JPH0595154A - 狭帯域レーザ装置 - Google Patents
狭帯域レーザ装置Info
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- JPH0595154A JPH0595154A JP3253266A JP25326691A JPH0595154A JP H0595154 A JPH0595154 A JP H0595154A JP 3253266 A JP3253266 A JP 3253266A JP 25326691 A JP25326691 A JP 25326691A JP H0595154 A JPH0595154 A JP H0595154A
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- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 78
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 48
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims abstract description 48
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 claims abstract description 30
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 6
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
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- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004416 surface enhanced Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】新たな参照用光源を必要とすることなく、狭帯
域レーザ光の波長安定化を図ることができる。 【構成】フッ素を用いたレーザ媒質、フッ素分光レーザ
光を狭帯域化するための回折格子、フッ素分子レーザ光
を発振させるための第１の共振器、フッ素原子レーザ光
を発振させるための第２の共振器、フッ素分子レーザ光
とフッ素原子レーザ光を同時に入射させることによりフ
ッ素分子レーザ光の絶対波長を測定し、設定波長とのず
れを検出するための分光器、分光器からの入力信号によ
り、回折格子を制御し波長のずれを補正するための回折
格子ドライバ及びビームスプリッターから構成され、狭
帯域レーザ光であるフッ素分子レーザと同時に、可視域
の波長を持つフッ素原子レーザ光を発振できるので、フ
ッ素原子レーザ光を参照光に利用でき、新たな参照用光
源を必要とすることなく波長の安定化を図ることが出来
る。
域レーザ光の波長安定化を図ることができる。 【構成】フッ素を用いたレーザ媒質、フッ素分光レーザ
光を狭帯域化するための回折格子、フッ素分子レーザ光
を発振させるための第１の共振器、フッ素原子レーザ光
を発振させるための第２の共振器、フッ素分子レーザ光
とフッ素原子レーザ光を同時に入射させることによりフ
ッ素分子レーザ光の絶対波長を測定し、設定波長とのず
れを検出するための分光器、分光器からの入力信号によ
り、回折格子を制御し波長のずれを補正するための回折
格子ドライバ及びビームスプリッターから構成され、狭
帯域レーザ光であるフッ素分子レーザと同時に、可視域
の波長を持つフッ素原子レーザ光を発振できるので、フ
ッ素原子レーザ光を参照光に利用でき、新たな参照用光
源を必要とすることなく波長の安定化を図ることが出来
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、狭帯域レーザ装置に関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の狭帯域レーザ装置については、１
９８９年発行の「コンファレンス・オン・レーザ・アン
ド・エレクトロオプティックス・テクニカル・ダイジェ
スト・シリーズ（ＣＯＮＦＥＲＲＥＮＣＥ ＯＮ ＬＡ
ＳＥＲＳ ＡＮＤＥＬＥＣＴＲＯ−ＯＰＴＩＣＳ ＴＥ
ＣＨＮＩＣＡＬ ＤＩＧＥＳＴ ＳＥＲＩＥＳ）」第１
１巻、３３６頁から３３７頁に掲載されている文献に詳
細に記述されている。この文献に記載されている従来の
狭帯域レーザ装置を図４に示す。
９８９年発行の「コンファレンス・オン・レーザ・アン
ド・エレクトロオプティックス・テクニカル・ダイジェ
スト・シリーズ（ＣＯＮＦＥＲＲＥＮＣＥ ＯＮ ＬＡ
ＳＥＲＳ ＡＮＤＥＬＥＣＴＲＯ−ＯＰＴＩＣＳ ＴＥ
ＣＨＮＩＣＡＬ ＤＩＧＥＳＴ ＳＥＲＩＥＳ）」第１
１巻、３３６頁から３３７頁に掲載されている文献に詳
細に記述されている。この文献に記載されている従来の
狭帯域レーザ装置を図４に示す。
【０００３】この狭帯域レーザ装置は、レーザ光が励起
されるレーザ媒質１、レーザ光を狭帯域化するためのエ
タロン９、レーザ光を発振させるための共振器８、参照
光を発生させるための参照用光源１４、参照光とレーザ
光を同時入射させることによりレーザ光の絶対波長を測
定し、設定波長とのずれを検出するための分光器６、分
光器６からの入力信号により、エタロン９を制御し波長
のずれを補正するためのエタロンドライバ１０及びビー
ムスプリッター７を有しており、図示の如く配置してい
る。
されるレーザ媒質１、レーザ光を狭帯域化するためのエ
タロン９、レーザ光を発振させるための共振器８、参照
光を発生させるための参照用光源１４、参照光とレーザ
光を同時入射させることによりレーザ光の絶対波長を測
定し、設定波長とのずれを検出するための分光器６、分
光器６からの入力信号により、エタロン９を制御し波長
のずれを補正するためのエタロンドライバ１０及びビー
ムスプリッター７を有しており、図示の如く配置してい
る。
【０００４】この狭帯域レーザ装置においては、共振器
８より出射した狭帯域レーザ光と参照用光源１４より出
射した参照光を分光器６に同時に入射させることによ
り、狭帯域レーザ光の波長を測定、設定波長とのずれを
検出し、出力信号をエタロンドライバ１０に送ることに
より、エタロン９を制御し狭帯域レーザ光の波長のずれ
を補正し、波長の安定化を図っている。
８より出射した狭帯域レーザ光と参照用光源１４より出
射した参照光を分光器６に同時に入射させることによ
り、狭帯域レーザ光の波長を測定、設定波長とのずれを
検出し、出力信号をエタロンドライバ１０に送ることに
より、エタロン９を制御し狭帯域レーザ光の波長のずれ
を補正し、波長の安定化を図っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の狭帯
域レーザ装置では、狭帯域レーザ光の波長のずれを検出
するために新たな参照用光源が必要であり、装置が複雑
になるという欠点があった。
域レーザ装置では、狭帯域レーザ光の波長のずれを検出
するために新たな参照用光源が必要であり、装置が複雑
になるという欠点があった。
【０００６】本発明の目的は、新たな参照用光源を必要
とすることなく、狭帯域レーザ光の波長の安定化を図る
ことの出来る狭帯域レーザ装置を提供することにある。
とすることなく、狭帯域レーザ光の波長の安定化を図る
ことの出来る狭帯域レーザ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の狭帯域レ
ーザ装置は、レーザ媒質として少なくともフッ素を用い
る狭帯域レーザ装置であって、フッ素レーザまたはエキ
シマレーザ光を発振させるための第１の共振器、前記第
１の共振器内にフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ
光を狭帯域化するための分散素子と前記分散素子を制御
するため分散素子制御機構を有し、フッ素分子レーザま
たはエキシマレーザ光の光軸上にフッ素原子レーザ光を
発振させるための第２共振器と、フッ素原子レーザ光を
参照光としてフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光
の絶対波長を測定し、設定波長からのずれを検出するた
めの波長測定機構を備え、前記波長測定機構の出力信号
を前記分散素子制御機構に入力するよう接続したことを
特徴とする。
ーザ装置は、レーザ媒質として少なくともフッ素を用い
る狭帯域レーザ装置であって、フッ素レーザまたはエキ
シマレーザ光を発振させるための第１の共振器、前記第
１の共振器内にフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ
光を狭帯域化するための分散素子と前記分散素子を制御
するため分散素子制御機構を有し、フッ素分子レーザま
たはエキシマレーザ光の光軸上にフッ素原子レーザ光を
発振させるための第２共振器と、フッ素原子レーザ光を
参照光としてフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光
の絶対波長を測定し、設定波長からのずれを検出するた
めの波長測定機構を備え、前記波長測定機構の出力信号
を前記分散素子制御機構に入力するよう接続したことを
特徴とする。
【０００８】本発明の第２の狭帯域レーザ装置は、レー
ザ媒質として少なくともフッ素を用いる狭帯域レーザ装
置であって、フッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光
を発振させるための共振器、前記共振器内にフッ素分子
レーザまたはエキシマレーザ光を狭帯域化するためのエ
タロンと前記エタロンを制御するためのエタロン制御機
構を有し、前記共振器にフッ素原子レーザ光とフッ素分
子レーザまたはエキシマレーザ光を同時発振させるため
の誘電体多層膜鏡を用い、かつフッ素原子レーザ光を参
照光としてフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光の
絶対波長を測定し設定波長からのずれを検出するための
波長測定機構を備え、前記波長測定機構の出力信号を前
記エタロン制御機構に入力するよう接続したことを特徴
とする。
ザ媒質として少なくともフッ素を用いる狭帯域レーザ装
置であって、フッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光
を発振させるための共振器、前記共振器内にフッ素分子
レーザまたはエキシマレーザ光を狭帯域化するためのエ
タロンと前記エタロンを制御するためのエタロン制御機
構を有し、前記共振器にフッ素原子レーザ光とフッ素分
子レーザまたはエキシマレーザ光を同時発振させるため
の誘電体多層膜鏡を用い、かつフッ素原子レーザ光を参
照光としてフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光の
絶対波長を測定し設定波長からのずれを検出するための
波長測定機構を備え、前記波長測定機構の出力信号を前
記エタロン制御機構に入力するよう接続したことを特徴
とする。
【０００９】本発明の第３の狭帯域レーザ装置は、レー
ザ媒質として少なくともフッ素を用いる狭帯域レーザ装
置であって、フッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光
を発振させるための第１の共振器、前記共振器内にフッ
素分子レーザまたはエキシマレーザ光を狭帯域化するた
めの分散素子と前記分散素子を制御するための分散素子
制御機構を有し、フッ素分子レーザまたはエキシマレー
ザ光を狭帯域化するための分散素子と前記分散素子を制
御するための分散素子制御機構を有し、フッ素分子レー
ザまたはエキシマレーザ光の光軸上にフッ素原子レーザ
光を発振させるための第２の共振器と前記分散素子によ
り分散されたフッ素原子レーザ光の位置を測定し分散素
子のずれを検出するための検出機構を備え、前記検出機
構の出力信号を前記分散素子制御機構に入力するよう接
続したことを特徴とする。
ザ媒質として少なくともフッ素を用いる狭帯域レーザ装
置であって、フッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光
を発振させるための第１の共振器、前記共振器内にフッ
素分子レーザまたはエキシマレーザ光を狭帯域化するた
めの分散素子と前記分散素子を制御するための分散素子
制御機構を有し、フッ素分子レーザまたはエキシマレー
ザ光を狭帯域化するための分散素子と前記分散素子を制
御するための分散素子制御機構を有し、フッ素分子レー
ザまたはエキシマレーザ光の光軸上にフッ素原子レーザ
光を発振させるための第２の共振器と前記分散素子によ
り分散されたフッ素原子レーザ光の位置を測定し分散素
子のずれを検出するための検出機構を備え、前記検出機
構の出力信号を前記分散素子制御機構に入力するよう接
続したことを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明の第１及び第２の狭帯域レーザ装置にお
いては、狭帯域レーザ光であるフッ素分子レーザまたは
エキシマレーザ光と同時に、可視域の波長を持つフッ素
原子レーザ光を発振できるので、フッ素原子レーザ光を
参照光に利用でき、新たな参照用光源を必要とすること
なく波長の安定化を図ることが出来る。
いては、狭帯域レーザ光であるフッ素分子レーザまたは
エキシマレーザ光と同時に、可視域の波長を持つフッ素
原子レーザ光を発振できるので、フッ素原子レーザ光を
参照光に利用でき、新たな参照用光源を必要とすること
なく波長の安定化を図ることが出来る。
【００１１】また、本発明の第３の狭帯域レーザ装置に
おいては、狭帯域レーザ光であるフッ素分子レーザまた
はエキシマレーザ光と同時に、可視域の波長をもつフッ
素原子レーザ光を発振させ、分散素子によりフッ素分子
レーザ光またはエキシマレーザ光と異なる方向に分散さ
れたフッ素原子レーザ光の位置を測定することにより、
分散素子のずれを測定できるので、複雑な測定計を用い
ることなく波長の安定化を図ることが出来る。
おいては、狭帯域レーザ光であるフッ素分子レーザまた
はエキシマレーザ光と同時に、可視域の波長をもつフッ
素原子レーザ光を発振させ、分散素子によりフッ素分子
レーザ光またはエキシマレーザ光と異なる方向に分散さ
れたフッ素原子レーザ光の位置を測定することにより、
分散素子のずれを測定できるので、複雑な測定計を用い
ることなく波長の安定化を図ることが出来る。
【００１２】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。
【００１３】図１は、請求項１に記載の発明（以下第１
の発明）の狭帯域レーザ装置の一実施例である。
の発明）の狭帯域レーザ装置の一実施例である。
【００１４】図２は、請求項２に記載の発明（以下第２
の発明）の狭帯域レーザ装置の一実施例である。
の発明）の狭帯域レーザ装置の一実施例である。
【００１５】図３は、請求項３に記載の発明（以下第３
の発明）の狭帯域レーザ装置の一実施例である。
の発明）の狭帯域レーザ装置の一実施例である。
【００１６】図１に示した第１の発明を用いた狭帯域レ
ーザ装置は、フッ素を用いたレーザ媒質１、フッ素分子
レーザ光を狭帯域化するための回折格子３、フッ素分子
レーザ光を発振させるための第１の共振器２、フッ素原
子レーザ光を発振させるための第２の共振器５、フッ素
分子レーザ光とフッ素原子レーザ光を同時に入射させる
ことによりフッ素分子レーザ光の絶対波長を測定し、設
定波長とのずれを検出するための分光器６、分光器６か
らの入力信号により、回折格子３を制御し波長のずれを
補正するための回折格子ドライバ４及びビームスプリッ
ター７を有しており、図示の如く配置している。
ーザ装置は、フッ素を用いたレーザ媒質１、フッ素分子
レーザ光を狭帯域化するための回折格子３、フッ素分子
レーザ光を発振させるための第１の共振器２、フッ素原
子レーザ光を発振させるための第２の共振器５、フッ素
分子レーザ光とフッ素原子レーザ光を同時に入射させる
ことによりフッ素分子レーザ光の絶対波長を測定し、設
定波長とのずれを検出するための分光器６、分光器６か
らの入力信号により、回折格子３を制御し波長のずれを
補正するための回折格子ドライバ４及びビームスプリッ
ター７を有しており、図示の如く配置している。
【００１７】この第１の発明による狭帯域レーザにおい
ては、狭帯域レーザ光であるフッ素分子レーザと同時
に、可視域の波長を持つフッ素原子レーザ光を発振でき
るので、フッ素原子レーザ光を参照光に利用できるの
で、新たな参照用光源を必要とすることなく波長の安定
化を図ることが出来る。
ては、狭帯域レーザ光であるフッ素分子レーザと同時
に、可視域の波長を持つフッ素原子レーザ光を発振でき
るので、フッ素原子レーザ光を参照光に利用できるの
で、新たな参照用光源を必要とすることなく波長の安定
化を図ることが出来る。
【００１８】図２に示した第２の発明を用いた狭帯域レ
ーザ装置は、フッ素を用いたレーザ媒質１、フッ素分子
レーザ光を狭帯域化するためのエタロン９、フッ素分子
レーザ項とフッ素原子レーザ項を同時に発振させるため
の誘電体多層膜鏡を用いた共振器８、フッ素分子レーザ
光とフッ素原子レーザ光を同時に入射させることにより
フッ素分子レーザ光の絶対波長を測定し、設定波長との
ずれを検出するための分光器６、分光器６からの入力信
号により、エタロン９を制御し波長のずれを補正するた
めのエタロンドライバ１０及びビームスプリッター７を
有しており、図示の如く配置している。
ーザ装置は、フッ素を用いたレーザ媒質１、フッ素分子
レーザ光を狭帯域化するためのエタロン９、フッ素分子
レーザ項とフッ素原子レーザ項を同時に発振させるため
の誘電体多層膜鏡を用いた共振器８、フッ素分子レーザ
光とフッ素原子レーザ光を同時に入射させることにより
フッ素分子レーザ光の絶対波長を測定し、設定波長との
ずれを検出するための分光器６、分光器６からの入力信
号により、エタロン９を制御し波長のずれを補正するた
めのエタロンドライバ１０及びビームスプリッター７を
有しており、図示の如く配置している。
【００１９】この第２の発明による狭帯域レーザ装置に
おいては、狭帯域レーザ光であるフッ素分子レーザと可
視域の波長を持つフッ素原子レーザ光を、一つの共振器
により発振でき、新たな参照用光源を必要とすることな
く波長の安定化を図ることが出来る。
おいては、狭帯域レーザ光であるフッ素分子レーザと可
視域の波長を持つフッ素原子レーザ光を、一つの共振器
により発振でき、新たな参照用光源を必要とすることな
く波長の安定化を図ることが出来る。
【００２０】図３に示した第３の発明を用いた狭帯域レ
ーザ装置は、フッ素を用いたレーザ媒質１、フッ素分子
レーザ光を狭帯域化するためのプリズム１１、フッ素分
子レーザ光を発振させるための第１の共振器２、フッ素
原子レーザ光を発振させるための第２の共振器５、プリ
ズム１１により分散したフッ素原子レーザ光の位置を測
定し、プリズム１１のずれを検出するためのＣＣＤアレ
イ１３、ＣＣＤアレイ１３からの入力信号により、プリ
ズム１１を制御しプリズム１１のずれを補正するための
プリズムドライバ１２及びビームスプリッチャー７を有
しており、図示の如く配置している。
ーザ装置は、フッ素を用いたレーザ媒質１、フッ素分子
レーザ光を狭帯域化するためのプリズム１１、フッ素分
子レーザ光を発振させるための第１の共振器２、フッ素
原子レーザ光を発振させるための第２の共振器５、プリ
ズム１１により分散したフッ素原子レーザ光の位置を測
定し、プリズム１１のずれを検出するためのＣＣＤアレ
イ１３、ＣＣＤアレイ１３からの入力信号により、プリ
ズム１１を制御しプリズム１１のずれを補正するための
プリズムドライバ１２及びビームスプリッチャー７を有
しており、図示の如く配置している。
【００２１】この第３の発明による狭帯域レーザ装置に
おいては、狭帯域レーザ光であるフッ素分子レーザと同
時に、可視域の波長をもつフッ素原子レーザ光を発振さ
せ、プリズム１１によりフッ素分子レーザ光と異なる方
向に分散されたフッ素原子レーザ光の位置をＣＣＤアレ
イ１３により検出することにより、プリズム１１のずれ
を測定し、これによりプリズムドライバ１２によりプリ
ズム１１のずれを補正できるので、複雑な測定系を用い
ることなく波長の安定化を図ることが出来る。
おいては、狭帯域レーザ光であるフッ素分子レーザと同
時に、可視域の波長をもつフッ素原子レーザ光を発振さ
せ、プリズム１１によりフッ素分子レーザ光と異なる方
向に分散されたフッ素原子レーザ光の位置をＣＣＤアレ
イ１３により検出することにより、プリズム１１のずれ
を測定し、これによりプリズムドライバ１２によりプリ
ズム１１のずれを補正できるので、複雑な測定系を用い
ることなく波長の安定化を図ることが出来る。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、新
たな参照用光源を必要とすることなく、狭帯域レーザ光
の波長のずれまたは分散素子のずれを検出し補正するこ
とにより、波長の安定した狭帯域レーザ光が得られる狭
帯域レーザ装置を提供できる。
たな参照用光源を必要とすることなく、狭帯域レーザ光
の波長のずれまたは分散素子のずれを検出し補正するこ
とにより、波長の安定した狭帯域レーザ光が得られる狭
帯域レーザ装置を提供できる。
【図１】第１の発明の狭帯域レーザ装置の一実施例を示
す図。
す図。
【図２】第２の発明の狭帯域レーザ装置の一実施例を示
す図。
す図。
【図３】第３の発明の狭帯域レーザ装置の一実施例を示
す図。
す図。
【図４】従来の狭帯域エキシマレーザ装置を示す図。
【符号の説明】 １ レーザ媒質 ２ 第１の共振器 ３ 回折格子 ４ 回折格子ドライバ ５ 第２の共振器 ６ 分光器 ７ ビームスプリッター ８ 共振器（誘電体多層膜鏡） ９ エタロン １０ エタロンドライバ １１ プリズム １２ プリズムドライバ １３ ＣＣＤアレイ
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ媒質として少なくともフッ素を用
いる狭帯域レーザ装置であって、フッ素分子またはエキ
シマレーザ光を発振させるための第１の共振器、前記第
１の共振器内にフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ
光を狭帯域化するための分散素子と前記分散素子を制御
するため分散素子制御機構を有し、フッ素分子レーザま
たはエキシマレーザ光の光軸上にフッ素原子レーザ光を
発振させるための第２共振器と、フッ素原子レーザ光を
参照光としてフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光
の絶対波長を測定し、設定波長からのずれを検出するた
めの波長測定機構を備え、前記波長測定機構の出力信号
を前記分散素子制御機構に入力するよう接続したことを
特徴とする狭帯域レーザ装置。 - 【請求項２】 レーザ媒質として少なくともフッ素を用
いる狭帯域レーザ装置であって、フッ素分子レーザまた
はエキシマレーザ光を発振させるための共振器、前記共
振器内にフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光を狭
帯域化するためのエタロンと前記エタロンを制御するた
めのエタロン制御機構を有し、前記共振器にフッ素原子
レーザ光とフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光を
同時発振させるための誘電体多層間鏡を用い、かつフッ
素原子レーザ光を参照光としてフッ素分子レーザまたは
エキシマレーザ光の絶対波長を測定し、設定波長からの
ずれを検出するための波長測定機構を備え、前記波長測
定機構の出力信号を前記エタロン制御機構に入力するよ
う接続したことを特徴とする狭帯域レーザ装置。 - 【請求項３】 レーザ媒質として少なくともフッ素を用
いる狭帯域レーザ装置であって、フッ素分子レーザまた
はエキシマレーザ光を発振させるための第１の共振器、
前記共振器内にフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ
光を狭帯域化するための分散素子と前記分散素子を制御
するための分散素子制御機構を有し、フッ素分子レーザ
またはエキシマレーザ光の光軸上にフッ素原子レーザ光
を発振させるための第２の共振器と前記分散素子により
分散されたフッ素原子レーザ光の位置を測定し分散素子
のずれを検出するための検出機構を備え、前記検出機構
の出力信号を前記分散素子制御機構に入力するよう接続
したことを特徴とする狭帯域レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25326691A JP2760181B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | 狭帯域レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25326691A JP2760181B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | 狭帯域レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0595154A true JPH0595154A (ja) | 1993-04-16 |
| JP2760181B2 JP2760181B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=17248892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25326691A Expired - Fee Related JP2760181B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | 狭帯域レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2760181B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001168421A (ja) * | 1999-12-07 | 2001-06-22 | Komatsu Ltd | 波長検出装置 |
| JP2003051634A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-21 | Ushio Inc | 放電励起型レーザ装置 |
| US6539037B1 (en) | 2000-08-01 | 2003-03-25 | Komatsu Ltd. | Laser apparatus |
-
1991
- 1991-10-01 JP JP25326691A patent/JP2760181B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001168421A (ja) * | 1999-12-07 | 2001-06-22 | Komatsu Ltd | 波長検出装置 |
| US6553042B2 (en) | 1999-12-07 | 2003-04-22 | Komatsu Ltd. | Laser apparatus for generating vacuum ultraviolet narrow-band laser beams |
| US6539037B1 (en) | 2000-08-01 | 2003-03-25 | Komatsu Ltd. | Laser apparatus |
| JP2003051634A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-21 | Ushio Inc | 放電励起型レーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2760181B2 (ja) | 1998-05-28 |
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