JPH06100282B2 - 超高真空用溶接ベローの製造方法 - Google Patents
超高真空用溶接ベローの製造方法Info
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- JPH06100282B2 JPH06100282B2 JP62336624A JP33662487A JPH06100282B2 JP H06100282 B2 JPH06100282 B2 JP H06100282B2 JP 62336624 A JP62336624 A JP 62336624A JP 33662487 A JP33662487 A JP 33662487A JP H06100282 B2 JPH06100282 B2 JP H06100282B2
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- 238000003466 welding Methods 0.000 title claims description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Diaphragms And Bellows (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
- Butt Welding And Welding Of Specific Article (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、溶接ベローの製造方法に関するものであり、
更に詳しくは、超高真空利用の装置において用いる溶接
ベローの製造方法に関するものである。
更に詳しくは、超高真空利用の装置において用いる溶接
ベローの製造方法に関するものである。
［従来の技術］ 高度の気密性や耐食性が要求されかつ摺動部分がないよ
うにした超高真空利用の装置では、ベローによるシール
が行われることが多い。
うにした超高真空利用の装置では、ベローによるシール
が行われることが多い。
従来から多用されている溶接ベローは、適宜の金属薄板
よりなる環状プレートの内外周縁を溶接により結合した
もので、成形ベローに比して伸縮量が大きく、耐久性が
高いという利点を有するが、第４図に示すように、複数
のプレート1,・・及び2,・・の内外周縁を単に面接触さ
せて溶接するために、特に内側周縁の作業性が悪く、か
つ溶接不良により製品の信頼性が低いという問題があ
る。即ち、プレートの周縁、特に内側周縁の溶接は、プ
レートを保持するための特殊な治具が必要で連続溶接が
できないために、作業性が悪くてコスト高となり、ま
た、溶接時の熱変形によって接触面が開いてピンホール
を生ずることがあり、これが信頼性を欠く原因になって
いる。
よりなる環状プレートの内外周縁を溶接により結合した
もので、成形ベローに比して伸縮量が大きく、耐久性が
高いという利点を有するが、第４図に示すように、複数
のプレート1,・・及び2,・・の内外周縁を単に面接触さ
せて溶接するために、特に内側周縁の作業性が悪く、か
つ溶接不良により製品の信頼性が低いという問題があ
る。即ち、プレートの周縁、特に内側周縁の溶接は、プ
レートを保持するための特殊な治具が必要で連続溶接が
できないために、作業性が悪くてコスト高となり、ま
た、溶接時の熱変形によって接触面が開いてピンホール
を生ずることがあり、これが信頼性を欠く原因になって
いる。
さらに、超高真空利用の装置において用いる溶接ベロー
は、使用時における真空系への異物の混入やガスの放出
を嫌うため、製造時におけるごみやその他の異物の付
着、酸化被膜の生成を抑止する必要があり、かかる点に
ついても配慮しなければ、満足できる溶接ベローを製造
できない、という問題もある。
は、使用時における真空系への異物の混入やガスの放出
を嫌うため、製造時におけるごみやその他の異物の付
着、酸化被膜の生成を抑止する必要があり、かかる点に
ついても配慮しなければ、満足できる溶接ベローを製造
できない、という問題もある。
［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の技術的課題は、製造時におけるごみやその他の
異物の付着、酸化被膜の生成を抑止するため、真空雰囲
気中において作業性よく信頼性の高い溶接を行い、それ
によって安価で信頼性の高い超高真空用溶接ベローを製
造する方法を提供することにある。
異物の付着、酸化被膜の生成を抑止するため、真空雰囲
気中において作業性よく信頼性の高い溶接を行い、それ
によって安価で信頼性の高い超高真空用溶接ベローを製
造する方法を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の超高真空用溶接ベロ
ーの製造方法は、複数の環状プレートの周縁を溶接によ
り結合して超高真空用溶接ベローを製造するに際し、上
記プレートの周縁に次位のプレートの周縁が当接するバ
ーリング部を設け、このバーリング部に次位のプレート
の周縁を嵌合して当接させることにより多数のプレート
を組立て、この組立体を真空雰囲気に置き、プレート周
縁の接合部を電子ビームにより溶接することを特徴とす
るものである。
ーの製造方法は、複数の環状プレートの周縁を溶接によ
り結合して超高真空用溶接ベローを製造するに際し、上
記プレートの周縁に次位のプレートの周縁が当接するバ
ーリング部を設け、このバーリング部に次位のプレート
の周縁を嵌合して当接させることにより多数のプレート
を組立て、この組立体を真空雰囲気に置き、プレート周
縁の接合部を電子ビームにより溶接することを特徴とす
るものである。
［作用］ 複数の環状プレートの周縁を溶接により結合して超高真
空用溶接ベローを製造するに際し、真空雰囲気中におい
て電子ビームによりそれらの溶接を行うため、製造時に
おけるごみやその他の異物の付着、酸化被膜の生成を抑
止することができ、しかも、各プレート周縁の溶接にお
いては、各プレートの周縁がバーリングにより当接して
プレート間のずれがないために、溶接用の治具が簡単で
かつ周縁を複数箇所連続して溶接でき、真空雰囲気中で
の溶接でありながら、作業性が向上して溶接ベローを安
価にすることができる。
空用溶接ベローを製造するに際し、真空雰囲気中におい
て電子ビームによりそれらの溶接を行うため、製造時に
おけるごみやその他の異物の付着、酸化被膜の生成を抑
止することができ、しかも、各プレート周縁の溶接にお
いては、各プレートの周縁がバーリングにより当接して
プレート間のずれがないために、溶接用の治具が簡単で
かつ周縁を複数箇所連続して溶接でき、真空雰囲気中で
の溶接でありながら、作業性が向上して溶接ベローを安
価にすることができる。
また、溶接時の熱変形によってバーリング部が開かない
ので、ピンホールのない信頼性の高い溶接ベローを得る
ことができる。
ので、ピンホールのない信頼性の高い溶接ベローを得る
ことができる。
［実施例］ 第１図ないし第２図は、本発明の方法によって製造され
る超高真空用溶接ベローの要部を示し、この溶接ベロー
は、環状プレート11,・・及び12,・・の周縁を、溶接に
より結合することにより構成されている。
る超高真空用溶接ベローの要部を示し、この溶接ベロー
は、環状プレート11,・・及び12,・・の周縁を、溶接に
より結合することにより構成されている。
上記溶接ベローは、第３図によって後述するように、真
空雰囲気中において複数の環状プレートの接合部を電子
ビームで溶接することにより製造するが、このような真
空雰囲気中の溶接では、各プレートを所定の組立て状態
に保持しておく必要があり、そのため、上記プレート11
には、外側の周縁を屈曲させたバーリング部11aを設
け、プレート12には、内側の周縁を屈曲させたバーリン
グ部12aを設けている。これらのプレート11とプレート1
2は、前位のプレート11または12のバーリング部11aまた
は12aに、次位のプレート12または11の周縁を嵌合して
当接させることにより組立てられるものである（第１図
Ａ参照）。
空雰囲気中において複数の環状プレートの接合部を電子
ビームで溶接することにより製造するが、このような真
空雰囲気中の溶接では、各プレートを所定の組立て状態
に保持しておく必要があり、そのため、上記プレート11
には、外側の周縁を屈曲させたバーリング部11aを設
け、プレート12には、内側の周縁を屈曲させたバーリン
グ部12aを設けている。これらのプレート11とプレート1
2は、前位のプレート11または12のバーリング部11aまた
は12aに、次位のプレート12または11の周縁を嵌合して
当接させることにより組立てられるものである（第１図
Ａ参照）。
プレート11,12は、バーリング部11aまたは12aで次位の
プレートの周縁を挟持させてもよく（第１図Ｂ参照）、
或いはプレート11及び12の両周縁にそれぞれバーリング
部を形設して、これらのバーリング部を当接させるか、
または前位のプレートのバーリング部によって次位のプ
レートのバーリング部を挟持することにより組立てても
よい。
プレートの周縁を挟持させてもよく（第１図Ｂ参照）、
或いはプレート11及び12の両周縁にそれぞれバーリング
部を形設して、これらのバーリング部を当接させるか、
または前位のプレートのバーリング部によって次位のプ
レートのバーリング部を挟持することにより組立てても
よい。
バーリング部11a,12aによって組立てられた組立体13
は、バーリング部の溶接によって各プレート11及び12が
一体的に結合される。この溶接に際しては、第３図に示
すように、回転治具15に組立体13の最下位のプレートを
嵌着し、これを真空雰囲気に置いて、各プレートの接合
部を電子銃16からの電子ビームにより溶接する。この場
合、複数のバーリング部は連続して溶接することができ
る。
は、バーリング部の溶接によって各プレート11及び12が
一体的に結合される。この溶接に際しては、第３図に示
すように、回転治具15に組立体13の最下位のプレートを
嵌着し、これを真空雰囲気に置いて、各プレートの接合
部を電子銃16からの電子ビームにより溶接する。この場
合、複数のバーリング部は連続して溶接することができ
る。
このように、複数の環状プレート11,12の周縁を溶接に
より結合して超高真空用溶接ベローを製造するに際し、
真空雰囲気中において電子ビームによりそれらの溶接を
行うと、製造時におけるごみやその他の異物の付着、酸
化被膜の生成が抑止され、しかも、各プレート周縁の溶
接においては、各プレートの周縁がバーリング部11a,12
aにより当接してプレート間のずれがないために、溶接
用の治具が簡単でかつ周縁を複数箇所連続して溶接で
き、真空雰囲気中での溶接でありながら、作業性が向上
して溶接ベローを安価にすることができる。
より結合して超高真空用溶接ベローを製造するに際し、
真空雰囲気中において電子ビームによりそれらの溶接を
行うと、製造時におけるごみやその他の異物の付着、酸
化被膜の生成が抑止され、しかも、各プレート周縁の溶
接においては、各プレートの周縁がバーリング部11a,12
aにより当接してプレート間のずれがないために、溶接
用の治具が簡単でかつ周縁を複数箇所連続して溶接で
き、真空雰囲気中での溶接でありながら、作業性が向上
して溶接ベローを安価にすることができる。
また、バーリング部11a,12aは、熱変形による開きがな
くてピンホールが生じないので、溶接ベローの信頼性を
向上させることができる。
くてピンホールが生じないので、溶接ベローの信頼性を
向上させることができる。
［発明の効果］ 以上に詳述した本発明の方法によれば、超高真空用溶接
ベローの製造時におけるごみやその他の異物の付着、酸
化被膜の生成を抑止するため、真空雰囲気中において作
業性よく信頼性の高い溶接を行い、それによって安価で
信頼性の高い超高真空用溶接ベローを製造することがで
きる。
ベローの製造時におけるごみやその他の異物の付着、酸
化被膜の生成を抑止するため、真空雰囲気中において作
業性よく信頼性の高い溶接を行い、それによって安価で
信頼性の高い超高真空用溶接ベローを製造することがで
きる。
また、溶接ベローを構成するプレートを、周縁に形設し
たバーリング部における当接により組み立てられ、かつ
電子ビームによる該バーリング部の溶接により結合され
ているため、周縁の複数箇所を一連の動作で容易に溶接
できるばかりでなく、プレートを保持する溶接治具が簡
単でコンパクトになるので、作業性が向上してコストを
低下させることができる。
たバーリング部における当接により組み立てられ、かつ
電子ビームによる該バーリング部の溶接により結合され
ているため、周縁の複数箇所を一連の動作で容易に溶接
できるばかりでなく、プレートを保持する溶接治具が簡
単でコンパクトになるので、作業性が向上してコストを
低下させることができる。
さらに、バーリング部は、熱変形による開きがなくてピ
ンホールが生じないので、溶接ベローの信頼性を向上さ
せることができる。
ンホールが生じないので、溶接ベローの信頼性を向上さ
せることができる。
第１図A,Bは溶接前の状態を示す組立体の要部拡大断面
図、第２図は溶接後の状態を示す同上要部拡大断面図、
第３図は溶接時の概略説明図、第４図は従来の溶接ベロ
ーの要部拡大断面図である。 11,12……プレート、 11a,12a……バーリング部、 13……組立体。
図、第２図は溶接後の状態を示す同上要部拡大断面図、
第３図は溶接時の概略説明図、第４図は従来の溶接ベロ
ーの要部拡大断面図である。 11,12……プレート、 11a,12a……バーリング部、 13……組立体。
Claims (1)
- 【請求項１】複数の環状プレートの周縁を溶接により結
合して超高真空用溶接ベローを製造するに際し、 上記プレートの周縁に次位のプレートの周縁が当接する
バーリング部を設け、このバーリング部に次位のプレー
トの周縁を嵌合して当接させることにより多数のプレー
トを組立て、 この組立体を真空雰囲気に置き、プレート周縁の接合部
を電子ビームにより溶接する、 ことを特徴とする超高真空用溶接ベローの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62336624A JPH06100282B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 超高真空用溶接ベローの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62336624A JPH06100282B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 超高真空用溶接ベローの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01176857A JPH01176857A (ja) | 1989-07-13 |
| JPH06100282B2 true JPH06100282B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=18301079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62336624A Expired - Fee Related JPH06100282B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 超高真空用溶接ベローの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06100282B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100345655C (zh) * | 2004-03-25 | 2007-10-31 | 金文坤 | 薄板等离子弧焊用的紫铜垫环的制造方法 |
| DE102011053131A1 (de) | 2010-11-23 | 2012-05-24 | Westfalia Metallschlauchtechnik Gmbh & Co. Kg | Membranbalg aus profilierten Metallstreifen |
| CN112096999B (zh) * | 2020-08-19 | 2022-11-11 | 武汉东研装备科技有限公司 | 一种烘干炉用的全金属补偿器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62202568U (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-24 |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP62336624A patent/JPH06100282B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01176857A (ja) | 1989-07-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |