JPH0597462A - 光フアイバ母材の製造装置 - Google Patents
光フアイバ母材の製造装置Info
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- JPH0597462A JPH0597462A JP28403991A JP28403991A JPH0597462A JP H0597462 A JPH0597462 A JP H0597462A JP 28403991 A JP28403991 A JP 28403991A JP 28403991 A JP28403991 A JP 28403991A JP H0597462 A JPH0597462 A JP H0597462A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/54—Multiple burner arrangements combined with means for heating the deposit, e.g. non-deposition burner
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ガラス微粒子を出発基材上に堆積せしめて、
多孔質ガラス母材１を形成するデポジションバーナ２，
３，４を備えた光ファイバ母材の製造装置において、上
記多孔質ガラス母材表面のガラス微粒子堆積部分の温度
分布を均一化するための加熱用バーナ１１，１２，１３
を上記デポジションバーナの側方に配置した。 【効果】 複雑な形状の堆積面おいても温度分布の均一
化が適切に行なわれ、形成される光ファイバ母材は、全
体の粒子径および嵩密度が均一になる。このため、透明
ガラスとした後に割れる原因となるような、歪みが生じ
にくい。また、次の脱水工程において脱水が均一に行な
われるため、脱水後の特性の推定が容易である。また、
クラッド部分にフッ素などをドープするに際しては、均
一に取り込ませることができる。さらに、形成された光
ファイバ母材を使用して得た光ファイバは、母材のコア
部とクラッド部の境界部位に柔らかい部分がないため、
ステップ度の高い優秀なシングルモード光ファイバとな
りうる。
多孔質ガラス母材１を形成するデポジションバーナ２，
３，４を備えた光ファイバ母材の製造装置において、上
記多孔質ガラス母材表面のガラス微粒子堆積部分の温度
分布を均一化するための加熱用バーナ１１，１２，１３
を上記デポジションバーナの側方に配置した。 【効果】 複雑な形状の堆積面おいても温度分布の均一
化が適切に行なわれ、形成される光ファイバ母材は、全
体の粒子径および嵩密度が均一になる。このため、透明
ガラスとした後に割れる原因となるような、歪みが生じ
にくい。また、次の脱水工程において脱水が均一に行な
われるため、脱水後の特性の推定が容易である。また、
クラッド部分にフッ素などをドープするに際しては、均
一に取り込ませることができる。さらに、形成された光
ファイバ母材を使用して得た光ファイバは、母材のコア
部とクラッド部の境界部位に柔らかい部分がないため、
ステップ度の高い優秀なシングルモード光ファイバとな
りうる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバ母材の製造装
置に関し、ガラス微粒子を堆積させるデポジションバー
ナの側方に、ガラス微粒子堆積部分の温度分布の均一化
のための加熱用バーナを配置したことにより、嵩密度が
均一である光ファイバ母材を製造できるようにしたもの
である。
置に関し、ガラス微粒子を堆積させるデポジションバー
ナの側方に、ガラス微粒子堆積部分の温度分布の均一化
のための加熱用バーナを配置したことにより、嵩密度が
均一である光ファイバ母材を製造できるようにしたもの
である。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ母材を製造する方法として、
従来よりＶＡＤ法が広く使用されている。図２は従来
の、ＶＡＤ法によって光ファイバ母材を製造するため
の、製造装置の一例を示すものである。図中符号１は出
発基材から下方に形成された、多孔質ガラスの光ファイ
バ母材である。この多孔質ガラス母材１のコア部分１ａ
にガラス微粒子を堆積させるコア用デポジションバーナ
２と、多孔質ガラス母材１のクラッド部分１ｂにガラス
微粒子を堆積させる第一のクラッド用デポジションバー
ナ３と、第二のクラッド用デポジションバーナ４とが設
けられている。上記コア用デポジションバーナ２は、形
成される多孔質ガラス母材１のコア部分１ａに向けて火
炎が放射されるように、多孔質ガラス母材１のやや斜め
下方に設けられている。また、第一および第二のクラッ
ド用デポジションバーナ３，４は、それぞれ、形成され
る多孔質ガラス母材１のクラッド部分１ｂに向けて火炎
が放射されるように、多孔質ガラス母材１の側方に設け
られている。また、第一のクラッド用デポジションバー
ナ３は、第二のクラッド用デポジションバーナ４よりコ
ア用デポジションバーナ２に近い位置に置かれ、クラッ
ド部分１ｂのうちコア部分１ａに近接する部分を形成す
るようになっており、第二のクラッド用デポジションバ
ーナ４は、第一のクラッド用デポジションバーナ３の上
方に置かれ、クラッド部分１ｂのうち、その外側部分を
形成するようになっている。また、図中符号５で示した
ものは、これらデポジションバーナ２，３，４から発生
する排出ガスを排気するための排気孔である。
従来よりＶＡＤ法が広く使用されている。図２は従来
の、ＶＡＤ法によって光ファイバ母材を製造するため
の、製造装置の一例を示すものである。図中符号１は出
発基材から下方に形成された、多孔質ガラスの光ファイ
バ母材である。この多孔質ガラス母材１のコア部分１ａ
にガラス微粒子を堆積させるコア用デポジションバーナ
２と、多孔質ガラス母材１のクラッド部分１ｂにガラス
微粒子を堆積させる第一のクラッド用デポジションバー
ナ３と、第二のクラッド用デポジションバーナ４とが設
けられている。上記コア用デポジションバーナ２は、形
成される多孔質ガラス母材１のコア部分１ａに向けて火
炎が放射されるように、多孔質ガラス母材１のやや斜め
下方に設けられている。また、第一および第二のクラッ
ド用デポジションバーナ３，４は、それぞれ、形成され
る多孔質ガラス母材１のクラッド部分１ｂに向けて火炎
が放射されるように、多孔質ガラス母材１の側方に設け
られている。また、第一のクラッド用デポジションバー
ナ３は、第二のクラッド用デポジションバーナ４よりコ
ア用デポジションバーナ２に近い位置に置かれ、クラッ
ド部分１ｂのうちコア部分１ａに近接する部分を形成す
るようになっており、第二のクラッド用デポジションバ
ーナ４は、第一のクラッド用デポジションバーナ３の上
方に置かれ、クラッド部分１ｂのうち、その外側部分を
形成するようになっている。また、図中符号５で示した
ものは、これらデポジションバーナ２，３，４から発生
する排出ガスを排気するための排気孔である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような製造装置で
は、多孔質ガラス部材１のガラス微粒子の堆積部分にお
ける温度分布の制御をも、三本のデポジションバーナに
よって行なっている。このため、ガラス微粒子が堆積す
る部分の温度は、デポジション用バーナの火力が集中す
る部分が高く、火力の集中部から遠ざかるにしたがって
低くなる。そして、ガラス微粒子が低い温度で堆積する
部分６は、粒子径が大きくなり、嵩密度が低くなる。一
方、ガラス微粒子が高い温度で堆積する部分は、粒子径
が小さくなり、嵩密度が高くなる。そのため、低い温度
で堆積した部分は柔らかく、高い温度で堆積した部分は
堅くなる。ゆえに、このような製造装置により形成され
た、多孔質光ファイバ母材１の輪切り状の断面は、堅い
部分と柔らかい部分７が交互に同心円を描くような構造
となる。そのため、形成された多孔質光ファイバ母材１
を、脱水を行なうために塩素ガス雰囲気に置くと、堅い
層と柔らかい層とで、ガスの入り方に違いが生じ、層状
のムラができる。また、クラッドの屈折率を下げるため
にフッ素などのドーパントをドープする場合において
は、堅い層と柔らかい層とで、ドーパントの取り込まれ
方に違いが生じ、層状のムラができる。これらの層状の
ムラは、光ファイバ母材の特性の推定を困難にし、これ
を使用して得られる光ファイバの特性に悪影響を与え
る。
は、多孔質ガラス部材１のガラス微粒子の堆積部分にお
ける温度分布の制御をも、三本のデポジションバーナに
よって行なっている。このため、ガラス微粒子が堆積す
る部分の温度は、デポジション用バーナの火力が集中す
る部分が高く、火力の集中部から遠ざかるにしたがって
低くなる。そして、ガラス微粒子が低い温度で堆積する
部分６は、粒子径が大きくなり、嵩密度が低くなる。一
方、ガラス微粒子が高い温度で堆積する部分は、粒子径
が小さくなり、嵩密度が高くなる。そのため、低い温度
で堆積した部分は柔らかく、高い温度で堆積した部分は
堅くなる。ゆえに、このような製造装置により形成され
た、多孔質光ファイバ母材１の輪切り状の断面は、堅い
部分と柔らかい部分７が交互に同心円を描くような構造
となる。そのため、形成された多孔質光ファイバ母材１
を、脱水を行なうために塩素ガス雰囲気に置くと、堅い
層と柔らかい層とで、ガスの入り方に違いが生じ、層状
のムラができる。また、クラッドの屈折率を下げるため
にフッ素などのドーパントをドープする場合において
は、堅い層と柔らかい層とで、ドーパントの取り込まれ
方に違いが生じ、層状のムラができる。これらの層状の
ムラは、光ファイバ母材の特性の推定を困難にし、これ
を使用して得られる光ファイバの特性に悪影響を与え
る。
【０００４】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、ガラス微粒子堆積時の温度分布のムラを解消し、均
一な組成の多孔質光ファイバ母材を得ることができる光
ファイバ母材の製造装置の提供を目的とする。
で、ガラス微粒子堆積時の温度分布のムラを解消し、均
一な組成の多孔質光ファイバ母材を得ることができる光
ファイバ母材の製造装置の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】ガラス微粒子を出発基材
上に堆積せしめて、多孔質ガラス母材を形成するデポジ
ションバーナを備えた光ファイバ母材の製造装置におい
て、上記多孔質ガラス母材表面のガラス微粒子堆積部分
の温度分布を均一化するための加熱用バーナを上記デポ
ジションバーナの側方に配置したことを上記課題の解決
手段とした。
上に堆積せしめて、多孔質ガラス母材を形成するデポジ
ションバーナを備えた光ファイバ母材の製造装置におい
て、上記多孔質ガラス母材表面のガラス微粒子堆積部分
の温度分布を均一化するための加熱用バーナを上記デポ
ジションバーナの側方に配置したことを上記課題の解決
手段とした。
【０００６】
【作用】本発明の光ファイバ母材の製造装置は、ガラス
微粒子の多孔質ガラス母材への堆積部分における温度分
布の制御を、デポジションバーナと加熱用バーナにより
行なうことにより、ガラス微粒子の堆積に最適でかつ均
一な温度で光ファイバ母材の形成が行なえる。
微粒子の多孔質ガラス母材への堆積部分における温度分
布の制御を、デポジションバーナと加熱用バーナにより
行なうことにより、ガラス微粒子の堆積に最適でかつ均
一な温度で光ファイバ母材の形成が行なえる。
【０００７】以下、図を参照して詳しく説明する。図１
は、本発明の製造装置の一例を示すもので、この例の装
置が図２に示した従来の製造装置と異るところは、コア
部加熱用バーナ１１、第一のクラッド部加熱用バーナ１
２、第二のクラッド部加熱用バーナ１３が設けられてい
る点にある。コア部加熱用バーナ１１は、コア用デポジ
ションバーナ２と第一のクラッド用デポジションバーナ
３からほぼ等間隔の位置に設けられ、コア用デポジショ
ンバーナ２よりやや下向きに、多孔質ガラス母材１から
同じ程度の距離となるように設けられている。第一のク
ラッド部加熱用バーナ１２は、第一のクラッド用デポジ
ションバーナ３と第二のクラッド用デポジションバーナ
４からほぼ等間隔の位置に設けられ、その軸線を第一の
クラッド用デポジションバーナ３の軸線と平行として、
多孔質ガラス母材１から同じ程度の距離となるように、
設けられている。第二のクラッド部加熱用バーナ１３
は、第二のクラッド用デポジションバーナ４の上方に、
その軸線を第二のクラッド用デポジションバーナ４の軸
線と平行として、多孔質ガラス母材１から同じ程度の距
離となるように、設けられている。これらすべての加熱
用バーナはすべて同一平面上に位置するように配置され
ている。加熱用バーナ１１，１２，１３には、燃料の水
素、酸素が供給され、ガラス原料ガスは原則として供給
されない。これらの加熱用バーナ１１，１２，１３は、
デポジションバーナ２，３，４の火炎の中心から離れた
温度の低い部分を加熱し、堆積がなされるコア部分１ａ
及びクラッド部分１ｂの表面のガラス微粒子堆積部分
を、均一な温度にするためのものである。具体的には、
多孔質ガラス母材１の各部位の表面温度を赤外温度計な
どによって測定し、この表面温度データに基づいて、３
本の加熱用バーナ１１，１２，１３の火力、多孔質ガラ
ス母材１からの距離等を制御し、多孔質ガラス母材１の
表面のガラス微粒子堆積部分の温度を、堆積するガラス
微粒子の嵩密度が等しくなるように最適な温度に均一に
保つようにする。
は、本発明の製造装置の一例を示すもので、この例の装
置が図２に示した従来の製造装置と異るところは、コア
部加熱用バーナ１１、第一のクラッド部加熱用バーナ１
２、第二のクラッド部加熱用バーナ１３が設けられてい
る点にある。コア部加熱用バーナ１１は、コア用デポジ
ションバーナ２と第一のクラッド用デポジションバーナ
３からほぼ等間隔の位置に設けられ、コア用デポジショ
ンバーナ２よりやや下向きに、多孔質ガラス母材１から
同じ程度の距離となるように設けられている。第一のク
ラッド部加熱用バーナ１２は、第一のクラッド用デポジ
ションバーナ３と第二のクラッド用デポジションバーナ
４からほぼ等間隔の位置に設けられ、その軸線を第一の
クラッド用デポジションバーナ３の軸線と平行として、
多孔質ガラス母材１から同じ程度の距離となるように、
設けられている。第二のクラッド部加熱用バーナ１３
は、第二のクラッド用デポジションバーナ４の上方に、
その軸線を第二のクラッド用デポジションバーナ４の軸
線と平行として、多孔質ガラス母材１から同じ程度の距
離となるように、設けられている。これらすべての加熱
用バーナはすべて同一平面上に位置するように配置され
ている。加熱用バーナ１１，１２，１３には、燃料の水
素、酸素が供給され、ガラス原料ガスは原則として供給
されない。これらの加熱用バーナ１１，１２，１３は、
デポジションバーナ２，３，４の火炎の中心から離れた
温度の低い部分を加熱し、堆積がなされるコア部分１ａ
及びクラッド部分１ｂの表面のガラス微粒子堆積部分
を、均一な温度にするためのものである。具体的には、
多孔質ガラス母材１の各部位の表面温度を赤外温度計な
どによって測定し、この表面温度データに基づいて、３
本の加熱用バーナ１１，１２，１３の火力、多孔質ガラ
ス母材１からの距離等を制御し、多孔質ガラス母材１の
表面のガラス微粒子堆積部分の温度を、堆積するガラス
微粒子の嵩密度が等しくなるように最適な温度に均一に
保つようにする。
【０００８】また、この発明の製造装置においては、上
述の例に限られず、クラッド部を加熱する加熱用バーナ
を１本としたり、あるいは１本のデポジションバーナの
上方に２本の加熱用バーナをその左右側にそれぞれ配置
したりすることもできる。
述の例に限られず、クラッド部を加熱する加熱用バーナ
を１本としたり、あるいは１本のデポジションバーナの
上方に２本の加熱用バーナをその左右側にそれぞれ配置
したりすることもできる。
【発明の効果】本発明の光ファイバ母材の製造装置は、
ガラス微粒子を出発基材上に堆積せしめて、多孔質ガラ
ス母材を形成するデポジションバーナを備えた光ファイ
バ母材の製造装置において、上記多孔質ガラス母材表面
のガラス微粒子堆積部分の温度分布を均一化するための
加熱用バーナを上記デポジションバーナの側方に配置し
たものであるので、複雑な形状の堆積面においても温度
分布の均一化が適切に行なわれ、形成される光ファイバ
母材は、全体の粒子径および嵩密度が均一になる。この
ため、透明ガラスとした後に割れる原因となるような、
歪みが生じにくい。また、次の脱水工程において脱水が
均一に行なわれるため、脱水後の特性の推定が容易であ
る。また、クラッド部分にフッ素などをドープするに際
しては、均一に取り込ませることができる。さらに、本
発明により形成された光ファイバ母材を使用して得た光
ファイバは、母材のコア部とクラッド部の境界部位に柔
らかい堆積部分がないため、ステップ度の高い優秀なシ
ングルモード光ファイバとなりうる。
ガラス微粒子を出発基材上に堆積せしめて、多孔質ガラ
ス母材を形成するデポジションバーナを備えた光ファイ
バ母材の製造装置において、上記多孔質ガラス母材表面
のガラス微粒子堆積部分の温度分布を均一化するための
加熱用バーナを上記デポジションバーナの側方に配置し
たものであるので、複雑な形状の堆積面においても温度
分布の均一化が適切に行なわれ、形成される光ファイバ
母材は、全体の粒子径および嵩密度が均一になる。この
ため、透明ガラスとした後に割れる原因となるような、
歪みが生じにくい。また、次の脱水工程において脱水が
均一に行なわれるため、脱水後の特性の推定が容易であ
る。また、クラッド部分にフッ素などをドープするに際
しては、均一に取り込ませることができる。さらに、本
発明により形成された光ファイバ母材を使用して得た光
ファイバは、母材のコア部とクラッド部の境界部位に柔
らかい堆積部分がないため、ステップ度の高い優秀なシ
ングルモード光ファイバとなりうる。
【図１】 本発明の光ファイバ母材の製造装置の一例を
示した概略図である。
示した概略図である。
【図２】 従来の製造装置の一例を示した概略図であ
る。
る。
１…多孔質ガラス母材、１ａ…コア部分、１ｂ…クラッ
ド部分、２…コア用デポジションバーナ、３…第一のク
ラッド用デポジションバーナ、４…第二のクラッド用デ
ポジションバーナ、５…排気孔、６…低い温度で堆積す
る部分、７…柔らかい部分、１１…第一の加熱用バー
ナ、１２…第二の加熱用バーナ、１３…第三の加熱用バ
ーナ
ド部分、２…コア用デポジションバーナ、３…第一のク
ラッド用デポジションバーナ、４…第二のクラッド用デ
ポジションバーナ、５…排気孔、６…低い温度で堆積す
る部分、７…柔らかい部分、１１…第一の加熱用バー
ナ、１２…第二の加熱用バーナ、１３…第三の加熱用バ
ーナ
フロントページの続き (72)発明者 高橋 浩一 千葉県佐倉市六崎1440番地 藤倉電線株式 会社佐倉工場内
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラス微粒子を出発基材上に堆積せしめ
て、多孔質ガラス母材を形成するデポジションバーナを
備えた光ファイバ母材の製造装置において、上記多孔質
ガラス母材表面のガラス微粒子堆積部分の温度分布を均
一化するための加熱用バーナを上記デポジションバーナ
の側方に配置したことを特徴とする光ファイバ母材の製
造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28403991A JPH0597462A (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 光フアイバ母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28403991A JPH0597462A (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 光フアイバ母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0597462A true JPH0597462A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17673510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28403991A Withdrawn JPH0597462A (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 光フアイバ母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0597462A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008222451A (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-25 | Fujikura Ltd | 光ファイバ用石英ガラス多孔質体の製造方法 |
| JP2024030361A (ja) * | 2022-08-24 | 2024-03-07 | 株式会社フジクラ | ガラス母材の製造方法 |
-
1991
- 1991-10-04 JP JP28403991A patent/JPH0597462A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008222451A (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-25 | Fujikura Ltd | 光ファイバ用石英ガラス多孔質体の製造方法 |
| JP2024030361A (ja) * | 2022-08-24 | 2024-03-07 | 株式会社フジクラ | ガラス母材の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990107 |