JPH0599181A - ドライ真空ポンプの潤滑油自動回収装置 - Google Patents
ドライ真空ポンプの潤滑油自動回収装置Info
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- JPH0599181A JPH0599181A JP25498991A JP25498991A JPH0599181A JP H0599181 A JPH0599181 A JP H0599181A JP 25498991 A JP25498991 A JP 25498991A JP 25498991 A JP25498991 A JP 25498991A JP H0599181 A JPH0599181 A JP H0599181A
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- oil
- separator
- oil mist
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- pipe
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
- F04C29/026—Lubricant separation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ドライ真空ポンプの潤滑油自動回収装置の、ポ
ンプの軸封内にパージされるガス内に混入し排気される
オイルミストの回収を完全に行ない潤滑油の補給時間を
大幅に延ばす。 【構成】パージガス排気配管１８に、前段，後段のオイ
ルミスト回収セパレータ１９，２０を直列に取り付け、
前段のセパレータ１９は後段のセパレータ２０より取付
け位置が低くなるように段差を付けた。そして前段のセ
パレータ１９の底部と油室１４の間に油回収配管２３で
接続した。また後段のセパレータ２０の底部と給油ポン
プ５の吸込口側配管１６の間を電磁弁２４，逆止弁２５
および油回収配管２６を介して接続した。
ンプの軸封内にパージされるガス内に混入し排気される
オイルミストの回収を完全に行ない潤滑油の補給時間を
大幅に延ばす。 【構成】パージガス排気配管１８に、前段，後段のオイ
ルミスト回収セパレータ１９，２０を直列に取り付け、
前段のセパレータ１９は後段のセパレータ２０より取付
け位置が低くなるように段差を付けた。そして前段のセ
パレータ１９の底部と油室１４の間に油回収配管２３で
接続した。また後段のセパレータ２０の底部と給油ポン
プ５の吸込口側配管１６の間を電磁弁２４，逆止弁２５
および油回収配管２６を介して接続した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置等に用い
られるドライ真空ポンプの潤滑油自動回収装置に関す
る。
られるドライ真空ポンプの潤滑油自動回収装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】中低真空領域で用いるドライ真空ポンプ
はここ数年で開発，発売されたものが多く特開昭62−16
8992号公報に記載のように機械室へのガスパージ方法は
採用されているもののそのオイルミストの回収などにつ
いては論じられていない。
はここ数年で開発，発売されたものが多く特開昭62−16
8992号公報に記載のように機械室へのガスパージ方法は
採用されているもののそのオイルミストの回収などにつ
いては論じられていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は排気さ
れるパージガス中に潤滑油が混入し一緒に排出されるた
め、潤滑油が減少し、一定時間経過すると、潤滑油を補
給する必要があった。潤滑油の回収補給作業は作業者の
手を汚したり、真空ポンプ周辺を油で汚すなどクリーン
ルーム内を汚染する原因となっていた。また、潤滑油を
補給するためには、真空ポンプを停止する必要があり装
置の稼動効率の低下につながるため、生産性の低下の要
因ともなっていた。
れるパージガス中に潤滑油が混入し一緒に排出されるた
め、潤滑油が減少し、一定時間経過すると、潤滑油を補
給する必要があった。潤滑油の回収補給作業は作業者の
手を汚したり、真空ポンプ周辺を油で汚すなどクリーン
ルーム内を汚染する原因となっていた。また、潤滑油を
補給するためには、真空ポンプを停止する必要があり装
置の稼動効率の低下につながるため、生産性の低下の要
因ともなっていた。
【０００４】本発明の目的はパージガス中に混入して一
緒に排出される潤滑油を自動回収し、さらに回収した潤
滑油を自動的に真空ポンプ本体側に供給可能な潤滑油自
動回収装置を提供することにある。
緒に排出される潤滑油を自動回収し、さらに回収した潤
滑油を自動的に真空ポンプ本体側に供給可能な潤滑油自
動回収装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成させるた
め、パージガス排気配管に二個のオイルミスト回収セパ
レータを直列に設け、前段のオイルミスト回収セパレー
タは後段のオイルミスト回収セパレータより取付け位置
が低くなるように段差をつけて取付けた。
め、パージガス排気配管に二個のオイルミスト回収セパ
レータを直列に設け、前段のオイルミスト回収セパレー
タは後段のオイルミスト回収セパレータより取付け位置
が低くなるように段差をつけて取付けた。
【０００６】そして前段のオイルミスト回収セパレータ
の底部の油溜りと油室の間に配管を接続した。また後段
のオイルミスト回収セパレータの底部の油溜りと給油ポ
ンプの吸込口側との間を電磁弁と逆止弁を介し配管で接
続した。
の底部の油溜りと油室の間に配管を接続した。また後段
のオイルミスト回収セパレータの底部の油溜りと給油ポ
ンプの吸込口側との間を電磁弁と逆止弁を介し配管で接
続した。
【０００７】そして前段のオイルミスト回収セパレータ
の構造を円筒形状とし、吸気側配管の先端をこの円筒容
器内の底面近くに、また、排気側配管の先端を円筒容器
内の上面近くに設けるように構成した。
の構造を円筒形状とし、吸気側配管の先端をこの円筒容
器内の底面近くに、また、排気側配管の先端を円筒容器
内の上面近くに設けるように構成した。
【０００８】
【作用】油室からパージされるガス中にミスト状で混入
している油は、前段のオイルミスト回収セパレータ内に
入るまでの吸気側配管内で増速されオイルミスト回収セ
パレータの底面に衝突するとともにオイルミスト回収セ
パレータ内で急激に減速されることにより大半は油滴と
して回収される。そして油滴として回収された油は前段
のオイルミスト回収セパレータが後段のオイルミスト回
収セパレータより低い位置にあるためパージガスにより
持去られることがほとんどなく最終的には自重により前
段のオイルミスト回収セパレータの底部に溜り、セパレ
ータ底部より油室に接続されている配管を通り油室内に
回収される。
している油は、前段のオイルミスト回収セパレータ内に
入るまでの吸気側配管内で増速されオイルミスト回収セ
パレータの底面に衝突するとともにオイルミスト回収セ
パレータ内で急激に減速されることにより大半は油滴と
して回収される。そして油滴として回収された油は前段
のオイルミスト回収セパレータが後段のオイルミスト回
収セパレータより低い位置にあるためパージガスにより
持去られることがほとんどなく最終的には自重により前
段のオイルミスト回収セパレータの底部に溜り、セパレ
ータ底部より油室に接続されている配管を通り油室内に
回収される。
【０００９】一方、前段のオイルミスト回収セパレータ
で回収できなかった少量の油は後段のオイルミスト回収
セパレータ内に内蔵されているフィルタにより捕捉され
る。フィルタにより捕捉された油は自重によりオイルミ
スト回収セパレータ底部に溜る。そして、オイルミスト
回収セパレータ底部に溜った油は給油ポンプの吸込口と
の間に設置された電磁弁を間欠的に数秒間開くことによ
りオイルミスト回収セパレータ内の油が圧力差により給
油ポンプ内にもどるように作用する。
で回収できなかった少量の油は後段のオイルミスト回収
セパレータ内に内蔵されているフィルタにより捕捉され
る。フィルタにより捕捉された油は自重によりオイルミ
スト回収セパレータ底部に溜る。そして、オイルミスト
回収セパレータ底部に溜った油は給油ポンプの吸込口と
の間に設置された電磁弁を間欠的に数秒間開くことによ
りオイルミスト回収セパレータ内の油が圧力差により給
油ポンプ内にもどるように作用する。
【００１０】尚、電磁弁の制御は真空ポンプの本体の始
動盤であらかじめ開閉時間を設定し行なっている。本発
明によれば、油室内の油の消費がほとんどないので結果
として油の補給を必要としないので長時間のメンテナン
スフリー運転が可能となる。
動盤であらかじめ開閉時間を設定し行なっている。本発
明によれば、油室内の油の消費がほとんどないので結果
として油の補給を必要としないので長時間のメンテナン
スフリー運転が可能となる。
【００１１】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図１により説明す
る。図１において、２はロータ、１は雄ロータと雌ロー
タを収納するケーシングで、ロータは吐出側軸受３と吸
込側軸受４により回転支持されている。両軸受は油によ
り潤滑されており、吐出側軸受３は給油ポンプ５により
強制給油、吸込側軸受４はスリンガ６によりはねかけ給
油される。７は吐出側軸封で強制給油される吐出側軸受
３の潤滑油が作動室（ロータ室）内に流入しないよう軸
封の中間にパージガス供給配管８を設け、不活性なガス
をパージしている。９は吸込側軸封であるが吸込側軸受
４への給油がはねかけ給油のため軸封にはガスパージは
行なっていない。１０はギヤケーシングでモータ１１の
軸端に直結された増速ギヤ１２とロータ軸に直結された
タイミングギヤ１３より構成される増速機構を収納して
いる。ギヤケーシング１０の下部には増速ギヤ１２，タ
イミングギヤ１３および吐出側軸受３を潤滑するための
油室１４が設けられ給油ポンプ５により給油配管１５，
１６および１７を介して各部に給油される。ギヤケーシ
ング１０には、軸封に供給されたパージガスの一部が流
れ込んでくるため、そのパージガスを排気するためのパ
ージガス排気配管１８が設けてある。このパージガス排
気配管１８には真空ポンプが運転されると給油ポンプ５
より吐出側軸受３，増速ギヤ１２およびタイミングギヤ
１３に給油された油がかきまわされミスト状になりパー
ジガスとともに排気されるが、従来技術ではこのミスト
状の油を回収せず機外に排出してしまうため頻繁に給油
を行なわなければならないという問題があった。
る。図１において、２はロータ、１は雄ロータと雌ロー
タを収納するケーシングで、ロータは吐出側軸受３と吸
込側軸受４により回転支持されている。両軸受は油によ
り潤滑されており、吐出側軸受３は給油ポンプ５により
強制給油、吸込側軸受４はスリンガ６によりはねかけ給
油される。７は吐出側軸封で強制給油される吐出側軸受
３の潤滑油が作動室（ロータ室）内に流入しないよう軸
封の中間にパージガス供給配管８を設け、不活性なガス
をパージしている。９は吸込側軸封であるが吸込側軸受
４への給油がはねかけ給油のため軸封にはガスパージは
行なっていない。１０はギヤケーシングでモータ１１の
軸端に直結された増速ギヤ１２とロータ軸に直結された
タイミングギヤ１３より構成される増速機構を収納して
いる。ギヤケーシング１０の下部には増速ギヤ１２，タ
イミングギヤ１３および吐出側軸受３を潤滑するための
油室１４が設けられ給油ポンプ５により給油配管１５，
１６および１７を介して各部に給油される。ギヤケーシ
ング１０には、軸封に供給されたパージガスの一部が流
れ込んでくるため、そのパージガスを排気するためのパ
ージガス排気配管１８が設けてある。このパージガス排
気配管１８には真空ポンプが運転されると給油ポンプ５
より吐出側軸受３，増速ギヤ１２およびタイミングギヤ
１３に給油された油がかきまわされミスト状になりパー
ジガスとともに排気されるが、従来技術ではこのミスト
状の油を回収せず機外に排出してしまうため頻繁に給油
を行なわなければならないという問題があった。
【００１２】このため本発明ではパージガス排気配管１
８の系に二個のオイルミスト回収セパレータを直列に設
け、前段のオイルミスト回収セパレータ１９は後段のオ
イルミスト回収セパレータ２０より取付け位置が低くな
るよう段差をつけ取付けてある。これは前段オイルミス
ト回収セパレータ１９で回収した油滴がパージガスと一
緒に排出されにくいよう考慮したものである。前段のオ
イルミスト回収セパレータ１９は円筒形状をした本体２
１内にパージガス排気配管１８を導き、パージガス排気
配管１８の先端を本体２１の底面近くに、またもう一方
のパージガス排気配管２２の先端は本体２１の上面近く
に設け、本体２１の底面と油室１４とを油回収配管２３
で接続する。前段のオイルミスト回収セパレータ１９で
回収され底面に溜った油は油回収配管２３を介して油室
１４に自動的に回収される。
８の系に二個のオイルミスト回収セパレータを直列に設
け、前段のオイルミスト回収セパレータ１９は後段のオ
イルミスト回収セパレータ２０より取付け位置が低くな
るよう段差をつけ取付けてある。これは前段オイルミス
ト回収セパレータ１９で回収した油滴がパージガスと一
緒に排出されにくいよう考慮したものである。前段のオ
イルミスト回収セパレータ１９は円筒形状をした本体２
１内にパージガス排気配管１８を導き、パージガス排気
配管１８の先端を本体２１の底面近くに、またもう一方
のパージガス排気配管２２の先端は本体２１の上面近く
に設け、本体２１の底面と油室１４とを油回収配管２３
で接続する。前段のオイルミスト回収セパレータ１９で
回収され底面に溜った油は油回収配管２３を介して油室
１４に自動的に回収される。
【００１３】一方、後段のオイルミスト回収セパレータ
２０にはセパレータ内にオイルミストを捕捉するための
フィルタが内蔵されており、このフィルタにより前段の
オイルミスト回収セパレータ１９で回収できなかった少
量のオイルミストを捕捉し、後段のオイルミスト回収セ
パレータ２０の底部に溜めこむ、後段のオイルミスト回
収セパレータ２０の底部には電磁弁２４，逆止弁２５お
よび油回収配管２６を介し給油ポンプ５の吸込側の給油
配管１６に接続されている。この構成により、後段のオ
イルミスト回収セパレータ２０の底部に溜めこまれた油
は電磁弁２４を間欠的に数秒間開くことにより、給油ポ
ンプ５の吸込圧力による圧力差により給油ポンプ５に吸
込まれ、結果的に油の回収が行なわれることになる。
尚、逆止弁２５はなんらかの原因で後段のオイルミスト
回収セパレータ２０内の圧力より給油ポンプ５の吸込側
圧力が高くなった場合、油の逆流を防ぐために設けてあ
るものである。
２０にはセパレータ内にオイルミストを捕捉するための
フィルタが内蔵されており、このフィルタにより前段の
オイルミスト回収セパレータ１９で回収できなかった少
量のオイルミストを捕捉し、後段のオイルミスト回収セ
パレータ２０の底部に溜めこむ、後段のオイルミスト回
収セパレータ２０の底部には電磁弁２４，逆止弁２５お
よび油回収配管２６を介し給油ポンプ５の吸込側の給油
配管１６に接続されている。この構成により、後段のオ
イルミスト回収セパレータ２０の底部に溜めこまれた油
は電磁弁２４を間欠的に数秒間開くことにより、給油ポ
ンプ５の吸込圧力による圧力差により給油ポンプ５に吸
込まれ、結果的に油の回収が行なわれることになる。
尚、逆止弁２５はなんらかの原因で後段のオイルミスト
回収セパレータ２０内の圧力より給油ポンプ５の吸込側
圧力が高くなった場合、油の逆流を防ぐために設けてあ
るものである。
【００１４】本実施例によればパージガス内に混入して
いるほとんどのオイルミストを前段および後段のオイル
ミスト回収セパレータで回収することができるので、運
転中の真空ポンプを止めることなくまた油にさわること
なく長期間のメンテナンスフリーな運転が可能となり、
使い勝手上多大な効果が得られる。
いるほとんどのオイルミストを前段および後段のオイル
ミスト回収セパレータで回収することができるので、運
転中の真空ポンプを止めることなくまた油にさわること
なく長期間のメンテナンスフリーな運転が可能となり、
使い勝手上多大な効果が得られる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば長期間の真空ポンプ油の
無補給運ができるので使い勝手が格段に向上し、わずら
わしい給油や排油作業からの解放が図れ、稼動効率の向
上やクリーンルーム内の環境保全に多大な効果が得られ
る。
無補給運ができるので使い勝手が格段に向上し、わずら
わしい給油や排油作業からの解放が図れ、稼動効率の向
上やクリーンルーム内の環境保全に多大な効果が得られ
る。
【図１】本発明の一実施例を示すスクリュー式ドライ真
空ポンプの縦断面図。
空ポンプの縦断面図。
５…給油ポンプ、１４…油室、１８…パージガス排気配
管、１９…前段のオイルミスト回収セパレータ、２０…
後段のオイルミスト回収セパレータ、２２…パージガス
排気配管、２３…油回収配管、２４…電磁弁、２５…逆
止弁、２６…油回収配管。
管、１９…前段のオイルミスト回収セパレータ、２０…
後段のオイルミスト回収セパレータ、２２…パージガス
排気配管、２３…油回収配管、２４…電磁弁、２５…逆
止弁、２６…油回収配管。
Claims (3)
- 【請求項１】油室と作動室の軸封にガスパージ方式を用
いたドライ真空ポンプにおいて、前記油室からのパージ
ガス排気配管に二個のオイルミスト回収セパレータを直
列に設け、前段の前記オイルミスト回収セパレータは後
段の前記オイルミスト回収セパレータより取付け位置が
低くなるように段差をつけて取付けたことを特徴とする
ドライ真空ポンプの潤滑油自動回収装置。 - 【請求項２】請求項１において、前段の前記オイルミス
ト回収セパレータの底部の油溜りと前記油室の間を配管
で接続し、後段の前記オイルミスト回収セパレータの底
部の油溜と給油ポンプの吸込口との間を電磁弁と逆止弁
を介して配管で接続したドライ真空ポンプの潤滑油自動
回収装置。 - 【請求項３】請求項１において、前記前段の前記オイル
ミスト回収セパレータの構造を円筒形状とし、吸気側配
管の先端をこの円筒容器内の底面近くに、また排気側配
管の先端を円筒容器内の上面近くにそれぞれ設けるよう
に構成したオイルミスト回収セパレータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25498991A JPH0599181A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | ドライ真空ポンプの潤滑油自動回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25498991A JPH0599181A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | ドライ真空ポンプの潤滑油自動回収装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0599181A true JPH0599181A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17272664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25498991A Pending JPH0599181A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | ドライ真空ポンプの潤滑油自動回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0599181A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6471497B2 (en) | 2000-04-26 | 2002-10-29 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho | Gas supplying device for vacuum pump |
| KR20030047005A (ko) * | 2001-12-07 | 2003-06-18 | 삼성전자주식회사 | 개선된 배기구조를 갖는 반도체제조설비용 진공설비 |
| JP2023517650A (ja) * | 2020-03-10 | 2023-04-26 | アトラス コプコ エアーパワー，ナームローゼ フェンノートシャップ | 潤滑オイル回収システム |
| CN116059746A (zh) * | 2022-12-31 | 2023-05-05 | 重庆市三峡水务渝北排水有限责任公司 | 一种适用于设备油室排气过滤的排气注油杯 |
-
1991
- 1991-10-02 JP JP25498991A patent/JPH0599181A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6471497B2 (en) | 2000-04-26 | 2002-10-29 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho | Gas supplying device for vacuum pump |
| KR20030047005A (ko) * | 2001-12-07 | 2003-06-18 | 삼성전자주식회사 | 개선된 배기구조를 갖는 반도체제조설비용 진공설비 |
| JP2023517650A (ja) * | 2020-03-10 | 2023-04-26 | アトラス コプコ エアーパワー，ナームローゼ フェンノートシャップ | 潤滑オイル回収システム |
| CN116059746A (zh) * | 2022-12-31 | 2023-05-05 | 重庆市三峡水务渝北排水有限责任公司 | 一种适用于设备油室排气过滤的排气注油杯 |
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