JPH06101699A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH06101699A JPH06101699A JP25117992A JP25117992A JPH06101699A JP H06101699 A JPH06101699 A JP H06101699A JP 25117992 A JP25117992 A JP 25117992A JP 25117992 A JP25117992 A JP 25117992A JP H06101699 A JPH06101699 A JP H06101699A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- pump
- mist filter
- vacuum pump
- oil mist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/06—Lubrication
- F04D29/063—Lubrication specially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ドライ真空ポンプに於いて、メンテナンスフ
リーは大きな特徴である。外部よりパージガスを導入し
てポンプ機構部側と駆動部側とを分離する構造の場合、
後者より排出するガスには油分が混在し、油補給が必要
となる。この排出油分を減少させて油補給サイクルの長
期化を図ることを目的とする。 【構成】 ポンプ駆動部排気口１８に油分回収効果の高
いオイルミストフィルタ１３を接続し、そのオイルミス
トフィルタ１３のドレン配管１７を軸受潤滑油供給ライ
ンの油ポンプ１２の吸込側配管と合流させて、油自動回
収ラインを構成する。 【効果】 油補給サイクルの長期化を図ることができ、
長期メンテナンスフリーにすることができる。
リーは大きな特徴である。外部よりパージガスを導入し
てポンプ機構部側と駆動部側とを分離する構造の場合、
後者より排出するガスには油分が混在し、油補給が必要
となる。この排出油分を減少させて油補給サイクルの長
期化を図ることを目的とする。 【構成】 ポンプ駆動部排気口１８に油分回収効果の高
いオイルミストフィルタ１３を接続し、そのオイルミス
トフィルタ１３のドレン配管１７を軸受潤滑油供給ライ
ンの油ポンプ１２の吸込側配管と合流させて、油自動回
収ラインを構成する。 【効果】 油補給サイクルの長期化を図ることができ、
長期メンテナンスフリーにすることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、吐出口を大気圧で運転
し、ポンプ機構部とポンプ駆動部とをシールする構造を
有し、ポンプ駆動部より駆動部排気を具備している真空
ポンプに係り、さらに詳しくは、駆動部排気より排出さ
れる油分を効果的に回収することができる真空ポンプに
関するものである。
し、ポンプ機構部とポンプ駆動部とをシールする構造を
有し、ポンプ駆動部より駆動部排気を具備している真空
ポンプに係り、さらに詳しくは、駆動部排気より排出さ
れる油分を効果的に回収することができる真空ポンプに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空ポンプは、特開平１−１３０
０９３号公報に記載のように、ポンプ駆動部の駆動部排
気より排出された油分をオイルミストフィルタにより回
収し、この回収された油分はポンプ駆動部に設けた油タ
ンク内に直接戻す構成になっている。
０９３号公報に記載のように、ポンプ駆動部の駆動部排
気より排出された油分をオイルミストフィルタにより回
収し、この回収された油分はポンプ駆動部に設けた油タ
ンク内に直接戻す構成になっている。
【０００３】これを簡単なフローで説明すると、図５に
示す如く、ポンプ機構部９とポンプ駆動部１０は軸封部
６でシールされている。前記ポンプ機構部９は真空圧、
ポンプ駆動部１０は大気圧以上になっている。前記軸封
部６にはポンプ外部よりパージガス１５が導入され、該
パージガスはポンプ側ガス１９と駆動側ガス２０に分岐
し、両者の圧力バランスをとるようになっている。前記
ポンプ駆動部１０には玉軸受を使用しており、ポンプ外
部に設けた油ポンプ１２で潤滑油を巡環供給して油潤滑
されている。また、ポンプ機構部側ガスはポンプ吐出口
２より排出し、ポンプ駆動部側ガスは駆動部排気口１８
より排出する。そして、従来は、ポンプ駆動部排気口１
８のラインにオイルミストフィルタ２１を設け、そのオ
イルミストフィルタのドレン配管１７を前記ポンプ駆動
部１０の油タンクに接続して油分を回収するように構成
されている。
示す如く、ポンプ機構部９とポンプ駆動部１０は軸封部
６でシールされている。前記ポンプ機構部９は真空圧、
ポンプ駆動部１０は大気圧以上になっている。前記軸封
部６にはポンプ外部よりパージガス１５が導入され、該
パージガスはポンプ側ガス１９と駆動側ガス２０に分岐
し、両者の圧力バランスをとるようになっている。前記
ポンプ駆動部１０には玉軸受を使用しており、ポンプ外
部に設けた油ポンプ１２で潤滑油を巡環供給して油潤滑
されている。また、ポンプ機構部側ガスはポンプ吐出口
２より排出し、ポンプ駆動部側ガスは駆動部排気口１８
より排出する。そして、従来は、ポンプ駆動部排気口１
８のラインにオイルミストフィルタ２１を設け、そのオ
イルミストフィルタのドレン配管１７を前記ポンプ駆動
部１０の油タンクに接続して油分を回収するように構成
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記の従来技術は、ポ
ンプ駆動部１０内の圧力上昇及びオイルミストフィルタ
ドレン配管からの潤滑油の噴き出しを防止するため、設
置するオイルミストフィルタは極端に圧損の小さいもの
で構成するしかなかった。そのため、ポンプ駆動部側ガ
スと共に排出する油分の回収にも限界があり、油分の放
出量が多くなって潤滑油補給のインターバルも短かっ
た。また半導体製造装置等で使用される場合、クリーン
ルームでの使用となり排気の処理も大変であった。その
ため、ポンプの排気は真空ポンプでのポンプ機構部排気
ラインと潤滑油の排気ラインとを別々にする必要があ
り、不便であった。
ンプ駆動部１０内の圧力上昇及びオイルミストフィルタ
ドレン配管からの潤滑油の噴き出しを防止するため、設
置するオイルミストフィルタは極端に圧損の小さいもの
で構成するしかなかった。そのため、ポンプ駆動部側ガ
スと共に排出する油分の回収にも限界があり、油分の放
出量が多くなって潤滑油補給のインターバルも短かっ
た。また半導体製造装置等で使用される場合、クリーン
ルームでの使用となり排気の処理も大変であった。その
ため、ポンプの排気は真空ポンプでのポンプ機構部排気
ラインと潤滑油の排気ラインとを別々にする必要があ
り、不便であった。
【０００５】本発明の目的は、ポンプ駆動部排気口より
排出する油分の回収を確実にし、外部へ排出する油分の
量を極端に減少させ、潤滑油補給のインターバルを長く
することにある。また、究極の目的は、ポンプの排気ラ
インを一本化することにある。
排出する油分の回収を確実にし、外部へ排出する油分の
量を極端に減少させ、潤滑油補給のインターバルを長く
することにある。また、究極の目的は、ポンプの排気ラ
インを一本化することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めには、油分回収効果の高いオイルミストフィルタを設
け、ポンプ駆動部内の圧力上昇が無いような状態で油回
収をする構成とすることにより可能となる。
めには、油分回収効果の高いオイルミストフィルタを設
け、ポンプ駆動部内の圧力上昇が無いような状態で油回
収をする構成とすることにより可能となる。
【０００７】まず、油分回収効果の高いオイルミストフ
ィルタを設けることは従来技術のものでも可能である。
しかしこの場合、油分回収効果が高いということは圧損
も大きくなるということである。このため、従来技術の
ままで油分回収効果の高いオイルミストフィルタを使用
すると、ポンプ駆動部内の圧力が上昇し、油タンク部の
液面に圧力がかかり、オイルミストフィルタのドレン配
管からの油の噴き出しを生じるおそれがある。
ィルタを設けることは従来技術のものでも可能である。
しかしこの場合、油分回収効果が高いということは圧損
も大きくなるということである。このため、従来技術の
ままで油分回収効果の高いオイルミストフィルタを使用
すると、ポンプ駆動部内の圧力が上昇し、油タンク部の
液面に圧力がかかり、オイルミストフィルタのドレン配
管からの油の噴き出しを生じるおそれがある。
【０００８】この問題を解決するためには、オイルミス
トフィルタのドレンを大気圧より低い圧力となっている
部分に戻せば良い。そこで本発明においては、オイルミ
ストフィルタのドレンを軸受潤滑油を供給する油ポンプ
の吸込配管側に戻すことにより前記の問題を解決した。
トフィルタのドレンを大気圧より低い圧力となっている
部分に戻せば良い。そこで本発明においては、オイルミ
ストフィルタのドレンを軸受潤滑油を供給する油ポンプ
の吸込配管側に戻すことにより前記の問題を解決した。
【０００９】次に、オイルミストフィルタにより回収さ
れる油分は少量であるため、回収される油分の大部分は
大気である。そのため、油ポンプの吸込配管側に直ちに
ドレン配管を接続すると、油ポンプの吸込配管側の圧力
が低すぎて圧力差が大きくなり、多量の大気を油ポンプ
が吸い込み、油ポンプとしての機能を果たせなくなるお
それがある。この問題を解決するためには、ドレン配管
径を細くする・長くする・オリフィス等を入れて絞る等
して配管の配管抵抗を大きくすることにより、ドレン吸
込流量を少なくすることが可能である。
れる油分は少量であるため、回収される油分の大部分は
大気である。そのため、油ポンプの吸込配管側に直ちに
ドレン配管を接続すると、油ポンプの吸込配管側の圧力
が低すぎて圧力差が大きくなり、多量の大気を油ポンプ
が吸い込み、油ポンプとしての機能を果たせなくなるお
それがある。この問題を解決するためには、ドレン配管
径を細くする・長くする・オリフィス等を入れて絞る等
して配管の配管抵抗を大きくすることにより、ドレン吸
込流量を少なくすることが可能である。
【００１０】以上の様な構成にすることにより、オイル
ミストフィルタを通過して排出する油分の量を極端に少
なくすることが出来、その結果として必然的に真空ポン
プの吐出ラインとポンプ駆動部排気ラインとを合流させ
ることが出来、ポンプの排気ラインを一本化することが
出来る。
ミストフィルタを通過して排出する油分の量を極端に少
なくすることが出来、その結果として必然的に真空ポン
プの吐出ラインとポンプ駆動部排気ラインとを合流させ
ることが出来、ポンプの排気ラインを一本化することが
出来る。
【００１１】
【作用】ポンプ駆動部より排出するポンプ駆動部側ガス
及び油分は圧損の大きいオイルミストフィルタを使用す
ることにより油分の大部分を回収することが出来る。回
収した油分の軸受潤滑油ラインへの戻りはオイルミスト
フィルタドレン部の圧力（大気圧）より低い圧力となる
油ポンプの吸込側配管にドレン配管の配管抵抗を大きく
するようにして戻すことにより可能である。このように
することにより油ポンプへのオイルミストフィルタのド
レンより吸込まれる油分の混在した大気の量を少なくす
ることが出来、油ポンプの性能上の低下もない。
及び油分は圧損の大きいオイルミストフィルタを使用す
ることにより油分の大部分を回収することが出来る。回
収した油分の軸受潤滑油ラインへの戻りはオイルミスト
フィルタドレン部の圧力（大気圧）より低い圧力となる
油ポンプの吸込側配管にドレン配管の配管抵抗を大きく
するようにして戻すことにより可能である。このように
することにより油ポンプへのオイルミストフィルタのド
レンより吸込まれる油分の混在した大気の量を少なくす
ることが出来、油ポンプの性能上の低下もない。
【００１２】以上の２次的効果として、ポンプ機構部の
真空ポンプの吐出口ラインとポンプ駆動部の排気口ライ
ンとを合流させ、ポンプの排気ラインを一本化すること
が出来る。
真空ポンプの吐出口ラインとポンプ駆動部の排気口ライ
ンとを合流させ、ポンプの排気ラインを一本化すること
が出来る。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１、図２、図
３、図４により説明する。
３、図４により説明する。
【００１４】図１は真空ポンプの全体構造を示すと共
に、本発明のポンプ駆動部排気口から排出する油分回収
の一実施例を示している。図２はドレン戻し配管の一実
施例を示し、図３はドレン戻し配管長と吸込流量の測定
例を示し、図４は他の実施例を示している。
に、本発明のポンプ駆動部排気口から排出する油分回収
の一実施例を示している。図２はドレン戻し配管の一実
施例を示し、図３はドレン戻し配管長と吸込流量の測定
例を示し、図４は他の実施例を示している。
【００１５】図１において、吸気口１と吐出口２を有す
るケーシング３内には、一対の軸受７により支承され、
モータ８により駆動されるポンプロータ５とポンプロー
タ５に対向して設けられたステータ４とからなるポンプ
機構部９がある。吸気口１から吸込まれた気体はポンプ
機構部９を通って吐出口２から大気へ排出される。ポン
プ機構部９とポンプ駆動部１０の境界部にはポンプ外部
よりパージガス１５を供給しポンプ機構部９とポンプ駆
動部１０の圧力バランスを維持する軸封部６を有してい
る。軸受７には、ポンプ外部に設けた油ポンプ１２でポ
ンプ駆動部１０の油タンク１１より潤滑油を吸い込み、
強制的に潤滑油を供給している。駆動部排気口１８には
油分回収効率の高いオイルミストフィルタ１３を接続
し、そのオイルミストフィルタの油回収用のドレン配管
１７を前記油ポンプ１２の吸込側配管に接続する。
るケーシング３内には、一対の軸受７により支承され、
モータ８により駆動されるポンプロータ５とポンプロー
タ５に対向して設けられたステータ４とからなるポンプ
機構部９がある。吸気口１から吸込まれた気体はポンプ
機構部９を通って吐出口２から大気へ排出される。ポン
プ機構部９とポンプ駆動部１０の境界部にはポンプ外部
よりパージガス１５を供給しポンプ機構部９とポンプ駆
動部１０の圧力バランスを維持する軸封部６を有してい
る。軸受７には、ポンプ外部に設けた油ポンプ１２でポ
ンプ駆動部１０の油タンク１１より潤滑油を吸い込み、
強制的に潤滑油を供給している。駆動部排気口１８には
油分回収効率の高いオイルミストフィルタ１３を接続
し、そのオイルミストフィルタの油回収用のドレン配管
１７を前記油ポンプ１２の吸込側配管に接続する。
【００１６】前記ドレン配管１７の一実施例を図２によ
り説明する。オイルミストフィルタ１３下部のドレン口
より短管２２を介してゴミ捕集箱２３を設置する。該ゴ
ミ捕集箱上面より内径の小さい配管２４を出し、その他
端を油ポンプ１２の吸込側配管に接続する。該配管２４
には複数個のオリフィス（絞り）２５を設置する。
り説明する。オイルミストフィルタ１３下部のドレン口
より短管２２を介してゴミ捕集箱２３を設置する。該ゴ
ミ捕集箱上面より内径の小さい配管２４を出し、その他
端を油ポンプ１２の吸込側配管に接続する。該配管２４
には複数個のオリフィス（絞り）２５を設置する。
【００１７】図３はドレン配管１７における内径の小さ
い配管２４の長さｌと吸込流量Ｑの測定例を示し、実線
はオリフィス２５のない状態での測定値を示し、破線は
オリフィス２５を入れた状態での測定値を示している。
オリフィス２５を増加することにより流量調整は可能で
ある。従って、配管長及びオリフィスの数により流量調
整が出来、自在の量が出せる。そのため、油ポンプで許
容される空気まき込み量以内の調整も出来、油ポンプ性
能劣化の心配もない。
い配管２４の長さｌと吸込流量Ｑの測定例を示し、実線
はオリフィス２５のない状態での測定値を示し、破線は
オリフィス２５を入れた状態での測定値を示している。
オリフィス２５を増加することにより流量調整は可能で
ある。従って、配管長及びオリフィスの数により流量調
整が出来、自在の量が出せる。そのため、油ポンプで許
容される空気まき込み量以内の調整も出来、油ポンプ性
能劣化の心配もない。
【００１８】以上の様な構成にすることにより、油分回
収効果の高いオイルミストフィルタの使用が可能とな
り、油補給のインターバルが長くなり、メンテナンスが
より楽になると共に、油分放出量が少なくなることから
クリーンルーム内等の油汚染に対しても問題が少なくな
る。
収効果の高いオイルミストフィルタの使用が可能とな
り、油補給のインターバルが長くなり、メンテナンスが
より楽になると共に、油分放出量が少なくなることから
クリーンルーム内等の油汚染に対しても問題が少なくな
る。
【００１９】また、オイルミストフィルタのドレン口に
接続してゴミ捕集箱を設けたことにより、オイルミスト
フィルタ側よりゴミ等が落ちて来たとしても確実にゴミ
を捕集箱により捕集することが出来、以後の配管に入れ
ないようにすることにより、つまり等の問題が無くな
る。
接続してゴミ捕集箱を設けたことにより、オイルミスト
フィルタ側よりゴミ等が落ちて来たとしても確実にゴミ
を捕集箱により捕集することが出来、以後の配管に入れ
ないようにすることにより、つまり等の問題が無くな
る。
【００２０】図４は他の実施例であり、その構成は、図
１に示すものをベースとし、オイルミストフィルタ１３
の排気口１４に接続したフィルタ排気配管２７をポンプ
機構部の真空ポンプ吐出口配管２６に合流して構成した
ものである。このような構成にすると、ポンプ排気ライ
ンを一本化することが出来、配管、メンテナンス等も非
常に楽になる。
１に示すものをベースとし、オイルミストフィルタ１３
の排気口１４に接続したフィルタ排気配管２７をポンプ
機構部の真空ポンプ吐出口配管２６に合流して構成した
ものである。このような構成にすると、ポンプ排気ライ
ンを一本化することが出来、配管、メンテナンス等も非
常に楽になる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば下記の効果がある。
【００２２】１）ポンプ駆動部排気口より排出する油分
の量を極端に減少させることが出来、油補給のメンテナ
ンスインターバルが長くなる。
の量を極端に減少させることが出来、油補給のメンテナ
ンスインターバルが長くなる。
【００２３】２）油分回収率が高くなるため、大気に排
出しても油汚染の影響が少なくなると共に、配管等の注
意も少なくすむ。
出しても油汚染の影響が少なくなると共に、配管等の注
意も少なくすむ。
【００２４】３）構成部品としては、非常に簡単なもの
を追加するだけで絶大な効果が期待出来る。
を追加するだけで絶大な効果が期待出来る。
【００２５】４）油分回収率が高くなるため、ポンプ機
構部の真空ポンプ吐出口ラインとの合流が可能となり、
ポンプ排気ラインを一本化することが出来る。
構部の真空ポンプ吐出口ラインとの合流が可能となり、
ポンプ排気ラインを一本化することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の全体構成図
【図２】本発明のドレン配管の一実施例
【図３】本発明のドレン戻し配管長と吸込流量の関係を
示す図
示す図
【図４】本発明の他の実施例のフロー図
【図５】従来技術のフロー図
１…吸気口、２…吐出口、６…軸封部、７…軸受、９…
ポンプ機構部、１０…ポンプ駆動部、１１…油タンク、
１２…油ポンプ、１３…オイルミストフィルタ、１７…
ドレン配管、２３…ゴミ捕集箱、２４…配管、２５…オ
リフィス、２６…真空ポンプ吐出配管、２７…フィルタ
吐出配管。
ポンプ機構部、１０…ポンプ駆動部、１１…油タンク、
１２…油ポンプ、１３…オイルミストフィルタ、１７…
ドレン配管、２３…ゴミ捕集箱、２４…配管、２５…オ
リフィス、２６…真空ポンプ吐出配管、２７…フィルタ
吐出配管。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村田 克彦 茨城県土浦市神立東２−28−４ 日立テク ノエンジニアリング株式会社土浦事業所内
Claims (5)
- 【請求項１】 吸気口と吐出口を有するケーシング内に
ポンプロータ・ステータを収納するポンプ機構部と、該
ポンプ機構部の片側の油潤滑式玉軸受及び駆動モータを
収納したポンプ駆動部と、前記ポンプ機構部とポンプ駆
動部の境界部にポンプ外部から軸封パージガスを供給す
る軸封部とを有し、前記玉軸受への潤滑油は前記ポンプ
駆動部内の油タンクよりポンプ外部に設置した油ポンプ
で吸い出して玉軸受へ供給し、前記吸気口側から吸込ま
れた気体が前記吐出口側から直接大気へ排気される真空
ポンプにおいて、前記ポンプ駆動部より排出される一部
のパージガスと軸受潤滑後の潤滑油の油煙ないし油霧の
排出ラインに油分回収効果の高いオイルミストフィルタ
を設け、そのオイルミストフィルタの油回収用のドレン
ラインをポンプ外部に設置した前記油ポンプの吸込側配
管に接続したことを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
オイルミストフィルタより油ポンプの吸込側に至るドレ
ンラインにオリフィス等の配管抵抗を大きくする手段を
設けたことを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の真空ポンプに
おいて、オイルミストフィルタの油回収用のドレンライ
ンにゴミ捕集箱を設けたことを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項４】 請求項１または２に記載の真空ポンプに
おいて、オイルミストフィルタの排出口ラインをポンプ
機構部の吐出口に接続した真空ポンプの吐出口ラインと
合流させたことを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項５】 請求項１〜４を全て具備した真空ポン
プ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4251179A JP2978339B2 (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | 真空ポンプ |
| EP19930114957 EP0589362B1 (en) | 1992-09-21 | 1993-09-16 | Vacuum pump apparatus |
| DE1993603447 DE69303447T2 (de) | 1992-09-21 | 1993-09-16 | Vakuumpumpgerät |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4251179A JP2978339B2 (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | 真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06101699A true JPH06101699A (ja) | 1994-04-12 |
| JP2978339B2 JP2978339B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=17218863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4251179A Expired - Fee Related JP2978339B2 (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | 真空ポンプ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0589362B1 (ja) |
| JP (1) | JP2978339B2 (ja) |
| DE (1) | DE69303447T2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006177281A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Shimadzu Corp | 高速回転機器 |
| JP2009121467A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
| KR101340375B1 (ko) * | 2011-11-22 | 2013-12-11 | 동일자동화(주) | 진공단열패널 가공장치 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3635366B2 (ja) * | 2000-04-07 | 2005-04-06 | 株式会社平安コーポレーション | Ｎｃマシンのマイクロフォグ回収装置 |
| ES2426353T3 (es) * | 2004-03-22 | 2013-10-22 | Paul Müller GmbH & Co. KG Unternehmensbeteiligungen | Husillo para una máquina herramienta con un elemento de cojinete con un conducto de alimentación capilar para la alimentación de lubricante |
| GB0508013D0 (en) * | 2005-04-20 | 2005-05-25 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
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