JPH0594766U - Airtight sample container - Google Patents
Airtight sample containerInfo
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- JPH0594766U JPH0594766U JP3596192U JP3596192U JPH0594766U JP H0594766 U JPH0594766 U JP H0594766U JP 3596192 U JP3596192 U JP 3596192U JP 3596192 U JP3596192 U JP 3596192U JP H0594766 U JPH0594766 U JP H0594766U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高い気密度が得られ、また気密試料容器の内
部をガスパージすることのでき、試料が汚染される恐れ
のない気密試料容器を提供する。
【構成】 試料１６を取り付ける試料台１０と、試料台
１０に被せられる蓋２０と、試料台１０と蓋２０とを把
持する板ばね３０と、試料台１０と前記蓋２０との間の
接合部分に配置されるＯリング１２によって気密試料容
器を構成し、試料台１０と蓋２０とによって形成される
容器内部に試料１６を取付け、板ばね３０によってＯリ
ング１２に弾性変形を生じさせＯリング１２に弾性変形
によって試料台１０と蓋２０とで形成される空間の内部
を気密状態に保持する。
(57) [Summary] [Object] To provide an airtight sample container which can obtain a high airtightness and which can be gas-purged inside the airtight sample container and in which the sample is not contaminated. [Structure] A sample table 10 to which a sample 16 is attached, a lid 20 that covers the sample table 10, a leaf spring 30 that holds the sample table 10 and the lid 20, and a joint portion between the sample table 10 and the lid 20. The air-tight sample container is constituted by the O-ring 12 arranged at the position, the sample 16 is attached inside the container formed by the sample table 10 and the lid 20, and the O-ring 12 is elastically deformed by the leaf spring 30 to cause the O-ring 12 to move. Due to the elastic deformation, the inside of the space formed by the sample table 10 and the lid 20 is kept airtight.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、表面分析装置において、試料を支持するとともに試料の汚染を防止 する気密試料容器に関するものである。 The present invention relates to an airtight sample container for supporting a sample and preventing contamination of the sample in a surface analysis device.
【０００２】[0002]
表面分析装置において、分析試料は分析に先立って分析室外において試料台に 設置されて支持され、その後試料台に載せられた状態で分析室に搬送され分析が 行われる。この分析前の試料の準備段階において、試料は大気やその他の反応性 ガスあるいは微粒子にさらされる機会がある。試料が大気やその他の反応性ガス や微粒子にさらされると、試料の表面はそれらと反応して汚染される。試料の表 面が汚染された状態では正確な表面分析を行うことはできない。 In the surface analysis device, the analysis sample is installed and supported on the sample stage outside the analysis room prior to the analysis, and then transferred to the analysis chamber while being mounted on the sample table for analysis. During this pre-analytical sample preparation, the sample is exposed to the atmosphere and other reactive gases or particulates. When a sample is exposed to the atmosphere or other reactive gases or particles, the sample surface reacts with them and contaminates them. Accurate surface analysis cannot be performed when the surface of the sample is contaminated.
【０００３】 そこで、従来分析試料の搬送などにおいて、試料台をＯリングを介して蓋で覆 い試料を大気やその他の反応性ガスあるいは微粒子からの汚染を防止している。 図５は従来の気密試料容器の断面図である。 図において、７１は蓋、７２は試料、７３は試料台、７４はＯリングである。 試料７２は試料台７３上に配置され、その上に蓋７１が置かれている。試料台 ７３と蓋７１との接触部分にはＯリング７４が設置され、試料７２が配置されて いる試料台７３の部分の雰囲気と外部とは、蓋７１及びＯリング７４によって遮 断されている。Therefore, in transporting an analytical sample, the sample stage is conventionally covered with a lid via an O-ring to prevent the sample from being contaminated from the atmosphere or other reactive gases or fine particles. FIG. 5 is a sectional view of a conventional airtight sample container. In the figure, 71 is a lid, 72 is a sample, 73 is a sample stand, and 74 is an O-ring. The sample 72 is placed on the sample table 73, and the lid 71 is placed on it. An O-ring 74 is installed at the contact portion between the sample table 73 and the lid 71, and the atmosphere and the outside of the part of the sample table 73 where the sample 72 is arranged are shielded by the lid 71 and the O-ring 74. ..
【０００４】 前記従来の気密試料容器は、容器内を真空の状態あるいはガスパージした状態 で使用される。 前記真空状態による気密試料容器の使用は、試料７２が配置されている試料台 ７３の内部の圧力を気密試料容器の外部の圧力よりも小さくすることによって行 われる。試料７２の試料台７３上への設置、及び蓋７１のＯリング７４上への配 置を真空状態の室内において行うと、試料７２が配置されている試料台７３の内 部の部分の圧力は真空圧となる。蓋７１が設置された気密試料容器を真空状態の 室内から取り出すと、外部の圧力が蓋７１に印加されてＯリング７４を圧縮し、 気密試料容器の内部の気密を保つことになる。The conventional airtight sample container is used in a vacuumed state or a gas-purged state. The use of the airtight sample container in the vacuum state is performed by making the pressure inside the sample stage 73 in which the sample 72 is arranged smaller than the pressure outside the airtight sample container. When the sample 72 is placed on the sample table 73 and the lid 71 is placed on the O-ring 74 in a vacuum chamber, the pressure of the inner part of the sample table 73 where the sample 72 is arranged is It becomes vacuum pressure. When the airtight sample container in which the lid 71 is installed is taken out of the vacuum chamber, an external pressure is applied to the lid 71 to compress the O-ring 74 and maintain the airtightness inside the airtight sample container.
【０００５】 又、前記ガスパージによる気密試料容器の使用は、気密試料容器内に乾燥Ｎ2 ガスなどを導入し、Ｏリング７４及び蓋７１によって該ガスを保持するものであ る。 したがって、従来の気密試料容器では気密試料容器の内部の真空力、あるいは 蓋の重さによって気密度を保っている。The use of the airtight sample container by the gas purging is to introduce a dry N 2 gas or the like into the airtight sample container and hold the gas by the O-ring 74 and the lid 71. Therefore, in the conventional airtight sample container, the airtightness is maintained by the vacuum force inside the airtight sample container or the weight of the lid.
【０００６】[0006]
しかしながら、前記の従来の気密試料容器では、以下のような問題点がある。 前記従来の気密試料容器の気密度の保持は、気密試料容器の内部の真空力によ って得られているので、その気密度を充分に得ることができない。 例えば、Ｏリングと接触する蓋や試料台の表面部分における凹凸やＯリングの 劣化等の原因によって、Ｏリングと蓋あるいはＯリングと試料台との接触部分に 隙間が生じ、その隙間部分から外部のガスや微粒子が試料を保持している空間に 浸入し試料表面が汚染される恐れがある。 However, the conventional airtight sample container described above has the following problems. Since the airtightness of the conventional airtight sample container is maintained by the vacuum force inside the airtight sample container, the airtightness cannot be sufficiently obtained. For example, due to unevenness on the surface of the lid or the sample table that comes into contact with the O-ring, or due to deterioration of the O-ring, a gap is created at the contact portion between the O-ring and the lid or between the O-ring and the sample table. There is a risk that the gas and particulates in the sample may enter the space holding the sample and contaminate the sample surface.
【０００７】 また、前記従来の気密試料容器では、気密試料容器内を乾燥Ｎ2 ガスなどでパ ージした場合には気密試料容器の内部の真空力を得ることができず、充分な気密 度を得ることができない。 したがって、本考案は前記の問題点を解決して、高い気密度が得られ、また気 密試料容器の内部をガスパージすることができ、試料が汚染される恐れのない気 密試料容器を提供することを目的とする。In the conventional airtight sample container, when the airtight sample container is purged with dry N 2 gas or the like, the vacuum force inside the airtight sample container cannot be obtained, resulting in a sufficient airtightness. Can't get Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems, provides a high airtightness, and is capable of gas purging the inside of the airtight sample container, and provides an airtight sample container in which the sample is not contaminated. The purpose is to
【０００８】[0008]
本考案は、上記の目的を達成するために、分析試料を取り付ける試料台と、試 料台に被せられる蓋と、試料台と蓋とを把持する板ばねと、試料台と前記蓋との 間の接合部分に配置されるＯリングによって気密試料容器を構成する。 In order to achieve the above object, the present invention provides a sample table to which an analytical sample is attached, a lid that covers the sample table, a leaf spring that holds the sample table and the lid, and a space between the sample table and the lid. An air-tight sample container is constituted by an O-ring arranged at the joining portion of.
【０００９】[0009]
本考案によれば、上記の構成によって、試料台と蓋とによって形成される容器 内部に試料を取付け、板ばねによってＯリングに弾性変形を生じさせ該Ｏリング に弾性変形によって試料台と蓋とで形成される空間の内部を気密状態に保持する 。Ｏリングの弾性変形を利用して蓋と試料台との間の密閉性を高めているので高 い気密度を得ることができる。 According to the present invention, with the above configuration, the sample is mounted inside the container formed by the sample table and the lid, and the O-ring is elastically deformed by the leaf spring, and the O-ring is elastically deformed to cause the sample table and the lid to move. The inside of the space formed by is kept airtight. Since the airtightness between the lid and the sample table is enhanced by utilizing the elastic deformation of the O-ring, a high airtightness can be obtained.
【００１０】[0010]
以下、本考案の実施例について図を参照しながら詳細に説明する。 図１は、本考案の気密試料容器の断面図である。 図１において、１０は試料台、１１は溝、１２はＯリング、１３は軸穴、１４ は気密試料容器基台、１５は試料ホルダ、１６は試料、１９は軸、２０は蓋、２ １は板ばね取付部材、２２はナット、２３は軸、２４は蓋上端部、２５はねじ、 ２６は蓋側壁部、２７は蓋肩部、２８は蓋上部、３０は板ばね、３１は板ばね側 部、３２は板ばね先端部、３３は板ばね取付部、４０はユニバーサルスティク、 ４１は軸、４２はスティク先端部、４３はコの字状部材である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of an airtight sample container of the present invention. In FIG. 1, 10 is a sample stand, 11 is a groove, 12 is an O-ring, 13 is a shaft hole, 14 is an airtight sample container base, 15 is a sample holder, 16 is a sample, 19 is a shaft, 20 is a lid, 21 Is a leaf spring mounting member, 22 is a nut, 23 is a shaft, 24 is a lid upper end portion, 25 is a screw, 26 is a lid side wall portion, 27 is a lid shoulder portion, 28 is a lid upper portion, 30 is a leaf spring, 31 is a leaf spring. A side portion, 32 is a leaf spring tip portion, 33 is a leaf spring attachment portion, 40 is a universal stick, 41 is a shaft, 42 is a stick tip portion, and 43 is a U-shaped member.
【００１１】 始めに、試料台１０について説明する。 試料台１０は気密試料容器基台１４と試料ホルダ１５とからなる。試料ホルダ １５には軸穴１３が形成され、気密試料容器基台１４から上方に突出する軸１９ を軸穴１３に挿入することによって気密試料容器基台１４上に取り付けられてい る。そして、試料１６は試料ホルダ１５の上端部に取り付けられる。試料ホルダ １５は分析室に導入されるときに、軸１９から抜き取ることによって気密試料容 器基台１４から取り外される。First, the sample table 10 will be described. The sample table 10 includes an airtight sample container base 14 and a sample holder 15. A shaft hole 13 is formed in the sample holder 15, and a shaft 19 protruding upward from the airtight sample container base 14 is inserted into the shaft hole 13 to be mounted on the airtight sample container base 14. Then, the sample 16 is attached to the upper end of the sample holder 15. The sample holder 15 is removed from the airtight sample container base 14 by extracting it from the shaft 19 when it is introduced into the analysis chamber.
【００１２】 試料台１０の気密試料容器基台１４の上部外周部には溝１１が形成され、該溝 １１にはＯリング１２が取り付けられる。 次に、蓋２０について説明する。 蓋２０の気密容器部分は、蓋側壁部２６、蓋上部２８、及び蓋肩部２７によっ て形成され、試料１６及び試料ホルダ１５を該気密容器部分の内側に収納する。A groove 11 is formed in an upper outer peripheral portion of an airtight sample container base 14 of the sample table 10, and an O-ring 12 is attached to the groove 11. Next, the lid 20 will be described. The airtight container portion of the lid 20 is formed by the lid side wall portion 26, the lid upper portion 28, and the lid shoulder portion 27, and the sample 16 and the sample holder 15 are housed inside the airtight container portion.
【００１３】 蓋肩部２７は蓋側壁部２６より外側に膨張して形成され、試料台１０の気密試 料容器基台１４の上部外周部と当接するよう形成される。該蓋肩部２７の気密試 料容器基台１４の上部外周部へ接触することによって、蓋肩部２７は気密試料容 器基台１４の上部外周部に形成された溝１１に配置されたＯリングと当接する。 蓋２０の蓋上部２８には軸２３が上方に突出して設けられ、さらに該軸２３の 上端には軸２３より大径の蓋上端部２４がねじ２５によって固定されている。The lid shoulder portion 27 is formed by expanding outward from the lid side wall portion 26, and is formed so as to come into contact with the upper outer peripheral portion of the airtight sample container base 14 of the sample table 10. By contacting the lid shoulder portion 27 with the upper outer peripheral portion of the airtight sample container base 14, the lid shoulder portion 27 is placed in the groove 11 formed in the upper outer peripheral portion of the airtight sample container base 14. Abut the ring. A shaft 23 is provided on a lid upper portion 28 of the lid 20 so as to project upward, and a lid upper end portion 24 having a larger diameter than the shaft 23 is fixed to the upper end of the shaft 23 by a screw 25.
【００１４】 次に、板ばね３０について説明する。 板ばね３０は板ばね側部３１、板ばね先端部３２、及び板ばね取付部３３によ って構成され、前記蓋２０の外側に配置される。板ばね３０の蓋２０への取付け は、板ばね３０の板ばね取付部３３を板ばね取付部材２１を介して蓋２０の軸２ ３にはめ込むことによって行なわれる。前記板ばね取付部材２１と蓋３０の蓋上 部２８との間の軸２３の部分にはナット２２が取り付けられ、該ナット２２を軸 ２３に対して上下に移動させることによって板ばね３０の蓋２０に対する高さ調 整をすることができる。Next, the leaf spring 30 will be described. The leaf spring 30 is composed of a leaf spring side portion 31, a leaf spring tip portion 32, and a leaf spring mounting portion 33, and is arranged outside the lid 20. The leaf spring 30 is attached to the lid 20 by fitting the leaf spring attachment portion 33 of the leaf spring 30 into the shaft 23 of the lid 20 via the leaf spring attachment member 21. A nut 22 is attached to a portion of the shaft 23 between the leaf spring mounting member 21 and the lid upper portion 28 of the lid 30, and the lid of the leaf spring 30 is moved by moving the nut 22 up and down with respect to the shaft 23. It is possible to adjust the height with respect to 20.
【００１５】 また、板ばね３０は試料台１０から離れる方向に外側に向けて開くような弾性 を有しており、通常は図の破線に示す状態にある。 前記試料台１０、蓋２０、板ばね３０、及びＯリング１２による気密試料容器 の密閉について説明する。 図２は本考案の気密試料容器のＯリングの断面図である。The leaf spring 30 has elasticity such that it opens outward in the direction away from the sample table 10, and is normally in the state shown by the broken line in the figure. The sealing of the airtight sample container by the sample table 10, the lid 20, the leaf spring 30, and the O-ring 12 will be described. FIG. 2 is a sectional view of the O-ring of the airtight sample container of the present invention.
【００１６】 図２において、１１は試料台１０の溝、１２はＯリング、１７は溝底部、１８ は溝側壁部である。Ｏリング１２は試料台１０の溝１１内に設置され上方から蓋 ２０の蓋肩部が当接する。図において、実線ａによって示されるＯリング１２は 蓋２０が設置されていないときの状態であり、破線ｂによって示されるＯリング １２は蓋２０が試料台１０に設置されているときの状態であり、また一点鎖線ｃ によって示されるＯリング１２は板ばね３０を試料台１０に取付けあるいは取り 外すときの状態を示している。In FIG. 2, 11 is a groove of the sample table 10, 12 is an O-ring, 17 is a groove bottom portion, and 18 is a groove side wall portion. The O-ring 12 is installed in the groove 11 of the sample table 10, and the lid shoulder portion of the lid 20 contacts from above. In the figure, the O-ring 12 indicated by the solid line a is the state when the lid 20 is not installed, and the O-ring 12 indicated by the broken line b is the state when the lid 20 is installed on the sample table 10. The O-ring 12 indicated by the alternate long and short dash line c shows the state in which the leaf spring 30 is attached to or detached from the sample table 10.
【００１７】 実線ａによって示されるＯリング１２は圧縮されていないため変形のない状態 にある。一点鎖線ｃによって示されるＯリング１２は板ばね３０の取付けあるい は取り外しの際に、蓋２０が取り付けられた状態のときより大きな力によって圧 縮され、溝底部１７に押さえられ大きな変形を受ける。また、破線ｂによって示 されるＯリング１２は、前記一点鎖線ｃの状態から該Ｏリング１２の弾性力によ って復元した状態であり、この状態においてＯリングの弾性変形によって蓋２０ と試料台１０との密閉が行なわれる。The O-ring 12 indicated by the solid line a is in an undeformed state because it is not compressed. When the leaf spring 30 is attached or detached, the O-ring 12 indicated by the one-dot chain line c is compressed by a larger force than when the lid 20 is attached, and is pressed by the groove bottom portion 17 to undergo a large deformation. .. The O-ring 12 indicated by the broken line b is in a state of being restored from the state of the dashed line c by the elastic force of the O-ring 12, and in this state, the lid 20 and the sample are elastically deformed by the O-ring 12. Sealing with the table 10 is performed.
【００１８】 次に、本考案の気密試料容器の使用方法を説明する。 図３は本考案の気密試料容器による試料の分析工程ブロック図である。 図３において、試料８の分析は真空に保持された分析室２において行なわれる 。該分析室２に隣接して試料準備室１が設置され、試料８は試料準備室１を介し て分析室２内に挿入される。Next, a method of using the airtight sample container of the present invention will be described. FIG. 3 is a block diagram of a sample analysis process using the airtight sample container of the present invention. In FIG. 3, the analysis of the sample 8 is performed in the analysis chamber 2 held in vacuum. A sample preparation room 1 is installed adjacent to the analysis room 2, and a sample 8 is inserted into the analysis room 2 via the sample preparation room 1.
【００１９】 試料８は、例えば試料作成室３において試料台９の上に設置されて分析のため の準備が行なわれる。該試料作成室３内は真空状態あるいは乾燥Ｎ2 ガスによっ て満たされており、試料台９上に試料８を載せた後本考案の蓋７を取付ける。し たがって、蓋７の内部は真空状態あるいは乾燥Ｎ2 ガスで満たされた状態となる 。蓋７が被された試料８は、試料作成室３から取り出され前記試料準備室１内に 搬送される。The sample 8 is placed on the sample table 9 in the sample preparation chamber 3, for example, to be prepared for analysis. The inside of the sample preparation chamber 3 is filled with a vacuum state or dry N 2 gas, and after mounting the sample 8 on the sample table 9, the lid 7 of the present invention is attached. Therefore, the inside of the lid 7 is in a vacuum state or filled with dry N 2 gas. The sample 8 covered with the lid 7 is taken out from the sample preparation chamber 3 and conveyed into the sample preparation chamber 1.
【００２０】 また、試料８はロード室４を介して反応室５に導入されて該反応室５において 試料表面に処理が施され、さらにアンロード室６を通して外部に取り出される。 蓋７は、アンロード室６において試料台９に取り付けられる。前記処理中のアン ロード室６内においては、真空状態あるいは乾燥Ｎ2 ガスで満たされた状態に保 たれているため、蓋７の内部は真空状態あるいは乾燥Ｎ2 ガスで満たされた状態 となる。蓋７が被された試料８は、アンロード室６から取り出され前記試料準備 室１内に搬送される。The sample 8 is introduced into the reaction chamber 5 via the load chamber 4, the surface of the sample is treated in the reaction chamber 5, and then taken out through the unload chamber 6 to the outside. The lid 7 is attached to the sample table 9 in the unload chamber 6. Since the inside of the unload chamber 6 during the process is kept in a vacuum state or a state filled with dry N 2 gas, the inside of the lid 7 is in a vacuum state or a state filled with dry N 2 gas. . The sample 8 covered with the lid 7 is taken out of the unload chamber 6 and conveyed into the sample preparation chamber 1.
【００２１】 前記試料作成室３あるいはアンロード室６から取り出された気密試料容器は試 料準備室１内に搬送され、該試料準備室１内において蓋７の取外しが行なわれる 。蓋７が取り外された試料８は試料台９とともに分析室２に搬送され分析が行な われる。 試料８は試料作成室３あるいは反応室５から搬出されて試料準備室１に搬入さ れるまでは蓋７によって外気と遮断されているため、大気や反応性のガスあるい は微粒子による汚染から守られる。試料準備室１内は真空状態に保持されている ため、試料準備室１において気密試料容器の蓋７を外しても試料８が汚染される ことはない。The airtight sample container taken out from the sample preparation chamber 3 or the unload chamber 6 is transported into the sample preparation chamber 1, and the lid 7 is removed in the sample preparation chamber 1. The sample 8 with the lid 7 removed is transported to the analysis chamber 2 together with the sample table 9 for analysis. The sample 8 is shielded from outside air by the lid 7 until it is carried out from the sample preparation chamber 3 or the reaction chamber 5 and is carried into the sample preparation chamber 1, so that it is protected from contamination by the atmosphere or reactive gas or fine particles. Be done. Since the inside of the sample preparation chamber 1 is kept in a vacuum state, the sample 8 will not be contaminated even if the lid 7 of the airtight sample container in the sample preparation chamber 1 is removed.
【００２２】 次に、本考案の気密試料容器の蓋７の試料台１０に対する取付け及び取外しに ついて図１によって説明する。 本考案の気密試料容器の蓋７の試料台１０への取付けは、次のように行なわれ る。 蓋７の試料台１０への取付けに際して、板ばね３０の位置調整を行なう。板ば ね３０の板ばね先端部３２の支持台基部１４に対する位置決めは、前記ナット２ ２を軸２３に対して上下に位置調整することによって行なわれる。Next, the attachment and detachment of the lid 7 of the airtight sample container of the present invention with respect to the sample table 10 will be described with reference to FIG. The attachment of the lid 7 of the airtight sample container of the present invention to the sample table 10 is performed as follows. When the lid 7 is attached to the sample table 10, the position of the leaf spring 30 is adjusted. Positioning of the leaf spring tip portion 32 of the plate spring 30 with respect to the support base 14 is performed by vertically adjusting the nut 22 with respect to the shaft 23.
【００２３】 蓋７を試料台１０の気密試料容器基台１４の上部外周部とＯリング１２を押圧 していない状態で接触させ、板ばね３０の板ばね側壁部２６を外側から内側に向 けて押圧したときに板ばね先端部３２が支持台基部１４の側壁部と当接し、さら に蓋上端部２４を押し下げてＯリング１２を圧縮したとき板ばね先端部３２が支 持台基部１４の底部に入り込んで該板ばね先端部３２が支持台基部１４の底部に 係合する位置に位置調整する。The lid 7 is brought into contact with the upper outer peripheral portion of the airtight sample container base 14 of the sample base 10 without pressing the O-ring 12, and the leaf spring side wall portion 26 of the leaf spring 30 is directed from the outside to the inside. When pressed, the leaf spring tip 32 comes into contact with the side wall of the support base 14, and when the lid upper end 24 is further pushed down to compress the O-ring 12, the leaf spring tip 32 is pressed against the support base 14. The leaf spring tip portion 32 enters the bottom portion and is adjusted in position to engage with the bottom portion of the support base portion 14.
【００２４】 前記の板ばね３０の位置において、蓋７を試料台１０の気密試料容器基台１４ の上部外周部と接触させ、蓋肩部２７を気密試料容器基台１４の上部外周部の溝 １１内のＯリング１２と当接させる。そして、さらに蓋上端部２４を押してＯリ ング１２を圧縮する。このＯリング１２が圧縮された状態において、板ばね３０ の板ばね側壁部２６を外側から内側に向けて押圧する。板ばね先端部３２は板ば ね側壁部２６がおされることによって、支持台基部１４の底部に入り込み、該底 部に係合する。この係合状態において、蓋上端部２４の押圧を停止すると蓋３０ はＯリング１２の復元力によって上方に押し上げられる。該蓋３０のＯリング１ ２による上昇は、前記板ばね先端部３２と支持台基部１４の底部との係合させ、 板ばね３０が外側に外れるのを防いで固定し蓋３０の試料台１０への取付けが行 なわれる。このとき、蓋３０と試料台１０とはＯリング１２の弾性変形によって 密閉される。At the position of the leaf spring 30, the lid 7 is brought into contact with the upper outer peripheral portion of the airtight sample container base 14 of the sample table 10, and the lid shoulder 27 is formed in the groove of the upper outer peripheral portion of the airtight sample container base 14. It is brought into contact with the O-ring 12 in 11. Then, the upper end 24 of the lid is further pushed to compress the O-ring 12. With the O-ring 12 compressed, the leaf spring side wall portion 26 of the leaf spring 30 is pressed from the outside to the inside. When the leaf spring side wall portion 26 is covered, the leaf spring tip portion 32 enters the bottom portion of the support base 14 and engages with the bottom portion. In this engaged state, when the pressing of the lid upper end 24 is stopped, the lid 30 is pushed upward by the restoring force of the O-ring 12. When the lid 30 is lifted by the O-ring 12, the leaf spring tip portion 32 is engaged with the bottom portion of the support base 14, and the leaf spring 30 is fixed to prevent the leaf spring 30 from coming off to the outside. Is installed. At this time, the lid 30 and the sample table 10 are sealed by the elastic deformation of the O-ring 12.
【００２５】 次に、本考案の気密試料容器の蓋７の試料台１０からの取外しは、以下のよう に行なわれる。Next, the removal of the lid 7 of the airtight sample container of the present invention from the sample table 10 is performed as follows.
【００２６】 本考案の気密試料容器の蓋７の試料台１０からの取外しには、ユニバーサルス ティク４０によって行なわれる。 ユニバーサルスティク４０はコの字状部材４３と軸４１とからなり、コの字状 部材４３の２つの平行部材の一方の部材に形成された穴に軸４１を通し、さらに スティク先端部４２がコの字状部材４３の２つの平行部材の間に位置するように 構成される。前記軸４１はコの字状部材４３に対して穴を通して上下に移動可能 となっている。また、他方の前記平行部材には、前記蓋３０の上端の軸２３が通 る程度の切り込みが形成されている。The universal stick 40 removes the lid 7 of the airtight sample container of the present invention from the sample table 10. The universal stick 40 is composed of a U-shaped member 43 and a shaft 41. The shaft 41 is inserted through a hole formed in one of the two parallel members of the U-shaped member 43, and the stick tip 42 is It is configured to be located between two parallel members of the V-shaped member 43. The shaft 41 is vertically movable through a hole with respect to the U-shaped member 43. Further, the other parallel member is formed with a notch which allows the shaft 23 at the upper end of the lid 30 to pass therethrough.
【００２７】 ユニバーサルスティク４０は、試料準備室１に搬入された気密試料容器に対し て破線の位置から実線の位置に回転する。該ユニバーサルスティク４０の回転に よってユニバーサルスティク４０のコの字状部材４３の前記切り込み部分に軸２ ３が入り込む。この状態において、ユニバーサルスティク４０の軸４１を降下さ せるとスティク先端部４２は蓋上端部２４と当接する。さらに軸４１を押し下げ ると、蓋肩部２７は軸２３を介してＯリング１２を圧縮する。これによって板ば ね３０も気密試料容器基台１４に対して下降し、板ばね先端部３２は気密試料容 器基台１４の底部から離れる。板ばね３０は試料台１０に対して外側に弾力を有 しているため、板ばね３０と気密試料容器基台１４の底部との係合が外れる。The universal stick 40 rotates from the position indicated by the broken line to the position indicated by the solid line with respect to the airtight sample container carried into the sample preparation chamber 1. Due to the rotation of the universal stick 40, the shaft 23 is inserted into the cut portion of the U-shaped member 43 of the universal stick 40. In this state, when the shaft 41 of the universal stick 40 is lowered, the stick tip 42 abuts on the lid upper end 24. When the shaft 41 is further pushed down, the lid shoulder portion 27 compresses the O-ring 12 via the shaft 23. As a result, the plate spring 30 also descends with respect to the airtight sample container base 14, and the leaf spring tip 32 separates from the bottom of the airtight sample container base 14. Since the leaf spring 30 has elasticity outward with respect to the sample table 10, the leaf spring 30 is disengaged from the bottom of the airtight sample container base 14.
【００２８】 板ばね３０と気密試料容器基台１４の底部との係合が外れた状態において、ユ ニバーサルスティク４０の軸４１を上昇させると、スティク先端部４２はコの字 状部材４３の上方の平行部材と当接して蓋２０及び板ばね３０をつり上げる。こ れによって、蓋２０の取外しが行なわれる。 図４は本考案の蓋をつり上げた状態図である。When the shaft 41 of the universal stick 40 is raised while the leaf spring 30 and the bottom of the airtight sample container base 14 are disengaged, the stick tip 42 is positioned above the U-shaped member 43. And the lid 20 and the leaf spring 30 are lifted. By this, the lid 20 is removed. FIG. 4 is a view showing a state in which the lid of the present invention is lifted.
【００２９】 図において、６１は試料クランプ、６２は分析室導入用ラックである。前記の ようにして蓋２０がユニバーサルスティク４０によってつり上げられると、試料 １６は試料ホルダ１５とともに分析室に導入される。分析室への導入には、試料 ホルダ１５を試料クランプ６１によって把持して気密試料容器基台１４の軸１９ から抜取り、試料ホルダ１５上に試料１６を載せた状態で分析室導入用ラック６ ２によって搬送が行なわれる。試料１６の分析室への導入の際には、プローブを 下げ導入の妨げとならないようにして行なわれる。In the figure, 61 is a sample clamp, and 62 is a rack for introducing into an analysis room. When the lid 20 is lifted by the universal stick 40 as described above, the sample 16 is introduced into the analysis chamber together with the sample holder 15. For introduction into the analysis chamber, the sample holder 15 is grasped by the sample clamp 61 and pulled out from the shaft 19 of the airtight sample container base 14, and the sample 16 is placed on the sample holder 15 and the analysis chamber introduction rack 6 2 Is carried by. When the sample 16 is introduced into the analysis chamber, the probe is lowered so as not to hinder the introduction.
【００３０】 なお、本考案は上記実施例に限定されるものではなく、本考案の趣旨に基づき 種々の変形が可能であり、それらを本考案の範囲から排除するものではない。The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made based on the spirit of the present invention, and these modifications are not excluded from the scope of the present invention.
【００３１】[0031]
以上説明したように、本考案によれば以下の効果を得ることができる。 （１）Ｏリングの弾性変形を利用しているので、気密試料容器の気密度を高める ことができ試料の汚染を防ぐことができる。 （２）気密試料容器内を乾燥Ｎ2 ガスなどでパージした場合においても充分な気 密度を得ることができる。 （３）板ばねによって蓋と試料台とを把持しているので、気密度を保持した状態 での気密試料容器の搬送を行なうことができる。As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. (1) Since the elastic deformation of the O-ring is used, the airtightness of the airtight sample container can be increased and the sample can be prevented from being contaminated. (2) Sufficient airtightness can be obtained even when the inside of the airtight sample container is purged with dry N 2 gas or the like. (3) Since the lid and the sample table are held by the leaf spring, the airtight sample container can be transported while maintaining the airtightness.
【図１】本考案の気密試料容器の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of an airtight sample container of the present invention.
【図２】本考案の気密試料容器のＯリングの断面図であ
る。FIG. 2 is a sectional view of an O-ring of the airtight sample container of the present invention.
【図３】本考案の気密試料容器による試料の分析工程ブ
ロック図である。FIG. 3 is a block diagram of a sample analysis process using the airtight sample container of the present invention.
【図４】本考案の蓋をつり上げた状態図である。FIG. 4 is a view showing a state in which the lid of the present invention is lifted.
【図５】従来の気密試料容器の断面図である。FIG. 5 is a sectional view of a conventional airtight sample container.
１…試料準備室、２…分析室、３…試料作成室、４…ロ
ード室、５…反応室、６…アンロード室、７…蓋、８…
試料、９…試料台、１０…試料台、１１…溝、１２…Ｏ
リング、１３…軸穴、１４…気密試料容器基台、１５…
試料ホルダ、１６…試料、１７…溝底部、１８…溝側壁
部、１９…軸、２０…蓋、２１…板ばね取付部材、２２
…ナット、２３…軸、２４…蓋上端部、２５…ねじ、２
６…蓋側壁部、２７…蓋肩部、２８…蓋上部、３０…板
ばね、３１…板ばね側部、３２…板ばね先端部、３３…
板ばね取付部、４０…ユニバーサルスティク、４１…
軸、４２…スティク先端部、４３…コの字状部材、５１
…蓋、５２…試料、５３…試料台、５４…Ｏリング、６
１…試料クランプ、６２…分析室導入用ラック1 ... Sample preparation room, 2 ... Analysis room, 3 ... Sample preparation room, 4 ... Loading room, 5 ... Reaction room, 6 ... Unload room, 7 ... Lid, 8 ...
Sample, 9 ... Sample stand, 10 ... Sample stand, 11 ... Groove, 12 ... O
Ring, 13 ... Shaft hole, 14 ... Airtight sample container base, 15 ...
Sample holder, 16 ... Sample, 17 ... Groove bottom part, 18 ... Groove side wall part, 19 ... Shaft, 20 ... Lid, 21 ... Leaf spring mounting member, 22
… Nuts, 23… Shafts, 24… Top end of lid, 25… Screws, 2
6 ... Lid side wall portion, 27 ... Lid shoulder portion, 28 ... Lid upper portion, 30 ... Leaf spring, 31 ... Leaf spring side portion, 32 ... Leaf spring tip portion, 33 ...
Leaf spring mounting part, 40 ... Universal stick, 41 ...
Shaft, 42 ... Stick tip portion, 43 ... U-shaped member, 51
... Lid, 52 ... Sample, 53 ... Sample stand, 54 ... O-ring, 6
1 ... Sample clamp, 62 ... Rack for introducing into analysis room
Claims (1)
るＯリングとからなり、 （ｅ）前記Ｏリングの弾性変形によって前記試料台と前
記蓋とで形成される空間の内部を気密状態に保持し、 （ｆ）前記板ばねによって前記Ｏリングに弾性変形を生
じさせることを特徴とする気密試料容器。1. (a) a sample table on which a sample is mounted; (b) a lid that covers the sample table; (c) a plate spring that holds the sample table and the lid; (d) the sample table An O-ring arranged at a joint portion between the lid and the lid, and (e) by elastically deforming the O-ring, the inside of the space formed by the sample stage and the lid is kept airtight, f) An airtight sample container in which the O-ring is elastically deformed by the leaf spring.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3596192U JPH0594766U (en) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | Airtight sample container |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3596192U JPH0594766U (en) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | Airtight sample container |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0594766U true JPH0594766U (en) | 1993-12-24 |
Family
ID=12456562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3596192U Pending JPH0594766U (en) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | Airtight sample container |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0594766U (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010010146A (en) * | 2009-10-09 | 2010-01-14 | Hitachi Ltd | Specimen making device |
| JP2010204119A (en) * | 2010-06-07 | 2010-09-16 | Hitachi Ltd | Sample preparing device |
| JP2012530261A (en) * | 2009-06-15 | 2012-11-29 | エメラルド バイオストラクチャーズ， インコーポレイテッド | Robot for organizing microfluidic experiments |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63123364A (en) * | 1986-11-14 | 1988-05-27 | Koichi Maruyama | Thawing method for frozen food and apparatus therefor |
-
1992
- 1992-05-28 JP JP3596192U patent/JPH0594766U/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63123364A (en) * | 1986-11-14 | 1988-05-27 | Koichi Maruyama | Thawing method for frozen food and apparatus therefor |
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| JP2010204119A (en) * | 2010-06-07 | 2010-09-16 | Hitachi Ltd | Sample preparing device |
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