JPH0594766U

JPH0594766U - 気密試料容器

Info

Publication number: JPH0594766U
Application number: JP3596192U
Authority: JP
Inventors: 勲加藤; 和森岡
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1992-05-28
Filing date: 1992-05-28
Publication date: 1993-12-24

Abstract

(57)【要約】【目的】高い気密度が得られ、また気密試料容器の内
部をガスパージすることのでき、試料が汚染される恐れ
のない気密試料容器を提供する。【構成】試料１６を取り付ける試料台１０と、試料台
１０に被せられる蓋２０と、試料台１０と蓋２０とを把
持する板ばね３０と、試料台１０と前記蓋２０との間の
接合部分に配置されるＯリング１２によって気密試料容
器を構成し、試料台１０と蓋２０とによって形成される
容器内部に試料１６を取付け、板ばね３０によってＯリ
ング１２に弾性変形を生じさせＯリング１２に弾性変形
によって試料台１０と蓋２０とで形成される空間の内部
を気密状態に保持する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、表面分析装置において、試料を支持するとともに試料の汚染を防止する気密試料容器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

表面分析装置において、分析試料は分析に先立って分析室外において試料台に設置されて支持され、その後試料台に載せられた状態で分析室に搬送され分析が行われる。この分析前の試料の準備段階において、試料は大気やその他の反応性ガスあるいは微粒子にさらされる機会がある。試料が大気やその他の反応性ガスや微粒子にさらされると、試料の表面はそれらと反応して汚染される。試料の表面が汚染された状態では正確な表面分析を行うことはできない。

【０００３】そこで、従来分析試料の搬送などにおいて、試料台をＯリングを介して蓋で覆い試料を大気やその他の反応性ガスあるいは微粒子からの汚染を防止している。図５は従来の気密試料容器の断面図である。図において、７１は蓋、７２は試料、７３は試料台、７４はＯリングである。試料７２は試料台７３上に配置され、その上に蓋７１が置かれている。試料台７３と蓋７１との接触部分にはＯリング７４が設置され、試料７２が配置されている試料台７３の部分の雰囲気と外部とは、蓋７１及びＯリング７４によって遮断されている。

【０００４】前記従来の気密試料容器は、容器内を真空の状態あるいはガスパージした状態で使用される。前記真空状態による気密試料容器の使用は、試料７２が配置されている試料台７３の内部の圧力を気密試料容器の外部の圧力よりも小さくすることによって行われる。試料７２の試料台７３上への設置、及び蓋７１のＯリング７４上への配置を真空状態の室内において行うと、試料７２が配置されている試料台７３の内部の部分の圧力は真空圧となる。蓋７１が設置された気密試料容器を真空状態の室内から取り出すと、外部の圧力が蓋７１に印加されてＯリング７４を圧縮し、気密試料容器の内部の気密を保つことになる。

【０００５】又、前記ガスパージによる気密試料容器の使用は、気密試料容器内に乾燥Ｎ₂ ガスなどを導入し、Ｏリング７４及び蓋７１によって該ガスを保持するものである。したがって、従来の気密試料容器では気密試料容器の内部の真空力、あるいは蓋の重さによって気密度を保っている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記の従来の気密試料容器では、以下のような問題点がある。前記従来の気密試料容器の気密度の保持は、気密試料容器の内部の真空力によって得られているので、その気密度を充分に得ることができない。例えば、Ｏリングと接触する蓋や試料台の表面部分における凹凸やＯリングの劣化等の原因によって、Ｏリングと蓋あるいはＯリングと試料台との接触部分に隙間が生じ、その隙間部分から外部のガスや微粒子が試料を保持している空間に浸入し試料表面が汚染される恐れがある。

【０００７】また、前記従来の気密試料容器では、気密試料容器内を乾燥Ｎ₂ガスなどでパージした場合には気密試料容器の内部の真空力を得ることができず、充分な気密度を得ることができない。したがって、本考案は前記の問題点を解決して、高い気密度が得られ、また気密試料容器の内部をガスパージすることができ、試料が汚染される恐れのない気密試料容器を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上記の目的を達成するために、分析試料を取り付ける試料台と、試料台に被せられる蓋と、試料台と蓋とを把持する板ばねと、試料台と前記蓋との間の接合部分に配置されるＯリングによって気密試料容器を構成する。

【０００９】

【作用】

本考案によれば、上記の構成によって、試料台と蓋とによって形成される容器内部に試料を取付け、板ばねによってＯリングに弾性変形を生じさせ該Ｏリングに弾性変形によって試料台と蓋とで形成される空間の内部を気密状態に保持する。Ｏリングの弾性変形を利用して蓋と試料台との間の密閉性を高めているので高い気密度を得ることができる。

【００１０】

【実施例】

以下、本考案の実施例について図を参照しながら詳細に説明する。図１は、本考案の気密試料容器の断面図である。図１において、１０は試料台、１１は溝、１２はＯリング、１３は軸穴、１４は気密試料容器基台、１５は試料ホルダ、１６は試料、１９は軸、２０は蓋、２１は板ばね取付部材、２２はナット、２３は軸、２４は蓋上端部、２５はねじ、２６は蓋側壁部、２７は蓋肩部、２８は蓋上部、３０は板ばね、３１は板ばね側部、３２は板ばね先端部、３３は板ばね取付部、４０はユニバーサルスティク、４１は軸、４２はスティク先端部、４３はコの字状部材である。

【００１１】始めに、試料台１０について説明する。試料台１０は気密試料容器基台１４と試料ホルダ１５とからなる。試料ホルダ１５には軸穴１３が形成され、気密試料容器基台１４から上方に突出する軸１９を軸穴１３に挿入することによって気密試料容器基台１４上に取り付けられている。そして、試料１６は試料ホルダ１５の上端部に取り付けられる。試料ホルダ１５は分析室に導入されるときに、軸１９から抜き取ることによって気密試料容器基台１４から取り外される。

【００１２】試料台１０の気密試料容器基台１４の上部外周部には溝１１が形成され、該溝１１にはＯリング１２が取り付けられる。次に、蓋２０について説明する。蓋２０の気密容器部分は、蓋側壁部２６、蓋上部２８、及び蓋肩部２７によって形成され、試料１６及び試料ホルダ１５を該気密容器部分の内側に収納する。

【００１３】蓋肩部２７は蓋側壁部２６より外側に膨張して形成され、試料台１０の気密試料容器基台１４の上部外周部と当接するよう形成される。該蓋肩部２７の気密試料容器基台１４の上部外周部へ接触することによって、蓋肩部２７は気密試料容器基台１４の上部外周部に形成された溝１１に配置されたＯリングと当接する。蓋２０の蓋上部２８には軸２３が上方に突出して設けられ、さらに該軸２３の上端には軸２３より大径の蓋上端部２４がねじ２５によって固定されている。

【００１４】次に、板ばね３０について説明する。板ばね３０は板ばね側部３１、板ばね先端部３２、及び板ばね取付部３３によって構成され、前記蓋２０の外側に配置される。板ばね３０の蓋２０への取付けは、板ばね３０の板ばね取付部３３を板ばね取付部材２１を介して蓋２０の軸２３にはめ込むことによって行なわれる。前記板ばね取付部材２１と蓋３０の蓋上部２８との間の軸２３の部分にはナット２２が取り付けられ、該ナット２２を軸２３に対して上下に移動させることによって板ばね３０の蓋２０に対する高さ調整をすることができる。

【００１５】また、板ばね３０は試料台１０から離れる方向に外側に向けて開くような弾性を有しており、通常は図の破線に示す状態にある。前記試料台１０、蓋２０、板ばね３０、及びＯリング１２による気密試料容器の密閉について説明する。図２は本考案の気密試料容器のＯリングの断面図である。

【００１６】図２において、１１は試料台１０の溝、１２はＯリング、１７は溝底部、１８は溝側壁部である。Ｏリング１２は試料台１０の溝１１内に設置され上方から蓋２０の蓋肩部が当接する。図において、実線ａによって示されるＯリング１２は蓋２０が設置されていないときの状態であり、破線ｂによって示されるＯリング１２は蓋２０が試料台１０に設置されているときの状態であり、また一点鎖線ｃによって示されるＯリング１２は板ばね３０を試料台１０に取付けあるいは取り外すときの状態を示している。

【００１７】実線ａによって示されるＯリング１２は圧縮されていないため変形のない状態にある。一点鎖線ｃによって示されるＯリング１２は板ばね３０の取付けあるいは取り外しの際に、蓋２０が取り付けられた状態のときより大きな力によって圧縮され、溝底部１７に押さえられ大きな変形を受ける。また、破線ｂによって示されるＯリング１２は、前記一点鎖線ｃの状態から該Ｏリング１２の弾性力によって復元した状態であり、この状態においてＯリングの弾性変形によって蓋２０と試料台１０との密閉が行なわれる。

【００１８】次に、本考案の気密試料容器の使用方法を説明する。図３は本考案の気密試料容器による試料の分析工程ブロック図である。図３において、試料８の分析は真空に保持された分析室２において行なわれる。該分析室２に隣接して試料準備室１が設置され、試料８は試料準備室１を介して分析室２内に挿入される。

【００１９】試料８は、例えば試料作成室３において試料台９の上に設置されて分析のための準備が行なわれる。該試料作成室３内は真空状態あるいは乾燥Ｎ₂ガスによって満たされており、試料台９上に試料８を載せた後本考案の蓋７を取付ける。したがって、蓋７の内部は真空状態あるいは乾燥Ｎ₂ガスで満たされた状態となる。蓋７が被された試料８は、試料作成室３から取り出され前記試料準備室１内に搬送される。

【００２０】また、試料８はロード室４を介して反応室５に導入されて該反応室５において試料表面に処理が施され、さらにアンロード室６を通して外部に取り出される。蓋７は、アンロード室６において試料台９に取り付けられる。前記処理中のアンロード室６内においては、真空状態あるいは乾燥Ｎ₂ガスで満たされた状態に保たれているため、蓋７の内部は真空状態あるいは乾燥Ｎ₂ガスで満たされた状態となる。蓋７が被された試料８は、アンロード室６から取り出され前記試料準備室１内に搬送される。

【００２１】前記試料作成室３あるいはアンロード室６から取り出された気密試料容器は試料準備室１内に搬送され、該試料準備室１内において蓋７の取外しが行なわれる。蓋７が取り外された試料８は試料台９とともに分析室２に搬送され分析が行なわれる。試料８は試料作成室３あるいは反応室５から搬出されて試料準備室１に搬入されるまでは蓋７によって外気と遮断されているため、大気や反応性のガスあるいは微粒子による汚染から守られる。試料準備室１内は真空状態に保持されているため、試料準備室１において気密試料容器の蓋７を外しても試料８が汚染されることはない。

【００２２】次に、本考案の気密試料容器の蓋７の試料台１０に対する取付け及び取外しについて図１によって説明する。本考案の気密試料容器の蓋７の試料台１０への取付けは、次のように行なわれる。蓋７の試料台１０への取付けに際して、板ばね３０の位置調整を行なう。板ばね３０の板ばね先端部３２の支持台基部１４に対する位置決めは、前記ナット２２を軸２３に対して上下に位置調整することによって行なわれる。

【００２３】蓋７を試料台１０の気密試料容器基台１４の上部外周部とＯリング１２を押圧していない状態で接触させ、板ばね３０の板ばね側壁部２６を外側から内側に向けて押圧したときに板ばね先端部３２が支持台基部１４の側壁部と当接し、さらに蓋上端部２４を押し下げてＯリング１２を圧縮したとき板ばね先端部３２が支持台基部１４の底部に入り込んで該板ばね先端部３２が支持台基部１４の底部に係合する位置に位置調整する。

【００２４】前記の板ばね３０の位置において、蓋７を試料台１０の気密試料容器基台１４の上部外周部と接触させ、蓋肩部２７を気密試料容器基台１４の上部外周部の溝１１内のＯリング１２と当接させる。そして、さらに蓋上端部２４を押してＯリング１２を圧縮する。このＯリング１２が圧縮された状態において、板ばね３０の板ばね側壁部２６を外側から内側に向けて押圧する。板ばね先端部３２は板ばね側壁部２６がおされることによって、支持台基部１４の底部に入り込み、該底部に係合する。この係合状態において、蓋上端部２４の押圧を停止すると蓋３０はＯリング１２の復元力によって上方に押し上げられる。該蓋３０のＯリング１２による上昇は、前記板ばね先端部３２と支持台基部１４の底部との係合させ、板ばね３０が外側に外れるのを防いで固定し蓋３０の試料台１０への取付けが行なわれる。このとき、蓋３０と試料台１０とはＯリング１２の弾性変形によって密閉される。

【００２５】次に、本考案の気密試料容器の蓋７の試料台１０からの取外しは、以下のように行なわれる。

【００２６】本考案の気密試料容器の蓋７の試料台１０からの取外しには、ユニバーサルスティク４０によって行なわれる。ユニバーサルスティク４０はコの字状部材４３と軸４１とからなり、コの字状部材４３の２つの平行部材の一方の部材に形成された穴に軸４１を通し、さらにスティク先端部４２がコの字状部材４３の２つの平行部材の間に位置するように構成される。前記軸４１はコの字状部材４３に対して穴を通して上下に移動可能となっている。また、他方の前記平行部材には、前記蓋３０の上端の軸２３が通る程度の切り込みが形成されている。

【００２７】ユニバーサルスティク４０は、試料準備室１に搬入された気密試料容器に対して破線の位置から実線の位置に回転する。該ユニバーサルスティク４０の回転によってユニバーサルスティク４０のコの字状部材４３の前記切り込み部分に軸２３が入り込む。この状態において、ユニバーサルスティク４０の軸４１を降下させるとスティク先端部４２は蓋上端部２４と当接する。さらに軸４１を押し下げると、蓋肩部２７は軸２３を介してＯリング１２を圧縮する。これによって板ばね３０も気密試料容器基台１４に対して下降し、板ばね先端部３２は気密試料容器基台１４の底部から離れる。板ばね３０は試料台１０に対して外側に弾力を有しているため、板ばね３０と気密試料容器基台１４の底部との係合が外れる。

【００２８】板ばね３０と気密試料容器基台１４の底部との係合が外れた状態において、ユニバーサルスティク４０の軸４１を上昇させると、スティク先端部４２はコの字状部材４３の上方の平行部材と当接して蓋２０及び板ばね３０をつり上げる。これによって、蓋２０の取外しが行なわれる。図４は本考案の蓋をつり上げた状態図である。

【００２９】図において、６１は試料クランプ、６２は分析室導入用ラックである。前記のようにして蓋２０がユニバーサルスティク４０によってつり上げられると、試料１６は試料ホルダ１５とともに分析室に導入される。分析室への導入には、試料ホルダ１５を試料クランプ６１によって把持して気密試料容器基台１４の軸１９から抜取り、試料ホルダ１５上に試料１６を載せた状態で分析室導入用ラック６２によって搬送が行なわれる。試料１６の分析室への導入の際には、プローブを下げ導入の妨げとならないようにして行なわれる。

【００３０】なお、本考案は上記実施例に限定されるものではなく、本考案の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、それらを本考案の範囲から排除するものではない。

【００３１】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば以下の効果を得ることができる。（１）Ｏリングの弾性変形を利用しているので、気密試料容器の気密度を高めることができ試料の汚染を防ぐことができる。（２）気密試料容器内を乾燥Ｎ₂ガスなどでパージした場合においても充分な気密度を得ることができる。（３）板ばねによって蓋と試料台とを把持しているので、気密度を保持した状態での気密試料容器の搬送を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の気密試料容器の断面図である。

【図２】本考案の気密試料容器のＯリングの断面図であ
る。

【図３】本考案の気密試料容器による試料の分析工程ブ
ロック図である。

【図４】本考案の蓋をつり上げた状態図である。

【図５】従来の気密試料容器の断面図である。

【符号の説明】

１…試料準備室、２…分析室、３…試料作成室、４…ロ
ード室、５…反応室、６…アンロード室、７…蓋、８…
試料、９…試料台、１０…試料台、１１…溝、１２…Ｏ
リング、１３…軸穴、１４…気密試料容器基台、１５…
試料ホルダ、１６…試料、１７…溝底部、１８…溝側壁
部、１９…軸、２０…蓋、２１…板ばね取付部材、２２
…ナット、２３…軸、２４…蓋上端部、２５…ねじ、２
６…蓋側壁部、２７…蓋肩部、２８…蓋上部、３０…板
ばね、３１…板ばね側部、３２…板ばね先端部、３３…
板ばね取付部、４０…ユニバーサルスティク、４１…
軸、４２…スティク先端部、４３…コの字状部材、５１
…蓋、５２…試料、５３…試料台、５４…Ｏリング、６
１…試料クランプ、６２…分析室導入用ラック

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】（ａ）試料を取り付ける試料台と、（ｂ）前記試料台に被せられる蓋と、（ｃ）前記試料台と蓋とを把持する板ばねと、（ｄ）前記試料台と前記蓋との間の接合部分に配置され
るＯリングとからなり、（ｅ）前記Ｏリングの弾性変形によって前記試料台と前
記蓋とで形成される空間の内部を気密状態に保持し、（ｆ）前記板ばねによって前記Ｏリングに弾性変形を生
じさせることを特徴とする気密試料容器。