JPH059639U - 二重加熱恒温槽 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 熱風循環式恒温槽と非循環式恒温槽の欠点を
除いた二重加熱恒温槽を提供することを目的とする。 【構成】 外槽１と内槽２の間の空間１５にヒータ９を
設け、送風機１１で熱風を前記空間１５と前記内槽２の
内部に循環させると共に、前記内槽２の内部にホットプ
レート１４を設け、前記空間１５内のヒータ９と前記内
槽２内のホットプレート１４とで二重加熱するように構
成したものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は半導体デバイスの環境試験及びウェーハや液晶のガラス面等の電子部 品の乾燥、焼成等に使用する恒温槽に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、一般に使用されている恒温槽の一例は図２の断面図に示すような二重構 造のものがある。この恒温槽は熱風循環式で外槽１と内槽２とからなり、外槽１ と内槽２の間の空間１５に温度調節されるヒータ９を設け、この空間１５の上部 の一端に送風機１１が設けてあり、外部のモータ１０で駆動するように構成され ている。

【０００３】 上記送風機１１の横方向の外槽１と内槽２の間はダクト１３を構成している。 このダクト１３の前記送風機１１からの空気の送入口にはフィルター１２が設け てあり、下面の内槽２に接する面には複数の通風孔８が穿設して内槽２の内部に 送風可能に構成されている。

【０００４】 更に、内槽２の側面で前記送風機１１と反対側の側面２ａの下部には前記空間 １５に排気する排気孔７が穿設されている。

【０００５】 又、内槽２の内部には前記排気孔７より上の位置に受け台３が設けられており 、ガラス基板４等の被試験物を載置して前記送風機１１により前記空間１５及び ダクト１３を循環する熱風により加熱し一定温度に維持するように構成されてい る。

【０００６】 図３に示すものは他の形式の恒温槽で非循環式のものである。この恒温槽の内 部には温度調節されるホットプレート１４が設けられ、その上面にガラス基板４ 等の被試験物を載置してホットプレート１４からの輻射熱により加熱して一定温 度を維持するように構成されている。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上述の熱風循環式のものは、高温で使用する場合には風速を上げる必 要があり、ダクト１３の通風孔８からの熱風の流向や圧力を一定に保つことが難 しい。

【０００８】 又、熱風はクリーンを要求されるので、フィルター１２を通すため風量に制限 が生じ、ガラス基板４等の被試験物を所定の温度まで加熱するのに時間がかかり 過ぎる。

【０００９】 更に、ガラス基板４等の被試験物の面積が大きくなると、熱風による加熱では 中心部と周辺部とで温度差が生じてしまう。

【００１０】 又、ホットプレート１４による非循環式のものは、ホットプレート１４からの 高い輻射熱で直接ガラス基板４等の被試験物を急速に加熱するため、所定温度ま で加熱する時間は短縮出来るが、急速加熱するため加熱時にガラス基板４等の被 試験物に歪が発生し、ガラス基板４等の被試験物とホットプレート１４との隙間 が一定とならず、均一な温度分布を得ることが難しい。

【００１１】 更に、ガラス基板４等の被試験物を所定温度まで加熱するに当たって、ホット プレート１４の設定温度は熱損失分だけ高く設定する必要が有り、電気容量を大 きくする必要がある。

【００１２】 本考案は上述の問題を解決して、急速加熱と温度分布の安定した恒温槽を提供 することを課題とする。

【００１３】 上述の課題を解決するために、外槽１と内槽２よりなる恒温槽において、外槽 １と内槽２との間の空間１５に設けられたヒータ９と、このヒータ９により加熱 された前記空間１５内の空気を内槽２の上面から内部に下向きに送風する送風機 １１と、内槽２の内部にホットプレート１４とを設けたものである。

【００１４】

【実施例】

図１は本考案の二重加熱恒温槽の断面図である。構造的には上述の図２の熱風 循環式の恒温槽と殆ど同じであるが、内槽２の内部に被試験物等を載置する受け 台としてホットプレート１４を併用したものである。

【００１５】 このことにより、ヒータ９により加熱された空気を送風機１１により循環する 場合、ダクト１３の通風孔８から内槽２の内部に吹き出す熱風は層流状態を維持 出来る程度の流速とし、この結果、ガラス基板４等の被試験物を所定温度まで上 昇させる熱量の不足分はホットプレート１４から供給するように構成したもので ある。

【００１６】

【考案の効果】

上述のように、ガラス基板４等の被試験物の加熱は熱風とホットプレート１４ からの輻射熱の両方を利用するので、ガラス基板４等の被試験物の加熱が短時間 で安定した一定の温度分布状態で容易に実現することが出来る。

【００１７】 又、ヒータ９とホットプレート１４との温度調整は相互の熱の循環により、熱 損失量が減少され、ヒータ９とホットプレート１４のそれぞれが通電している時 間が短く効率が良くなるため、電気の消費量が節約される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の二重加熱恒温槽の断面図である。

【図２】従来の熱風循環式恒温槽の断面図である。

【図３】従来の非循環式恒温槽の断面図である。

【符号の説明】

１ 外槽 ２ 内槽 ４ ガラス基板 ７ 排気孔 ８ 通風孔 ９ ヒータ １１ 送風機 １２ フィルター １３ ダクト １４ ホットプレート １５ 空間

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 外槽と内槽よりなる恒温槽において、外
   槽と内槽との間の空間に設けられたヒータと、このヒー
   タにより加熱された前記空間内の空気を内槽の上面から
   内槽の内部に下向きに送風する送風機と、内槽の内部に
   ホットプレートを設け、熱風と輻射熱により被試験物を
   急速に乾燥及び焼成を行うことを特徴とする二重加熱恒
   温槽。