JPH0599610A

JPH0599610A - ビームの波面を検出する方法およびこの方法を実施するための装置

Info

Publication number: JPH0599610A
Application number: JP3079538A
Authority: JP
Inventors: Antonio Lapucci; ラプツチ・アントニオ
Original assignee: OFF GALILEO SpA
Current assignee: OFF GALILEO SpA
Priority date: 1990-04-13
Filing date: 1991-04-12
Publication date: 1993-04-23
Also published as: US5192982A; IT1238711B; IT9009367A0; EP0452283A2; EP0452283A3; IT9009367A1

Abstract

(57)【要約】【目的】ビームの波面を検出するため、感知器の配列
の時間的走査または空間的広がりに取って代る同時の検
出を、マッハ・ツエンダー干渉計構造に基いて達成する
ことにある。【構成】方法によれば、同時の検出が、関数Ｉ（ｘ，
ｙ）に存するしまの周波数符号化によって達成され、装
置の一例によれば、マッハ・ツエンダー干渉器構造にお
いて、ビーム分割器１０によって分割されたビームの径
路ＡまたはＢに、非点収差光学的構成要素１６が配置さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】この発明は、特に適応光学の分野におい
て、波面を検出するための方法および装置に関する。

【０００２】この発明の第１の主題は、感知器の配列の
時間的走査または空間的広がりに取って代る同時の検出
を、関数Ｉ（ｘ，ｙ）に存するしまの周波数符号化によ
って実質的に得るようにした、マッハ・ツエンダー干渉
計構造に基いて、ビームの波面を検出する方法にある。

【０００３】実際的な実施において、信号が、検査され
るしま系におけるｘ軸に平行な部分によって取得され、
空間搬送波周波数ｆ_oのまわりに集められた低周波信号
が、フーリエ解析技術を使用する分野の位相の、かくし
て、解析されるｙ常数部分における波面の、再構成によ
って処理される。

【０００４】有利なものとして、干渉計における検査さ
れるビームと基準ビームとの間の、異なる縦座標におけ
る異なる傾きすなわち非真直配列性の寄与で、ビームの
抜き取りを遂行する、各ｙに対して、異なる搬送波ｆ_y
を構成できるようにする、光学系の使用によって、検査
されるビームの横断プロフィルの互に異なる断片に対す
る位相情報の符号化が、しまの空間周波数において遂行
され、ｙ常数を持つすべての部分からの信号が、単一の
感知器を使用して検出される。

【０００５】ｘ軸に平行な単一の直線配列の使用、また
は単一の検出器とｘ方向の単一の走査との使用が、案出
できる。

【０００６】可能な解決において、補正できる空間周波
数で検出された収差を低減させるため、検査されるビー
ムの空間ろ過が考え得る。

【０００７】信号の帯域の重なりを避け、かくして検出
される信号の明瞭度を増大させるために、ピンホール配
備が採用できる。

【０００８】この発明の別の主題は、マッハ・ツエンダ
ー干渉計を使用した、上述の波面を検出する方法を実施
するための装置にある。この主題を形成する装置は、本
質的に、波面感知器として周波数符号化のための手段を
有する。

【０００９】可能な実施例において、装置は、検査され
るビームから２つの別個の径路を発生するためのビーム
分割器と、平面基準ビームを発生するための、一方の径
路における空間フィルタと、収差分布の帯域を限定する
ための、他方の径路における空間フィルタと、搬送波干
渉図を導入するための、高度に非点収差の構成要素と、
２つの径路における鏡と、ビーム分割器によって再び組
合された径路における振動する鏡と、異なる縦座標にお
けるしま図の抜き取りを備えかつ周波数の集中を備えた
情報を提供するための、振動する鏡の走査の方向に直交
するように真直配列された一連のピンホールを備えるス
クリーンとの、組合わせを有することができる。

【００１０】別の可能な実施例によれば、装置は、特に
赤外線の応用において、検査されるビームから２つの別
個の径路を発生するためのビーム分割器と、基準ビーム
を発生するための、一方の径路における空間フィルタ
と、収差分布の帯域を限定するための、他方の径路にお
ける空間フィルタと、２つの径路における鏡と、ｙ縦座
標で直線的に増大する伝送の２つの方向の間の１つの角
度で２つのビームを干渉させる、ビーム分割器によって
再び組合わされた径路における振動する鏡と、鏡が走査
を遂行するときに、レンズによって情報を単一の検出器
に提供するための、振動する鏡の走査に直交するように
真直配列された一連のピンホールを備えるスクリーンと
の、組合わせを有することができる。

【００１１】周波数符号化のため、干渉計における２つ
のビームの間の傾きを直線的に変化させるための手段が
採用できる。鏡として、セグメントに分けられた鏡また
は円筒形の鏡、または、連続的または非連続的に刻線に
平行な方向に直線的に変化する間隔を備えた反射格子が
提供できる。

【００１２】周波数符号化のため、非点収差光学構成要
素が採用できる。

【００１３】図面を参照しながら、非限定的な例につい
て、この発明を以下に詳述する。

【００１４】この発明の背景について述べれば、この発
明は、波面検出器の分野に含まれ、特に、コヒーレンド
光学適応技術（Ｃ．Ｏ．Ａ．Ｔ．）として知られた、動
力レーザビームの制御に対して決められた適応光学のた
めの感知器の分野に含まれる。例えば、J.E.Pearson
、R.H.Freemann、H.C.Reynolds、「波面補正に対する
適応技術」応用光学および光学技術、第７巻、Academic
Press (1979年）、J.C.Wyant 、C.L.Koliopoulis 、
「適応光学のための位相測定」Univ.Arizona、Tucson、
AGARD conference proc.300(1981年）参照。

【００１５】光のビームは、大気その他の透過の手段を
通過するときに、かなりゆがむかも知れず、この形式の
問題は、特に、地上に置かれた天体望遠鏡で受け取る像
の解像度を限定する。同様の方法で、大気に関するゆが
みは、レーザビームを発するレーザ装置から品物が大き
く離れているときに、品物にレーザビームを照射しよう
とする試みに限定を加える。光学系の存在による他のゆ
がみ、および動力応用の場合に特に存するレーザ源の本
来の非安定性と多モード発射とによる他のゆがみは、系
の効率の損失を引き起すビームの質の劣化を生じるかも
知れない。

【００１６】波面補正の別の系が、これらのゆがみを克
服するために案出され、これら系の重要な部分は、確か
に波面感知器である。波面感知器の原理的な目的は、例
えば平面または球面のような基準面からの波面の偏差の
形で、波面の変形の空間分布を測定するにある、と一般
に言うことができる。波面の変形は、光学的径路差
（Ｏ．Ｐ．Ｄ．）として、波長で現わすことができる。

【００１７】例えば米国特許第３９２３４００号明細
書、Hardy 、１９７５年１２月に記載されているよう
な、今日までに試験された、ビームの質を制御する系
は、波面の異なる区域における場の位相を測定し、かつ
ビームに対して遂行すべき補正に比例する信号の組を生
成する、幾何学形式または干渉計的形式の波面感知器に
基づく。これら信号は、波面の異なる区域における相対
位相を変化するため、ビームの入射する位相補正器に送
られる。ビームの補正を達成できる活性光学的構成要素
は、一連の圧電作動子によって、または、可視分野にお
ける放射の場合に、液晶配列のような空間光変調器によ
って、選択的に修正できる、変形可能の鏡またはセグメ
ントに分割された鏡を使用して生成できる。幾何学技術
による波面の解析は、多数の別別の構成要素にビームを
横に区分することによって得られる、近軸焦点の位置の
検出に基づく。「ハルトマンテスト」の名で知られてい
るこの方法は、従来、天文学のための適応系においても
使用されて来たが、その結果は、同じ平面に配置された
多数のレンズと各レンズに対する４個の位置感知器とを
利用できるようにする必要性によって、並びに、すべて
のこれら構成要素を大きな安定度で真直配列に維持する
必要性によって、特に臨界的になる。

【００１８】他方において、干渉計的解析は、電磁場の
観測できない位相変化を、一般に「しま系」として知ら
れている強度の変化の観測できる測定に転換させるた
め、２つのビームを干渉させる、今では古典的な技術に
基づく。公式によれば、Ｅ₁を、波面を測定しようと欲
する場、Ｅ₂を基準平面場とした場合に、これらは、慣
習的な記号で、

【００１９】

【００２０】によって表わされる。

【００２１】これら２つの場の干渉は、次の形式の強度
分布またはしま系を生じる。

【００２２】

【００２３】ここで、Ｏ．Ｐ．Ｄ．（ｘ，ｙ）は、測定
すべき量である。

【００２４】（１）光学的径路差を直接に測定する系、
および（２）測定が間接的である系、の波面検出系のう
ちの２つの分類区分を区別することも、可能である。間
接の方法は、一般に、波面の傾斜の測定を基とし、この
作業からＯ．Ｐ．Ｄ．分布に戻る。波面の傾斜誤差は、
ハルトマン感知器に基づくものであるような幾何学的技
術の結果であり、或いは、半径向き剪断形式または横向
き剪断形式の干渉計的方法の結果である。これらのアプ
ローチの例は、例えば、米国特許第４１４１６５２号明
細書、Feinleib、１９７２年２月、米国特許第４５１８
８５４号明細書、Hutchin 、１９８５年５月、および米
国特許第４５７５２４８号明細書、Horwitz-MacGovern
、１９８６年３月に説明されている。

【００２５】間接の方法は、Ｏ．Ｐ．Ｄ．データへ傾斜
データを転換するための計算を必要とする。これら計算
は、実時間またはオフラインで、専用回路によってまた
はソフトウェアを介して、達成できる。（平面のよう
な）基準面に対するＯ．Ｐ．Ｄ．の直接測定は、干渉計
技術でしばしば遂行される。この形式の検出器の例に
は、MassieおよびMassie−Holly の作業におけるような
マッハ・ツエンダーまたはトワイマン・グリーンの普通
の干渉計構造が包含される、米国特許第４３４６９９９
号明細書、Massie、１９８２年８月、米国特許第４１８
８１２２号明細書、Massie−Holly 、１９８０年２月参
照、これにおいて、測定の精度を改良するために、ディ
ジタル干渉計の技術が使用される。

【００２６】この発明は、変型されたマッハ・ツエンダ
ー干渉計構造（顧問J.C.Wyant 、「光学試験および試験
器具」、講演録、光学科学センタ、Arizona 大学、Tucs
on、およびP.Hariharan 、「干渉計測定学、現在の傾向
と将来の見通し」、Proc.S.P.I.E. ８１６巻、２号、１
９８７年）に基いて、ビームの波面を再構成する方法に
ある。

【００２７】すでに述べたように、測定すべき量（Ｏ．
Ｐ．Ｄ．（ｘ，ｙ））は、強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）から干
渉計技術において得ることができる。そのため、測定の
遂行は、位置の関数としてこの強度を検出することに基
づき、一般に、Ｉ_nm＝Ｉ（ｘ_n，ｙ_m）０＜ｎ＜Ｎ，０＜ｍ＜Ｍにおける関数Ｉ（ｘ，ｙ）の見本となるようにＮｘＭの
検出器の配列を利用できることを必要とする。

【００２８】代りに、配列の一次元を次の普通の走査に
よって置き換えることも可能である。Ｉ_nm＝Ｉ（ｘ_n，ｍｖ_yτ_y）（一重走査、直線配
列）Ｉ_nm＝Ｉ（ｎｖ_xτ_x，ｍｖ_yτ_y）（二重走査）二重走査技術は、テレビジョン受像管で遂行されるもの
と全く同様であり、しばしば、赤外線受像技術で遂行さ
れるが、或る解像度を備えた感知器の集積二次元配列を
利用できることは、まだ成し遂げられていない。一方で
は、走査技術は、使用すべき感知器の個数を低減できる
ようにするが、他方では、これはまた、光学系への動く
構成要素の導入、および、取得の共時性の損失を伴なう
「像」の取得時間の延長、のような欠点を生じる。

【００２９】この発明は、関数Ｉ（ｘ，ｙ）の中に存す
るしまの周波数符号化による感知器の配列の時間的走査
または空間的広がりの代りを可能とする、同時検出技術
を導入する。この結果は、検出器の集積平面配列が利用
できない場合に、または直線配列が極めて高価で応用の
困難なことが証明された場合にも、赤外または紫外にお
けるレーザビームの波面の検出にとって、極めて重要で
ある。

【００３０】この技術は、活性構成要素の可動要素の限
られた個数が与えられ、かつ同時に検出の速さおよび共
時性が重要なときに、考慮に入れるべき空間解像度がや
や限られている、レーザビームに対する適応光学の生成
に固有の問題に特に適することがわかる。

【００３１】式（３）および（４）に関してみることが
できるように、波面（Ｏ．Ｐ．Ｄ．）の変形における情
報は、次の形式の点関数の中に含まれ、

【００３２】

【００３３】ここにおいて、干渉を作る２つのビームの
間の傾き（非真直配列）の角度の正弦に比例するｘ方向
における空間周波数ｆ_oは、隔離されている。代りに、

【００３４】

【００３５】

【００３６】でもよい。上述した点は、図１に図示され
る。

【００３７】この方式で、Ｏ．Ｐ．Ｄ（ｘ，ｙ）によっ
て表わされるビームの波面収差は、検査されるしま系の
ｘ軸に平行な部分によって得られる信号の取得によっ
て、および空間搬送周波数ｆ_oのまわりに集められた低
周波数信号の処理によって、得ることができる。

【００３８】式（６）に記載された信号のスペクトル
は、

【００３９】

【００４０】である。ｆ_oのまわりの中味だけをスペク
トルから隔離することによって、フーリエ解析技術（顧
問K.H.Womack「空間同期検出を使用する干渉計位相測
定」光学技術２３，３９１，１９８４年、K.H.Womack
「干渉写真分析の周波数分野の説明」光学技術２３，３
９６，１９８４年、M.Takeda、H. Ina、S.Kobayashi
「コンピュータに基づく地形図および干渉図のためのし
まパターン分析のフーリエ変換方法」J.O.S.A., ７２，
１５６，１９８２年）を使用して、解析された部分（ｙ
＝定数）における、場の位相故に波面のプロフィルを再
構成することが、可能である。処理は、必要ならば、ビ
ームの他の部分で繰返しできるであろう。この発明に代
りに導入される特別の革新的な技術は、検査されるビー
ムの横断プロフィルの異なる断片に関する位相情報の、
しまの空間周波数における、符号化にある。換言すれ
ば、ビームの試料採取を遂行する各ｙに対する異なる搬
送波ｆ_yを構成できるようにする、光学系の使用が達成
される。これは一般に、検査されるビームと干渉計にお
ける基準ビームとの間の異なる縦座標において、異なる
傾き寄与を有することに対応する。次いで、すべてのｙ
＝常数の部分からの信号が、単一の感知器によって簡単
に検出できる。かくして、ｘ軸に平行な直線配列を使用
する、或いは代りに、単一の検出器と常にｘ方向の単一
の走査とを使用する、検出が遂行できる、という結果が
達成される。

【００４１】検出器における信号は、

【００４２】

【００４３】という形式のものであろう。これに対応し
て、図２に表わされた形式のスペクトルが存し、これか
ら、搬送波周波数の間の分離が収差関数（Ｏ．Ｐ．
Ｄ．）の帯域幅より大きいとだけ仮定して、すべての
（ｘ，ｙ）点におけるＯ．Ｐ．Ｄ．に関する情報が抜き
出しできる。搬送波周波数に対して使用できる帯域は、
検出系の空間解像度によって、または検出器の口径によ
って、限定される。検出系の解像度の増大は、小さなピ
ンホールによって遂行できるが、これは、系の感度にと
っては不利である。実際に、干渉計に入射するビームの
出力が充分に高い場合にはいつでも、高い空間周波数が
観測できる。収差関数の帯域のせまさに関する限りは、
系の活性部分によって有効に補正できる空間周波数で検
出された収差を低減させるため、検査されるビームにお
ける空間ろ過を干渉計に導入することが案出できる。

【００４４】この技術では、波面感知器が、単一の検出
器と単一の走査とによって生成でき、その最大取得速さ
は、感知器の下流の電子部品だけによって限定される。
実際に、これによれば、検出器の下流において毎秒１Ｍ
試料の速さのアナログ・ディジタル変換器を利用でき
る、ビームの１００地点で１キロヘルツの周波数で補正
を達成できる、可能性が達成される。

【００４５】図３において、ｙ軸に沿う位相情報の周波
数符号化を可能とする、変型されたマッハ・ツエンダー
干渉計の第１線図が再生される。

【００４６】検査されるビームは、ビーム分割器１０に
よって分離され、鏡１３および１４を備える２つの区別
された径路ＡおよびＢに沿って伝送される。径路Ａにお
いて、ビームは、平面基準ビームを発生するため、空間
フィルタ１１によってろ過され、平面基準ビームは次い
で、正レンズ１２によって球面ビームに変換される。径
路Ｂにおいて、ビームは、波面の収差に関する情報を保
ち、必要ならば、収差分布（Ｏ．Ｐ．Ｄ．）の帯域を限
定する目的を有する空間フィルタ１５を通過する。これ
は次いで、軸外し平凸レンズ１６または円筒レンズのよ
うな、高度に非点収差の構成要素を通過させられる。２
つのビームＡおよびＢは、ビーム分割器１７において再
び組合わせられる。非点収差は、図４に示されるスクリ
ーン１９への投影Ｓに図示された「搬送波」干渉図を導
入する。純粋の非点収差によって影響された波面のサド
ル形状であるべきこの図は、異なる搬送波のまわりの周
波数に集めるべき異なる縦座標で抜き取られた情報を生
じる。ｘ軸に沿う情報は、図の平面に直交する軸線のま
わりの鏡１８の回転による光学的走査によって得られ
る。スクリーン１９は、ｙ方向に真直に配列された一連
のピンホール１９Ａを含有し、これは、しま図の抜き取
りを遂行する。レンズ２０は、単一の光検出器２１にす
べての情報を集める。

【００４７】図５において、縦座標の軸線に沿う情報の
周波数符号化のための、代りの技術が図示される。干渉
計線図は、再び、ビーム分割器３０、ＡおよびＢに沿う
伝送、空間フィルタ３１、鏡３３および３４、空間フィ
ルタ３５、ビーム分割器３７を備えた、変型されたマッ
ハ・ツエンダー形式のものである。

【００４８】この技術において、鏡３３および３４のお
のおのまたは少くとも一方は、（図の平面における）ｘ
軸に平行なストリップのセグメントに分けられ、２つの
鏡は、これら鏡３３および３４またはその少くとも一方
の各セグメントのｙ縦座標と共に直線的に増大する、伝
送の２つの方向の間の角度で、ビーム分割器３７におい
て２つのビームを干渉させるように、取付けられる。径
路Ａにおけるビームは、再び基準ビームを表わし、空間
フィルタ３１によって平面ビームに変えられ、他方にお
いて、径路Ｂにおけるビームは、必要ならば空間フィル
タ３５によって帯域に限定される、収差情報（Ｏ．Ｐ．
Ｄ．）を搬送する。振動する鏡３８の下流において、ス
クリーン３９は、再び、抜き取りピンホールを含有し、
レンズ４０は、鏡３８がビームの横断部分のｘに沿う走
査を遂行するときに、単一の検出器４１にすべての情報
を集める。

【００４９】構成要素３３および３４は、セグメントに
分けられた鏡の代りとして、必要ならば非連続である刻
線に平行な方向に直線的に変化する間隔を備えた、反射
格子で作ることができる。明らかに、格子のブレージン
グは、回折の一次への出力を最適にするようなものであ
るべきである。この解決によれば、干渉計において真直
に配列し安定に保つべき構成要素の個数が、著しく低減
できるから、系がかなり簡単にできる。次いで明らか
に、赤外線における特に１０μｍの特定の帯域における
波長では、搬送波を十分に分離するに必要な光学径路差
が、非点収差レンズのような単一の構成要素の収差によ
っては遂行できないから、図６の解決が必要である。

【００５０】図７において、適応光学の活性構成要素に
送るべき誤差信号を発生するため、アナログ・ディジタ
ル変換ののちにソフトウェアを介して遂行できる、信号
に実施される処理作動を表わす、線図が図示される。

【００５１】図８において、処理を迅速にするように決
定されたアナログ回路図を作るための、試みの略図が図
示される。作動装置５１は、下流電子装置から検出器を
減結合する作用を有する緩衝器（減結合器）である。作
動装置５２，５３，５４および５５は、連続周波数のま
わりの各窓の信号を変移させるために、同期された時計
の連鎖６０によって発生される低基準周波数ｆ_o，２ｆ
_o，３ｆ_oなどと５６，５７，５８および５９において
混合すべき信号を発生するための、活性帯域通過フィル
タの作用を有する。多くのチャンネルを有する（マルチ
プレクサを装着した）アナログ・ディジタル変換器６２
は、すでに解読され次いで低周波数で抜き取りできる信
号を、ディジタル処理のために６３に取り入れる。変形
できる鏡は、ディジタルカードからディジタル・アナロ
グ変換器によって制御できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】しま系の１つの断片に対するスペクトルを象徴
的に図示する。

【図２】異なる断片から得られる符号化された信号の検
出器における合計に対するスペクトルを象徴的に図示す
る。

【図３】非点収差光学的構成要素によって周波数符号化
を達成するようにした、変型されたマッハ・ツエンダー
干渉計を図示する。

【図４】図３における装置のスクリーンでの像を図示す
る。

【図５】干渉計における２つのビームの間の傾きの直線
的変化で周波数符号化を得るようにした、変型されたマ
ッハ・ツエンダ干渉計を図示する。

【図６】図５における装置のスクリーンでの像を図示す
る。

【図７】波面感知器によって検出された信号の処理のブ
ロック線図である。

【図８】波面感知器からの信号の迅速処理のための専用
電子回路の試みの略図を図示する。

【符号の説明】

１０ビーム分割器、１１空間フィルタ、１３鏡、１４鏡、１５空間フィルタ、１６非点収差光学的構成要素、１７ビーム分割器１８振動する鏡、１９スクリーン、１９Ａピンホール、３０ビーム分割器、３１空間フィルタ、３３鏡、３４鏡、３５空間フィルタ、３７ビーム分割器、３８振動する鏡、３９スクリーン、３９Ａピンホール、４０レンズ、４１検出器。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】感知器の配列の時間的走査または空間的
広がりに取って代る同時の検出を、関数Ｉ（ｘ，ｙ）に
存するしまの周波数符号化によって得るようにした、マ
ッハ・ツエンダー干渉計構造に基いて、ビームの波面を
検出する方法。
【請求項２】信号を、検査されるしま系におけるｘ軸
に平行な部分によって取得し、空間搬送波周波数ｆ_oの
まわりに集められた低周波信号を、フーリエ解析技術を
使用する分野の位相の、かくして、解析されるｙ常数部
分における波面の、再構成によって処理する請求項１に
記載の方法。
【請求項３】干渉計における検査されるビームと基準
ビームとの間の、異なる縦座標における異なる傾きすな
わち非真直配列性の寄与で、ビームの抜き取りを遂行す
る、各ｙに対して、異なる搬送波ｆ_yを構成できるよう
にする、光学系の使用によって、検査されるビームの横
断プロフィルの互に異なる断片に対する位相情報の符号
化を、しまの空間周波数において遂行し、ｙ常数を持つ
のすべての部分からの信号を、単一の感知器を使用して
検出する、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】ｘ軸に平行な単一の直線配列の使用を含
む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】単一の検出器とｘ方向の単一の走査との
使用を含む、請求項３に記載の方法。
【請求項６】補正できる空間周波数で検出された収差
を低減させるため、検査されるビームの空間ろ過を採用
することを含む、請求項１から５のいずれか１項に記載
の方法。
【請求項７】検出される信号の明瞭度を増大させるた
めに、信号の帯域の重なりを避けるための、ピンホール
配備を使用する、請求項１から６のいずれか１項に記載
の方法。
【請求項８】波面感知器として周波数符号化のための
手段を有するマッハ・ツエンダー干渉計を備えた、請求
項１から７のいずれか１項に記載の方法を実施するため
の装置。
【請求項９】検査されるビームから２つの別個の径路
（Ａ，Ｂ）を発生するためのビーム分割器（１０）と、
平面基準ビームを発生するための、一方の径路における
空間フィルタ（１１）と、収差分布の帯域を限定するた
めの、他方の径路における空間フィルタ（１５）と、搬
送波干渉図を導入するための、高度に非点収差の構成要
素と、２つの径路における鏡（１３，１４）と、ビーム
分割器（１７）によって再び組合された径路における振
動する鏡（１８）と、異なる縦座標におけるしま図の抜
き取りを備えかつ周波数の集中を備えた情報を提供する
ための、振動する鏡（１８）の走査に直交するように真
直配列された一連のピンホール（１９Ａ）を備えるスク
リーン（１９）との組合わせを有する、請求項８に記載
の装置。
【請求項１０】検査されるビームから２つの別個の径
路（Ａ，Ｂ）を発生するためのビーム分割器（３０）
と、一方の径路における空間フィルタ（３１）と、収差
分布の帯域を限定するための、他方の径路における空間
フィルタ（３５）と、２つの径路における鏡（３３，３
４）と、ｙ縦座標で直線的に増大する伝送の２つの方向
の間の１つの角度で２つのビームを干渉させる、ビーム
分割器（３７）によって再び組合わされた径路における
振動する鏡（３８）と、鏡（３８）が走査を遂行すると
きに、レンズ（４０）によって情報を単一の検出器（４
１）に提供するための、振動する鏡（３８）の走査に直
交するように真直配列された一連のピンホール（３９
Ａ）を備えるスクリーン（３９）との組合わせを有す
る、特に赤外線に応用される、請求項８に記載の装置。
【請求項１１】周波数符号化のため、干渉計における
２つのビームの間の傾きを直線的に変化させるための手
段を備える、請求項８，９または１０に記載の装置。
【請求項１２】鏡が、セグメントに分けられた鏡また
は円筒形の鏡である、請求項８，１０または１１に記載
の装置。
【請求項１３】鏡が、連続的または非連続的に刻線に
平行な方向に直線的に変化する間隔を備えた反射格子で
ある、請求項８，１０または１１に記載の装置。
【請求項１４】周波数符号化のため、非点収差光学構
成要素（１６）を有する、請求項９または１１に記載の
装置。