JPH06100294B2 - ノズルの吸い戻し装置 - Google Patents
ノズルの吸い戻し装置Info
- Publication number
- JPH06100294B2 JPH06100294B2 JP10868191A JP10868191A JPH06100294B2 JP H06100294 B2 JPH06100294 B2 JP H06100294B2 JP 10868191 A JP10868191 A JP 10868191A JP 10868191 A JP10868191 A JP 10868191A JP H06100294 B2 JPH06100294 B2 JP H06100294B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- valve
- control
- sucking
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Nozzles (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試薬等の被吐出液体を
下向きに開口するノズルから吐出させる装置において、
被吐出液体の吐出を停止したときに被吐出液体をノズル
内に吸い戻すことにより、吐出停止後に被吐出液体が滴
下したり、液体の表面が空気と接触することにより変質
したりするのを防止するようにしたノズルの吸い戻し装
置に関する。
下向きに開口するノズルから吐出させる装置において、
被吐出液体の吐出を停止したときに被吐出液体をノズル
内に吸い戻すことにより、吐出停止後に被吐出液体が滴
下したり、液体の表面が空気と接触することにより変質
したりするのを防止するようにしたノズルの吸い戻し装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記のような吸い戻し装置としては、本
願の出願人の出願に係る実開平２−８１６３０号公報に
記載された装置が公知である。
願の出願人の出願に係る実開平２−８１６３０号公報に
記載された装置が公知である。
【０００３】この装置においては、被吐出液体の圧送源
と、下向きに開口して被吐出液体を吐出させるノズルと
の間に、制御用エアーの圧力上昇により復元用ばねの弾
力に抗してダイヤフラムが被吐出液体の流通室内へ膨出
することにより該流通室の容積を減少させるとともに制
御用エアーの圧力降下によりダイヤフラムが後退して前
記流通室の容積を増大させることによつて前記ノズルか
ら被吐出液体を吸い戻すようにした吸い戻し弁を介設
し、制御用エアーの圧力は圧力調節用サーボ弁によつて
制御するようになつている。
と、下向きに開口して被吐出液体を吐出させるノズルと
の間に、制御用エアーの圧力上昇により復元用ばねの弾
力に抗してダイヤフラムが被吐出液体の流通室内へ膨出
することにより該流通室の容積を減少させるとともに制
御用エアーの圧力降下によりダイヤフラムが後退して前
記流通室の容積を増大させることによつて前記ノズルか
ら被吐出液体を吸い戻すようにした吸い戻し弁を介設
し、制御用エアーの圧力は圧力調節用サーボ弁によつて
制御するようになつている。
【０００４】しかしながら、このような装置において
は、停電などにより圧力調節用サーボ弁やそのコントロ
ーラの電源が遮断すると制御用エアーの圧力が最低値ま
で低下してダイヤフラムが後端まで後退し、最大吸い戻
し量まで吸い戻しがおこなわれて設定された吸い戻し量
が変動してしまうだけでなく、吸い戻し量が大きいとノ
ズルの内周面に付着した被吐出液体が固まつてごみとな
り、塗布面上に落ちて不良品が発生したり、また、ノズ
ルが細い場合には吸い戻し弁まで吸い戻されて空気が侵
入することにより被吐出液体が固まって作動不良を生ず
るおそれがある。また、電源の投入時には、圧力調節用
サーボ弁やそのコントローラの電源立ち上げ速度がその
まま吸い戻し量に影響を及ぼして吸い戻し量が不安定と
なる。
は、停電などにより圧力調節用サーボ弁やそのコントロ
ーラの電源が遮断すると制御用エアーの圧力が最低値ま
で低下してダイヤフラムが後端まで後退し、最大吸い戻
し量まで吸い戻しがおこなわれて設定された吸い戻し量
が変動してしまうだけでなく、吸い戻し量が大きいとノ
ズルの内周面に付着した被吐出液体が固まつてごみとな
り、塗布面上に落ちて不良品が発生したり、また、ノズ
ルが細い場合には吸い戻し弁まで吸い戻されて空気が侵
入することにより被吐出液体が固まって作動不良を生ず
るおそれがある。また、電源の投入時には、圧力調節用
サーボ弁やそのコントローラの電源立ち上げ速度がその
まま吸い戻し量に影響を及ぼして吸い戻し量が不安定と
なる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、電源の遮断時や投入時に吸い戻し量を一定
に保つことである。
する課題は、電源の遮断時や投入時に吸い戻し量を一定
に保つことである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、第１の発明は制御用エアーの圧力調節用
サーボ弁と吸い戻し弁との間に電磁開閉弁を介設すると
ともに、圧力調節用サーボ弁の停止と同時に、また、起
動後一定時間だけ電磁開閉弁を閉弁させる制御装置を設
けた構成とし、また、第２の発明は制御用エアーの圧力
調節用サーボ弁と吸い戻し弁との間に電磁開閉弁を介設
するとともに、圧力調節用サーボ弁の停止と同時に、ま
た、起動後制御圧力が所定値に達する時間だけ電磁開閉
弁を閉弁させる制御装置を設けた構成とした。
の手段として、第１の発明は制御用エアーの圧力調節用
サーボ弁と吸い戻し弁との間に電磁開閉弁を介設すると
ともに、圧力調節用サーボ弁の停止と同時に、また、起
動後一定時間だけ電磁開閉弁を閉弁させる制御装置を設
けた構成とし、また、第２の発明は制御用エアーの圧力
調節用サーボ弁と吸い戻し弁との間に電磁開閉弁を介設
するとともに、圧力調節用サーボ弁の停止と同時に、ま
た、起動後制御圧力が所定値に達する時間だけ電磁開閉
弁を閉弁させる制御装置を設けた構成とした。
【０００７】
【発明の作用及び効果】第１の発明は圧力調節用サーボ
弁の停止と同時に、また、起動後の一定時間だけ電磁開
閉弁を閉弁させるようにしたから、制御圧力が不安定な
間は圧力調節用サーボ弁と吸い戻し弁との間が遮断され
て吸い戻し弁に作用する制御圧力が設定値に保たれるこ
とにより、吸い戻し量が適性値に維持されて被吐出液体
の吐出が適性に行われる効果がある。また、第２の発明
は圧力調節用サーボ弁の停止と同時に、また、起動後制
御圧力が所定値に達する時間だけ電磁開閉弁を閉弁させ
るようにしたから、特に、圧力調節用サーボ弁の起動時
に制御圧力が設定値に正確に一致した後に吸い戻し弁を
作動させることができて、吸い戻し量が適性値に確実に
維持される効果がある。
弁の停止と同時に、また、起動後の一定時間だけ電磁開
閉弁を閉弁させるようにしたから、制御圧力が不安定な
間は圧力調節用サーボ弁と吸い戻し弁との間が遮断され
て吸い戻し弁に作用する制御圧力が設定値に保たれるこ
とにより、吸い戻し量が適性値に維持されて被吐出液体
の吐出が適性に行われる効果がある。また、第２の発明
は圧力調節用サーボ弁の停止と同時に、また、起動後制
御圧力が所定値に達する時間だけ電磁開閉弁を閉弁させ
るようにしたから、特に、圧力調節用サーボ弁の起動時
に制御圧力が設定値に正確に一致した後に吸い戻し弁を
作動させることができて、吸い戻し量が適性値に確実に
維持される効果がある。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。
説明する。
【０００９】図１において、１は一定の時間間隔で供給
と停止が繰り返される被吐出液体の供給源、２は先端に
下向きのノズル３を接続した吐出管路であつて、その途
中に吸い戻し弁４が介設されている。
と停止が繰り返される被吐出液体の供給源、２は先端に
下向きのノズル３を接続した吐出管路であつて、その途
中に吸い戻し弁４が介設されている。
【００１０】吸い戻し弁４は図２に示すように、弁本体
５の流入口６と流出口７との間に上面がダイヤフラム８
によつて気密に仕切られた流通室９を形成したものであ
つて、ダイヤフラム８の上方に形成した収容室１０内に
下端面をダイヤフラム８に固着した昇降体１１が、圧縮
コイルばね２１の弾力により上方への移動力を付勢され
た状態で収容されているとともに、この昇降体の上端部
に、収容室１０とその上方に形成された圧力室１２とを
気密に仕切るダイヤフラム１３が固着されており、ポー
ト１４を通して制御用エアーが圧力室１２に供給されて
この圧力室１２内の圧力が上昇すると、昇降体１１とと
もに両ダイヤフラム８、１３が圧縮コイルばね２１の弾
力に抗して変形しつつ下方へ湾曲することにより、流通
室９内の容積が減少し、逆に、制御用エアーが圧力室１
２から排出されてその圧力が低下すると、圧縮コイルば
ね２１の弾力によつて両ダイヤフラム８、１３が上方へ
湾曲することにより、流通室９内の容積が増大するよう
になつている。
５の流入口６と流出口７との間に上面がダイヤフラム８
によつて気密に仕切られた流通室９を形成したものであ
つて、ダイヤフラム８の上方に形成した収容室１０内に
下端面をダイヤフラム８に固着した昇降体１１が、圧縮
コイルばね２１の弾力により上方への移動力を付勢され
た状態で収容されているとともに、この昇降体の上端部
に、収容室１０とその上方に形成された圧力室１２とを
気密に仕切るダイヤフラム１３が固着されており、ポー
ト１４を通して制御用エアーが圧力室１２に供給されて
この圧力室１２内の圧力が上昇すると、昇降体１１とと
もに両ダイヤフラム８、１３が圧縮コイルばね２１の弾
力に抗して変形しつつ下方へ湾曲することにより、流通
室９内の容積が減少し、逆に、制御用エアーが圧力室１
２から排出されてその圧力が低下すると、圧縮コイルば
ね２１の弾力によつて両ダイヤフラム８、１３が上方へ
湾曲することにより、流通室９内の容積が増大するよう
になつている。
【００１１】上記吸い戻し弁４のポート１４は圧力調節
用サーボ弁１７を介設したエアー管路１５により加圧エ
アー供給源１６に接続されている。圧力調節用サーボ弁
１７は加圧エアー供給源１６の圧力を、サーボ弁コント
ローラ１９から入力される電気信号の大きさに対応する
圧力に減圧して出力するものであつて、被吐出液体の供
給源１からの供給中に高圧を出力して、図２に鎖線で示
すように、ダイヤフラム８が流通室９内に膨出すること
によりその容積を減少させ、供給の停止と同時に予め設
定した一定の低圧を出力して、同図に実線で示すよう
に、ダイヤフラム８を後退させることにより流通室９内
の容積を増大させてノズル３の先端から一定量の被吐出
液体を吸い戻すようになつている。
用サーボ弁１７を介設したエアー管路１５により加圧エ
アー供給源１６に接続されている。圧力調節用サーボ弁
１７は加圧エアー供給源１６の圧力を、サーボ弁コント
ローラ１９から入力される電気信号の大きさに対応する
圧力に減圧して出力するものであつて、被吐出液体の供
給源１からの供給中に高圧を出力して、図２に鎖線で示
すように、ダイヤフラム８が流通室９内に膨出すること
によりその容積を減少させ、供給の停止と同時に予め設
定した一定の低圧を出力して、同図に実線で示すよう
に、ダイヤフラム８を後退させることにより流通室９内
の容積を増大させてノズル３の先端から一定量の被吐出
液体を吸い戻すようになつている。
【００１２】上記したところは公知であるが、停電等の
原因によつて圧力調節用サーボ弁１７やサーボ弁コント
ローラ１９の電源が遮断された場合には圧力調節用サー
ボ弁１７の出力が最低値まで下がるため、ダイヤフラム
８が最上方まで後退し、吸い戻し量が最大となる。そう
すると、既述のように、ノズル３の内周面に付着した被
吐出液体が固まつてごみとなり、塗布面上に落ちて不良
品が発生したり、また、ノズル３が細い場合には吸い戻
し弁４まで吸い戻されて空気が侵入することにより被吐
出液体が固まって作動不良を生ずるおそれがある。ま
た、電源の投入時には、圧力調節用サーボ弁１７やその
サーボ弁コントローラ１９の電源立ち上げ速度がそのま
ま吸い戻し量に影響を及ぼして吸い戻し量が不安定とな
る。
原因によつて圧力調節用サーボ弁１７やサーボ弁コント
ローラ１９の電源が遮断された場合には圧力調節用サー
ボ弁１７の出力が最低値まで下がるため、ダイヤフラム
８が最上方まで後退し、吸い戻し量が最大となる。そう
すると、既述のように、ノズル３の内周面に付着した被
吐出液体が固まつてごみとなり、塗布面上に落ちて不良
品が発生したり、また、ノズル３が細い場合には吸い戻
し弁４まで吸い戻されて空気が侵入することにより被吐
出液体が固まって作動不良を生ずるおそれがある。ま
た、電源の投入時には、圧力調節用サーボ弁１７やその
サーボ弁コントローラ１９の電源立ち上げ速度がそのま
ま吸い戻し量に影響を及ぼして吸い戻し量が不安定とな
る。
【００１３】そこで、本実施例においては図１に示すよ
うに、エアー管路１５の吸い戻し弁４と圧力調節用サー
ボ弁１７の間に電磁開閉弁１８が介設されていて、その
ソレノイドが開閉弁コントローラ２０（本発明の制御装
置）に接続されており、普段はソレノイドが励磁されて
開弁状態にあつて圧力調節用サーボ弁１７の出力圧力が
そのまま吸い戻し弁４に入力されて設定通りの吸い戻し
が行われるが、停電等により電源が遮断されるとソレノ
イドが無励磁となつて電磁開閉弁１８が閉じ、圧力調節
用サーボ弁１７と吸い戻し弁４の間でエアー管路１５が
遮断されるため、圧力調節用サーボ弁１７の出力が低下
しても、吸い戻し弁４の制御圧力は電源遮断前と同一の
値に保たれる。
うに、エアー管路１５の吸い戻し弁４と圧力調節用サー
ボ弁１７の間に電磁開閉弁１８が介設されていて、その
ソレノイドが開閉弁コントローラ２０（本発明の制御装
置）に接続されており、普段はソレノイドが励磁されて
開弁状態にあつて圧力調節用サーボ弁１７の出力圧力が
そのまま吸い戻し弁４に入力されて設定通りの吸い戻し
が行われるが、停電等により電源が遮断されるとソレノ
イドが無励磁となつて電磁開閉弁１８が閉じ、圧力調節
用サーボ弁１７と吸い戻し弁４の間でエアー管路１５が
遮断されるため、圧力調節用サーボ弁１７の出力が低下
しても、吸い戻し弁４の制御圧力は電源遮断前と同一の
値に保たれる。
【００１４】停電の復旧等により電源が投入されても電
源電圧やサーボ弁コントローラ１９及び圧力調節用サー
ボ弁１７の出力が元の値に復帰するには一定の時間を要
するから、その時間が経過した後に電磁開閉弁１８が開
いて吸い戻し弁４と連通することにより吸い戻し弁４の
制御圧力は変動することなく一定に保たれる。電源の投
入後電磁開閉弁１８が開くまでの遅れ時間は開閉弁コン
トローラ２０にあらかじめ入力されている。
源電圧やサーボ弁コントローラ１９及び圧力調節用サー
ボ弁１７の出力が元の値に復帰するには一定の時間を要
するから、その時間が経過した後に電磁開閉弁１８が開
いて吸い戻し弁４と連通することにより吸い戻し弁４の
制御圧力は変動することなく一定に保たれる。電源の投
入後電磁開閉弁１８が開くまでの遅れ時間は開閉弁コン
トローラ２０にあらかじめ入力されている。
【００１５】ここで、開閉弁コントローラ２０の一例の
ブロツク図を図４に示す。図において、電源Ｖｃｃはサ
ーボ弁コントローラ１９に入力されているものと同一で
あつて、普段はトランジスタがＯＮしていて電磁開閉弁
１８のソレノイドが励磁され電磁開閉弁１８は開いてい
る。このとき停電等によりＶｃｃ電圧が低下するとこれ
が電圧検出回路部で検出されて瞬時に制御回路部の出力
が低下し、トランジスタがＯＦＦとなつてソレノイドが
無励磁となり、電磁開閉弁１８が閉じる。電源投入時に
は、まず電圧検出回路部の出力が復帰した後、遅れ時間
発生回路部に設定された遅れ時間が経過すると制御回路
部の出力が上昇し、トランジスタがＯＮとなつてソレノ
イドが励磁され電磁開閉弁１８が開く。
ブロツク図を図４に示す。図において、電源Ｖｃｃはサ
ーボ弁コントローラ１９に入力されているものと同一で
あつて、普段はトランジスタがＯＮしていて電磁開閉弁
１８のソレノイドが励磁され電磁開閉弁１８は開いてい
る。このとき停電等によりＶｃｃ電圧が低下するとこれ
が電圧検出回路部で検出されて瞬時に制御回路部の出力
が低下し、トランジスタがＯＦＦとなつてソレノイドが
無励磁となり、電磁開閉弁１８が閉じる。電源投入時に
は、まず電圧検出回路部の出力が復帰した後、遅れ時間
発生回路部に設定された遅れ時間が経過すると制御回路
部の出力が上昇し、トランジスタがＯＮとなつてソレノ
イドが励磁され電磁開閉弁１８が開く。
【００１６】本実施例においては、上記のように電源の
遮断と投入が行われても吸い戻し弁４の制御圧力は一定
に保たれ、ノズル３の吸い戻し量が一定に保たれる。
遮断と投入が行われても吸い戻し弁４の制御圧力は一定
に保たれ、ノズル３の吸い戻し量が一定に保たれる。
【００１７】図３は本実施例の変形例であつて、電磁開
閉弁１８の閉弁時において、サーボ弁コントローラ１９
の設定圧力信号と圧力調節用サーボ弁１７の出力圧力信
号が開閉弁コントローラ２０に入力されて、両信号が一
致したときに電磁開閉弁１８を開く信号が出力されるよ
うになつている。したがつて、電源投入時における吸い
戻し弁４の制御圧力を電源遮断前と正確に一致させるこ
とができる。
閉弁１８の閉弁時において、サーボ弁コントローラ１９
の設定圧力信号と圧力調節用サーボ弁１７の出力圧力信
号が開閉弁コントローラ２０に入力されて、両信号が一
致したときに電磁開閉弁１８を開く信号が出力されるよ
うになつている。したがつて、電源投入時における吸い
戻し弁４の制御圧力を電源遮断前と正確に一致させるこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例の概要を示す回路図である。
【図２】吸い戻し弁４の断面図である。
【図３】上記実施例の変形例の回路図である。
【図４】開閉弁コントローラのブロツク図である。
１：被吐出液体の供給源 ２：吐出管路 ３：ノズル
４：吸い戻し弁 １５：エアー管路 １６：加圧エアー
供給源 １７：圧力調節用サーボ弁 １８：電磁開閉弁
１９：サーボ弁コントローラ ２０：開閉弁コントロ
ーラ（本発明の制御装置）
４：吸い戻し弁 １５：エアー管路 １６：加圧エアー
供給源 １７：圧力調節用サーボ弁 １８：電磁開閉弁
１９：サーボ弁コントローラ ２０：開閉弁コントロ
ーラ（本発明の制御装置）
Claims (2)
- 【請求項１】 被吐出液体の圧送源と、下向きに開口し
て被吐出液体を吐出させるノズルとの間に、制御用エア
ーの圧力上昇により復元用ばねの弾力に抗してダイヤフ
ラムが被吐出液体の流通室内へ膨出することにより該流
通室の容積を減少させるとともに前記制御用エアーの圧
力降下によりダイヤフラムが後退して前記流通室の容積
を増大させることによつて前記ノズルから被吐出液体を
吸い戻すようにした吸い戻し弁を介設したノズルの吸い
戻し装置において、前記制御用エアーの圧力調節用サー
ボ弁と前記吸い戻し弁との間に電磁開閉弁を介設すると
ともに、前記圧力調節用サーボ弁の停止と同時に、ま
た、起動後一定時間だけ前記電磁開閉弁を閉弁させる制
御装置を設けたことを特徴とするノズルの吸い戻し装
置。 - 【請求項２】 被吐出液体の圧送源と、下向きに開口し
て被吐出液体を吐出させるノズルとの間に、制御用エア
ーの圧力上昇により復元用ばねの弾力に抗してダイヤフ
ラムが被吐出液体の流通室内へ膨出することにより該流
通室の容積を減少させるとともに前記制御用エアーの圧
力降下によりダイヤフラムが後退して前記流通室の容積
を増大させることによつて前記ノズルから被吐出液体を
吸い戻すようにした吸い戻し弁を介設したノズルの吸い
戻し装置において、前記制御用エアーの圧力調節用サー
ボ弁と前記吸い戻し弁との間に電磁開閉弁を介設すると
ともに、前記圧力調節用サーボ弁の停止と同時に、ま
た、起動後制御圧力が所定値に達する時間だけ前記電磁
開閉弁を閉弁させる制御装置を設けたことを特徴とする
ノズルの吸い戻し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10868191A JPH06100294B2 (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | ノズルの吸い戻し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10868191A JPH06100294B2 (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | ノズルの吸い戻し装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04316775A JPH04316775A (ja) | 1992-11-09 |
| JPH06100294B2 true JPH06100294B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=14490975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10868191A Expired - Lifetime JPH06100294B2 (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | ノズルの吸い戻し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06100294B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0777285A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Ckd Corp | 吸い戻し弁 |
-
1991
- 1991-04-12 JP JP10868191A patent/JPH06100294B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04316775A (ja) | 1992-11-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5220898A (en) | Pressure control system for controlling pressure in fuel tank of engine by controlling discharging of evaporated fuel in fuel tank into canister | |
| US10042371B2 (en) | Smart drain and method of control | |
| KR20020061600A (ko) | 지연 개방 가스 밸브 | |
| JP3607339B2 (ja) | 過負荷防止装置 | |
| US2761389A (en) | Regulating valves for jet pumps | |
| JPS62221999A (ja) | 防氷装置の制御システム | |
| US3973877A (en) | Automatic pumping device | |
| EP0875811A2 (en) | Automatic pneumatic pressure control apparatus and method of controlling same | |
| CN106460762A (zh) | 用于机动车辆燃料喷射系统的蓄压器装置，及用于操作所述类型的蓄压器装置的方法 | |
| JPH06100294B2 (ja) | ノズルの吸い戻し装置 | |
| US5115638A (en) | Propulsion turbine fuel control system | |
| JP5919211B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
| TW201619505A (zh) | 真空泵系統 | |
| KR101452726B1 (ko) | 압축기 제어 시스템 | |
| JP2006063815A (ja) | 薬液供給システム | |
| JPH02265670A (ja) | ディスペンサ装置 | |
| CN113309688B (zh) | 一种空压机卸荷装置及采用该卸荷装置的电磁阀 | |
| JP2931080B2 (ja) | ジェットルームにおける緯入れ用エア圧力制御方法 | |
| JPH059074Y2 (ja) | ||
| JPS5815793A (ja) | 圧縮機の無負荷運転制御装置 | |
| CN114811059B (zh) | 流体压力控制装置 | |
| JPH0663861U (ja) | 内燃機関の燃料供給装置 | |
| JP2004319412A (ja) | 燃料電池システムのガス減圧装置 | |
| JPS63236559A (ja) | 液吐出装置 | |
| JPH0658284A (ja) | 油冷式圧縮機の運転方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071212 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 14 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081212 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 14 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081212 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 15 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091212 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101212 Year of fee payment: 16 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101212 Year of fee payment: 16 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 17 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 17 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 |