JPH06100188B2 - オイルフリースクリュー真空ポンプ - Google Patents
オイルフリースクリュー真空ポンプInfo
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- JPH06100188B2 JPH06100188B2 JP59184571A JP18457184A JPH06100188B2 JP H06100188 B2 JPH06100188 B2 JP H06100188B2 JP 59184571 A JP59184571 A JP 59184571A JP 18457184 A JP18457184 A JP 18457184A JP H06100188 B2 JPH06100188 B2 JP H06100188B2
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- oil
- vacuum pump
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
- F04C29/124—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、螺線状の一対の雄ロータ及び雌ロータから構
成されたオイルフリースクリュー真空ポンプに関する。
成されたオイルフリースクリュー真空ポンプに関する。
本発明に最も近い従来例として、従来のオイルフリース
クリュー圧縮機を真空ポンプとして作動させた場合につ
いて述べる。
クリュー圧縮機を真空ポンプとして作動させた場合につ
いて述べる。
第１図、第２図は、このオイルフリースクリュー圧縮機
の構造を示したものである。第１図は平面断面図、第２
図は第１図のＡ−Ａ断面図である。雄ロータ４と雌ロー
タ５は、微小すきまを有しつつ噛み合うようにメインケ
ーシング１内に納められ、吸入ケーシング２とメインケ
ーシング１に取り付けたスタフィングボックス６、７内
のころ軸受８、９によって回転自在に支持されている。
またこれらのロータに作用するスラスト荷重は、玉軸受
10によって支持される。作動室と軸受の間には、シャフ
トシール11、12が設けられ、作動室への油の浸入を防ぐ
と共に、作動室から圧縮ガスが漏洩するのを防いでい
る。駆動側である雄ロータ４の軸端にはピニオン13が取
り付けられ、図示されていない増速ギヤで駆動される。
タイミングギヤ14、15は、雌ロータ５へ動力を伝達する
と共に、雄・雌両ロータが接触しないように両ロータ間
のすきまを調整している。
の構造を示したものである。第１図は平面断面図、第２
図は第１図のＡ−Ａ断面図である。雄ロータ４と雌ロー
タ５は、微小すきまを有しつつ噛み合うようにメインケ
ーシング１内に納められ、吸入ケーシング２とメインケ
ーシング１に取り付けたスタフィングボックス６、７内
のころ軸受８、９によって回転自在に支持されている。
またこれらのロータに作用するスラスト荷重は、玉軸受
10によって支持される。作動室と軸受の間には、シャフ
トシール11、12が設けられ、作動室への油の浸入を防ぐ
と共に、作動室から圧縮ガスが漏洩するのを防いでい
る。駆動側である雄ロータ４の軸端にはピニオン13が取
り付けられ、図示されていない増速ギヤで駆動される。
タイミングギヤ14、15は、雌ロータ５へ動力を伝達する
と共に、雄・雌両ロータが接触しないように両ロータ間
のすきまを調整している。
吸入ポート16から吸入されたガスは、雄ロータ４、雌ロ
ータ５及びメインケーシング１によって形成される作動
室内に入り、両ロータの回転により圧縮されて、吐出ポ
ート17より吐出される。
ータ５及びメインケーシング１によって形成される作動
室内に入り、両ロータの回転により圧縮されて、吐出ポ
ート17より吐出される。
なお、この種公知例としては、石井博著「真空技術講座
２、真空ポンプ」（日刊工業新聞社（昭和40−２−25）
P.84〜85）に記載されたものがある。
２、真空ポンプ」（日刊工業新聞社（昭和40−２−25）
P.84〜85）に記載されたものがある。
このようなオイルフリースクリュー圧縮機を、吸入圧力
が大気圧の状態で起動した場合、吸入されたガスは、吐
出ポートが開くまで、設計圧力比に従って圧縮される。
このため、作動室内の圧力は吸入側から吐出側に向って
上昇する。このオイルフリースクリュー圧縮機を真空ポ
ンプとして用いる場合、吐出圧力は大気圧であるから、
圧縮機は必要以上の圧縮をしたことになる。
が大気圧の状態で起動した場合、吸入されたガスは、吐
出ポートが開くまで、設計圧力比に従って圧縮される。
このため、作動室内の圧力は吸入側から吐出側に向って
上昇する。このオイルフリースクリュー圧縮機を真空ポ
ンプとして用いる場合、吐出圧力は大気圧であるから、
圧縮機は必要以上の圧縮をしたことになる。
従来のオイルフリースクリュー圧縮機を真空ポンプとし
て用いた場合、この必要以上の圧縮のために、吸入圧力
が大気圧近傍の状態では、トルクが増大するという欠点
があった。
て用いた場合、この必要以上の圧縮のために、吸入圧力
が大気圧近傍の状態では、トルクが増大するという欠点
があった。
なお、スクリュー圧縮機のケーシング吐出側端面の吐出
口開口前の絞り容積が稍拡大した位置に補助吐出口を設
けて、圧縮機の閉じ込み容積内の圧力が異常に大きくな
るのを防止するようにしたものが、実開昭53−116810号
に記載されている。
口開口前の絞り容積が稍拡大した位置に補助吐出口を設
けて、圧縮機の閉じ込み容積内の圧力が異常に大きくな
るのを防止するようにしたものが、実開昭53−116810号
に記載されている。
しかし、この実開昭53−116810号に記載された考案をオ
イルフリースクリュー真空ポンプに採用しようとする
と、以下の問題がある。
イルフリースクリュー真空ポンプに採用しようとする
と、以下の問題がある。
（１）オイルフリースクリュー真空ポンプの場合、ロー
タを支持する軸受と圧縮室（作動室）との間に、潤滑油
の圧縮室への漏洩を防止するための軸封装置（シャフト
シール11）を設けているが、ケーシング吐出端面に補助
吐出口を設けるためには前記軸封装置を吐出端面から軸
受側へ離して設けねばならず、このためロータを長くし
て軸受で支持しなければならず、ロータの危険速度が低
下する。特に、オイルフリースクリュー真空ポンプでは
高い真空度を得るためにロータを高速回転させなければ
ならないが、実開昭53−116810号に記載の考案を採用す
ると危険速度の低下のためにロータを高速回転すること
ができない。
タを支持する軸受と圧縮室（作動室）との間に、潤滑油
の圧縮室への漏洩を防止するための軸封装置（シャフト
シール11）を設けているが、ケーシング吐出端面に補助
吐出口を設けるためには前記軸封装置を吐出端面から軸
受側へ離して設けねばならず、このためロータを長くし
て軸受で支持しなければならず、ロータの危険速度が低
下する。特に、オイルフリースクリュー真空ポンプでは
高い真空度を得るためにロータを高速回転させなければ
ならないが、実開昭53−116810号に記載の考案を採用す
ると危険速度の低下のためにロータを高速回転すること
ができない。
（２）補助吐出口をケーシング吐出側端面に設けるもの
であるため、補助吐出口は吐出口開口前の絞り容積が稍
拡大した位置にしか設けられず、このため作動室内の圧
力が吐出圧力近傍に上昇してからでないと抽気できない
から、オイルフリースクリュー真空ポンプの起動時など
吸入圧力が大気圧近傍の状態で運転すると、真空ポンプ
の圧縮比に応じて大気圧よりもかなりの高圧まで圧縮さ
れてしまい、補助吐出口を設けても軸トルクの低減効果
はほとんど期待できない。
であるため、補助吐出口は吐出口開口前の絞り容積が稍
拡大した位置にしか設けられず、このため作動室内の圧
力が吐出圧力近傍に上昇してからでないと抽気できない
から、オイルフリースクリュー真空ポンプの起動時など
吸入圧力が大気圧近傍の状態で運転すると、真空ポンプ
の圧縮比に応じて大気圧よりもかなりの高圧まで圧縮さ
れてしまい、補助吐出口を設けても軸トルクの低減効果
はほとんど期待できない。
（３）ケーシング吐出側端面に補助吐出口を設けるとロ
ータのローブ部が通過する間は前記吐出口を塞いでしま
うため、作動室からガスを吐出する時間は非常に短くな
る。圧縮機に比べて圧力レベルの低い真空ポンプでは、
補助吐出口内外の圧力差が小さいため、十分に排気する
には、作動室空間への開放時間を長くする必要があり、
補助吐出口をケーシング吐出側端面に設けたものでは十
分な効果は得られない。
ータのローブ部が通過する間は前記吐出口を塞いでしま
うため、作動室からガスを吐出する時間は非常に短くな
る。圧縮機に比べて圧力レベルの低い真空ポンプでは、
補助吐出口内外の圧力差が小さいため、十分に排気する
には、作動室空間への開放時間を長くする必要があり、
補助吐出口をケーシング吐出側端面に設けたものでは十
分な効果は得られない。
本発明の目的は、必要以上の内部圧縮による軸トルクの
増大を防ぎ、軸トルクを最小限に抑えることにより、低
容量の駆動源での駆動が可能で、しかもロータの危険速
度を低下させることがなく高速回転可能なオイルフリー
スクリュー真空ポンプを得ることにある。
増大を防ぎ、軸トルクを最小限に抑えることにより、低
容量の駆動源での駆動が可能で、しかもロータの危険速
度を低下させることがなく高速回転可能なオイルフリー
スクリュー真空ポンプを得ることにある。
上記目的を達成するため本発明は、螺線状の陸部と溝部
を有し、平行な２軸の回りを互いに噛み合いながら回転
する一対の雄ロータ及び雌ロータと、両ロータを収納す
るケーシングにより作動室を形成し、該作動室に閉じ込
められた吸入気体を該ロータの回転に伴って吐出ポート
から圧出するオイルフリースクリュー真空ポンプにおい
て、作動室内圧力が大気圧より高い圧力に上昇した際に
作動室内にガスを抽気する圧力調整装置を、前記ケーシ
ングのロータ収納部側壁のロータ軸方向に複数箇所設け
たことを特徴とするものである。
を有し、平行な２軸の回りを互いに噛み合いながら回転
する一対の雄ロータ及び雌ロータと、両ロータを収納す
るケーシングにより作動室を形成し、該作動室に閉じ込
められた吸入気体を該ロータの回転に伴って吐出ポート
から圧出するオイルフリースクリュー真空ポンプにおい
て、作動室内圧力が大気圧より高い圧力に上昇した際に
作動室内にガスを抽気する圧力調整装置を、前記ケーシ
ングのロータ収納部側壁のロータ軸方向に複数箇所設け
たことを特徴とするものである。
本発明は、ロータ軸方向に圧力調整装置を複数箇所設け
ているので、吸入圧力が大気圧または大気圧に近い状態
での運転中は、作動室内の圧力は大気圧よりも高くなる
が、作動室内の圧力が大気圧よりも高くなると、その部
分に設けられた圧力調整装置により、作動室内のガスが
外部へ放出され、その作動室内の圧力を大気圧レベルま
で低下させることができる。吸入圧力が大気圧に近いほ
ど作動室内にガスは吸入側に近い位置で大気圧以上に圧
縮されるから、吸入側に近い装置に設けられた圧力調整
装置が作動する。吸入圧力が低くなるほど作動室内にガ
スは吐出側に近い位置で大気圧以上となるから、順次吐
出側に近い圧力調整装置が作動する。吸入圧力が十分低
下し、作動室内圧力が吐出ポートに達する以前には大気
圧に達することがなくなると、いずれの圧力調整装置も
作動せず、吸入ポートから吸入されたガスは全て吐出ポ
ートから排出される。
ているので、吸入圧力が大気圧または大気圧に近い状態
での運転中は、作動室内の圧力は大気圧よりも高くなる
が、作動室内の圧力が大気圧よりも高くなると、その部
分に設けられた圧力調整装置により、作動室内のガスが
外部へ放出され、その作動室内の圧力を大気圧レベルま
で低下させることができる。吸入圧力が大気圧に近いほ
ど作動室内にガスは吸入側に近い位置で大気圧以上に圧
縮されるから、吸入側に近い装置に設けられた圧力調整
装置が作動する。吸入圧力が低くなるほど作動室内にガ
スは吐出側に近い位置で大気圧以上となるから、順次吐
出側に近い圧力調整装置が作動する。吸入圧力が十分低
下し、作動室内圧力が吐出ポートに達する以前には大気
圧に達することがなくなると、いずれの圧力調整装置も
作動せず、吸入ポートから吸入されたガスは全て吐出ポ
ートから排出される。
特に、本発明では、ケーシングのロータ収納部側壁に、
作動室内のガスを抽気する圧力調整装置（補助吐出口）
を設けているから、スクリューロータ先端部の面積はご
く僅かであるため、前記圧力調整装置が作動室空間に開
放されている時間を長くとれる。したがって、圧力調整
装置内外の圧力差が小さくても、大気圧以上に圧縮され
た作動室内のガスを圧力調整装置から確実に排気でき、
作動室内に圧力を常にほぼ大気圧レベル以下に保つこと
ができる。
作動室内のガスを抽気する圧力調整装置（補助吐出口）
を設けているから、スクリューロータ先端部の面積はご
く僅かであるため、前記圧力調整装置が作動室空間に開
放されている時間を長くとれる。したがって、圧力調整
装置内外の圧力差が小さくても、大気圧以上に圧縮され
た作動室内のガスを圧力調整装置から確実に排気でき、
作動室内に圧力を常にほぼ大気圧レベル以下に保つこと
ができる。
本発明は以上のように作動するから、吸入圧力が大気圧
に近い状態でも作動室内の圧力を常にほぼ大気圧レベル
以下に保ことができ、必要以上の内部圧縮を防ぐことが
できる。したがって、本発明によれば、軸トルクを最小
限に抑えることができるから、容量の小さな駆動源を使
用できる。
に近い状態でも作動室内の圧力を常にほぼ大気圧レベル
以下に保ことができ、必要以上の内部圧縮を防ぐことが
できる。したがって、本発明によれば、軸トルクを最小
限に抑えることができるから、容量の小さな駆動源を使
用できる。
また、本発明によれば、作動室内のガスを抽気する圧力
調整装置をケーシングのロータ収納部側壁に設けている
ので、圧力調整装置設備のためにロータを長くする必要
はない。したがって、ロータの危険速度を低下させない
から、ロータを高速回転させることができ、性能の高い
オイルフリースクリュー真空ポンプを得ることができ
る。
調整装置をケーシングのロータ収納部側壁に設けている
ので、圧力調整装置設備のためにロータを長くする必要
はない。したがって、ロータの危険速度を低下させない
から、ロータを高速回転させることができ、性能の高い
オイルフリースクリュー真空ポンプを得ることができ
る。
以下、本発明の一実施例を第３図、第４図、第５図によ
り説明する。
り説明する。
第３図はオイルフリースクリュー真空ポンプの正面断面
図であるが、基本的構造はオイルフリースクリュー圧縮
機と同一であり、図において第１図、第２図と同一符号
を付した部分は同一部分であり、説明を省略する。
図であるが、基本的構造はオイルフリースクリュー圧縮
機と同一であり、図において第１図、第２図と同一符号
を付した部分は同一部分であり、説明を省略する。
ケーシング１のロータ収納部側壁1a下部には、作動室内
のガスを抽気するための抽気孔18a、18b、18cが、軸方
向に数ヶ所開けられ、それぞれに圧力調整装置19a、19
b、19cが取り付けられている。
のガスを抽気するための抽気孔18a、18b、18cが、軸方
向に数ヶ所開けられ、それぞれに圧力調整装置19a、19
b、19cが取り付けられている。
第４図、第５図は圧力調整装置19aの拡大断面図であ
る。他の圧力調整装置19b、19cも同一である。第４図
は、抽気孔18aと連通している作動室25の圧力が大気圧
以下の時の状態を、第５図は同圧力が大気圧を越えた時
の状態を示す。
る。他の圧力調整装置19b、19cも同一である。第４図
は、抽気孔18aと連通している作動室25の圧力が大気圧
以下の時の状態を、第５図は同圧力が大気圧を越えた時
の状態を示す。
作動室25が大気圧以下の状態では、弁ボックス20内の弁
棒21は、ばね22によってその自重を支えられ、作動室25
の圧力が大気圧より低い場合には、抽気孔18aと大気と
の圧力差によって生じる上向きの力によって、本体ケー
シング側壁1aに接して抽気孔18aを塞いでいる。これに
対し、作動室25の圧力が大気圧より高くなり、ばね22に
打ち勝つだけの圧力となると、弁棒21は下方に押し下げ
られ、作動室25内のガスは抽気孔18aより弁ボックス20
内のすきま26を通り、大気開放口24より外部へと放出さ
れる。第５図中矢印は、この時のガスの流れを示したも
のである。なお、弁棒21にはＯリング23が取り付けてあ
る。
棒21は、ばね22によってその自重を支えられ、作動室25
の圧力が大気圧より低い場合には、抽気孔18aと大気と
の圧力差によって生じる上向きの力によって、本体ケー
シング側壁1aに接して抽気孔18aを塞いでいる。これに
対し、作動室25の圧力が大気圧より高くなり、ばね22に
打ち勝つだけの圧力となると、弁棒21は下方に押し下げ
られ、作動室25内のガスは抽気孔18aより弁ボックス20
内のすきま26を通り、大気開放口24より外部へと放出さ
れる。第５図中矢印は、この時のガスの流れを示したも
のである。なお、弁棒21にはＯリング23が取り付けてあ
る。
以上のように、圧力調整装置19a、19b、19cは、作動室2
5の圧力が大気圧よりもばね22の強さを考慮した分だけ
わずかに高くなると、作動室25内のガスを外部へ放出
し、作動室25内の圧力を大気圧レベルまで低下させる働
きを持つ。
5の圧力が大気圧よりもばね22の強さを考慮した分だけ
わずかに高くなると、作動室25内のガスを外部へ放出
し、作動室25内の圧力を大気圧レベルまで低下させる働
きを持つ。
圧力調整装置18a、18b、18cを備えたオイルフリー真空
ポンプを、例えば起動時など、吸入圧力及び吐出圧力が
大気圧の状態で運転した場合、吸入ポート16から吸入さ
れたガスは作動室内に入り、雄雌両ロータの回転に従い
作動室容積は減少するが、圧力調整装置19a、19b、19c
が作動室内の圧力に応じて順次作動するため、大気圧よ
り大幅に高い圧力に圧縮されることなく吐出ポート17に
達する。吸入圧力が十分に低下し、作動室が吐出ポート
に達する以前には作動室内圧力が大気圧に達することが
なくなると、抽気孔18a、18b、18cはすべて塞がれ、真
空ポンプは従来と同様の運転をする。
ポンプを、例えば起動時など、吸入圧力及び吐出圧力が
大気圧の状態で運転した場合、吸入ポート16から吸入さ
れたガスは作動室内に入り、雄雌両ロータの回転に従い
作動室容積は減少するが、圧力調整装置19a、19b、19c
が作動室内の圧力に応じて順次作動するため、大気圧よ
り大幅に高い圧力に圧縮されることなく吐出ポート17に
達する。吸入圧力が十分に低下し、作動室が吐出ポート
に達する以前には作動室内圧力が大気圧に達することが
なくなると、抽気孔18a、18b、18cはすべて塞がれ、真
空ポンプは従来と同様の運転をする。
上述のように、作動室内圧力をほぼ大気圧以下に抑える
と、吸入圧力が大気圧近傍の状態での運転に際しても、
必要以上の圧縮による軸トルクの増大を防ぐことがで
き、駆動モータの出力を例えば半分程度に小さくするこ
とができる。また、本実施例のような圧力調整装置を用
いれば、起動時に吸気弁を絞ったり、低回転速度で起動
したりという操作の必要がなく、外部からの制御なしに
自動的に起動時のトルク増大を防止することが可能であ
る。
と、吸入圧力が大気圧近傍の状態での運転に際しても、
必要以上の圧縮による軸トルクの増大を防ぐことがで
き、駆動モータの出力を例えば半分程度に小さくするこ
とができる。また、本実施例のような圧力調整装置を用
いれば、起動時に吸気弁を絞ったり、低回転速度で起動
したりという操作の必要がなく、外部からの制御なしに
自動的に起動時のトルク増大を防止することが可能であ
る。
また、本実施例によれば、圧力調整装置を従来のように
ケーシング吐出側端面に設けるものではなく、ケーシン
グのロータ収納部側壁1aに設けているので、ロータを圧
力調整装置の分だけ長くする必要はなくなり、これによ
ってロータの危険速度を低下させないから、高速回転が
可能となり、性能の良いオイルフリースクリュー真空ポ
ンプが得られる。
ケーシング吐出側端面に設けるものではなく、ケーシン
グのロータ収納部側壁1aに設けているので、ロータを圧
力調整装置の分だけ長くする必要はなくなり、これによ
ってロータの危険速度を低下させないから、高速回転が
可能となり、性能の良いオイルフリースクリュー真空ポ
ンプが得られる。
なお、圧力調整装置はロータの軸方向に一直線上に複数
箇所設けなければならないというものではなく、作動室
内の圧力に応じて順次作動させることができるようにロ
ータ軸方向に複数箇所設けられていればよい。
箇所設けなければならないというものではなく、作動室
内の圧力に応じて順次作動させることができるようにロ
ータ軸方向に複数箇所設けられていればよい。
本発明によれば、オイルフリースクリュー真空ポンプ
を、吸入圧力が大気圧程度の圧力の状態で運転した場合
でも、作動室内の圧力が大気圧よりも大幅に上昇するこ
とを防止でき、必要以上の内部圧縮に要する仕事を削減
することにより、同運転状態における軸トルクを低減す
ることができるから、オイルフリースクリュー真空ポン
プを小出力の駆動源で駆動することができるという効果
がある。
を、吸入圧力が大気圧程度の圧力の状態で運転した場合
でも、作動室内の圧力が大気圧よりも大幅に上昇するこ
とを防止でき、必要以上の内部圧縮に要する仕事を削減
することにより、同運転状態における軸トルクを低減す
ることができるから、オイルフリースクリュー真空ポン
プを小出力の駆動源で駆動することができるという効果
がある。
また、本発明によれば、圧力調整装置設置のためにロー
タを長くする必要はないから、ロータの危険速度を低下
させず、高速回転可能な高性能のオイルフリースクリュ
ー真空ポンプが得られるという効果がある。
タを長くする必要はないから、ロータの危険速度を低下
させず、高速回転可能な高性能のオイルフリースクリュ
ー真空ポンプが得られるという効果がある。
第１図はオイルフリースクリュー圧縮機の平面断面図、
第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は本発明のオイ
ルフリースクリュー真空ポンプの一実施例を示す正面断
面図、第４図及び第５図は第３図に示す圧力調整装置部
の拡大断面図である。 １…メインケーシング、1a…ケーシング側壁、４…雄ロ
ータ、５…雌ロータ、16…吸入ポート、17…吐出ポー
ト、18a、18b、18c…抽気孔、19a、19b、19c…圧力調整
装置。
第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は本発明のオイ
ルフリースクリュー真空ポンプの一実施例を示す正面断
面図、第４図及び第５図は第３図に示す圧力調整装置部
の拡大断面図である。 １…メインケーシング、1a…ケーシング側壁、４…雄ロ
ータ、５…雌ロータ、16…吸入ポート、17…吐出ポー
ト、18a、18b、18c…抽気孔、19a、19b、19c…圧力調整
装置。
フロントページの続き (72)発明者 内田 利一 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (56)参考文献 実開 昭53−116810（ＪＰ，Ｕ) 石井博著「真空技術講座２ 真空ポン プ」日刊工業新聞社（昭40−２−25）Ｐ. 84〜85
Claims (1)
- 【請求項１】螺線状の陸部と溝部を有し、平行な２軸の
回りを互いに噛み合いながら回転する一対の雄ロータ及
び雌ロータと、両ロータを収納するケーシングにより作
動室を形成し、該作動室に閉じ込められた吸入気体を該
ロータの回転に伴って吐出ポートから圧出するオイルフ
リースクリュー真空ポンプにおいて、作動室内圧力が大
気圧より高い圧力に上昇した際に作動室内のガスを抽気
する圧力調整装置を、前記ケーシングのロータ収納部側
壁のロータ軸方向に複数箇所設けたことを特徴とするオ
イルフリースクリュー真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59184571A JPH06100188B2 (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | オイルフリースクリュー真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59184571A JPH06100188B2 (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | オイルフリースクリュー真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6165087A JPS6165087A (ja) | 1986-04-03 |
| JPH06100188B2 true JPH06100188B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=16155532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59184571A Expired - Lifetime JPH06100188B2 (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | オイルフリースクリュー真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06100188B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62265489A (ja) * | 1986-05-13 | 1987-11-18 | Kobe Steel Ltd | スクリユ式真空ポンプの制御方法 |
| JPH10318168A (ja) | 1997-05-22 | 1998-12-02 | T D Giken:Kk | 容積移送型ポンプ |
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| JP5422260B2 (ja) * | 2009-05-28 | 2014-02-19 | 株式会社日立製作所 | オイルフリースクリュー圧縮機 |
| JP5372722B2 (ja) * | 2009-12-14 | 2013-12-18 | 日立アプライアンス株式会社 | 圧縮機 |
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| CN109139471B (zh) * | 2018-09-03 | 2019-07-02 | 东北大学 | 一种具备过压排气功能的卧式无油螺杆真空泵 |
| BE1029442B1 (nl) | 2021-05-27 | 2023-01-09 | Atlas Copco Airpower Nv | Element voor het samenpersen van een gas en werkwijze voor het regelen van dergelijk element |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53116810U (ja) * | 1977-11-18 | 1978-09-18 |
-
1984
- 1984-09-05 JP JP59184571A patent/JPH06100188B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 石井博著「真空技術講座２真空ポンプ」日刊工業新聞社（昭４０−２−２５）Ｐ．８４〜８５ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6165087A (ja) | 1986-04-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |