトール0.1gに分散した。得られ
た組成物をアルミナ基板上へスクリーン印刷(250メ
ッシュ)した。塗膜を同一の焼成炉を用いて以下の条件
で焼成した。室温から550℃まで15分間かけて10
0ppm酸素含有窒素雰囲気中で有機物を分解あるいは
焼き飛ばし、さらに600℃まで窒素雰囲気中で昇温
し、10分間焼成した。その後、窒素雰囲気中で室温ま
で冷却した。焼成膜の体積抵抗率は2.5×10-6Ω・
cmであり、マイグレーション時間は100秒であり、
はんだ濡れ性は99%、はんだ食われは20サイクルか
けても殆ど認められなかった。また、接着強度は5.6
kg/4mm2であった。
05、y=0.9499、z=0.0001平均粒径
2.3μmを10gとPbO−Al2O3−B2O3ガラス
フリット3g、SiO2−B2O3−Bi2O3ガラスフリ
ット0.1g、SiO2−B2O3−SrOガラスフリッ
ト0.1g、メチルセルロース0.1g、酸化銅0.1
gをブチルカルビトルアセテート2g、キシレン0.1
g、メチルエチルケトン0.1gに分散させた。得られ
た組成物をアルミナ基板上へスクリーン印刷(250メ
ッシュ)で塗布した。塗膜を同一焼成炉を用いて、実施
例と同じ条件で焼成した。焼成膜の体積抵抗率は、3×
10-6Ω・cmであり、マイグレーション時間は150
秒であり、はんだ付け性は99%、はんだ食われは20
サイクルかけても殆ど認められなかった。また、接着強
度は4.8kg/4mm2であった。
1、y=0.89999、z=0.00001平均粒径
2μmを10gとPbO−MgO−SiO2ガラスフリ
ット1g、アクリル樹脂0.2g、酸化ビスマス0.2
g、酸化カドミウム0.1gをブチルカルビトール3g
トルエン3g、メチルエチルケトン5gに分散させた。
得られた組成物をアルミナ基板上へスクリーン印刷し
た。塗膜を同一焼成炉を用いて、実施例8と同一条件で
焼成した。焼成膜の体積抵抗率は、3×10-6Ω・cm
であり、はんだ付け性は98%であり、マイグレーショ
ン時間は130秒であり、はんだ食われは20サイクル
かけても殆ど認められなかった。また、接着強度は5.
1kg/4mm2であった。
0.1、y=0.89999、z=0.00001平均
粒径2μmを10gとSiO2−B2O3−Bi2O3ガラ
スフリット0.4g、SiO2−PbO−Li2Oガラス
フリット0.5gと酸化第一銅0.05g、四三酸化鉛
0.1g、フェノール樹脂0.02g、アルキッドフェ
ノール樹脂0.02g、ブチラール樹脂0.03gをn
−メチルピロリドン1g、酢酸ブチル0.5g、エチル
セロソルブアセテート1gに少量のトリエタノールアミ
ン0.01g、シランカップリング剤0.001g、ピ
ロカテコール0.01gを加えて分散させた。得られた
組成物をアルミナ基板上へスクリーン印刷した。塗膜を
同一焼成炉を用いて、実施例7と同一条件で焼成した。
焼成膜の体積抵抗率は3×10-6Ω・cmであった。ま
た、マイグレーション時間は、130秒であった。はん
だ濡れ性は97%と良く、また、はんだ食われは20サ
イクルかけても起こらなかった。また、同様にして厚さ
0.8mmの5cm×5cmのアルミナ基板上へ4cm
×4cmの塗膜をスクリーン印刷した。印刷後、同一の
条件で焼成した。得られた焼成膜を電磁波シールド特性
を導波管で測定したところ60dBのシールド効果が得
られた。さらに、この焼成膜を125℃− -55℃10
00サイクルかけた後、同じ測定をしたところ60dB
のシールド効果が同様にして得られた。
1、y=0.89999、z=0.00001平均粒径
2μmを10gとSiO2−B2O3ガラスフリット1
g、SiO2−PbO−ZnOガラスフリット0.5
g、レジネート銅0.01g、アルキッド樹脂0.2
g、エチルセルロース誘導体0.1g、木材ロジン0.
1gをメチルイソブチルケトン1g、テルペノール1g
に少量のチタンカップリング剤0.001g、ピロカテ
コール0.01gとともに分散させた。得られた組成物
をアルミナ基板上へスクリーン印刷した。塗膜を同一焼
成炉を用いて実施例6と同一条件で焼成した。焼成膜の
体積抵抗率は2×10-6Ω・cmであり、また、マイグ
レーション時間は、130秒であった。はんだ濡れ性は
99%、はんだ食われは20サイクルかけても認められ
なかった。また、接着強度は5.3kg/4mm2であ
った。
1、y=0.89999、z=0.00001を10g
とPbO−B2O3−ZnOガラスフリット平均粒径1.
2g、アクリル樹脂0.2g、ブチルカルビトール2g
を充分に混合し、前もってスクリーン印刷し焼成された
ルテニウム抵抗体(5mm×50mm×0.02mm
)の両端にかかる組成の混合物をスクリーン印刷にて
5mm×5mmの電極を印刷した。印刷後、実施例7と
同一条件で焼成した。焼成膜の両端の抵抗値を測定した
ところ、ルテニウム抵抗体の抵抗値の変化率は1%以内
で相性は非常に良かった。 実施例14 実施例5で得られた粉末の中10μm以下の粉末x=
0.1、y=0.89999、z=0.00001を1
0gとPbO−SiO2−B2O3ガラスフリット平均粒
径2μmを2g、アクリル樹脂0.5g、ブチルカルビ
ト―ル2gを充分に混合しペ―スト化した。3mm×3
mmのセラミックスコンデンサ―の外部電極としてペー
ストを塗布し、実施例6と同一条件で焼成した。得られ
た電極の導電性は良好で125℃−−55℃のヒ―トサ
イクル1000回後でもコンデンサ―部分からの剥がれ
は見られなかった。また、マイグレ―ションによる容量
の減少は見られなかった。粉末作製比較例
を黒鉛るつぼに入れ、窒素ガス雰囲気中(99.9%以
上)で高周波誘導加熱を用いて1700℃まで加熱溶解
した。融液をるつぼ先端のノズルより噴出し、同時にガ
ス圧20kg/cm2Gの窒素ガス(99.9%以上)
を融液に向かってガス/液質量速度比2で噴出し、融液
をアトマイズした。この時のガスノズル出口でのガス線
速度は100m/秒であった。得られた粉末の平均粒径
は20μmであった。平均の銀濃度はx=0.000
7、平均の銅濃度はy=0.9993であった。
スマス粒子0.001045gをボロンナイトライドる
つぼに入れ、窒素ガス雰囲気中(99.9%以上)で高
周波誘導加熱を用いて1700℃まで加熱溶解した。融
液をるつぼ先端のノズルより噴出し、噴出と同時にガス
圧30kg/cm2Gの窒素ガス(99.9%以上)を
ガス/液質量速度比2.1の条件で噴出し、融液をアト
マイズした。この時の出口ガス線速度は150m/秒で
あった。得られた粉末の平均粒径は19μmであった。
平均の銀濃度はx=0.0007、平均の銅濃度はy=
0.999299、平均のビスマス濃度はz=0.00
0001であった。 比較例3 銀粒子242.775g、銅粒子206.375gを黒
鉛るつぼに入れ、窒素ガス雰囲気中で高周波誘導加熱を
用いて1700℃まで溶解した。融液をるつぼ先端のノ
ズルより噴出し、噴出と同時に、ガス圧40kg/cm
2Gの窒素ガス(99.9%以上)を融液に向かってガ
ス/液質量速度比1.4の条件で噴出し、融液をアトマ
イズした。この時の出口ガス線速度は150m/秒であ
った。得られた粉末の平均粒径は18μmであった。平
均の銀濃度はx=0.45、平均の銅濃度はy=0.6
5であった。
82.88gをボロンナイトライドるつぼに入れ、窒素
ガス雰囲気中(99.9%以上)で高周波誘導加熱を用
いて1800℃まで加熱溶解した。融液をるつぼ先端よ
り噴出し、同時にガス圧30kg/cm2Gの空気を融
液にたいしてガス/液質量速度比3で噴出し、融液をア
トマイズした。この時の出口ガス線速度は150m/秒
であった。得られた粉末は平均粒径20μmであった。
また、平均の銀濃度はx=0.45、平均の銅濃度はy
=0.47、平均の鉛濃度はz=0.08であった。こ
の時、粒子の銀濃度は粒子表面より0.02,0.0
3,0.06,0.08,0.12であり、表面の銀濃
度はx=0.025で平均の銀濃度の0.055倍とむ
しろ表面には銀が濃縮されていなかった。 比較例5 銀粒子53.95g、銅粒子254g、鉛粒子103.
6gをボロンナイトライドるつぼに入れ、窒素ガス雰囲
気中(99.9%以上)で高周波誘導加熱を用いて18
00℃まで加熱溶解した。融液をるつぼ先端のノズルよ
り窒素雰囲気中へ噴出し、同時にガス圧30kg/cm
2Gの窒素ガス(99.9%以上)をガス/液質量速度
比2の条件で噴出し、融液をアトマイズした。この時の
出口ガス線速度は140m/秒であった。得られた粉末
は平均粒径20μmであった。平均の銀濃度はx=0.
1、平均の銅濃度はy=0.8、平均の鉛濃度はz=
0.1であった。
118.7gをボロンナイトライドるつぼ中に入れ、窒
素ガス雰囲気中(99.9%以上)で高周波誘導加熱を
用いて1800℃まで加熱溶解した。融液をるつぼ先端
のノズルより空気中へ噴出し、同時にガス圧30kg/
cm2Gの空気を融液に対してガス/液質量速度比2の
条件で噴出し、融液をアトマイズした。この時の出口ガ
ス線速度は135m/秒であった。得られた粉末は平均
粒径24μmであった。また、粒子の銀濃度は表面から
0.08,0.13,0.15,0.2,0.22で表
面の銀濃度xは0.105あり、また平均の銀濃度はx
=0.7であり、表面の銀濃度は平均の銅濃度の0.1
5倍であって銀の濃縮は認められなかった。また、平均
の銅粒子はy=0.1、平均のすず濃度はz=0.2で
あった。 比較例7 銀粒子53.95g、銅粒子254g、すず粒子59.
35gをボロンナイトライドるつぼに入れ、窒素ガス雰
囲気中(99.9%以上)で高周波誘導加熱を用いて1
750℃まで加熱溶解した。融液をるつぼ先端のノズル
より空気中へ噴出した。噴出と同時に、ガス圧30kg
/cm2Gの空気を融液に対してガス/液質量速度比2
の条件で噴出し、融液をアトマイズした。この時の出口
ガス線速度は120m/秒であった。得られた粉末の平
均粒径は23μmであった。粉末の銀濃度は表面より
0.01,0.03,0.05,0.08,0.10で
あり、表面の銀濃度xは0.02であった。平均の銀濃
度はx=0.1、平均の銅粒子はy=0.8、平均のす
ず濃度はz=0.1で表面の銀濃度は平均の銀濃度の
0.2倍であり、銀の表面濃縮は認められなかった。ま
た、表面にはすずが50%以上濃縮していた。表面の銅
は酸化物となっていた。
5gをボロンナイトライドるつぼに入れ、窒素ガス雰囲
気中(99.9%以上)で高周波誘導加熱を用いて18
00℃まで加熱溶解した。融液をるつぼ先端のノズルよ
り窒素ガス雰囲気中へ噴出した。同時に、ガス圧2kg
/cm2Gの窒素ガス(99.9%以上)を融液に対し
てガス/液質量速度比2の条件で噴出し、融液をアトマ
イズした。この時の出口ガス線速度は10m/秒であっ
た。得られた粉末の平均粒径は150μmであった。平
均の銀濃度はx=0.1、平均の銀濃度はy=0.8、
平均の亜鉛濃度はz=0.1であった。 ペ―スト比較例 比較例9 比較例1で得られた粉末の中5μm以下の粉末x=0.
0007、y=0.9993平均粒径2μm10gとP
bO−SiO2−ZnOガラスフリット2g、エチルセ
ルロ―ス0.2gをブチルカルビト―ル3gに分散し
た。組成物をアルミナ基板上スクリ―ン印刷(250メ
ッシュ)を用いて塗布した。塗膜を実施例6と同一条件
で焼成した。焼成膜の体積抵抗率は8×10-5Ω・c
m、はんだ濡れ性は60%と悪かった。
0007、y=0.999299、z=0.00000
1平均粒径3μmを10g、PbO−B2O3−ZnOガ
ラスフリット2g、メチルセルロ―ス0.4gをテルペ
ノ―ル3gに分散した。得られた組成物をアルミナ基板
上へスクリ―ン印刷(325メッシュ)した。塗膜を実
施例7と同一条件で焼成した。焼成膜の体積抵抗率は9
×10-6Ω・cm、はんだ濡れ性は57%と悪かった。 比較例11 比較例3で得られた粉末の中5μm以下の粉末x=0.
45、y=0.65、平均粒径2.5μmを10gとP
bO−Al2O3−SiO2ガラスフリット1g、エチル
セルロ―ス0.4gをテルペノ―ル4gに分散した。得
られた組成物をアルミナ基板上へスクリ―ン印刷した。
塗膜を以下の条件で焼成した。室温から550℃まで1
5分かけて100ppm酸素含有窒素雰囲気中で有機物
を分解あるいは焼き飛ばし、さらに700℃まで窒素雰
囲気中で昇温し、10分間焼成した。その後窒素雰囲気
中で室温まで冷却した。焼成膜の体積抵抗率は5×10
-6Ω・cmであり、はんだ濡れ性は99%であったが、
マイグレ―ション時間は45秒とマイグレ―ションしや
すかった。また、はんだ食われが5回で起こった。
45、y=0.47、z=0.08平均粒径1.5μm
を10g、PbO−B2O3−SiO2ガラスフリット1
g、エチルセルロ―ス0.5gをテルペノ―ル3gに分
散した。得られた組成物をアルミナ基板上へスクリ―ン
印刷した。塗膜を実施例8と同一条件で焼成した。体積
抵抗率は3.5×10-6Ω・cm、はんだ濡れ性は98
%であったが、マイグレ―ション時間は45秒と短かっ
た。 比較例13 実施例5で得られた粉末の中5μm以下の粉末x=0.
1、y=0.8、z=0.1平均粒径3μmを10gと
PbO−SiO2−ZnOガラスフリット10gをブチ
ルカルビト―ル4gに分散させた。得られた組成物をア
ルミナ基板上へスクリ―ン印刷した。塗膜を実施例6と
同じ条件で焼成した。マイグレ―ション時間は130秒
であったが、焼成膜の体積抵抗率は3×10-5Ω・cm
と高かった。
7、y=0.1、z=0.2平均粒径2μmを10g、
PbO−SiO2−ZnOガラスフリット2g、エチル
セルロ―ス0.3gをテルペノ―ル3gに分散した。得
られた組成物をアルミナ基板上へスクリ―ン印刷(25
0メッシュ)した。塗膜を実施例6と同じ条件で焼成し
た。焼成膜の体積抵抗率は4×10-5Ω・cmと高かっ
た。 比較例15 実施例1で得られた粉末の中5μm以下の粉末x=0.
01、y=0.989、z=0.001平均粒径3μm
を10gとPbO−SiO−ZnOガラスフリット0.
001g(粉末100重量部に対して0.01重量
部)、エチルセルロ―ス0.3gをブチルカルビト―ル
2gに分散した。得られた組成物をアルミナ基板上へス
クリ―ン印刷し、600℃、10分間100ppm酸素
含有窒素中で焼成した。得られた焼成膜は、3×10-6
Ω・cmだったが簡単に剥がれてしまった。(接着強度
<0.1kg/4mm2以下)
05、y=0.9499、z=0.0001平均粒径3
μmを10gとPbO−B2O3−Al2O3ガラスフリッ
ト0.3gをアクリル樹脂20gとブチルカルビト―ル
20g(粉末100重量部に対して有機バインダ―+溶
剤400重量部)に分散した。得られた組成物をアルミ
ナ基板上へスクリ―ン印刷した。塗膜を実施例8と同じ
条件で焼成した。焼成膜の体積抵抗率は、4×10-4・
cmと高く、しかも炭化物が膜中に混じっていた。 比較例17 実施例1で得られた粉末の中5μm以下の粉末x=0.
01、y=0.989、z=0.001平均粒径1.7
μmを10gとSiO2−B2O3ガラスフリット20
g、アクリル樹脂0.2gをアセトン2g、ブチルカル
ビト―ル1gに充分に分散させた。得られた組成物をア
ルミナ基板上へスクリ―ン印刷(300メッシュ)し
た。塗膜を実施例8と同じ条件で焼成した。得られた焼
成膜の体積抵抗率は3×10-3Ω・cmと高かった。
0.1、y=0.8、z=0.1平均粒径6μmを10
gとSiO2−B2O3−ZnOガラスフリット2g、エ
チルセルロ―ス0.2gをテルペノ―ル3gに分散し
た。得られた組成物をアルミナ基板上へスクリ―ン印刷
(250メッシュ)した。塗膜を実施例7と同じ条件で
焼成した。焼成膜の体積抵抗率は、5×10-3Ω・cm
と高くしかもすぐ剥がれた。 比較例19 比較例8で得られた粉末の中100μm以下の粉末x=
0.05、y=0.949、z=0.001平均粒径1
80μmを10gとPbO−B2O3−SiO2ガラスフ
リット2g、エチルセルロ―ス0.4gをエチルセロソ
ルブ3gに充分に分散させた。得られた組成物をアルミ
ナ基板上へスクリ―ン印刷(50メッシュ)した。塗膜
を実施例7と同じ条件で焼成した。得られた焼成膜の体
積抵抗率は、1×10-2Ω・cmと高く殆ど焼成されて
いなかった。
性、耐酸化性、耐マイグレーション性に優れ、且つ、は
んだ濡れ性、耐はんだ食われがよく、保存性にも優れた
安価な導電性組成物に関するものである。電磁波シール
ド、セラミックコンデンサー電極、マイクロコンデンサ
ー電極、圧電素子電極、バリスタ電極、サーミスタ電
極、太陽電池用電極、チップ抵抗器用導電ペースト、抵
抗ネットワーク用導電ペースト、可変抵抗器用導電ペー
スト、導電回路用ペースト等に応用できる。
Claims (14)
- 【請求項1】 一般式AgxCuyMz(ただし、MはB
i、Pb、Znより選ばれた1種以上の金属であり、
x、y、zは原子比で表わして、 0.001≦x≦0.4、 0.6≦y≦0.999、 0≦z≦0.05 x+y+z=1) で表され、粒子表面の銀濃度が平均の銀濃度より高く、
かつ、粒子表面に向かって銀濃度が増加する領域を有す
る銅合金粉末100重量部と、ガラスフリット0.1〜
50重量部及び有機ビヒクルからなることを特徴とする
組成物。 - 【請求項2】 一般式が、AgxCuyMz(ただし、M
はBi、Pb、Znより選ばれた1種以上の金属であ
り、x、y、zは原子比で表わして、 0.001≦x≦0.4、 0.6≦y≦0.999 0.000003≦z≦0.05 x+y+z=1) で表わされることを特徴とする請求項1記載の組成物。 - 【請求項3】 銅合金粉末の表面の銀濃度が、平均の銀
濃度の2.1倍以上であることを特徴とする請求項1ま
たは2記載の組成物。 - 【請求項4】 銅合金粉末の平均粒子径及び形状が、
0.1〜50ミクロンである球状、鱗片状あるいはそれ
らの混合物であることを特徴とする請求項1〜3のいず
れかに記載の組成物。 - 【請求項5】 銅合金粉末がアトマイズ法を用いて急冷
凝固して得られることを特徴とする請求項1〜4のいず
れかに記載の組成物。 - 【請求項6】 有機ビヒクルがエチルセルロース、アク
リル樹脂、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロ
ース、エチルセルロース誘導体、アルキッド樹脂、ブチ
ラール樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アルキッ
ドフェノール樹脂、木材ロジンより選ばれた1種以上で
あることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の
組成物。 - 【請求項7】 有機ビヒクルがメチルカルビトール、エ
チルカルビトール、ブチルカルビトールおよびそのアセ
テート、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、テルペ
ノール、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、酢
酸エチル、アセトン、キシレノールより選ばれた1種以
上の溶剤であることを特徴とする請求項1〜6のいずれ
かに記載の組成物。 - 【請求項8】 有機ビヒクルが、銅合金粉末100重量
部に対して1〜300重量部であることを特徴とする請
求項1〜7のいずれかに記載の組成物。 - 【請求項9】 ガラスフリットがPbO、B2O3、Zn
O、SiO2、CaO、Al2O3、BaO、Bi2O3、
Na2O、K2O、SrO、MgOより選ばれた1種以上
を主成分にすることを特徴とする請求項1〜8のいずれ
かに記載の組成物。 - 【請求項10】 請求項1〜9のいずれかに記載の組成
物よりなるスクリーン印刷用ペ―スト。 - 【請求項11】 請求項1〜9のいずれかに記載の組成
物よりなる導電回路用ペ―スト。 - 【請求項12】 請求項1〜9のいずれかに記載の組成
物よりなる電極用ペースト。 - 【請求項13】 請求項1〜9のいずれかに記載の組成
物よりなる電磁波シールド用ペ―スト。 - 【請求項14】 請求項1〜9のいずれかに記載の組成
物よりなる抵抗接点用導電ぺ―スト。
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|---|---|---|---|
| JP3078298A JPH07109723B2 (ja) | 1990-03-19 | 1991-03-19 | 高温焼成用組成物及びペースト |
Applications Claiming Priority (5)
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|---|---|---|---|
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| JP2-67197 | 1990-05-24 | ||
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| JP2-134883 | 1990-05-24 | ||
| JP3078298A JPH07109723B2 (ja) | 1990-03-19 | 1991-03-19 | 高温焼成用組成物及びペースト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0594716A true JPH0594716A (ja) | 1993-04-16 |
| JPH07109723B2 JPH07109723B2 (ja) | 1995-11-22 |
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|---|---|---|---|
| JP3078298A Expired - Lifetime JPH07109723B2 (ja) | 1990-03-19 | 1991-03-19 | 高温焼成用組成物及びペースト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07109723B2 (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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